CN107120435B - 一种电子枪维护用真空密封装置 - Google Patents

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Abstract

一种电子枪维护用真空密封装置,它涉及一种电子束熔炼炉使用的电子枪维护更换真空密封装置。以解决现有技术中的电子枪直接安装于真空电子束熔炼炉的真空室内,对电子枪的保养及维护费时费力,真空电子束熔炼炉使用效率低下,真空室的密闭性降低,导致真空室的使用寿命降低的问题,所述真空密封装置包括真空泵、电子枪外罩02及密封门总成03,电子枪外罩竖直设置于电子束熔炉的真空室顶端并与所述真空室固接连通,密封板总成设置于电子枪外罩内的底端,电子枪定位固定总成安装于电子枪外罩内,电子枪安装于电子枪定位固定总成上。本发明用于电子枪维护更换时对真空室进行密封使用。

Description

一种电子枪维护用真空密封装置
技术领域
本发明涉及一种电子枪真空密封装置,尤其涉及一种电子束熔炼炉使用的电子枪维护用真空密封装置。
背景技术
电子枪是真空电子束熔炼炉的重要组成部分,所以对电子枪要进行定期保养、维修及更换。现有技术中的电子枪直接安装于真空电子束熔炼炉的真空室内,需要打开真空室,才能对电子枪进行保养及维修,保养及维修完毕后,再对真空室进行抽真空处理,使得电子枪的保养及维护费时费力,导致真空电子束熔炼炉使用效率低下,并且使用一段时间后,真空室的密闭性降低,导致真空室的使用寿命降低。
发明内容
本发明的一个目的是要提供一种电子枪维护用真空密封装置,以解决现有技术中的电子枪直接安装于真空电子束熔炼炉的真空室内,导致对电子枪的保养及维护费时费力,导致真空电子束熔炼炉使用效率低下,真空室的密闭性降低,导致真空室的使用寿命降低的问题。
本发明为解决上述问题采取的技术方案是:所述装置包括电子枪及电子枪定位固定总成;
所述真空密封装置还包括:真空泵、电子枪外罩、密封门总成、第一动力源及第二动力源。
电子枪外罩竖直设置于电子束熔炉的真空室顶端且与所述真空室相连通,密封门总成设置于电子枪外罩与所述真空室之间,电子枪定位固定总成安装于电子枪外罩内,电子枪安装于电子枪定位固定总成上;
密封门总成包括密封板、横向板总成及纵向板总成,密封板水平设置于电子枪外罩的内腔低端,密封板与电子枪外罩密封固接,密封板的板面开设有方形通孔;
横向板总成包括第一长方形板、第二长方形板、第三长方形板、第四长方形板及两条导轨,每条导轨水平固接于方形通孔的一个横向侧壁上,两条导轨相对设置,第一长方形板、第二长方形板、第三长方形板及第四长方形板的尺寸相一致,第一长方形板、第二长方形板、第三长方形板及第四长方形板依次水平并行且相互呈间隙设置于两条导轨之间的方形通孔中,第一长方形板的外侧长边与方形孔的竖向侧壁相平行设置且转动密封连接,第一长方形板的内侧长边与第二长方形板的一个长边转动密封连接,第二长方形板的另一个长边与第三长方形板的一个长边贴合并密封设置,第三长方形板的另一个长边与第四长方形板的内侧长边转动密封连接,第四长方形板的外侧长边与方形通孔的另一个竖向侧壁转动密封连接,第二长方形板的每个宽边固接有一个第一滑轮,每个第一滑轮安装于一条导轨内,第三长方形板的每个宽边固接有一个第二滑轮,每个第二滑轮安装于一条导轨内,第一动力源带动第一长方形板与第二长方形板同步转动连接;
纵向板总成包括第五长方形板及第六长方形板,第五长方形板与第六长方形板均水平放置且相互并行呈间距设置于密封板顶面,第五长方形板与第一长方形板垂直设置,第五长方形板的外侧长边与方形孔的一个竖向侧壁转动连接,第六长方形板的外侧长边与方形孔的另一个竖向侧壁转动连接,方形孔的两个竖向侧壁分别与第一长方形板至第四长方形板呈间隙设置,所述间隙分别被第五长方形板以及第六长方形板密封覆盖,第二动力源带动第五长方形板与第六长方形板同步转动连接,真空泵与电子枪外罩相连接。
与现有技术相比较,本发明的有益效果:
本发明的真空密封装置相对现有技术节约了电子枪01的整体维修保养时间,将电子枪外罩02进行真空隔离后,只需打开电子枪外罩02便可实现对电子枪01的相应维修及保养,电子枪01维修保养完毕后,只需关闭电子枪外罩02并对其进行抽真空处理便完成对电子枪01的整体维修保养;相对现有技术中,破坏电子束熔炉的真空室05的真空状态对电子枪01进行维修保养的方式,本发明的真空密封装置大大提高了真空电子束熔炼炉的使用效率,并且减少对电子束熔炉真空室05的真空度破坏次数,从而相对提高了电子束熔炉真空室05的密闭性及其使用寿命。
真空泵实现对电子枪外罩02的抽真空处理,保证电子枪外罩02内的真空状态与电子束熔炉的真空室05的真空状态一致。
使用本发明的真空密封装置后,电子束熔炼炉的使用效率相对提高28%,电子束熔炉的真空室05的真空密封性时效相对延长35%。
根据下文结合附图对本发明具体实施例的详细描述,本领域技术人员将会更加明了本发明的上述以及其他目的、优点和特征。
附图说明
后文将参照附图以示例性而非限制性的方式详细描述本发明的一些具体实施例。附图中相同的附图标记标示了相同或类似的部件或部分。本领域技术人员应该理解,这些附图未必是按比例绘制的。
附图中:
图1是本发明的密封装置的剖视主视图;
图2是本发明的密封门总成03处于封闭状态的结构示意俯视图;
图3是本发明的密封门总成03处于开启状态的结构示意俯视图;
图4是图2中的A-A剖视图,
图5是图3中的P处放大图,
图6是图1中的Q处放大图。
具体实施方式
具体实施方式一:结合附图1至图6进行说明,本实施方式的所述装置包括:电子枪01及电子枪定位固定总成04,
其特征在于,所述真空密封装置还包括:真空泵、电子枪外罩02、密封门总成03、第一动力源及第二动力源,
电子枪外罩02竖直设置于电子束熔炉的真空室05顶端且与所述真空室05相连通,密封门总成03设置于电子枪外罩02与所述真空室05之间,电子枪定位固定总成04安装于电子枪外罩02内,电子枪01安装于电子枪定位固定总成04上;
密封门总成03包括密封板31、横向板总成及纵向板总成,密封板31水平设置于电子枪外罩02的内腔低端,密封板31与电子枪外罩02密封固接,密封板31的板面开设有方形通孔;
横向板总成包括第一长方形板33、第二长方形板34、第三长方形板35、第四长方形板36及两条导轨32,每条导轨32水平固接于方形通孔的一个横向侧壁上,两条导轨32相对设置,第一长方形板33、第二长方形板34、第三长方形板35及第四长方形板36的尺寸相一致,第一长方形板33、第二长方形板34、第三长方形板35及第四长方形板36依次水平并行且相互呈间隙设置于两条导轨32之间的方形通孔中,第一长方形板33的外侧长边与方形孔的竖向侧壁相平行设置且转动密封连接,第一长方形板33的内侧长边与第二长方形板34的一个长边转动密封连接,第二长方形板34的另一个长边与第三长方形板35的一个长边贴合并密封设置,第三长方形板35的另一个长边与第四长方形板36的内侧长边转动密封连接,第四长方形板36的外侧长边与方形通孔的另一个竖向侧壁转动密封连接,第二长方形板34的每个宽边固接有一个第一滑轮37,每个第一滑轮37安装于一条导轨32内,第三长方形板35的每个宽边固接有一个第二滑轮38,每个第二滑轮38安装于一条导轨32内,第一动力源带动第一长方形板33与第二长方形板34同步转动连接;
纵向板总成包括第五长方形板39及第六长方形板61,第五长方形板39与第六长方形板61均水平放置且相互并行呈间距设置于密封板31顶面,第五长方形板39与第一长方形板33垂直设置,第五长方形板39的外侧长边与方形孔的一个竖向侧壁转动连接,第六长方形板61的外侧长边与方形孔的另一个竖向侧壁转动连接,方形孔的两个竖向侧壁分别与第一长方形板33至第四长方形板36呈间隙62设置,所述间隙62分别被第五长方形板39以及第六长方形板61密封覆盖,第二动力源带动第五长方形板39与第六长方形板61同步转动连接,真空泵与电子枪外罩02相连接。
电子枪外罩02顶端安装有电子枪安放密封仓门。
具体实施方式二:结合附图1至图6进行说明,本实施方式的所述真空密封装置还包括两个第一连接臂64以及两个第二连接臂65,
第二长方形板34的两个长边以及第三长方形板35的两个长边分别固接有真空密封条63,第一长方形板33的内侧长边以及第四长方形板36的内侧长边均固接有真空密封条63,
每个第一连接臂64的一端与第一长方形板33内侧长边处的一个宽侧壁转动连接,每个第一连接臂64的另一端与第二长方形板34所述一个长边处的宽侧壁转动连接,
每个第二连接臂65的一端与第四长方形板36内侧长边处的一个宽侧壁转动连接,每个第二连接臂65的另一端与第三长方形板35所述一个长边处的宽侧壁转动连接。
本实施方式实现了 “第一长方形板33的内侧长边与第二长方形板34的一个长边转动密封连接”,以及“第三长方形板35的另一个长边与第四长方形板36的内侧长边转动密封连接”。
两个第一连接臂64,实现了第一长方形板33与第二长方形板34的转动连接,两个第二连接臂65实现了第三长方形板35与第四长方形板36的转动连接;
当第一长方形板33与第二长方形板34放平后,第一长方形板33与第二长方形板34之间的真空密封条63实现对第一长方形板33与第二长方形板34之间间隙的真空密封;当第三长方形板35与第四长方形板36放平后,第三长方形板35与第四长方形板36之间的真空密封条63实现对第三长方形板35与第四长方形板36之间间隙的真空密封。
本实施方式中的其余主体结构与具体实施方式一中的所述真空密封装置相同,在此不再赘述。
具体实施方式三:结合附图1至图6进行说明,本实施方式的每个第一滑轮37的固接位置为靠近第二长方形板34所述另一个长边的宽侧壁处,每个第二滑轮38的固接位置为靠近第三长方形板35所述一个长边的宽侧壁处。
本实施方式中第一滑轮37的位置能够使第一长方形板33转动折叠时,第一长方形板33与第二长方形板34折起后完全靠拢,从而节省了大量空间,第二滑轮37的道理相同。
本实施方式中的其余主体结构与具体实施方式一或二中的所述真空密封装置相同,在此不再赘述。
具体实施方式四:结合附图1至图6进行说明,本实施方式的第五长方形板39的底面以及第六长方形板61的底面均固接有密封垫66,密封垫66的底面凸起形成长条形密封块67,所述长条形密封块67的形状与所述间隙62的形状相一致。
本实施方式中的其余主体结构与具体实施方式一、二或三中的所述真空密封装置相同,在此不再赘述。
具体实施方式五:结合附图1至图6进行说明,本实施方式的
第一动力源包括第一齿轮传动总成71,第二动力源包括第二齿轮传动总成81,
第一长方形板33的所述外侧长边的两端分别固接有一根第一轴73,每根第一轴73沿第一长方形板33的长边方向穿射出电子枪外罩02,且每根第一轴73与电子枪外罩02的所述穿射处为密封设置,每根第一轴73的外端固接有一个第一齿轮74,每个第一齿轮74与第一齿轮传动总成71相应的动力输出齿轮相啮合,
第四长方形板36的所述外侧长边的两端分别固接有一根第二轴75,每根第二轴75沿第四长方形板36的长边方向穿射出电子枪外罩02,且每根第二轴75与电子枪外罩02的所述穿射处为密封设置,每根第二轴75的外端固接有一个第二齿轮76,每个第二齿轮76与第一齿轮传动总成71相应的动力输出齿轮相啮合;
第五长方形板39的所述外侧长边的两端分别固接有一根第三轴82,每根第三轴82沿第五长方形板39的长边方向穿射出电子枪外罩02,且每根第三轴82与电子枪外罩02的所述穿射处为密封设置,每根第三轴82的外端固接有一个第三齿轮83,每个第三齿轮83与第二齿轮传动总成81相应的动力输出齿轮相啮合,
第六长方形板61的所述外侧长边的两端分别固接有一根第四轴84,每根第四轴84沿第六长方形板61的长边方向穿射出电子枪外罩02,且每根第四轴84与电子枪外罩02的所述穿射处为密封设置,每根第四轴84的外端固接有一个第四齿轮85,每个第四齿轮85与第二齿轮传动总成81相应的动力输出齿轮相啮合。
本实施例所述真空密封装置在具体工作时,工作流程如下:
需要对电子枪01进行维修更换时,启动第一动力源,第一动力源带动第一长方形板33的所述外侧长边以及第四长方形板36的所述外侧长边同时转动,第一长方形板33通过两个第一连接臂64带动第二长方形板34沿导轨32方向展开平放,第四长方形板36通过两个第二连接臂65带动第三长方形板35沿导轨32方向展开平放,若干个真空密封条63实现对第一至第四长方形板36的各个长边的密封。
然后启动第二动力源,第二动力源带动第五长方形板39以及第六长方形板61同时转动,使得第五长方形板39以及第六长方形板61将方形孔的两个竖向侧壁分别与第一至第四长方形板36的所述间隙62密封覆盖,电子枪外罩02密封完毕。打开电子枪外罩02顶端的电子枪安放密封仓门,对电子枪01进行相应的维修及保养。
电子枪01维修及保养完毕后,关闭电子枪安放密封仓门,并使用真空泵对电子枪外罩02的内腔进行抽真空处理。抽真空处理完毕后,首先启动第二动力源,第二动力源带动第五长方形板39与第六长方形板61同时向上翻转并最终竖立于密封板31顶面;
然后再启动第一动力源,第一动力源带动第一长方形板33以及第四长方形板36同时向上翻转,第一长方形板33以及第四长方形板36分别带动第二长方形板34以及第三长方形板35竖直立起,从而实现第一长方形板33与第二长方形板34的竖直折叠,以及第三长方形板35与第四长方形板36的竖直折叠,电子枪外罩02与所述真空室05的复位连通完毕。
至此,本领域技术人员应认识到,虽然本文已详尽示出和描述了本发明的多个示例性实施例,但是,在不脱离本发明精神和范围的情况下,仍可根据本发明公开的内容直接确定或推导出符合本发明原理的许多其他变型或修改。因此,本发明的范围应被理解和认定为覆盖了所有这些其他变型或修改。

Claims (5)

1.一种电子枪维护用真空密封装置,所述真空密封装置包括:电子枪(01)及电子枪定位固定总成(04),
其特征在于,所述真空密封装置还包括:真空泵、电子枪外罩(02)、密封门总成(03)、第一动力源及第二动力源,
电子枪外罩(02)竖直设置于电子束熔炉的真空室(05)顶端且与所述真空室(05)相连通,密封门总成(03)设置于电子枪外罩(02)与所述真空室(05)之间,电子枪定位固定总成(04)安装于电子枪外罩(02)内,电子枪(01)安装于电子枪定位固定总成(04)上;
密封门总成(03)包括密封板(31)、横向板总成及纵向板总成,密封板(31)水平设置于电子枪外罩(02)的内腔低端,密封板(31)与电子枪外罩(02)密封固接,密封板(31)的板面开设有方形通孔;
横向板总成包括第一长方形板(33)、第二长方形板(34)、第三长方形板(35)、第四长方形板(36)及两条导轨(32),每条导轨(32)水平固接于方形通孔的一个横向侧壁上,两条导轨(32)相对设置,第一长方形板(33)、第二长方形板(34)、第三长方形板(35)及第四长方形板(36)的尺寸相一致,第一长方形板(33)、第二长方形板(34)、第三长方形板(35)及第四长方形板(36)依次水平并行且相互呈间隙设置于两条导轨(32)之间的方形通孔中,第一长方形板(33)的外侧长边与方形孔的竖向侧壁相平行设置且转动密封连接,第一长方形板(33)的内侧长边与第二长方形板(34)的一个长边转动密封连接,第二长方形板(34)的另一个长边与第三长方形板(35)的一个长边贴合并密封设置,第三长方形板(35)的另一个长边与第四长方形板(36)的内侧长边转动密封连接,第四长方形板(36)的外侧长边与方形通孔的另一个竖向侧壁转动密封连接,第二长方形板(34)的每个宽边固接有一个第一滑轮(37),每个第一滑轮(37)安装于一条导轨(32)内,第三长方形板(35)的每个宽边固接有一个第二滑轮(38),每个第二滑轮(38)安装于另一条导轨(32)内,第一动力源带动第一长方形板(33)与第二长方形板(34)同步转动连接;
纵向板总成包括第五长方形板(39)及第六长方形板(61),第五长方形板(39)与第六长方形板(61)均水平放置且相互并行呈间距设置于密封板(31)顶面,第五长方形板(39)与第一长方形板(33)垂直设置,第五长方形板(39)的外侧长边与方形孔的一个竖向侧壁转动连接,第六长方形板(61)的外侧长边与方形孔的另一个竖向侧壁转动连接,方形孔的两个竖向侧壁分别与第一长方形板(33)至第四长方形板(36)呈间隙(62)设置,所述间隙(62)分别被第五长方形板(39)以及第六长方形板(61)密封覆盖,第二动力源带动第五长方形板(39)与第六长方形板(61)同步转动连接,真空泵与电子枪外罩(02)相连接。
2.根据权利要求1所述的装置,其特征在于,所述真空密封装置还包括两个第一连接臂(64)以及两个第二连接臂(65),
第二长方形板(34)的两个长边以及第三长方形板(35)的两个长边分别固接有真空密封条(63),第一长方形板(33)的内侧长边以及第四长方形板(36)的内侧长边均固接有真空密封条(63),
每个第一连接臂(64)的一端与第一长方形板(33)内侧长边处的一个宽侧壁转动连接,每个第一连接臂(64)的另一端与第二长方形板(34)所述一个长边处的宽侧壁转动连接,
每个第二连接臂(65)的一端与第四长方形板(36)内侧长边处的一个宽侧壁转动连接,每个第二连接臂(65)的另一端与第三长方形板(35)所述一个长边处的宽侧壁转动连接。
3.根据权利要求1所述的装置,其特征在于,每个第一滑轮(37)的固接位置为靠近第二长方形板(34)所述另一个长边的宽侧壁处,每个第二滑轮(38)的固接位置为靠近第三长方形板(35)所述一个长边的宽侧壁处。
4.根据权利要求3所述的装置,其特征在于,第五长方形板(39)的底面以及第六长方形板(61)的底面均固接有密封垫(66),密封垫(66)的底面凸起形成长条形密封块(67),所述长条形密封块(67)的形状与所述间隙(62)的形状相一致。
5.根据权利要求1至4中任一项所述的装置,其特征在于,第一动力源包括第一齿轮传动总成(71),第二动力源包括第二齿轮传动总成(81),
第一长方形板(33)的所述外侧长边的两端分别固接有一根第一轴(73),每根第一轴(73)沿第一长方形板(33)的长边方向穿射出电子枪外罩(02),且每根第一轴(73)与电子枪外罩(02)的所述穿射处为密封设置,每根第一轴(73)的外端固接有一个第一齿轮(74),每个第一齿轮(74)与第一齿轮传动总成(71)相应的动力输出齿轮相啮合,
第四长方形板(36)的所述外侧长边的两端分别固接有一根第二轴(75),每根第二轴(75)沿第四长方形板(36)的长边方向穿射出电子枪外罩(02),且每根第二轴(75)与电子枪外罩(02)的所述穿射处为密封设置,每根第二轴(75)的外端固接有一个第二齿轮(76),每个第二齿轮(76)与第一齿轮传动总成(71)相应的动力输出齿轮相啮合;
第五长方形板(39)的所述外侧长边的两端分别固接有一根第三轴(82),每根第三轴(82)沿第五长方形板(39)的长边方向穿射出电子枪外罩(02),且每根第三轴(82)与电子枪外罩(02)的所述穿射处为密封设置,每根第三轴(82)的外端固接有一个第三齿轮(83),每个第三齿轮(83)与第二齿轮传动总成(81)相应的动力输出齿轮相啮合,
第六长方形板(61)的所述外侧长边的两端分别固接有一根第四轴(84),每根第四轴(84)沿第六长方形板(61)的长边方向穿射出电子枪外罩(02),且每根第四轴(84)与电子枪外罩(02)的所述穿射处为密封设置,每根第四轴(84)的外端固接有一个第四齿轮(85),每个第四齿轮(85)与第二齿轮传动总成(81)相应的动力输出齿轮相啮合。
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