CN107090594A - 一种减压扩散炉炉口的密封装置 - Google Patents
一种减压扩散炉炉口的密封装置 Download PDFInfo
- Publication number
- CN107090594A CN107090594A CN201710259508.7A CN201710259508A CN107090594A CN 107090594 A CN107090594 A CN 107090594A CN 201710259508 A CN201710259508 A CN 201710259508A CN 107090594 A CN107090594 A CN 107090594A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- fire door
- sealing device
- depressurizing
- diffusion furnace
- ring
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000007789 sealing Methods 0.000 title claims abstract description 39
- 238000009792 diffusion process Methods 0.000 title claims abstract description 21
- 210000000078 claw Anatomy 0.000 claims abstract description 26
- 239000010453 quartz Substances 0.000 claims abstract description 25
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 25
- 238000001816 cooling Methods 0.000 claims abstract description 15
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims abstract description 11
- 239000003708 ampul Substances 0.000 claims description 22
- 238000003780 insertion Methods 0.000 claims description 5
- 230000037431 insertion Effects 0.000 claims description 5
- 238000009413 insulation Methods 0.000 claims description 5
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 abstract description 3
- 210000003739 neck Anatomy 0.000 description 14
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000006835 compression Effects 0.000 description 2
- 238000007906 compression Methods 0.000 description 2
- 230000005611 electricity Effects 0.000 description 2
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 2
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 1
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 description 1
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 1
- 230000006837 decompression Effects 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 230000002708 enhancing effect Effects 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
- 125000004437 phosphorous atom Chemical group 0.000 description 1
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C30—CRYSTAL GROWTH
- C30B—SINGLE-CRYSTAL GROWTH; UNIDIRECTIONAL SOLIDIFICATION OF EUTECTIC MATERIAL OR UNIDIRECTIONAL DEMIXING OF EUTECTOID MATERIAL; REFINING BY ZONE-MELTING OF MATERIAL; PRODUCTION OF A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; SINGLE CRYSTALS OR HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; AFTER-TREATMENT OF SINGLE CRYSTALS OR A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; APPARATUS THEREFOR
- C30B31/00—Diffusion or doping processes for single crystals or homogeneous polycrystalline material with defined structure; Apparatus therefor
- C30B31/06—Diffusion or doping processes for single crystals or homogeneous polycrystalline material with defined structure; Apparatus therefor by contacting with diffusion material in the gaseous state
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/02—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof
- H01L21/04—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer
- H01L21/18—Manufacture or treatment of semiconductor devices or of parts thereof the devices having potential barriers, e.g. a PN junction, depletion layer or carrier concentration layer the devices having semiconductor bodies comprising elements of Group IV of the Periodic Table or AIIIBV compounds with or without impurities, e.g. doping materials
- H01L21/22—Diffusion of impurity materials, e.g. doping materials, electrode materials, into or out of a semiconductor body, or between semiconductor regions; Interactions between two or more impurities; Redistribution of impurities
- H01L21/223—Diffusion of impurity materials, e.g. doping materials, electrode materials, into or out of a semiconductor body, or between semiconductor regions; Interactions between two or more impurities; Redistribution of impurities using diffusion into or out of a solid from or into a gaseous phase
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L31/00—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
- H01L31/18—Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment of these devices or of parts thereof
- H01L31/1876—Particular processes or apparatus for batch treatment of the devices
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02E—REDUCTION OF GREENHOUSE GAS [GHG] EMISSIONS, RELATED TO ENERGY GENERATION, TRANSMISSION OR DISTRIBUTION
- Y02E10/00—Energy generation through renewable energy sources
- Y02E10/50—Photovoltaic [PV] energy
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
- Y02P70/00—Climate change mitigation technologies in the production process for final industrial or consumer products
- Y02P70/50—Manufacturing or production processes characterised by the final manufactured product
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Medical Preparation Storing Or Oral Administration Devices (AREA)
Abstract
本发明涉及太阳能电池板制造设备技术领域，尤其为一种减压扩散炉炉口的密封装置，包括石英管及炉门，炉门包括内层及外层，内层与外层间设有冷却腔，内层设有外圈及内圈，外圈及内圈之间设有放置槽，外圈装有密封圈，外圈另一侧设有卡槽，内层与外层在端面处设有回水腔，回水腔与冷却腔连通，冷却腔处设有进水口，回水腔处设有出水口，外层的端盖设有圆柱，端盖上还设有多个支撑杆，支撑杆通过销连接支撑爪，支撑爪的一端卡接于卡槽，另一端活动链接块，所述块设于圆管上，所述圆管套设在圆杆上，所述圆杆的一端与圆柱螺纹连接，另一端设有方形块。加强炉门的密封性及炉内温度平稳。
Description
技术领域
本发明涉及太阳能电池板制造设备技术领域，具体为一种减压扩散炉炉口的密封装置。
背景技术
在光伏行业中，高温扩散炉主要用于对硅片进行掺杂形成PN结。随着对太阳能电池片质量的要求越来越高，传统的常压高温扩散炉的掺杂均匀性已经无法满足电池片的质量要求，因此低压扩散炉应运而生，然而低压扩散工艺需要在低于常压的环境下进行，炉门的密封性能直接影响生产质量。
现有技术中的炉门密封装置，多数都是靠炉门密封圈与石英炉的挤压，依靠密封圈的自身变形达到密封的目的，无法达到密封要求，因此加强炉门的密封性非常必要。
发明内容
本发明的目的在于提供一种减压扩散炉炉口的密封装置，以解决上述背景技术中提出的问题。所述减压扩散炉炉口的密封装置具有增强炉门密封性的特点。
为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：
一种减压扩散炉炉口的密封装置，包括石英管及炉门，所述炉门包括由螺栓连接的内层及外层，内层与外层在圆周连接处设有冷却腔，所述内层在圆周处设有外圈及内圈，所述外圈及内圈之间设有放置槽，外圈靠近放置槽一侧装有密封圈，外圈另一侧且靠近密封圈处设有卡槽，内层与外层在端面连接处设有回水腔，所述回水腔与冷却腔连通，冷却腔处设有进水口，回水腔处设有出水口，所述外层的端盖中间设有圆柱，所述端盖上绕圆柱还设有多个支撑杆，所述支撑杆活动连接支撑爪，支撑爪的一端卡接于卡槽，另一端活动链接块，所述块设于圆管上，所述圆管套设在圆杆上，所述圆杆的一端与圆柱螺纹连接，另一端设有方形块。
优选的，所述卡槽内设有软胶垫。
优选的，所述支撑爪卡接于卡槽的一端设有凸起，另一端设有沉孔，块位于沉孔内。
优选的，所述沉孔内装有弹簧，所述弹簧靠近沉孔孔口的一端连接块。
优选的，所述支撑爪上在与支撑杆连接处设有方形槽，方形槽的长度大于支撑杆的宽度。
优选的，所述支撑杆的端部设有通孔并位于方形槽内，销穿过通孔及方形槽连接支撑爪。
优选的，所述外圈及内圈之间放置槽的槽宽与石英管的厚度匹配，槽宽大于石英管的厚度。
优选的，所述圆柱中心凹槽的底部设有贯通的小孔。
优选的，所述内圈上设有多个插槽，靠近石英管处插入隔热板，靠近炉门处插入导热板。
与现有技术相比，本发明的有益效果是：本石英管放入放置槽并紧贴密封圈，向外旋出圆杆，支撑爪抓住在炉门外圈的卡槽内，并压紧卡槽；卡槽靠近密封圈，支撑爪压紧卡槽后，使密封圈进一步压紧，加强炉门的密封性，避免在负压状态下，外接污染源进入石英管内，影响电池片的扩散质量；另一方面冷却腔冷却后的水进入回水腔，提高炉门端盖的温度，缩小炉门与石英管之间的温差，保证石英管内部的热平衡。
附图说明
图1为本发明结构示意图；
图2为本发明支撑爪打开示意图；
图3为本发明炉门侧视图；
图4为本发明A-A剖视图。
图中：1石英管、2炉门、21内圈、22卡槽、23冷却腔、24支撑杆、25圆柱、201内层、202外层、231回水腔、3隔热板、4密封圈、5软胶垫、6支撑爪、61凸起、62沉孔、7圆杆、72方形块、8圆管、81块、9弹簧、10螺母、11导热板、12进水口、13出水口、14螺栓。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
请参阅图1-4，本发明提供一种技术方案：
一种减压扩散炉炉口的密封装置，包括石英管1及炉门2，炉门2包括由螺栓14连接的内层201及外层202，内层201与外层202在圆周连接处设有冷却腔23，内层201在圆周处设有外圈及内圈21，外圈及内圈21之间设有放置槽，外圈靠近放置槽一侧装有密封圈4，外圈另一侧且靠近密封圈4处设有卡槽22，内层201与外层202在端面连接处设有回水腔231，回水腔231与冷却腔23连通，冷却腔23处设有进水口12，回水腔231处设有出水口13，所述外层202的端盖中间设有圆柱25，端盖上绕圆柱25还设有多个支撑杆24，支撑杆24通过销连接支撑爪6，支撑爪6的一端设有凸起61，另一端设有沉孔62，块81位于沉孔62内，块81设于圆管8上，圆管8套设在圆杆7上，圆杆7的一端与圆柱25螺纹连接，另一端设有方形块72且在圆管8与方形块72之间还设有螺纹。
卡槽22内设有软胶垫5，向外旋出圆杆7，支撑爪6上的凸起61抓住在炉门2外圈的卡槽22内，软胶垫5可保护炉门2，避免凸起61与炉门2刚性接触，损坏炉门2。
支撑杆24的端部及支撑爪6上设有用于销连接的通孔，支撑爪6上设有方形槽，方形槽的两侧设有孔。支撑爪6上方形槽的长度大于支撑杆24的长度，使旋出或旋入圆杆7时，支撑爪6与支撑杆24相对转动使，两者之间不会卡滞。
沉孔62内装有弹簧9，弹簧9靠近沉孔62孔口的一端连接块81。向外旋出圆杆7时，支撑爪6关闭时，压缩弹簧9。
外圈及内圈21之间放置槽的槽宽大小取决于石英管1的厚度，槽宽大于石英管1的厚度。
圆柱25中心凹槽的底部设有贯通的小孔，圆杆7向凹槽内旋入时，避免凹槽内部形成高压使圆杆7无法旋入。
内圈21上设有多个插槽，靠近石英管1处插入隔热板3，靠近炉门2处插入导热板11。冷却腔23中的水热交换后进入回水腔231，与导热板11热交换，提高炉门2端盖的温度，减少隔热板3两侧炉门2与石英管1内的温度差，稳定石英管1内的温度平衡。
本实施例中，向外旋出圆杆7时，支撑爪6抓住在炉门2外圈的卡槽22内，并压紧卡槽22；卡槽22靠近密封圈4，支撑爪6压紧卡槽22后，使密封圈4进一步压紧，加强炉门2的密封性，避免在负压状态下，外接污染源进入石英管1内，影响电池片的扩散质量；另一方面冷却腔23冷却后的水进入回水腔231，提高炉门2端盖的温度，缩小炉门2与石英管1之间的温差，保证石英管1内部的热平衡。
本实施例实施后产生的效果如下，
1、电池片方阻均匀性改善：
方阻的大小是由扩散到硅片中磷原子量来决定。均匀性计算公式：(Rmax-Rmin)/(Rmax+Rmin)。均匀性越好，说明扩散的越均匀，均匀性数值越小均匀性越好。通过测试5组电池片四周的4个点和中心点的方阻值，来计算方阻的均匀性，并提供5组现有技术的5组电池片作为对照，数据得出如下表。
由表中数据看出本实施例加强炉门2的密封性，并稳定石英管1内的温度平衡，电池片的方阻均匀性明显好转。
2、效率提升：
因石英管1内温度平衡及炉门2的密封性变好，电池片的扩散环境好转，电池片的平均转换效率也有所提升，由之前的18.233％提升为18.274％。
尽管已经示出和描述了本发明的实施例，对于本领域的普通技术人员而言，可以理解在不脱离本发明的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型，本发明的范围由所附权利要求及其等同物限定。
Claims (9)
1.一种减压扩散炉炉口的密封装置，包括石英管(1)及炉门(2)，所述炉门(2)包括由螺栓(14)连接的内层(201)及外层(202)，内层(201)与外层(202)在圆周连接处设有冷却腔(23)，所述内层(201)在圆周处设有外圈及内圈(21)，所述外圈及内圈(21)之间设有放置槽，外圈靠近放置槽一侧装有密封圈(4)，其特征在于，外圈另一侧且靠近密封圈(4)处设有卡槽(22)，内层(201)与外层(202)在端面连接处设有回水腔(231)，所述回水腔(231)与冷却腔(23)连通，冷却腔(23)处设有进水口(12)，回水腔(231)处设有出水口(13)，所述外层(202)的端盖中间设有圆柱(25)，所述端盖上绕圆柱(25)还设有多个支撑杆(24)，所述支撑杆(24)活动连接支撑爪(6)，支撑爪(6)的一端卡接于卡槽(22)，另一端活动链接块(81)，所述块(81)设于圆管(8)上，所述圆管(8)套设在圆杆(7)上，所述圆杆(7)的一端与圆柱(25)螺纹连接，另一端设有方形块(72)。
2.根据权利要求1所述的一种减压扩散炉炉口的密封装置，其特征在于：所述卡槽(22)内设有软胶垫(5)。
3.根据权利要求1所述的一种减压扩散炉炉口的密封装置，其特征在于：所述支撑爪(6)卡接于卡槽(22)的一端设有凸起(61)，另一端设有沉孔(62)，块(81)位于沉孔(62)内。
4.根据权利要求3所述的一种减压扩散炉炉口的密封装置，其特征在于：所述沉孔(62)内装有弹簧(9)，所述弹簧(9)靠近沉孔(62)孔口的一端连接块(81)。
5.根据权利要求1所述的一种减压扩散炉炉口的密封装置，其特征在于：所述支撑爪(6)上在与支撑杆(24)连接处设有方形槽，方形槽的长度大于支撑杆(24)的宽度。
6.根据权利要求5所述的一种减压扩散炉炉口的密封装置，其特征在于：所述支撑杆(24)的端部设有通孔并位于方形槽内，销穿过通孔及方形槽连接支撑爪(6)。
7.根据权利要求1所述的一种减压扩散炉炉口的密封装置，其特征在于：所述外圈及内圈(21)之间放置槽的槽宽与石英管(1)的厚度匹配，槽宽大于石英管(1)的厚度。
8.根据权利要求1所述的一种减压扩散炉炉口的密封装置，其特征在于：所述圆柱(25)中心凹槽的底部设有贯通的小孔。
9.根据权利要求1所述的一种减压扩散炉炉口的密封装置，其特征在于：所述内圈(21)上设有多个插槽，靠近石英管(1)处插入隔热板(3)，靠近炉门(2)处插入导热板(11)。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201710259508.7A CN107090594B (zh) | 2017-04-20 | 2017-04-20 | 一种减压扩散炉炉口的密封装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201710259508.7A CN107090594B (zh) | 2017-04-20 | 2017-04-20 | 一种减压扩散炉炉口的密封装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN107090594A true CN107090594A (zh) | 2017-08-25 |
| CN107090594B CN107090594B (zh) | 2019-03-15 |
Family
ID=59637334
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201710259508.7A Active CN107090594B (zh) | 2017-04-20 | 2017-04-20 | 一种减压扩散炉炉口的密封装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN107090594B (zh) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN112210831A (zh) * | 2020-09-14 | 2021-01-12 | 阳忠海 | 一种光伏电池制造用扩散炉 |
Citations (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4573431A (en) * | 1983-11-16 | 1986-03-04 | Btu Engineering Corporation | Modular V-CVD diffusion furnace |
| KR20010046360A (ko) * | 1999-11-12 | 2001-06-15 | 박종섭 | 저압화학기상증착용 확산로 |
| CN102586885A (zh) * | 2012-03-20 | 2012-07-18 | 常州亿晶光电科技有限公司 | 一种扩散炉的柔性密封启闭装置 |
| CN202989354U (zh) * | 2012-10-25 | 2013-06-12 | 湖南红太阳光电科技有限公司 | 高温减压扩散炉 |
| CN103866393A (zh) * | 2014-03-13 | 2014-06-18 | 中国电子科技集团公司第四十八研究所 | 一种减压扩散炉反应管的密封装置 |
| CN203947185U (zh) * | 2014-05-29 | 2014-11-19 | 江阴鑫辉太阳能有限公司 | 石英管扩散炉炉门 |
| CN204039548U (zh) * | 2014-07-23 | 2014-12-24 | 中国电子科技集团公司第四十八研究所 | 一种减压扩散炉炉口密封装置 |
| CN205011866U (zh) * | 2015-08-31 | 2016-02-03 | 深圳丰盛装备股份有限公司 | 一种低压扩散炉 |
| CN205062232U (zh) * | 2015-10-13 | 2016-03-02 | 合肥睿晶科技股份有限公司 | 一种低压扩散炉 |
| CN105483831A (zh) * | 2015-12-04 | 2016-04-13 | 湖南红太阳光电科技有限公司 | 用于减压扩散系统的二级密封装置 |
| CN105543976A (zh) * | 2015-12-14 | 2016-05-04 | 中国电子科技集团公司第四十八研究所 | 一种减压扩散炉炉口冷却密封装置 |
-
2017
- 2017-04-20 CN CN201710259508.7A patent/CN107090594B/zh active Active
Patent Citations (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4573431A (en) * | 1983-11-16 | 1986-03-04 | Btu Engineering Corporation | Modular V-CVD diffusion furnace |
| KR20010046360A (ko) * | 1999-11-12 | 2001-06-15 | 박종섭 | 저압화학기상증착용 확산로 |
| CN102586885A (zh) * | 2012-03-20 | 2012-07-18 | 常州亿晶光电科技有限公司 | 一种扩散炉的柔性密封启闭装置 |
| CN202989354U (zh) * | 2012-10-25 | 2013-06-12 | 湖南红太阳光电科技有限公司 | 高温减压扩散炉 |
| CN103866393A (zh) * | 2014-03-13 | 2014-06-18 | 中国电子科技集团公司第四十八研究所 | 一种减压扩散炉反应管的密封装置 |
| CN203947185U (zh) * | 2014-05-29 | 2014-11-19 | 江阴鑫辉太阳能有限公司 | 石英管扩散炉炉门 |
| CN204039548U (zh) * | 2014-07-23 | 2014-12-24 | 中国电子科技集团公司第四十八研究所 | 一种减压扩散炉炉口密封装置 |
| CN205011866U (zh) * | 2015-08-31 | 2016-02-03 | 深圳丰盛装备股份有限公司 | 一种低压扩散炉 |
| CN205062232U (zh) * | 2015-10-13 | 2016-03-02 | 合肥睿晶科技股份有限公司 | 一种低压扩散炉 |
| CN105483831A (zh) * | 2015-12-04 | 2016-04-13 | 湖南红太阳光电科技有限公司 | 用于减压扩散系统的二级密封装置 |
| CN105543976A (zh) * | 2015-12-14 | 2016-05-04 | 中国电子科技集团公司第四十八研究所 | 一种减压扩散炉炉口冷却密封装置 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN112210831A (zh) * | 2020-09-14 | 2021-01-12 | 阳忠海 | 一种光伏电池制造用扩散炉 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| CN107090594B (zh) | 2019-03-15 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN107090594A (zh) | 一种减压扩散炉炉口的密封装置 | |
| CN205790109U (zh) | 一种圆柱电池组 | |
| CN207587929U (zh) | 一种散热均匀的锂电池散热板 | |
| CN106064517A (zh) | 瓦楞纸板双面机薄型热板 | |
| CN106532083A (zh) | 一种含水热管理结构设计的燃料电池连接模块 | |
| CN201601940U (zh) | 一种水冷散热模块 | |
| CN209169328U (zh) | 一种带组合热管的圆柱形电池液冷模组 | |
| CN213042910U (zh) | 一种具有一体化设计的液冷系统 | |
| CN212029910U (zh) | 一种熔盐流体用传热管及其吸热器 | |
| CN204514152U (zh) | 一种可热电回收lng冷能的开架式气化器换热管 | |
| CN206236752U (zh) | 一种含水热管理结构设计的燃料电池连接模块 | |
| CN207763523U (zh) | 一种可变换流程数的凝汽器 | |
| CN208063599U (zh) | 一种耐低温的无功补偿控制器 | |
| CN207624868U (zh) | 箱式电池储能液冷系统 | |
| CN202885609U (zh) | 联体板式换热器 | |
| CN206378021U (zh) | 复合型冷凝式高铁热交换器 | |
| CN111256375A (zh) | 一种熔盐流体用传热管及其吸热器 | |
| CN204899990U (zh) | 一种亚临界300mw机组低压模块 | |
| CN218380437U (zh) | 一种石墨化炉 | |
| CN217836899U (zh) | 一种化制罐的加热装置 | |
| CN108800992A (zh) | 一种提高热交换效率的热交换器 | |
| CN208298894U (zh) | 一种新型带管路式铜镍复合片的液冷模组 | |
| CN214094931U (zh) | 一种组装式加热器 | |
| CN208062119U (zh) | 一种液冷可扩展式软包模组 | |
| CN213362652U (zh) | 一种单暖气片的多组合结构 |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| PB01 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| TR01 | Transfer of patent right |
Effective date of registration: 20220511 Address after: 230088 southwest corner of the intersection of Changning Avenue and Xiyou Road, high tech Zone, Hefei City, Anhui Province Patentee after: TONGWEI SOLAR ENERGY (ANHUI) Co.,Ltd. Address before: No. 888, Changning Avenue, high tech Zone, Hefei City, Anhui Province, 230088 Patentee before: TONGWEI SOLAR ENERGY (HEFEI) Co.,Ltd. |
|
| TR01 | Transfer of patent right |