CN107073210A - 微流体装置和制造 - Google Patents

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G.J. Davis
P prevett
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Abstract

描述了用于批量制造新型微流体装置的方法。微流体装置可以包括具有开口通道的微型针的阵列，开口通道与位于支撑微型针的基板内的多个贮液器流体连通。微型针被构造成充分刺穿皮肤，以对体液进行收集或取样并且将体液传送到贮液器。微型针还可将药物传递到皮肤中或皮肤下方。

Description

微流体装置和制造
技术领域
本发明涉及微流体装置的领域。具体地，本发明涉及用于刺入表皮层并且将流体传递到人类或动物身体或者从人类或动物身体取样流体的微型针。本发明还涉及：贴片或微流体装置，其包括用于传递体液的微型针的阵列；和制造微型针和贴片或微流体装置的方法。
背景技术
长久以来，从身体汲取流体并且将流体和药物引入身体内被用作治疗和诊断动物和人类二者体内的身体状况的惯例。通常，用皮下注射针或类似的导管装置来进行这些过程。
存在与皮下注射针关联的许多不足，尤其是被注射时的疼痛体验，疼痛体验在不舒服至极端疼痛之间变动。恐针可造成并发症：诸如末梢血管收缩的生理反应或使患者坐立不安或斗志变差的物理反应。
期望当与身体进行流体传递(进出身体)时减少患者感觉到的疼痛感。然而，更严重的不足是使用皮下注射针来执行过程所需的操作人员的技术水平。保证和确保获得具有必要训练水平的人员会为医疗实践带来资源负担和预算约束。在最差的情况下，可能妨碍患者接收必要的治疗。
对于某些患者(特别是婴儿、儿童和老年人)，可存在一系列与使用皮下注射针关联的静脉通路并发症，例如，静脉变脆、静脉可视性和可触知性、低血压、血容不足、末梢血管收缩、淤痕性或受损静脉和静脉转动，从而造成穿刺困难。
诸如机器加工或蚀刻的减成制造方法有物理限制，所述物理限制使所述制造方法应用限于制造微型针和微流体医疗装置。这些物理限制意指微流体装置内的进行皮肤穿刺和流体运送所需的一些而并非所有几何特征被批量制作，这是经济的。化学湿蚀刻(Yun,S.-S.,A.Jae-Yong,M.Seung-Hwan和L.Jong-Hyun.In-plane microneedle chipfabricated by crystalline wet etching of(110)silicon wafer.in Solid-StateSensors,Actuators and Microsystems Conference,2009.TRANSDUCERS2009.International.2009)、深反应离子蚀刻(Wilke,N.,A.Mulcahy,S.R.Ye和A.Morrissey，Process optimization and characterization of silicon microneedlesfabricated by wet etch technology.Microelectronics Journal,2005.36(7):p.650-656)、表面/体微加工(Izumi,H.和S.Aoyagi，Novel fabrication method for longsilicon microneedles with three-dimensional sharp tips and complicated shankshapes by isotropic dry etching.IEEJ Transactions on Electrical andElectronic Engineering,2007.2(3):p.328-334)、激光打孔(Parker,E.R.,M.P.Rao,K.L.Turner,C.D.Meinhart,and N.C.MacDonald,Bulk Micromachined TitaniumMicroneedles.Microelectromechanical Systems,Journal of,2007.16(2):p.289-295)和拉延光刻技术(Lee,K.and H.Jung,Drawing lithography for microneedles:A reviewof fundamentals and biomedical applications.Biomaterials,2012.33(30):p.7309-7326；和Xiang,Z.L.,H.Wang,A.Pant,G.Pastorin和C.Lee的Development of verticalSU-8microneedles for transdermal drug delivery by double drawing lithographytechnology Biomicrofluidics,2013.7(6)缺少用理论计算机辅助图来准确制造三维微流体装置的精度。例如，可使用各向同性和各向异性(波希法)深反应离子蚀刻(DRIE)处理来蚀刻高密度纳米凸起阵列(Jenkins,D.,S.Corrie,C.Flaim和M.Kendall,High densityand high aspect ratio solid micro-nanoprojection arrays for targeted skinvaccine delivery and specific antibody extraction.RSC Advances,2012.2(8):p.3490-3495)，但没有供流体在真皮和微型医疗装置之间传递以便收集和/或分析的微流体通道。另外，DRIE不适于制造具有侧通道的较长微型针(>300微米高度/长度)(FarajiRad,Z.,Microneedles Fabrication for Subcutaneous Fluid Sampling and DrugDelivery,in Graduate School of Biomedical Engineering.2015,University of NewSouth Wales:Sydney.p.181)。长度小于300微米的微型针会由于穿刺深度不够而不适于收集体液。
为了廉价地普遍应用出于诊断或治疗目的的微流体装置，需要高度经济的批量制造技术。特别地，每个单元的成本需要足够低，以便广泛用于第三世界国家。
这些现有技术的方法或装置都没有提供用于提供具有微型针的微流体装置的完全令人满意的解决方案，也没有提供易于微流体装置的批量制造的完全令人满意的解决方案。
除非出现相反指示，否则本文中对已知现有技术的任何提及都没有承认此现有技术是在本专利申请的优先权日期对本发明所属领域的技术人员是公知的。
发明内容
本发明的目的是提供克服或改进了现有技术的不足或者至少提供了可用选择的替代的微流体或微型针装置和批量制造的方法。
在一个形式中，本发明提供了一种复制微流体装置的方法，该方法包括以下步骤：提供所述微流体装置的母模；铸造所述母模的模具；将所述模具与所述母模分开；将带有热塑性材料的所述模具恒温加热至足够高的温度；保持所述足够高的温度；将所述热塑性材料压缩到所述模具中，达到足够高的压力；保持所述足够高的压力；在大致相同的时间段内，同时减少压缩和加热；以及将所述模具与所述复制微流体装置分开。
在另一个形式中，本发明提供了一种通过利用微流体装置的母模进行压印来用热塑性材料制造复制微流体装置的改进方法，其中，所述改进包括以下步骤：将带有热塑性材料的模具恒温加热至足够高的温度；保持所述足够高的温度；将所述热塑性材料压缩到所述模具中，达到足够高的压力；保持所述足够高的压力；以及在大致相同的时间段内，同时减少压缩和恒温加热。
压缩步骤一直持续进行，直到所述热塑性材料的体积流穿越并进入所述模具中的过程完成。
恒温加热步骤包括所述热塑性材料的表面流进入所述模具中。
在执行压缩步骤达所述足够高的压力之前，所述足够高的温度引起所述热塑性材料的穿越所述模具的表面流。
所述足够高的温度选自比所述热塑性材料的玻璃转变温度高30℃至55℃的大致范围，或者选自比所述热塑性材料的玻璃转变温度高55℃至65℃的大致范围。
对于环烯烃聚合物而言，所述足够高的温度是大致160℃。
将所述足够高的温度的变化保持在大致+/-1℃内或者在大致+/-0.1℃内。
将所述足够高的压力的变化保持在大致+/-1kPa内或者在大致+/-0.1kPa内。
所述热塑性材料是以下中的至少一种：医疗级塑料、环烯烃聚合物、1060R、聚四氟乙烯(PTFE)、聚醚醚酮(PEEK)、聚苯乙烯和聚碳酸酯。
在所述方法中，模具材料是以下中的至少一种：硅酮弹性体、弹性体、硅橡胶、聚二甲硅氧烷(PDMS)、SYLGARD 184硅酮弹性体、聚氨酯弹性体合金、橡胶和乳胶。
所述微流体装置包括微型针的阵列。
所述微流体装置包括与多个微型针的至少一个开口通道流体连通的至少一个贮液器。
所述微流体装置包括具有多个通道的直立叶片，所述多个通道顺着所述直立叶片向下延伸到至少一个贮液器。
所述方法还包括以下步骤：通过针对同一模具重复恒温加热步骤来制造其他复制微流体装置。
在替代形式中，本发明提供了一种制造用于传递流体的复制微型针的方法，该方法包括以下步骤：
(a)利用微型针的母模，用弹性材料铸造模具，所述母模具有：微型针主体，所述微型针主体在第一端处具有用于刺穿表皮层的尖头顶端；底部，所述底部在所述微型针主体的对向的第二端处；以及开口通道，所述开口通道沿着所述微型针主体的侧面从所述第一端延伸到所述第二端；
(b)将热的热塑性材料施加到所述模具中，以形成所述复制微型针；以及
(c)将模制的所述复制微型针与所述模具分开。
在另一个形式中，本发明提供了一种根据本文中描述的方法制成的复制微流体装置。
在其他形式中，本发明提供了一种复制微流体装置，该复制微流体装置包括：在支撑构件上的多个微型针；在所述支撑构件中的至少一个贮液器；以及在至少一个微型针和所述至少一个贮液器之间提供流体传递的通道；其中，所述复制微流体装置的母模的至少一个突起特征的大致至少1400:1的第一尺寸比也是所述复制微流体装置中的尺寸比。
所述第一尺寸比是所述多个微型针的高度与所述多个微型针的顶端的曲率半径之比。
该装置还包括复制贮液器特征的第二尺寸比，即深度与宽度之比，所述第二尺寸比是大致至少5:1。
该装置还包括复制孔或复制腔的第三尺寸比，即深度与直径之比，所述第三尺寸比是大致至少20:1。
该装置还包括所述复制微流体装置的所述母模的不到500纳米的至少一个细小特征分辨率，所述至少一个细小特征分辨率也被复制在所述复制微流体装置中。
在所述装置中，所述复制微流体装置的所述多个微型针的高度在650微米至1000微米的大致范围内。
所述复制微流体装置的贮液器的深度是至少100微米。
在所述装置中，开口的所述通道的深度在20微米至100微米的大致范围内。
在所述装置中，所述复制微流体装置的每个微型针具有至少大致1牛顿的屈服强度。
在所述装置中，所述至少一个贮液器和至少一个通道的表面是亲水性的并且所述复制微流体装置的其他表面是疏水性的。
在另一个形式中，本发明提供了一种用于传递流体的微型针，所述微型针包括：主体，所述主体在第一端具有用于刺穿表皮层的尖头顶端；底部，所述底部在所述主体的对向的第二端处；以及开口通道，所述开口通道沿着所述主体的侧面从所述第一端延伸到所述第二端；其中，所述开口通道被构造成将流体在所述微型针的所述顶端和所述底部之间传递。
在另一个形式中，本发明提供了一种贴片，所述贴片包括前述权利要求中任一项所描的微型针的阵列，多个微型针被支撑在支撑构件上。
延伸到所述贴片的所述支撑构件中的多个开口通道形成与至少一个贮液器连通的通道网络。
对所述贴片中的所述通道网络进行预处理，以对体液内的预定物质的存在做出反应。
预处理是包含用于分析物检测的至少一种试剂的凝胶。
在其他形式中，本发明提供了：一种大体如本文中描述的复制微流体装置的方法；一种大体如本文中描述的复制微流体装置；一种大体如本文中描述的微型针；一种大体如本文中描述的贴片；一种大体如本文中描述的微流体装置；以及一种大体如本文中描述的微型叶片。
根据本发明的另一个实施方式，提供了一种用于传递流体的微型针，该微型针包括：主体，所述主体在第一端处具有用于刺穿表皮层的尖头顶端；底部，所述底部在所述主体的对向的第二端处；以及开口通道，所述开口通道沿着所述主体的侧面从所述第一端延伸到所述第二端，其中，所述开口通道被构造成将流体在所述微型针的所述顶端和所述底部之间传递。
本发明的微型针提供了一种皮下注射针的替代物，该替代物使得当刺穿表皮层触及身体内的皮下液体时患者体验到的疼痛最小。微型针如此小和/或光滑和/或尖锐，使得单个微型针或多个微型针可被插入通过表皮层，而使被刺穿的表皮层的感觉(如果有的话)最小。
本发明的其他优点减少了当触及皮下液体时对熟练操作人员的要求，因为微型针改善了找到并正确刺穿个体血管的必要性。微型针或多个微型针可仅仅位于患者的表皮层或皮肤上的几乎任何可触及位置处。这样使得从患者收集流体或将流体引入患者中是较简单的过程，降低了错误机会。
为了皮下抽取血液和细胞间质液，微型针必须足够长，以刺穿皮下毛细血管丛。然而，还必须保持足够窄，以便使刺穿表皮层时的疼痛最小。当增大微型针的长度与宽度之比时，微型针的几何形状变得更容易屈曲。本发明的微型针被构造并且制造成提供以上优点，而没有屈曲。该微型针提供了开口通道，开口通道凭借毛细管作用沿着微型针抽取流体。微型针的表面中的开口通道的构造消除了与中空针关联的几何设计限制，并且还使得能够使用之前不可应用于中空针和皮下注射器制造的制造技术。
在优选的实施方式中，底部设置在支撑构件上。底部可与支撑构件一体地形成。
在一个实施方式中，微型针的底部向外扩大。另选地或另外地，微型针的底部包括在主体的第二端处的周缘环状裙部。
在一个实施方式中，开口通道可沿着微型针的尖头顶端延伸。
微型针还可包括贮液器。微型针的贮液器可设置在微型针的底部内并且被构造成收集体液。另选地，贮液器可被配置成贮存待传递到皮下的流体药物。
在一个实施方式中，微型针是实心的。微型针可以是大体圆柱形。微型针的尖头顶端可以是圆锥形和/或微型针的尖头顶端可相对于显微针的中轴线离心地设置。
微型针可包括沿着主体延伸的多个开口通道，其中，所述多个开口通道围绕微型针的周缘等距离地分隔开。
在优选实施方式中，开口通道被配置成具有成圆形的横截面。开口通道优选地沿着微型针线性延伸。另选地，开口通道包围微型针。
开口通道优选地延伸到微型针的底部中，并且可过渡到微型针的贮液器中，贮液器尤其是在微型针的底部中或支撑构件中。随着开口通道延伸到微型针的底部中，开口通道的宽度增大。
在一个实施方式中，微型针的主体内的多个开口通道与单个贮液器连通。
在实施方式中，微型针的主体内的开口通道的深度是大约30μm。微型针的表面可以是亲水性的或至少部分是亲水性的。
可按各种方式来处理微型针。例如，可用表面活性剂来处理微型针的外表面的一部分。另选地，可用金属涂层来处理微型针的外表面。此外，可用氧等离子体来处理微型针的外表面，以对表面进行静电充电。另外，可用酸或碱或酸类溶液来处理微型针的外表面。
在本发明的另一个实施方式中，提供了一种包括微型针的阵列的贴片，该微型针的阵列被支撑在支撑构件上。
通过将多个微型针组合成阵列，可在任何给定时间来传递更大数量的皮下液体。多个微型针均被构造成具有开口的侧通道，开口的侧通道通过毛细管芯吸来传递体液。这些开口通道沿着多个显微针并且在支撑构件上形成收集贮液器的网络。
微型针和/或支撑构件中的每个可设置有贮液器，该贮液器被构造成：从周围的微型针收集流体；将流体和药物分散到皮下；或者用用于测量所抽取的皮下液体中的分析物浓度的比色荧光测定试剂进行部分填充。
通过将反应物放置在开口通道网络内来处理微型针和/或贮液器表面的能力有助于床旁治疗和诊断。在抽取流体和流体测试结果之间可存在明显的时间延迟。时间延迟增加了治疗/诊断处理中的低效，并且如此更快提供结果和不再使样本有机会混合是本发明的微型针的全部优点。
在优选实施方式中，多个微型针中的每个的开口通道从微型针的底部延伸到支撑构件中的开口通道中。多个微型针和开口通道遍及贴片的收集面。支撑构件中的多个开口通道可遍及贴片的支撑构件，从而形成通道网络，其中，通道网络包括多个微型针和贮液器。
在另一个实施方式中，通道网络内的单个贮液器同时与至少四个微型针直接流体连通。
在实施方式中，贮液器被构造成是闭合的，其密封底部被构造成贮存流体。支撑构件的开口通道可将流体穿越支撑构件传送到贴片的收集面上的区域，在该区域中可执行分析或检测分析。另选地，支撑构件可包括贯穿通道，以提供从贴片的收集面到贴片的反面的至少一个通道，可在贴片的反面中进行检测分析或分析。贴片的反面可被构造成与用于收集来自多个贮液器的流体的容器流体连通。
在特定实施方式中，贮液器的容积是至少1纳升。
在其他实施方式中，每对微型针被构造成与单个贮液器连通。通道的网络优选地提供与多个贮液器的连通。
在其他实施方式中，开口通道过渡到贮液器中，使得通道内的流体的弯月面背离流体前进方向弯曲。只要弯月面是凹的，开口通道中的流体流方向是朝向气相。
在另一个实施方式中，对贮液器进行预处理，以对体液内的预定物质的存在做出反应。另外，可对通道网络进行预处理，以对体液内的预定物质的存在做出反应。另外，预处理可以包含用于分析物检测的试剂的凝胶。
在本发明的其他实施方式中，提供了一种制造用于传递流体的微型针的方法，该方法包括以下步骤：(a)利用微型针的模，用弹性材料铸造模具，所述模包括：微型针主体，所述微型针主体在第一端处具有用于刺穿表皮层的尖头顶端；底部，所述底部在所述主体的对向的第二端处；以及开口通道，所述开口通道沿着所述微型针主体的侧面从所述第一端延伸到所述第二端；(b)在所述模具上模制热的热塑性材料，以形成微型针；以及(c)将模制的所述微型针与所述模具分开。
本发明的该实施方式有助于通过用3D光刻模进行复制来制造足够长以刺穿患者的皮下毛细血管丛的微型针和微型针阵列。本发明的该实施方式有助于直接实现几何设计，而没有传统加工或蚀刻过程带来的制造限制。
通常，通过深反应离子蚀刻或激光铣削来形成亚微米结构。然而，激光铣削的成本高并且不太适于大量制造。另外，深反应离子蚀刻难以控制并且没有提供几何准确性或对最终产品的几何形状和尺寸的控制。通过使用立体光刻来制造3D模，可以在不能通过中空针制造过程在商业上实现的成品微型针或微型针阵列中实现亚微米分辨率。微型针的阵列与支撑构件一体形成，在支撑构件中具有多个贮液器，并且开口通道的网络在整个支撑构件上连通在个体微型针之间。
微型针或帖片用热塑性材料来形成并且可在商业上通过软压印的过程来复制。用弹性材料(例如，硅酮弹性体)来复制3D模或母模，该弹性材料接着被用作进行热塑性压印(或软压印技术)的模具。软压印过程特别有益于模制易碎的脆性微结构，因为弹性模具是弹性体。这样降低了当将所形成的微型针脱模时脆性微结构受损的机会。微型针的开口通道设计非常适用于软压印来制造高精度、高质量、大量的微型针。
本发明的一个实施方式包括使用立体光刻或3D打印来形成模。模具的弹性材料可以是硅酮橡胶并且微型针的热塑性材料将属于医疗级。
优选地，该方法还包括用模具对热塑性材料进行热压印，以形成微型针。
优选地，该方法还包括在与模具分开之前冷却热塑料微型针的步骤。
优选地，该方法包括利用模具用硬材料来形成母模(聚合物铸造或电镀)。
本发明的其他形式在随附的权利要求书中阐述并且根据说明书是显而易见的。
附图说明
参照附图进行描述，其中：
图1是根据本发明的第一实施方式的微型针的立体图；
图2A至图2E是用扫描电子显微镜(SEM)获得的图1中的实际微型针的立体图，该立体图示出了微型针的顶端和主体之间的比率的变化；
图3是根据本发明的实施方式的微型针的3D有限元模型(FEM)，该3D FEM示出了在横向顶端负载条件下的弯曲和表面应力集中；
图4是图1的微型针的3D FEM，该3D FEM示出关于微型针的扩大底部的在横向顶部负载条件下的弯曲和表面应力集中；
图5是微型针的开口通道的剖视图，该剖视图示出了通道中的流体呈现凹液面；
图5A是图1的微型针的平面图，该平面图示出了沿着微型针的主体延伸的开口通道的构造；
图6是扩散的开口通道中的流体弯月面的示意图；
图7是示出了开口通道的扩散角度相对于通道的半径和沿着通道的距离如何变化的曲线图；
图8是示出开口通道的扩散角度相对于毛细管压力半径和沿着通道的距离如何变化的曲线图；
图9是根据本发明的第二实施方式的贴片的立体图，所述贴片包括与支撑构件联接的微型针的阵列；
图10是在图9的圆形内的放大平面图，该放大平面图示出经由贴片的开口通道与单个贮液器连通的两个微型针；
图11是根据图1的一对微型针的侧视图；
图12是图9的贴片的侧视图，该侧视图示出与每个贮液器配对的微型针之间的空间关系；
图13是包括具有四个微型针的阵列的贴片的俯视图；
图14是图13的贴片的立体图；
图15是图13的贴片的SEM照片；
图16是包括与支撑构件联接的多微型针阵列的贴片的立体图，该立体图示出多个微型针和贮液器与它们之间的开口通道网络之间的空间关系；
图17是图16的贴片的放大立体图，该放大立体图示出沿着贴片的每个微型针延伸的多个开口通道；
图18是示出根据本发明的实施方式的微型针或微型针阵列的制造中的过程步骤的流程图；
图19是形成微流体装置的具有贮液器的微型针阵列的得自扫描电子显微镜(SEM)的示意性照片；
图20是示出随时间推移的恒温室中的对应温度和针对重新配置的压力机的对应压缩/法向力的示意性曲线图；
图21至图23是示出图20中示出的新压印过程的其他处理参数的示意性曲线图；
图24是得自图19的母模的复制微流体装置的得自SEM的示意性照片，图24的复制微流体装置的照片是在其被插入兔子的皮肤中并且抽出之后获得的；
图25是超尖的复制微针顶端的得自SEM的示意性照片；
图26是关于复制微流体装置的贮液器的1微米周缘唇部的得自SEM的示意性照片；
图27是在每个圆锥形微型针的底部处具有贮液器的复制圆锥形微型针的得自SEM的一套三张的示意性照片；
图28和图29是得自光学显微镜的示意性照片，该示意性照片示出了含有被复制微型针的顶端得到并且随后被传送到所示出的微型针底部处的贮液器的绿色染料的水性流体的摄取；
图30是一时间序列的四个共焦显微图像，所述共焦显微图像示出了被图24的复制微流体装置传递的荧光素溶液扩散到兔子耳朵的皮下组织中；
图31是对纳升体积中的葡萄糖分析物进行定量以用微流体装置待进行葡萄糖检测分析的曲线图的示意图；
图32是微型叶片3210微流体装置的SEM照片的示意图；
图33至图35分别是图32的微型叶片的得自CAD图的正视图、平面图和立体图的示意图。
具体实施方式
现在，在下文中将参照附图更充分地描述本发明，在附图中示出本发明的各实施方式。本发明内容部分应被包括在该具体实施方式部分中。本发明可按许多不同形式来实施，不应该被理解为限于本文中阐述的实施方式。
期望的是，本说明书中所有对“体液”的提及都是旨在涵盖血液、细胞间质液和将从身体抽取以供进行医疗测试和诊断过程的其他液体。进一步期望的是，对“体液”和“表皮层”的提及是旨在涵盖人体、动物和其他活体。
表皮层旨在是指会对进入真皮中的微型针穿刺施加最大阻力的皮肤的“坚韧”外部部分，其中，真皮包含毛细血管。表皮层有时被称为“皮肤表皮”并且(包含血管的)表皮下方的层被称为“真皮”。
现在，参照图1，用于传递体液的微型针100的示意图包括：主体110，其在第一端112处具有用于刺穿表皮层的尖头顶端120；底部130，其在主体110的对向第二端114或底部处；以及开口通道140，其沿着主体110的侧面从第一端112延伸到第二端114，其中，通道140被构造成将皮下收集的体液从微型针100的顶端120传递到底部130。换句话说，可以通过充分刺穿皮肤的微型针对体液进行取样。
图1示出圆柱形顶端120，圆柱形顶端120具有居中位于主体110的第一端112处的尖点。在不脱离本发明的情况下，还料想到(虽然未示出)尖头顶端120可相对于主体110离心地设置。
在该实施方式中，图1中示出的微型针100的主体110是圆柱形。然而，可利用主体110的椭圆形或四边形剖面来传递皮下液体。相比于皮下注射针并且依照微型针100的尺寸，在微型针100的主体110没有恒定横截面115，即不是圆柱形的(例如以下参照图32至图35描述的微型叶片)的情况下，仍然可实现皮下穿刺。
微型针100的底部130从主体110的第二端114向外延伸，从而为微型针100提供环状边缘。主体110和扩大底部130之间的平滑过渡使在微型针100受到负载时主体110内的应力集中最小。微型针100主要面临两个主要负载状况：当制造微型针100时经历的第一个负载状况；和在微型针100正刺穿患者的表皮层时经历的第二个负载状况。在图3和图4中进一步详细示出微型针100上的负载状况。
经由微型针100待传递的流体可被施加到微型针100的底部130或者从底部130提取。虽然在图1中未示出，但可将贮液器150装入微型针100的底部130中，尤其是用于积累流体。参照图9至图12在本文中进一步描述用于流体取样和药物传输的各种形式的贮液器。
设想到将微型针100制造成提供其中主体110的长度和顶端120的长度之间的比率有所不同的各种实施方式。图2A至图2E是与表1中的尺寸对应的微型针100的多个实际实施方式的扫描电子显微镜照片。
图 总高度 顶端高度 主体高度 底部高度 主体直径 底部直径 凹槽直径
2A 700μm 150μm 400μm 150μm 150μm 280μm 30μm
2B 700μm 200μm 350μm 150μm 150μm 280μm 30μm
2C 700μm 250μm 300μm 150μm 150μm 280μm 30μm
2D 700μm 300μm 250μm 150μm 150μm 280μm 30μm
2E 700μm 350μm 200μm 150μm 150μm 280μm 30μm
表1
在本文中提供的微型针的实施例中，凹槽直径(表1)或开口通道140的深度可在大致20至100微米之间变化。
在表1中，微型针的主体的粗细和微型针的尖头顶端的高度之间的比率将优选地落入1:1至1:5的范围内，而微型针的头部的高度和主体的长度的比率可在5:1和2:1之间。微型针的长度和微型针的宽度的比率可为大约5:1。
依据母模的最精细特征分辨率，如本文中别处所描述的，顶端的锐利度可以将是500nm的曲率半径。以下，参照图25来描述超尖的复制微型针顶端。因此，表1中的微型针的700微米的总高度的最大特征和微型针的顶端点的最小特征之间的宽高比可以是大致1400:1。这样提供了如以下进一步描述的改进的新型压印技术的制作复制微型针的复制范围的动态范围的实施例。微型针的宽高比实施例将是用于复制的伸出特征。以下，参照针对贮液器、腔体、孔和凹部的图9至图12并且进一步参照图25至图27中的更多微流体装置来提供针对新型压印技术的腔体或凹部的动态复制范围的宽高比的其他实施例。
随着顶端120的长度增大，主体110的直径保持恒定。这样使圆锥形顶端120的梯度变化，从而为图2A中的微型针100提供短粗尖端120，在图2A中，顶端120的斜率是大致1:1。相比之下，图2E中示出的微型针100具有以大致7:3的梯度倾斜的顶端120。
通过改变顶端120与本体110的比率，可针对将微型针100引入表皮层的便利度和流体可传递的速率，实现不同的特性。这些特性的实施例是微型针的尺寸、形状和表面抛光度。因此，可针对将执行的过程和将被传递的待取样流体或药物/传输试剂的性质来设计微型针100的特征。
图2中示出的微型针100实施方式的几何形状细节是基于对微型针100的热塑性材料的材料性质和开口通道140流动的流体动态性质的理解。
存在将确定微型针100的几何特征的多种决定性因素。具体地，这些因素是长度、顶端尖锐度和硬度、轴半径、扩大底部、开口通道构造和通道流。现在，将更详细地描述这些特征。
血液的流体采集或取样需要刺穿皮肤达通常至少650微米的深度，使得皮下毛细血管丛被微型针顶端120刺穿。因此，用于血液采集的微型针100的长度可以是至少650微米。相比之下，采集间质液而无血液污染物会需要刺穿皮肤达少于650微米的深度。因此，用于间质液采集的微型针100的长度可在200微米和600微米之间。
如果针的顶端120在接触点处施加超过皮肤极限强度的拉伸应力，则它将刺穿表皮层。对于普通人类患者而言，极限强度是大致30MPa。当然，皮肤的极限强度取决于年龄和身体部位。然而，针的顶端120越尖，在接触点处的拉伸力越集中。
顶端120必须比待进行刺穿的皮肤更硬。对于普通人类患者而言，皮肤的弹性模量在25-100kPa之间。当用环烯烃聚合物制造微型针100时，所记录的微型针100的拉伸模量是2200MPa。因此，塑料微型针100的拉伸模量比皮肤高四个数量级，并且足够能够刺穿。
不期望微型针100的主体100的粗细或半径增大，因为这样将增加当微型针100刺穿表皮层时患者的被刺感觉。然而，当微型针100的长度增大从而刺穿650微米的必要皮下深度时，微型针100(具体地，微型针的主体110)会变得愈发更容易发生屈曲。微型针100的屈曲效应会在使用微型针100时造成困难，并且还可对微型针100的制造(具体地，成品微型针100的去模)的制造带来问题。本发明已经克服了现有技术的这些问题。
在一个实施方式中，微型针100由诸如的热塑性材料制成。具有54MPa的拉伸强度；因此，微型针100在被装载时应该避免超过这个值的应力集中。
微型针100更有可能在应力集中的位置处(即，在尖拐角或几何过渡处，诸如微型针100向外扩大以形成底部130的点)失效。可形成其他应力集中区域，在这些区域中，微型针100连接到支撑构件160(如针对本文中描述的贴片105或微流体装置在其他实施方式中描述的)。将引起微型针100失效的裂缝也将从最大拉升应力的区域开始传播。
当用1060制造时，对微型针100的模型执行有限元分析(FEA)。如图3所示，发现当向微型针100的顶端120施加7.5×10-4N的横向负载时，在微型针100的主体110和支撑构件160之间的过渡处出现最高表面应力(冯米泽斯)。结论是，当微型针100在其顶端120被横向加载时，微型针100最可能在最高应力的点处失效。该负载情况模拟在用于制造微型针100的脱模处理和刺穿皮肤期间可受到的力。
图4中的微型针100的等值线区域代表当顶端120处被横向施加负载时沿着微型针100的冯米泽斯应力的区域。
通过将图3和图4中的底部130周围的等值线进行比较，可发现应力等值线扩散在整个底部130上并且通常由于扩大底部130而使大小较小，从而使微型针100逐渐过渡到支撑构件160或基板中。
因此，图3明确表明，在没有扩大底部130的情况下，微型针100可能容易在其底部130发生断裂，因为表面应力是至少20mPa。对于扩大底部130，所实现的最大应力是10mPa并且在底部130和主体110之间的过渡部分正上方出现。因此，将微型针100的底部130扩大以提供过渡到支撑构件160中的弯曲凸缘，这将在微型针100与支撑构件160的连接处变强(避免应力集中)，如图3和图4所示。
除了因点负载和应力带来的可能失效之外，如果主体110的轴半径对于所施加力而言太小，则微型针100会由于屈曲而失效。用欧拉公式来计算针对屈曲的临界负载力F：
这里，E是塑料的弹性模量，I是截面惯性矩，L是轴长度，作为常数的K称为取决于柱支撑件的模式的有效长度因子。出现微型针100的底部130在所有方向上被固定而顶端120自由横向移动(K＝2)的这种情况。以下，在表2中示出按照本发明的一些实施方式的微型针100的取样值。
表2
假定针的顶端120的接触面积是1μm2，则临界屈曲负载时的皮肤压力将是106MPa，即比最终皮肤强度(30MPa)高至少四个数量级。
虽然可使用3D立体光刻过程来形成中空的微型针100，但当使用大批量制造技术时，可难以准确地复制内腔。
例如：形成中空微型针的3D母模，然后用PDMS材料来填充模具，以形成阴模具。虽然精密地复制微型针的外部形状，但通过微型针的中央孔或腔的材料的流体变成嵌入腔内并且使得对于中空微针中的一些难以去除PDMS材料。
软压印是用于将形状传递到材料的技术。可对热或冷的材料进行软压印并且软压印将模具的形状传送到将借助压力被模制的材料。然而，通过软压印来复制中空微型针100由于针对PDMS的阴模具而言的微型针腔的脆性和规模而存在问题。
因此，微型针100被构造成提供开口通道140，以利用毛细管压力沿着微型针100将流体传递到贮液器150中。在图9至图12中示出这种微流体装置的实施例。不存在中央腔，由此使微型针100是实心的并且适于借助软压印和批量生产来制造。
开口通道140将流体从微型针的主体110导向微型针100的底部130中的贮液器150。微型针100的开口通道140借助毛细管作用或“毛细效应”来传递皮下流体。因流体和微型针100的外表面115之间的接触角θ，产生迫使被动填充开口通道140的毛细管驱动力。接触角θ应该小于90°，以产生用于针的被动填充的毛细管力。那么，这限定了亲水表面。
此外，流体/空气界面(弯月面)的弯曲矢量应该被引导背离界面的流体侧以用于毛细管填充，如杨-拉普拉斯公式所定义的。
其中，n是与表面正交的单位矢量(被引导背离流体成为气相)，是散度算子，γ是针对水/空气的表面张力(72×10-3N/m)，针对流体/空气的56×10-3N/m，并且R1和R2是表面的主半径。如果R1和R2是负的，则它们相对于流体表面向上凸，所以流体内的压力小于气相中的压力(ΔP>0)。
对于亲水表面，流体没有从开口通道泄漏，前提是流体内达到压力低于临界泄漏压力Pleak，临界泄漏压力Pleak取决于通道的开口部分的宽度w、流体的表面张力γ和接触角。因此，对于Pleak
微型针的开口通道140排放的宽度的实施例是大约20μm。图5示出通过可具有圆形或正方形轮廓的开口通道140的横截面。围绕通道140的周缘粗线指示通道140的润湿壁。
如果接触角是67.5°并且表面张力是56×10-3N/m，则泄漏压力是大约5kPa。毛细管压力是大约30mm Hg(4kPa)，所以有可能在表面张力没有太低的前提下，开口通道140将不泄漏，并且通道宽度142在10-20μm的范围内。
图5A示出沿着微型针100的主体110延伸的开口通道140的剖视图。通道140的宽度142是24μm。
用流体填充微型针100的毛细管驱动速率取决于多个因素：接触角(<90°)、流体的粘度和毛细管半径。将花费大约18毫秒来填充具有30μm的宽度142和67.5°接触角的650μm长的通道140。
在后面的实施方式中，微型针100的阵列优选地一体形成在支撑构件160上，以制造贴片105。对于这些实施方式，在支撑构件160的平面中，可在支撑构件160中形成贮液器150(参见图9)。在微型针100的阵列设置在支撑构件160上的情况下，每个微型针100的开口通道140从主体110和底部130延伸到支撑构件160中，以将流体传递/递送进出贮液器150。微型针100、开口通道140和贮液器150设置在贴片105的收集面上。在该贴片105中，当通道130从微型针100的主体100过渡到支撑构件160时，通道130将方向改变90°。那么，随着通道140通过过渡部分148并且通向贮液器150，通道140的宽度142和深度146将增大，从而使可收集的流体的体积最大。
在沿着横截面增大的开口通道140的点处，弯月面的曲率将减小，因此，毛细管压力也将减小。保持凹的弯月面将允许流体在开口通道140内连续流动。因此，流体流的方向是朝向气相，前提是流体弯月面的平均曲率是凹的(公式1)。
通道140的圆形横截面的半径不应该以比流体和通道壁144的接触角θ确定的临界值大的速率增大。通道的发散度由它与中线所成的角度来限定。如果流体弯月面和通道壁144之间的接触角θ与如图6中所示的通道发散角度β之和小于90°，则弯月面将持续是凹的，并且将沿着发散通道140抽取流体。
θ+β<90° 公式3
针对轴对称发散通道的抽取流体的毛细管压力Pc是：
其中，γ是表面张力，是弯月面的曲率，r0是发散通道的入口半径，并且s是沿着发散通道的距离。
可向平行的发散板应用同一公式，其中，a0是通入发散板处的板间隔的一半：
随着发散角度增大，毛细管压力减小。另外，毛细管压力将沿着通道减小，如在图7和图8中用曲线图示出的。
可使用以上的公式5针对具有高尺寸比的矩形横截面来近似计算毛细管压力。其中，a0是板间隔的一半(矩形横截面的较短边)。对于开口通道流，毛细管压力将小于针对闭合通道流的值并且通过湿周比来近似计算它(参见图5)。
血液或细胞间质液从身体的皮下空间累积在贮液器150中。重要的是，贮液器150可累积足够体积的流体来促成有意义的分析。
在一个实施方式中，贮液器150具有100μm的深度152、100μm的宽度154和100μm的长度156，从而提供纳升容积。如上所述，贮液器150的宽度154由通向井中的通道140的发散角度限制。
在一个实施方式中，支撑构件160的开口通道网络149可初始地用凝胶填充或由用于分析物检测的试剂进行表面处理。然后，分析物通过扩散被传送到贮液器150。因此，这个实施方式提供了连续监视所抽取的皮下液体中的小分子(诸如，葡萄糖、电解液或其他代谢物)的方法。
在另一个实施方式中，个体贮液器150可被构造成提供入口和出口(打开或关闭)，由此提供通过微型针100的基板或支撑构件160的通道，使得皮下液体可被抽取到微型针100的背面(或反面)的容器中。贴片105的反面与微型针100从其延伸的贴片105的收集面相对。该容器可用于收集流体以进行传送或者可容纳用于床旁检测的分析物传感器。
毛细管压力是产生血液或细胞间质液流入开口通道流体收集网络149中的驱动力(参见公式7)。哈根—泊萧叶公式是针对沿着圆柱形管的完全建立的层流的压降ΔP的物理定律。将此应用于估计开口通道流体收集网络149的填充速率。
其中，L是管内液柱的长度，μ是流体粘度，Q是流量并且r是通道的半径。
假定毛细管压力等于沿着管的压降(即，公式等于公式7)，那么：
其中，V(L)是气体流体界面的平均速率。
因此，空气/血液界面速率大致与液柱的长度和粘度成反比，并且与通道的半径和毛细管压力成正比。通过相对于通道长度求积分来寻求填充时间：
那么，针对通道流的雷诺数是：
以下的表3提供了针对由毛细管压力驱动的通道流的典型值。
参数 值
血液的粘度(μ) 4×10-3P a.s
血液的密度(ρ) 1060kg/m2
通道中的液柱的长度(L) 0–10-3
血液表面张力(γ) 55×10-3N/m
接触角(θ) °45°–89°
通道半径(r) 15–50x10-6
血液/空气界面速率(L＝600μm) 16×10-3m/s
填充时间(L＝600μm) 18×10-3s
雷诺数 0.13
表3
如上所示，用于微型针100的开口通道140的预期填充时间是18毫秒。
由诸如环烯烃聚合物的热塑性聚合物制成的微型针100是疏水性的。为了提供如上所述的所有优点，需要进行表面改性以将接触角θ减小至小于90°，从而对微型针100进行毛细管填充。
非常疏水性的表面(润湿角大约是30°)的优点是用于将流体抽吸到微型针100中的较高毛细管压力。此外，通道网络149可具有较大的扩散角度(公式4)，由此提供更快的填充。然而，小润湿角将导致泄漏压力减小(公式2)。因此，选择最佳接触角一直要在泄漏和填充之间进行权衡。
存在用于将疏水性表面转换成亲水性表面的多种化学和物理方法。这些方法包括：
a)沉积诸如金或银的金属层；
b)对表面进行氧等离子体处理，以将正负电荷引入表面；
c)通过聚焦等离子体来进行离子注入；
d)用表面活性剂(诸如普流罗尼类的两性分子)来处理表面；以及
e)用强碱或强酸对表面进行化学改性。
在微流体装置的性能的后续实施例中，进行选项b)，以如下地将由诸如热塑性环烯烃聚合物制成的Zeonor复制微流体装置的表面从疏水性转换成亲水性。用氧等离子体处理来进行表面改进，以将接触角减小至低于70°，以便对装置进行毛细管填充。使用具有50WRF功率和340毫托压力的氧等离子体蚀刻机/灰化机(PE-250等离子体蚀刻机，Dentonvacuum公司，USA)对Zeonor微流体装置执行氧等离子体处理20分钟。氧灰化处理导致接触角下降低于70°，持续至少2周。
另选地，只可处理贮液器和开口通道的内表面，以致使它们具有亲水性。贮液器和开口通道的内表面用于传递或传送体液或药剂/药物。此外，可留下微流体装置的其他表面具有相对疏水性，以改进通道和贮液器的泄漏压力。微流体装置的内表面和外表面之间的疏水性差异可明显有助于流体传送的效率和容量，尤其是，随着通道和贮液器的各个泄漏压力增大。
某些体液(例如，血液)可润湿疏水性表面，因为它包含用作表面活性剂的蛋白。在将要传递血液的这些情况下，不必对微型针100的表面115进行改性。
还可使用表面化学来引入诸如聚乙二醇的非污垢层和诸如抗体、具有分析物结合域的重组融合蛋白(例如，单个改变Fv抗体)的选择性配体。还可用金纳米图案化对贮液器150进行改性，金纳米图案化因引发的表面等离波子而急剧放大被吸收信号或荧光信号。
微型针100可被构造成包括多个微型针的阵列，如之前结合支撑构件160进行描述的。微型针100阵列的实施方式在图9中被示为贴片105。
微型针贴片105是使用开口通道网络149与多个贮液器160连接的微型针100的阵列。微型针贴片150由以下元件组成：
a)微型针100的阵列，每个微型针具有用于抽取血液或细胞间质液的至少一个开放通道140。
b)用于原位(床旁诊断)收集/测量血液分析物的至少一个密闭的贮液器150或用于将贮液器150连接到贴片105的底板的至少一个开放贮液器150，流体和细胞可被收集在贮液器中，以便进行分析。
c)将微型针100的阵列连接到所述至少一个贮液器150的支撑构件160。
参照图9至图17，示出微型针贴片105的各种实施方式。为了增大血液收集体积，可使用不止两个微型针。为了增加血液收集时间，不止一个微型针100连接到每个贮液器150。在一个实施方式中，两个微型针100连接到每个贮液器150(参见图12)。贮液器150的尺寸通常是100×100×100μm，以提供1纳升的容积。另选地，可使用具有不止一个微通道的微型叶片设计来增加血液体积，如参照图32至图35描述的。
图10示出在两个微型针100之间延伸的贮液器150的平面图。随着开口通道140沿着微型针100延伸，开口通道140保持恒定宽度142。通道140从微型针100平滑过渡到贴片105的支撑构件160中，并且当它横穿支撑构件160时开始发散。通道140最终过渡到贮液器150中，贮液器150大致设置在两个微型针100之间的半途。通道140的宽度142是大约20微米。通道140或贮液器的深度在图12中示出并且是大致100微米。因此，贮液器的深度与宽度的两个尺寸比是5:1，可通过本文中描述的新型压印技术来准确地复制该两个尺寸比。贮液器150的半径大致是130微米。
图11示出一对微型针100，这两个微型针100的中线被设置成分开630微米。随着通道140沿着主体110延伸，通道140的深度146是大致30微米。穿过底部130的通道140的深度147减小至24微米。主体110的整体长度是700微米。顶端120的长度是150微米。微型针100的底部130的长度是大约150微米。
图12示出用虚线示出的一对贮液器150，每个贮液器150穿入支撑构件160，达大约100微米的深度152。图12还示出开口通道140发散到贮液器150所在点处的过渡半径。该过渡部分148的内径是大约404微米并且该过渡部分148'(从开口通道的底部测得的)外径是大约430微米。过渡半径在图12的正视图中被示出为将通道140的底部连接到贮液器150的底部的曲线。
图13示出图9的贴片105的俯视图。从这个视角可以看到，微型针100的扩大底部130几乎是本体110的宽度的两倍。微型针100的底部130从75微米的半径扩大至在底部130和支撑构件160之间的连接表面处的140微米的半径。
当在底部130和支撑构件160之间的连接表面处测量时，通道140具有40微米的宽度142。
图14和图15示出四微型针阵列的立体图。相比之下，图16示出具有32微型针阵列的贴片105和将三个或四个微型针100连接到每个贮液器150的开口通道网络149。
图16是与支撑构件联接的多微型针的立体图，该立体图示出多个微型针和贮液器之间的空间关系。开口通道网络149以规则栅格状图案分布在支撑构件160上，其中，微型针和贮液器150在沿着栅格的每个相邻交叉点处交替。以这种方式，围绕贴片105的周缘的贮液器150将均与三个微型针100连通，并且在贴片105中央的贮液器将均与四个微型针100连通。这样减少了获得皮下液体样本所需的时间。
图17是图16的贴片105的放大立体图。在这个实施方式中，每个微型针100具有沿着微型针100的长度延伸的至少三个开口通道140。设置在贴片105中央的微型针100具有在微型针100上延伸的四个开口通道140。设置在贴片105周缘的微型针100具有在微型针100上延伸的三个开口通道140。通过将多个微型针100与多个贮液器150组合，可实现更高效的收集时间，从而使得对患者进行更高效且更少创伤的过程。
根据皮下液体是将被进行原位测试还是被收集到用于场地外测试的容器中，图17中的收集贮液器150可以是待打开的，部分打开的或闭合的。为了在场地外进行传送，针对具有敞开贮液器的设计，必须减少来自贮液器的蒸发。在一个替代方式中，通过形成具有凹形形状的母模贮液器来部分地闭合贮液器。也就是说，贮液器的最靠上开口比贮液器的剩余部分的最宽幅窄，或者围绕贮液器的上部开口形成部分闭合唇部。在另一个替代方式中，可渗水隔膜可被结合到通道和/或贮液器的顶部。在又一个替代方式中，使用过后的整个微流体装置可被浸没在油质溶液中，以防在传送期间蒸发。
另外，参照图18在本文中描述了制造用于传递体液的微型针100的方法。该方法广义地包括以下步骤：
(a)利用微型针100的母模或原型，用弹性材料铸造模具，微型针100具有：主体110，其在第一端112处具有用于刺穿表皮层的尖头顶端120；底部130，其在主体110的对向第二端114处；以及开口通道140，其沿着主体110的侧面从第一端112延伸到第二端114；
(b)将热的热塑性材料施加到阴模具中，以形成复制的微型针100；以及
(c)将模制的微型针100与阴模具分开。
具有至少650微米长度的微型针100将刺穿皮下毛细血管床。之前尝试的用于制造长度足以刺穿皮下毛细血管床的微型针100的方法(包括深反应离子蚀刻(DRIE)或传统的3D打印)不能够提供足够大的几何精确度或尺寸准确性来得到之前文中提到的微流体装置的所期望特性。这些特性是成形形状和凹部的柔性和精确度，还有刺穿微型针的锐利度和微型针轴的平滑表面抛光度。
深反应离子蚀刻(DRIE)是现有技术中的用于制造微型针100的普及方法。使用DRIE微型针100，通过一般理解欠佳的各向同性和各向异性蚀刻的物理现象来控制几何形状。使用各向异性蚀刻来产生微型针的主体110，从而产生竖直侧壁。相比之下，通过各向同性蚀刻处理来限定微型针的顶端120并且不能实现具有几何稳定性或精确再现能力的比500微米长的微型针100。
3D光刻能够提供亚微米分辨率，但具有缓慢的打印速率，该打印速率致使它不适于经济批量制造。例如，制造单个微型针100会花费10分钟至40分钟，而具有许多微型针和贮液器的阵列的微流体装置会花费许多小时。然而，目前公开的方法使用3D光刻来用光致抗蚀剂制造精确的母模，该母模包含对于皮肤穿刺和皮下液体收集而言最佳的几何设计。然后，可使用光致抗蚀剂母模，以使用“软压印”的改进工艺来制造复制的微流体装置。软压印的改进工艺可允许经济地批量制造微流体装置。
3D光刻获得计算数据并且直接应用尺寸和细节来形成3D模型。这样提供了亚微米分辨率的几何准确性，该几何准准确性可使微型针100足够尖，以便用小力量来刺穿皮肤。将3D光刻应用于微型针制造带来以下的优点：
a.最佳针几何形状的计算机辅助设计(CAD)，该设计使用了对针长度的结构分析和皮肤刺穿力。可以脱离电子图来准确地制造这些设计。
b.开口通道140的设计，所述开口通道用于顺着微型针100的侧面将流体流在毛细管作用下吸到贮液器150中以便进行分析物分析。
c.复杂微流体装置的CAD。
3D光刻的缺点在于，由光致抗蚀剂形成的母模会是易碎的并且不适于生物医药应用。另外，对于3D光刻，要在分辨率和制造速率之间进行权衡。为此目的，使用改进的“软压印”来由得到医疗许可的热塑性聚合物制造微型针100和微流体装置，这给母模的3D光刻的制造精度提供了改进的软压印复制处理的批量制造。为了复制微流体装置而选择的热塑性材料还为用于制造微流体装置的母模形式的3D光刻UV可固化树脂/光致抗蚀剂提供了优异的机械性质。
图18中示出的软压印处理包括以下步骤：
a.根据3D光刻母模1810、1910铸造1812硅橡胶阴模具；
b.将医疗级热塑性聚合物(例如，环烯烃聚合物)热压印1814进入硅橡胶阴模具；
c.允许热塑性聚合物冷却至室温1816；以及
d.将固化的热塑性微型针100温和脱模1816，而没有使微型针破裂。
作为以上步骤b的替代，紫外光(UV)固化或催化剂固化可用于适宜的树脂或塑料，以替代将热塑性材料升温至超过其玻璃转变温度。在随后的步骤c中，可接着酌情施用固化试剂，例如，在步骤c中，将安排UV光或预混合催化剂的时间，以使树脂胶化和硬化。
有利地，可多次反复使用(条目1818，图18)模具，以进行压印并进一步复制出更多的微流体装置。迄今为止，发明人已经发现，可重复使用模具超过18次，而微流体装置的细小或较大特征没有显著劣化。
为了进一步调节图18的制造过程，可通过新压印处理来制造1820多个辅助母模。辅助母模或模板1820可用于制造多个弹性体模具，以借助如图18中所示的迭代处理来复制微流体装置。辅助母模可作为阵列布置在单个复合模具上，使得用每个压印周期来制造多个微流体装置。例如，单个母模1810可用于产生可按阵列布置以形成复合模具的100个辅助母模。复合模具可具有100×100个微流体装置对应模具1822、1824、1826。因此，随后产生10,000个复制微流体装置1828、1816，其中，每个压印周期在交替的复合模具1822、1824、1826中使用较高密度的装置。
可用小力量使阴模具的硅橡胶变形。硅橡胶易弯，达到即使当贴片105的表面没有完全凸起时也可对微型针100和贴片105进行模制和脱模而不损坏微型针100的程度。也就是说，如果在微流体装置中存在一些凹形腔体或凹部，则弹性体模具材料会变形，足以能够将其完全从通向贮液器或部分打开通道(例如，图5的部分打开通道)的减小孔口移除。这是因为阴模具会变形，而没有向微型针100施加任何显著的应力。
在使用硅酮阴模具的制造处理中，一旦铸造好，就可用于模制多个微型针贴片。然而，阴模具具有有限的寿命并且在将微型针脱模时受损或丧失尺寸准确性，使得需要铸造新的硅酮阴模具。因此，虽然将用单个硅酮阴模具制造多个贴片，但可铸造多个硅酮阴模具，以满足所期望的制造量。如以上参照图18描述的。
图18提供了示出根据本发明的一些实施方式的制造微型针100或贴片105的过程步骤的流程图。现在，将更详细地描述制造过程的步骤。
通过3D光刻制造精确模具
使用3D激光器光刻系统来形成图2和图15中示出的微型针100精密模具。过程控制参数如下：
浸没在光致抗蚀剂中的63倍显微镜目镜
光致抗蚀剂：IP-Dip
激光器功率：80mW
扫描速度：50mm/s
分层距离：最小＝0.5μm最大＝0.7μm
精确地聚焦3D激光，以逐层(进而分层距离)将微型针100的形式升温并且进行固化，并且以这种方式，产生固化的3D微型针精确模具。
铸造弹性体阴模具
使用硅酮弹性体来铸造精密母模的软阴印模。母模的优选材料是作为SYLGARD184Silicone Elastomer Kit(Dow Corning,Midland,MI USA,www,dowcorning.com)供应的聚二甲硅氧烷(PDMS)。优选的PDMS与10:1的碱：固化试剂的比率一起使用。然后，在大致1至2小时内在室温下在真空腔室内对PDMS模具进行脱气，随后在大气压下在60°至65°下进行固化，静置过夜。然后，从母模剥离模具。用于模具的替代弹性的弹性体材料还可包括：聚氨酯弹性体合金、橡胶和乳胶。
使用弹性体阴模具的热压印热塑性部件
初始地，尝试通过使用原生的“Carver”压力机和固化PDMS阴模具利用“软压印”来制造复制热塑性微型针。
将热塑性材料颗粒(1060R)装载到PDMS模具中，然后，在软压印处理期间，将该模具放置在两个不锈钢板之间。优选的热塑性材料是品牌为(Zeon公司，www.zeon.co.jp)的环烯烃聚合物(COP)。用于形成微型针的替代材料包括得到医疗许可的诸如聚四氟乙烯(PTFE)、聚醚醚酮(PEEK)、聚苯乙烯和聚碳酸酯的其他热塑性材料。
为了提供良好(准确)的复制品，压印力必须足够高，以诸如在更原生的“Carver”压印机的情况下的克服(或待热压印的替代热塑性材料)的粘性力。相比于冷却后的热塑性复制微流体装置，PDMS模具本身是具有较小模量的弹性体。PDMS的模量在360至870Pa的范围内。必须保管好PDMS模具，相比于以下进一步描述的其他重新配置的压力机，在用诸如“Carver”压力机的更原生压力机进行软压印时，没有施加过大的力。过大的力将导致PDMS模具发生几何变形，进而导致成品微型针100或贴片105中有几何缺陷。
在制造原型微型针100时，发现在100℃的压印温度下施加150N的压印力30分钟将一直得到很好的复制品。使用以上的压印参数，在压印的热塑性微型针100内没有形成气泡。
热塑性装置的冷却和脱模
在冷却至环境温度之后，从PDMS弹性体模具上剥离热塑性针。只要在脱模力低于模具的拉伸强度，弹性体模具就会发生变形，而没有破裂或缺陷。PDMS的拉伸强度是2.24MPa。
其他方法和设备：
在其他实施方式中，使用Photonic Professional GT系统(得自NanoscribeGmbH，Germany)通过两光子聚合来制造原始的微型针或微流体母模。母微型针由Nanoscribe GmbH开发的被称为“IP-DIP”或“IP-S”的UV可固化光致抗蚀剂制成。
如上所述，该光致抗蚀剂可以是脆的，对于制造数个模具而言不够坚固。根据参照图18的描述，辅助母模可由第一母模制成以由更坚固、更硬、更耐用材料形成辅助母模。随后，可使用该辅助母模来以单个、双重、四重形式等形成多个硅模具。然后，可使用它来进一步加速制造处理，因为可形成单个硅模具在单个软压印步骤中制造多个微型针100。
已经开发作为微流体装置的一部分的微型针，用于无疼痛皮肤刺穿以进行经皮药物输送或体液取样。微型针和/或微流体装置的临床应用需要用于皮肤刺穿以及真皮和微流体装置的诊断或药物输送部分之间的流体和分子输送的特定几何特征。现有技术的制造方法缺乏具成本效益的大规模微型针阵列制造和微流体装置制造所需的精度和速度。这里所描述的改进的新型压印允许快速复制可刺穿进入真皮中的长(>600微米长或高)、纤薄、机械稳定和坚固的微型针。另外，还可复制带有用于流体传送、贮存和分析的微流体通道和/或贮液器/井的微型针，以形成微流体装置或贴片。
可通过加层制造过程(诸如，如例如在Han,M.,D.-H.Hyun,H.-H.Park,S.S.Lee,C.-H.Kim,和C.Kim的“A novel fabrication process for out-of-plane microneedlesheets of biocompatible polymer”Journal of Micromechanics andMicroengineering,2007.17(6):p.1184中描述的光刻电铸)来容易地制造具有微型针的微流体装置的母模。另选地且优选地，可例如使用两光子聚合处理：Gittard,S.D.,A.Ovsianikov,B.N.Chichkov,A.Doraiswamy和R.J.Narayan，“Two-photonpolymerization of microneedles for transdermal drug delivery”Expert Opin DrugDeliv,2010.7(4):p.513-33；Doraiswamy,A.,C.Jin,R.J.Narayan,P.Mageswaran,P.Mente,R.Modi,R.Auyeung,D.B.Chrisey,A.Ovsianikov and B.Chichkov，“Two photoninduced polymerization of organic–inorganic hybrid biomaterials formicrostructured medical devices”Acta Biomaterialia,2006.2(3):p.267-275；以及Ovsianikov,A.,B.Chichkov,P.Mente,N.A.Monteiro-Riviere,A.Doraiswamy和R.J.Narayan，“Two Photon Polymerization of Polymer-Ceramic Hybrid Materialsfor Transdermal Drug Delivery”International Journal of Applied CeramicTechnology,2007.4(1):p.22-29)。优选的母模制造技术可准确且精确地用CAD制造特定的新型微型针和微流体装置特征。然而，微型针和微流体装置制造所需的达到500nm的亚微米分辨率需要对于单个装置可以是许多小时的打印时间。然而，这种3D打印技术可制造在批量制造中可被复制的微型针和微流体装置的足够坚固的母模。例如，由发明人通过Photonic Professional GT系统(Nanoscribe GmbH,Germany,www.nanoscribe.de)在22小时内制造如图19中所示的母模微型针贴片/微流体装置。
图19是形成微流体装置1910的具有贮液器的微型针阵列的得自扫描电子显微镜的示意性照片。另外，参照图9至图12示出和描述了图19的微流体装置。微流体装置1910是通过Photonic Professional GT 3D打印系统(Nanoscribe,www.nanoscribe.de)的两光子聚合和打印技术用CAD(SolidWorksTM)进行微/纳米打印的原型设计。这个相对最近的高速微型纳米打印系统在浸入激光光刻(DiLL)功能以及如本文中别处描述的其他操作参数和配置的情况下使用。
如本文中别处描述的，使用PDMS的硅酮弹性体来铸造母模微流体装置1910的模具。阴模具准确地复制3D打印原型设计的母模的500nm细小特征和较大的微型针和贮液器特征，例如，如参照Carvalho，B.、E.Schilling、N.Schmid和G.Kellogg的“Soft embossingof microfluidic devices.in Proc.7th Int.Conf.on Miniaturized Chemical andBiochemical Analysis Systems”:MicroTAS 2003(Squaw Valley,CA,USA,5–9October2003)2003.讨论的。
弹性体阴模具用于在改进的新型软压印过程中对热塑性材料进行压印。用于该应用的最佳热塑性材料应该具有低熔融粘度并且具有相对于弹性体模具的高亲和性。高亲和性可被表现为都是疏水性的熔融热塑性材料和PDMS之间的小接触角。换句话讲，熔融热塑性材料“润湿”容易在高移动表面地流过模具表面和凹部时“润湿”模具。因此，通过热塑性材料和压印温度下的模具表面性质之间的这种匹配，对于熔融热塑性材料而言，需要极小的压力(如果真的有)来容易地渗入阴模具的较细小特征。也就是说，在给定适宜的构造、表面性质和充足时间的情况下，可在模具凹部中出现熔融热塑性的表面流。
用于匹配PDMS的合适热塑性材料是如本文中在别处描述的Zeonor 1060R。
将模具放置在压力机的最靠下不锈钢板的最上方，使得模具的凹部面向上。然后，将一个或两个小热塑性材料颗粒装载到模具上。热塑性材料颗粒可具有大致2mm直径×4mm长的大致尺寸。每个模具具有大致20mm的直径并且可具有压印到其内的许多微流体装置。然后，使压力机的最上方不锈钢板与颗粒进行触摸接触，如计算机受控压力机所检测到的。这两个不锈钢板具有与模具大致相同的直径。
然后，将压力机的两个板连同模具和热塑性材料颗粒一起密闭在恒温腔室中，并且以计算机受控方式进行加热，如图20所示。始终使用的是大气压。
图20是示出随时间推移的恒温室中的对应温度和所施加的对应压缩/法向力的示意性曲线图。初始时间段2010在没有向熔融热塑性材料施加任何大力量的情况下升温至160℃，同时仍然保持熔融热塑性材料和上部板之间的接触。160℃的充足温度被选定在超过热塑性材料的玻璃转变温度(对于Zeonor，Tg＝100℃)的55℃至65℃的大致范围内。另选地，充足温度可在超过玻璃转变温度的30℃至55℃的大致范围内。该高模制温度充分减小了熔融热塑性的粘度，使得它容易地流过并且渗入模具腔体。另外，因均为疏水性的热塑性材料和模具的类似表面性质，毛细管张力还辅助以在施加的非常低的压力下完全填充模具凹部/腔体，而没有包含空隙或气体。因此，不必对PDMS模具进行真空处理，因为在压印期间在任何模具腔体中没有捕获大量的空气。
为了保持此PDMS模具的完整性，避免比大致160℃高的温度。另外，未发现较高的温度使细小特征分辨率提高，因为复制的装置具有受母模和母模制成方式控制的大致500nm的细小特征极限。
对于压印操作，将温度紧密保持成设定温度，如以下针对所使用的压力机详述的。优选地，+/-1℃或更优选地，+/-0.1℃。然而，在压印操作之间，可将温度设置在带来相近结果的大致155℃至165℃的范围内。
第二时间段2012或压缩阶段2012是在针对20mm直径板的19.52±0.64N(平均值±标准偏差)的恒定力下以受控制的稳定方式将上部板朝向下部板的时间。这里给出的力范围是许多压印操作内的平均。通常，针对特定压印行程施加的力比这里给出的平均更加恒定，参见以下。在足够用于彻底加热和熔融热塑性材料颗粒的时间之后开始压缩时间段2012，否则会出现模具受损并且导致复制不良。压缩时间段2012一直持续，直到所施加的法向力将变得不稳定之前不久。所施加压缩力的不稳定性对应于已经前进至具有突出弯月面的板边缘的热塑性材料的体积流，突出弯月面有可能造成不能够保持恒定压缩力。
过大的压缩力会使PDMS模具变形，应该予以避免。PDMS具有大致750kPa的杨氏模量。因此，20mm直径的模具经受大致19N的设定压缩力，该设定压缩力对应于两个板之间的60kPa的大致设定压缩压力。60kPa的压力远低于PDMS模具的杨氏模量和任何可察觉变形。
优选地，将设定的压缩压力的变化保持在+/-1kPa或更优选地+/-0.1kPa。另选地，可如下所述地由受计算机控制的压力机来设置设定压力。
然后，开始第三时间段2014，以大致同时降低温度和压缩力，如图20所示。
在第四时间段2016中，将模具和热塑性材料进一步冷却至大致10℃至15℃，在恒定的力(1.6N)下将该温度保持15-20分钟，以确保热塑性材料在冷却后的模具中完全凝固。然后，容易可靠地从模具剥离凝固的热塑性微型针阵列和诸如贮液器的关联结构，而没有破裂、变形或缺陷。
应该容易理解，除了使热塑性材料循环的温度之外的其他凝固试剂可用于形成复制微流体装置，例如，使用如本文中别处描述的用于合适树脂或塑料的UV固化或催化剂。另外，可调节这些替代树脂和塑料的表面流性质，以实现与以上针对热塑性材料所描述相同的效果。
图21至图23是示出新压印过程的其他处理参数的示意性曲线图。在图21至图23中还示出参照图20描述的各个时间段。图21是在压板之间的间隙和所施加的压缩/法向力的曲线图。
图22是压板之间的间隙和包围这两个板、模具和热塑性材料的恒温腔室中的温度的曲线图。
图23是过去的时间和两个压板之间的间隙的曲线图。
图24是从图19的母模得到的复制微流体装置的得自SEM的示意性照片。在图24的复制品中，图19的母模的所有细小特征和大特征的准确和精确重现是显而易见的。另外，在将图24的复制微流体装置插入兔子皮肤中并且抽出之后获得的图24的复制微流体装置的照片。以下，描述复制微流体装置的完整性和坚固性。
为了实现温度和通过压板施加的法向力的稳定和高度受控制性质，受计算机控制的流变仪适用作缓慢的等温施压。适于使用的精密的受计算机控制的流变仪是MalvernInstruments Ltd.(Worcestershire,UK,www.malvern.com)制造的“Kinexus Pro+”流变仪。其优异的性能特性的实施例如下：法向/压缩力分辨率0.5mN，法向力响应时间<10ms，法向力范围0.001N至20N(选择性地，50N)，恒温温度范围-40℃至200℃并且温度分辨率0.01℃。相比发明人之前用原生“Carver”压力机进行的试验，只可施加大致两倍至三倍或不止于此的压力，并且发现有可能由于模具失真，使微型针的细小特征化顶端有缺陷。
另外，被重新配置为缓慢等温压力的Kinexus流变仪提供了非脉冲压缩。也就是说，熔融热塑性的前进流规则并且平滑地前进跨过模具表面和凹部。相比之下，现有技术中的更原生压力机配置往往会在显微级别下有粘附和脉冲或跳动。
相比于优选地如上所述的弹性体模具，更多刚性模具需要用于母模或仿型模的锥角，使得会在母模和所形成复制品没有受损的情况下出现脱模。然而，对于本发明的改进的新型压印处理，不需要锥角，因为所使用的弹性体模具在脱模期间在微流体装置的较大特征周围发生变形。
发明人这里所使用的PDMS模具在一年内至少反复使用了18次，而表面或凹部/腔体没有可检测到的损伤或污垢。另外，已经相对于用于原始形成模具的母模准确且精确地再造了每次制造的复制微型装置。
应该容易理解，改进的新型压印过程的周期时间可因更快速的升温和冷却周期而缩短。另外，每个模具还可承载更高密度的微流体装置。图24的实施例是20mm直径模具上的四个中的一个微流体装置。在给定SEM照片中示出的微流体装置的尺寸的情况下，可通过增加模具中的装置印模密度来得到复制装置的高得多的输出。图18描述了通过制造许多辅助母模以增加复合模具内的装置密度来扩大制造规模的一种技术。
还应该容易理解，通过将这种新型压印过程应用和适用于压印压印、注射成型和卷式压印的现有技术来扩大制造规模。
以亚微米保真度来复制其他微型针和微流体装置组件的几何形状。微型针的长度范围是从大致650μm至1000μm；在轴直径是150μm和30μm(半径或深度)的情况下，复制开口通道。还如实地复制具有以大致600微米间隔开的微型针的阵列的微流体装置，下至母模的500nm特征限制。在下面的图中，提供了微流体装置组件复制的其他实施例。
图25是超尖的复制微型针顶端的得自SEM的示意性照片。超尖的顶端具有与用于制造母模的打印分辨率对应的大致500nm的曲率半径。
图26是关于复制微流体装置的贮液器的1微米周缘唇部2610的得自SEM的示意性照片。
图27是在每个圆锥形微型针的底部处具有贮液器的复制圆锥形微型针的得自SEM的一套三张的示意性照片。还示出了开口通道，该开口通道沿着每个微型针的侧面从超尖顶端延伸到微型针底部处的贮液器。
以下，参照图32至图35描述具有多个通道和贮液器的微型叶片。
还复制中空的微型针(未示出)。中空复制微型针具有大致600微米的高度、大致30微米直径和大致600微米深度的孔或腔。因此，孔深度与直径的尺寸比大致是至少20:1，这可用新型压印技术进行复制。
对复制的热塑性微型针进行机械测试，发现其是坚固的，每个微型针针对微型针上的向下的力具有大于1N的屈服强度或失效强度。每个微型针的1牛顿力显著高于这些微型针针对皮肤所需的刺穿或插入力。另外，图24示出在插入兔子耳朵之后的复制微型针阵列。微型针的阵列在使用过后是完好的，没有变形或破裂。
还要注意，这里用诸如Zeonor的热塑性材料复制的微型针因按折叠方式变形而失效。更脆材料的现有技术微型针往往会破裂，结果是外来物质流入真皮中。
图28和图29是得自光学显微镜的示意性照片，所述照片示出了含有被复制微型针的顶端得到并且随后被传送到所示出的微型针底部处的贮液器的绿色染料的水性流体的摄取。对复制微型针进行表面处理，使其成为亲水性的。图28示出未填充的贮液器2810。图29示出填充的贮液器2910。清楚的是，这里复制的微型针可容易地将流体收集到贮液器中。
图30是时间序列的四个共焦显微图像，所述图像示出了荧光素溶液扩散到兔子耳朵的皮下组织中。使用图24的复制微流体装置将荧光素溶液从多个贮液器传递到兔子耳朵的皮下组织中。在五分钟内，清楚地看到微型针阵列的皮肤内的穿刺点和围绕每个微型针的荧光素亲水性示踪溶液的直接圆形分配。在20分钟之后，不再看得到皮肤中的穿刺点并且荧光素示踪溶液已经分布于整个阵列注射部位，并超出其外。图30表明复制微型针阵列容易刺穿皮肤达到所需深度，具有开口通道的贮液器将荧光素示踪溶液传递到皮肤外层下方，使得荧光素示踪溶液可扩散到皮肤外层下方的体液。另外，非常小直径的复制微型针允许皮肤从注射快速恢复其完整性。因此，本发明的复制微流体装置可容易地用于将药物/药剂等传递到皮肤和与皮肤关联的体液。
使用经改造的弹簧加载笔来施加用于图30的复制微流体装置，从而以足够大的速率抵着皮肤推动微型针阵列，以刺穿大体微型针的整个长度。用于复制异常尖和光滑的母模微型针的优异的新型压印技术允许容易将微流体装置应用于兔子耳朵，因此允许装置在使用过后复原。
图24示出在从兔子耳朵取出之后的图30中使用的复制微流体装置。图24的装置没有表现出受损，如本文中别处描述的。
微流体装置可被设计成如下地承担葡萄糖检测分析。葡萄糖微流体检测分析装置可包括用凝胶填充通道和/或贮液器网络，凝胶包含用于测量体液中的诸如葡萄糖的分析物的试剂。通道中的凝胶可顺着微型针延伸。
凝胶可保留检测分析物(所需的酶例如，用于制备过氧化氢的葡糖氧化酶)，可由电化学传感器或荧光检测法(例如，辣根过氧化物酶、AmplexRed检测分析等)来测量酶。另外，化学发光(例如，鲁米诺)或电化学发光可用于它们增强的灵敏度和实时应用。例如，实时乳酸传感器可使用电化学发光进行脉动测量。
凝胶可不包括干扰物或细胞，但可允许体液中的分析物(在这种情况下，葡萄糖，或者另选地，乳酸)快速扩散到微型针井或贮液器的凝胶中。
图31是使用感光检测器将纳升容积中的葡萄糖分析物定量为所需敏感度的指标以将纳升流体中的葡萄糖定量的曲线图。在这种情况下，使用荧光显微镜作为感光检测器。
图32是微型叶片3210微流体装置的SEM照片的示意图。图32的母模微叶片3210的特征是尖锐、直立的叶片3212。多个开口通道3214从叶片3212向下延伸。开口通道3214延伸到相对于直立叶片3212的相应的前贮液器3216和后贮液器3218中。微型叶片可用于刺穿皮肤并且抽取体液。叶片的高度和宽度分别大致是800微米和1000微米，并且按照图33和图34，贮液器3216、3218的容积是大致20nl。
微流体装置的这种微型叶片设计的优点在于，相比于微型针阵列，叶片3212和多个通道3214可更有可能切割毛细血管或使毛细血管破裂。另外，相比于微型针阵列，多个较大通道可抽取更大体积的毛细血管血液和其他体液。可制造包含本文中针对微型针描述的复制微型叶片的阵列的贴片。
图33是得自微型叶片3212的CAD图的示意性正视图。图33还示出纳米和微型打印的微型叶片母模的大致尺寸。
图34是得自微型叶片3212的CAD图的示意性平面图。图34还示出微型叶片母模的大致尺寸。
图35是得自微型叶片3212的CAD图的示意性立体图。
应该容易理解，可以在如本文中描述的批量制造中，容易复制图32至图35的微型叶片微流体装置和其他微流体装置设计。
在该说明书中，指示方向(诸如竖直、上、下、左、右等)或旋转的术语应该是指相对于对应的图的方向或旋转，而非绝对方向或旋转，除非上下文另有规定。
虽然本文中已经示出和描述了料想到本发明的最实际和优选的实施方式，但要认识到，可在本发明的范围内进行修改，本发明的范围将不限于本文中描述的细节，而是将被给予随附权利要求书的整个范围，从而涵盖任何和所有等效的组件、装置、设备、制品、组分、方法、处理和技术。
在本说明书中，词语“包括”将被理解为其“开放”含义，也就是说，“包含”的含义，从而不限于其“封闭”含义，也就是说，“只由…组成”的含义。对应的含义应属于“包括”的对应词语及其变型(如果出现的话)。

Claims (41)

1.一种复制微流体装置的方法，该方法包括以下步骤：
提供所述微流体装置的母模；
铸造所述母模的模具；
将所述模具与所述母模分开；
将带有热塑性材料的所述模具恒温加热至足够高的温度；
保持所述足够高的温度；
将所述热塑性材料压缩到所述模具中，达到足够高的压力；
保持所述足够高的压力；
在大致相同的时间段内，同时减少压缩和加热；以及
将所述模具与复制微流体装置分开。
2.一种通过利用微流体装置的母模进行压印来用热塑性材料制造复制微流体装置的改进方法，其中，所述改进方法包括以下步骤：
将带有热塑性材料的模具恒温加热至足够高的温度；
保持所述足够高的温度；
将所述热塑性材料压缩到所述模具中，达到足够高的压力；
保持所述足够高的压力；以及
在大致相同的时间段内，同时减少所述压缩和恒温加热。
3.根据权利要求1或2所述的方法，其中，压缩步骤一直持续进行，直到所述热塑性材料的体积流穿越并进入所述模具中的过程完成。
4.根据前述权利要求中任一项所述的方法，其中，恒温加热步骤包括所述热塑性材料的表面流进入所述模具中。
5.根据权利要求1至4中任一项所述的方法，其中，在执行压缩步骤达到所述足够高的压力之前，所述足够高的温度引起所述热塑性材料的穿越所述模具的表面流。
6.根据权利要求1至5中任一项所述的方法，其中，所述足够高的温度选自比所述热塑性材料的玻璃转变温度高30℃至55℃的大致范围。
7.根据权利要求1至5中任一项所述的方法，其中，所述足够高的温度选自比所述热塑性材料的玻璃转变温度高55℃至65℃的大致范围。
8.根据权利要求1至5中任一项所述的方法，其中，对于环烯烃聚合物而言，所述足够高的温度是大致160℃。
9.根据权利要求1至8中任一项所述的方法，其中，将所述足够高的温度的变化保持在大致+/-1℃内。
10.根据权利要求1至8中任一项所述的方法，其中，将所述足够高的温度的变化保持在大致+/-0.1℃内。
11.根据权利要求1至10中任一项所述的方法，其中，将所述足够高的压力的变化保持在大致+/-1kPa内。
12.根据权利要求1至10中任一项所述的方法，其中，将所述足够高的压力的变化保持在大致+/-0.1kPa内。
13.根据前述权利要求中任一项所述的方法，其中，所述热塑性材料是以下中的至少一种：医疗级塑料、环烯烃聚合物、1060R、聚四氟乙烯(PTFE)、聚醚醚酮(PEEK)、聚苯乙烯和聚碳酸酯。
14.根据前述权利要求中任一项所述的方法，其中，模具材料是以下中的至少一种：硅酮弹性体、弹性体、硅橡胶、聚二甲硅氧烷(PDMS)、SYLGARD 184硅酮弹性体、聚氨酯弹性体合金、橡胶和乳胶。
15.根据前述权利要求中任一项所述的方法，其中，所述微流体装置包括微型针的阵列。
16.根据前述权利要求中任一项所述的方法，其中，所述微流体装置包括与多个微型针的至少一个开口通道流体连通的至少一个贮液器。
17.根据权利要求1至15中任一项所述的方法，其中，所述微流体装置包括具有多个通道的直立叶片，所述多个通道顺着所述直立叶片向下延伸到至少一个贮液器。
18.根据前述权利要求中任一项所述的方法，所述方法还包括以下步骤：
通过针对同一模具重复恒温加热步骤来制造其他复制微流体装置。
19.一种制造用于传递流体的复制微型针的方法，所述方法包括以下步骤：
(a)利用微型针的母模，用弹性材料铸造模具，所述母模具有：微型针主体，所述微型针主体在第一端处具有用于刺穿表皮层的尖头顶端；底部，所述底部在所述微型针主体的对向的第二端处；以及开口通道，所述开口通道沿着所述微型针主体的侧面从所述第一端延伸到所述第二端；
(b)将热的热塑性材料施加到所述模具中，以形成所述复制微型针；以及
(c)将模制的所述复制微型针与所述模具分开。
20.一种根据权利要求1至19中任一项制成的复制微流体装置。
21.一种复制微流体装置，所述复制微流体装置包括：
在支撑构件上的多个微型针；
在所述支撑构件中的至少一个贮液器；以及
在至少一个微型针和至少一个贮液器之间提供流体传递的通道；
其中，所述复制微流体装置的母模的至少一个突起特征的大致至少1400:1的第一尺寸比也是所述复制微流体装置中的尺寸比。
22.根据权利要求21所述的复制微流体装置，其中，所述第一尺寸比是所述多个微型针的高度与所述多个微型针的顶端的曲率半径之比。
23.根据权利要求21或22所述的复制微流体装置，所述复制微流体装置还包括复制贮液器特征的第二尺寸比，即深度与宽度之比，所述第二尺寸比是大致至少5:1。
24.根据权利要求21至23中任一项所述的复制微流体装置，所述复制微流体装置还包括复制孔或复制腔的第三尺寸比，即深度与直径之比，所述第三尺寸比是大致至少20:1。
25.根据权利要求21至24中任一项所述的复制微流体装置，所述复制微流体装置还包括所述复制微流体装置的所述母模的不到500纳米的至少一个细小特征分辨率，所述至少一个细小特征分辨率也被复制在所述复制微流体装置中。
26.根据权利要求21至25中任一项所述的复制微流体装置，其中，所述复制微流体装置的所述多个微型针的高度在650微米至1000微米的大致范围内。
27.根据权利要求21至26中任一项所述的复制微流体装置，其中，所述复制微流体装置的贮液器的深度是至少100微米。
28.根据权利要求21至27中任一项所述的复制微流体装置，其中，开口的所述通道的深度在20微米至100微米的大致范围内。
29.根据权利要求21至27中任一项所述的复制微流体装置，其中，所述复制微流体装置的每个微型针具有至少大致1牛顿的屈服强度。
30.根据权利要求21至29中任一项所述的复制微流体装置，其中，所述至少一个贮液器和至少一个通道的表面是亲水性的并且所述复制微流体装置的其他表面是疏水性的。
31.一种用于传递流体的微型针，所述微型针包括：
主体，所述主体在第一端具有用于刺穿表皮层的尖头顶端；
底部，所述底部在所述主体的对向的第二端处；以及
开口通道，所述开口通道沿着所述主体的侧面从所述第一端延伸到所述第二端；
其中，所述开口通道被构造成将流体在所述微型针的所述顶端和所述底部之间传递。
32.一种贴片，所述贴片包括前述权利要求中任一项所述的微型针的阵列，多个微型针被支撑在支撑构件上。
33.根据权利要求32所述的贴片，其中，延伸到所述支撑构件中的多个开口通道形成与至少一个贮液器连通的通道网络。
34.根据权利要求32或33所述的贴片，其中，对所述通道网络进行预处理，以对体液内的预定物质的存在做出反应。
35.根据权利要求34所述的贴片，其中，预处理是包含用于分析物检测的至少一种试剂的凝胶。
36.一种大体如本文中描述的复制微流体装置的方法。
37.一种大体如本文中描述的复制微流体装置。
38.一种大体如本文中描述的微型针。
39.一种大体如本文中描述的贴片。
40.一种大体如本文中描述的微流体装置。
41.一种大体如本文中描述的微型叶片。
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