CN107061493B - 基于单电磁铁悬浮与气浮复合支承的装置及其控制方法 - Google Patents

基于单电磁铁悬浮与气浮复合支承的装置及其控制方法 Download PDF

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Abstract

本发明涉及一种基于单电磁铁悬浮与气浮复合支承的装置及其控制方法，属于精密设备技术领域。包括基座、隔震平台等部件，复合电磁包括单电磁铁、工业航空铝Ⅰ，工业航空铝Ⅰ包裹在单电磁铁外部，复合轴承包括单电磁铁、工业航空铝Ⅱ，工业航空铝Ⅱ7‑2包裹在单电磁铁7‑1外部，控制方法为先为复合电磁、复合轴承供电，使二者产生气膜Ⅰ，然后通过气缸为复合轴承施加压力，控制气膜Ⅰ的厚度，最后对复合轴承供气，适当的调整气缸施加的压力，使复合电磁、复合轴承之间形成新的气模Ⅱ，气膜Ⅰ可以满足复合轴承7启动阶段无机械摩擦的要求，且气膜Ⅰ厚度基本均匀，这就有效的减少了试验中由于振动导致常导气浮轴承发生损坏。本发明模型简单，可靠性高且易于实现。

Description

基于单电磁铁悬浮与气浮复合支承的装置及其控制方法
技术领域
本发明涉及一种基于单电磁铁悬浮与气浮复合支承的装置及其控制方法，属于精密设备技术领域。
背景技术
空气静压轴承以空气为润滑介质，具有超低的摩擦系数和很高的运动精度，对环境如低温、高温、辐射等耐受力较强，在航空航天以及精密机械中得到了广泛应用，随着空气静压轴承在各个领域的广泛应用，对其所能达到的精度要求越来越高，现有的空气静压轴承存在着以下缺点：其一是由于启动阶段有摩擦，需要很大的气体压力才能在空气静压轴承里形成气膜，其二是由于气缸施加给空气静压轴承的力可能没对准中心而存在偏载，会使得空气静压轴承产生强烈的振动，容易造成空气静压轴承的损坏。
发明内容
本发明要解决的技术问题是提供一种基于单电磁铁悬浮与气浮复合支承的装置及其控制方法，能满足空气静压轴承启动阶段无机械摩擦的要求，减小摩擦磨损，减少了试验中由于振动导致复合轴承发生损坏。
本发明采用的技术方案是：一种基于单电磁铁悬浮与气浮复合支承的装置，包括基座1、隔震平台2、微位移传感器底座3、大理市支撑面4、复合电磁5、微位移传感器支架6、复合轴承7、微位移传感器8、气缸9、支撑架10、压力调节阀Ⅰ11、压力调节阀Ⅱ12、压力调节阀Ⅲ13、供气管14、电源开关15、电动机16、空气压缩机17；
所述的隔振平台2放置于基座1上，大理石支撑面4和微位移传感器底座3放置在隔震平台2上，复合电磁5放置在大理石支撑面4上，复合轴承7放置于复合电磁5的正上方，复合轴承7的上表面安装有微位移传感器8，微位移传感器8通过微位移传感器支架6与微位移传感器底座3固定连接，气缸9固定在支撑架10上且位于复合轴承7的正上方，复合电磁5包括单电磁铁5-1、工业航空铝Ⅰ5-2，工业航空铝Ⅰ5-2包裹在单电磁铁5-1外部，复合轴承7包括单电磁铁7-1、工业航空铝Ⅱ7-2，工业航空铝Ⅱ7-2包裹在单电磁铁7-1外部，空气压缩机17通过供气管14分别向气缸9和复合轴承7供气，空气压缩机17与气缸9上部、下部连接的供气管14上分别安装有压力调节阀Ⅲ13、压力调节阀Ⅱ12，空气压缩机13与复合轴承7连接的供气管14上设有压力调节阀Ⅰ11，电动机16通过电源开关15分别向复合电磁5、复合轴承7供电。
优选地，所述的工业航空铝Ⅰ5-2、工业航空铝Ⅱ7-2的厚度为1-2mm。
所述的一种基于单电磁铁悬浮与气浮复合支承的装置的控制方法，包括如下步骤：
步骤1：电源开关15关闭，不给复合电磁5和复合轴承7供电，复合轴承7与复合电磁5之间的间隙为零，即无工作状态；
步骤2：电源开关15打开，给复合电磁5和复合轴承7供电，由于复合电磁5和复合轴承7中的单电磁铁发生电磁特性，形成斥力，使复合电磁5和复合轴承7之间形成厚度为3-5的气膜Ⅰ，此气膜Ⅰ的厚度可用微位移传感器8测得，从而使复合电磁5和复合轴承7之间形成微小间隙；随着电流的加大，气膜Ⅰ厚度随之加大，为了将气膜Ⅰ的厚度控制在5um以内，需要通过控制电流的额定值和气缸9给复合轴承7施加的压力值，同时，为了使气膜Ⅰ的厚度均匀，工业航空铝Ⅰ5-2、工业航空铝Ⅱ7-2表面粗糙度的误差不能超过50nm；
第三步：给复合电磁5和复合轴承7供电之后，便通过空气压缩机13给复合轴承7供气，此时会在复合电磁5和复合轴承7之间形成一层新的气膜Ⅱ，根据实验需要可适当的调整气缸9对复合轴承7所施加的压力，气膜Ⅱ的厚度可利用微位移传感器8测得。
具体地，所述的步骤2中给复合电磁5和复合轴承7供电的额定电流为1-2A，通过气缸9给复合轴承7施加压力小于等于1000N。
本发明的有益效果是：
1、装置简单，容易理解，数据处理量小，操作简便。
2、可通过复合电磁5和复合轴承7中单电磁铁之间形成的气膜Ⅰ满足复合轴承轴承启动阶段无机械摩擦的要求，同时，启动阶段有气膜Ⅰ，能够减少了进入稳定作业的时间和降低能源消耗。
3、供气之后复合电磁5和复合轴承7之间存在气膜Ⅰ，且膜厚度基本均匀，这就有效的减少了试验中由于振动导致常导气浮轴承发生损坏。
4、采用工业航空铝将单电磁铁材料包裹在内，既可以满足表面处理精度的要求，又不会与内部的磁性材料产生干扰。
附图说明
图1为本发明的结构连接图;
图2为本发明复合轴承7的结构图；
图3为本发明复合电磁5的结构图。
图中各标号为：基座-1、隔震平台-2、微位移传感器底座-3、大理市支撑面-4、复合电磁-5、微位移传感器支架-6、复合轴承-7、微位移传感器-8、气缸-9、支撑架-10、压力调节阀Ⅰ-11、压力调节阀Ⅱ-12、压力调节阀Ⅲ-13、供气管-14、电源开关-15、电动机-16、空气压缩机-17。
具体实施方式
下面结合附图及具体实施方式，对本发明进行进一步的说明。
实施例1：如图1-3所示，一种基于单电磁铁悬浮与气浮复合支承的装置，包括基座1、隔震平台2、微位移传感器底座3、大理市支撑面4、复合电磁5、微位移传感器支架6、复合轴承7、微位移传感器8、气缸9、支撑架10、压力调节阀Ⅰ11、压力调节阀Ⅱ12、压力调节阀Ⅲ13、供气管14、电源开关15、电动机16、空气压缩机17；
所述的隔振平台2放置于基座1上，大理石支撑面4和微位移传感器底座3放置在隔震平台2上，复合电磁5放置在大理石支撑面4上，复合轴承7放置于复合电磁5的正上方，复合轴承7的上表面安装有微位移传感器8，微位移传感器8通过微位移传感器支架6与微位移传感器底座3固定连接，气缸9固定在支撑架10上且位于复合轴承7的正上方，复合电磁5包括单电磁铁5-1、工业航空铝Ⅰ5-2，工业航空铝Ⅰ5-2包裹在单电磁铁5-1外部，复合轴承7包括单电磁铁7-1、工业航空铝Ⅱ7-2，工业航空铝Ⅱ7-2包裹在单电磁铁7-1外部，空气压缩机17通过供气管14分别向气缸9和复合轴承7供气，空气压缩机17与气缸9上部、下部连接的供气管14上分别安装有压力调节阀Ⅲ13、压力调节阀Ⅱ12，空气压缩机13与复合轴承7连接的供气管14上设有压力调节阀Ⅰ11，电动机16通过电源开关15分别向复合电磁5、复合轴承7供电。工业航空铝的表面处理可以达到很高的精度要求，而且铝材料不会受到磁性材料的干扰，可以满足本发明的需要。
进一步，所述的工业航空铝Ⅰ5-2、工业航空铝Ⅱ7-2的厚度为1-2mm。
所述的一种基于单电磁铁悬浮与气浮复合支承的装置的控制方法，包括如下步骤：
步骤1：电源开关15关闭，不给复合电磁5和复合轴承7供电，复合轴承7与复合电磁5之间的间隙为零，即无工作状态；
步骤2：电源开关15打开，给复合电磁5和复合轴承7供电，由于复合电磁5和复合轴承7中的单电磁铁发生电磁特性，形成斥力，使复合电磁5和复合轴承7之间形成厚度为3-5的气膜Ⅰ，能有效的减少试验中由于振动导致复合轴承发生损坏。此气膜Ⅰ的厚度可用微位移传感器8测得，从而使复合电磁5和复合轴承7之间形成微小间隙，可满足空气静压轴承启动阶段无机械摩擦的要求，并在稳定运行阶段提供一定比例的承载力；随着电流的加大，气膜Ⅰ厚度随之加大，为了将气膜Ⅰ的厚度控制在5um以内（因为正常使用空气静压轴承，供气之后气膜厚度都是在10um左右，供电产生的气膜很小就足够了，供电产生气膜目的主要是为了供气的时候没有启动摩擦，同时避免工作中由于振动产生轴承损坏的，供电产生的气膜太小了轴承振动还是会有所损伤，太大了没有必要），需要通过控制电流的额定值和气缸9给复合轴承7施加的压力值，同时，为了使气膜Ⅰ的厚度均匀，工业航空铝Ⅰ5-2、工业航空铝Ⅱ7-2表面粗糙度的误差不能超过50nm，工业航空铝Ⅰ5-2、工业航空铝Ⅱ7-2只是为了包裹在单电磁铁5-1、单电磁铁7-1的外部，不需要太厚，只需要薄薄的一层，用来满足复合电磁5和复合轴承7的表面精度而已，工业航空铝Ⅰ5-2、工业航空铝Ⅱ7-2自身的表面粗糙度不能太低，所以表面粗糙度误差不能超过50nm，太大既不能满足表面精度的要求，又不能保证气膜厚度几乎均匀；
第三步：给复合电磁5和复合轴承7供电之后，便通过空气压缩机13给复合轴承7供气，此时会在复合电磁5和复合轴承7之间形成一层新的气膜Ⅱ，可根据实验需要适当调整气缸9对复合轴承7所施加的压力，气膜Ⅱ的厚度可利用微位移传感器8测得，气膜Ⅱ能够弥补气膜Ⅰ刚度小和承载力弱的缺陷，同时能够提高稳定阶段转子轴向刚度、增强抗冲击载荷能力的特点，此时供气，既缩短了达到稳定状态的时间又减少了能源的输入，形成新的气膜Ⅱ后，就可以测量复合轴承7产生的微振动，分析复合轴承7的各种振动特性。
进一步地，所述的步骤2中给复合电磁5和复合轴承7供电的额定电流为1-2A，通过气缸9给复合轴承7施加压力小于等于1000N，目的都是为了将气膜Ⅰ的厚度控制在5um以内，本发明给复合电磁5和复合轴承7供电的额定电流1A-2A，在2A的条件下测得气膜厚度为3-5um，单纯供电形成的气膜Ⅰ厚度可能比5um要大一点点，因此为了让气膜厚度保持在5um之内，需要通过气缸9给复合轴承7施加压力（≤1000N）,实验的整个过程都是需要给复合电磁5和复合轴承7供电，所以对气膜Ⅰ的厚度控制业是贯穿整个实验的。
由于通电后复合电磁5与复合轴承7之间磁通量的变化产生一定的排斥力，从而会有气膜Ⅰ的产生，因此，在分析复合轴承7的性能时，需要考虑复合轴承7的承载力和刚度。
其中复合电磁5与复合轴承7之间磁通量的变化产生一定的排斥力：F1= F 斥 ，
由于需要控制气膜Ⅰ的厚度，气缸9需要给复合轴承7施加一定的压力F2=F压，
同时还需要给复合轴承7供气，也会在复合轴承7里形成压力：F3=F供，
由上可知复合轴承7的承载力为F=F 斥 +F供+F压，
给复合电磁5与复合轴承7的额定电流:I≤2A，复合轴承7与复合电磁5在磁场方向垂直，它受力的大小既与气膜Ⅰ厚度h成正比，又与电流I成正比，即与I和h的乘积Ih成正比，公式是F 斥 =IhB，式中B是磁感应强度，
已知高斯磁场定律为：B=Φ/S，其中Φ为磁通量,B为磁感应强度,S为面积，由此可知F 斥 ，F供和F压均可通过压力传感器测得，由此可得知复合轴承7的承载力。
Kj为给复合轴承7供气后在复合轴承和复合电磁之间形成气膜Ⅱ的刚度，Ks为给复合电磁5和复合轴承7供电后在复合轴承7和复合电磁5之间由于斥力形成气膜Ⅰ的刚度，则复合轴承7的刚度为：K=Kj+Ks。
本发明供电后产生气膜Ⅰ，且膜厚Ⅰ度基本均匀，可以满足启动阶段无机械摩擦的要求，并在稳定阶段提供一定比例的承载力，能提高轴承的刚度和抗冲击载荷的能力；复合轴承中静压部分（即气膜Ⅱ的产生）用以弥补气膜Ⅰ电磁力刚度小的缺陷，提高稳定阶段转子轴向刚度、增强抗冲击载荷能力，有效的减少了试验中由于振动导致复合气浮轴承发生损坏。同时隔震平台2能减小复合电磁5与复合轴承7之间的误差，提高精度，保证结果准确性。该发明模型简单，容易理解，操作简便，可靠性高且易于实现。
以上结合附图对本发明的具体实施方式作了详细说明，但是本发明并不限于上述实施方式，在本领域普通技术人员所具备的知识范围内，还可以在不脱离本发明宗旨的前提下作出各种变化。

Claims (4)

1.一种基于单电磁铁悬浮与气浮复合支承的装置，其特征在于：包括基座（1）、隔震平台（2）、微位移传感器底座（3）、大理石支撑面（4）、复合电磁（5）、微位移传感器支架（6）、复合轴承（7）、微位移传感器（8）、气缸（9）、支撑架（10）、压力调节阀Ⅰ（11）、压力调节阀Ⅱ（12）、压力调节阀Ⅲ（13）、供气管（14）、电源开关（15）、电动机（16）、空气压缩机（17）；
所述的隔震平台（2）放置于基座（1）上，大理石支撑面（4）和微位移传感器底座（3）放置在隔震平台（2）上，复合电磁（5）放置在大理石支撑面（4）上，复合轴承（7）放置于复合电磁（5）的正上方，复合轴承（7）的上表面安装有微位移传感器（8），微位移传感器（8）通过微位移传感器支架（6）与微位移传感器底座（3）固定连接，气缸（9）固定在支撑架（10）上且位于复合轴承（7）的正上方，复合电磁（5）包括单电磁铁（5-1）、工业航空铝Ⅰ（5-2），工业航空铝Ⅰ（5-2）包裹在单电磁铁（5-1）外部，复合轴承（7）包括单电磁铁（7-1）、工业航空铝Ⅱ（7-2），工业航空铝Ⅱ（7-2）包裹在单电磁铁（7-1）外部，空气压缩机（17）通过供气管（14）分别向气缸（9）和复合轴承（7）供气，空气压缩机（17）与气缸（9）上部连接的供气管（14）上安装有压力调节阀Ⅲ（13），空气压缩机（17）与气缸（9）下部连接的供气管（14）上安装有压力调节阀Ⅱ（12），空气压缩机（17）与复合轴承（7）连接的供气管（14）上设有压力调节阀Ⅰ（11），电动机（16）通过电源开关（15）分别向复合电磁（5）、复合轴承（7）供电。
2.根据权利要求1所述的一种基于单电磁铁悬浮与气浮复合支承的装置，其特征在于：所述的工业航空铝Ⅰ（5-2）、工业航空铝Ⅱ（7-2）的厚度为1-2mm。
3.根据权利要求1或2所述的一种基于单电磁铁悬浮与气浮复合支承的装置的控制方法，其特征在于：包括如下步骤：
步骤1：电源开关（15）关闭，不给复合电磁（5）和复合轴承（7）供电，复合轴承（7）与复合电磁（5）之间的间隙为零，即无工作状态；
步骤2：电源开关（15）打开，给复合电磁（5）和复合轴承（7）供电，由于复合电磁（5）和复合轴承（7）中的单电磁铁发生电磁特性，形成斥力，使复合电磁（5）和复合轴承（7）之间形成厚度为3-5的气膜Ⅰ，此气膜Ⅰ的厚度可用微位移传感器（8）测得，从而使复合电磁（5）和复合轴承（7）之间形成微小间隙；随着电流的加大，气膜Ⅰ厚度随之加大，为了将气膜Ⅰ的厚度控制在5um以内，需要通过控制电流的额定值和气缸（9）给复合轴承（7）施加的压力值，同时，为了使气膜Ⅰ的厚度均匀，工业航空铝Ⅰ（5-2）、工业航空铝Ⅱ（7-2）表面粗糙度的误差不能超过50nm；
第三步：给复合电磁（5）和复合轴承（7）供电之后，便通过空气压缩机（17）给复合轴承（7）供气，此时会在复合电磁（5）和复合轴承（7）之间形成一层新的气膜Ⅱ，根据实验需要可适当的调整气缸（9）对复合轴承（7）所施加的压力，气膜Ⅱ的厚度可利用微位移传感器（8）测得。
4.根据权利要求3所述的一种基于单电磁铁悬浮与气浮复合支承的装置的控制方法，其特征在于：所述的步骤2中给复合电磁（5）和复合轴承（7）供电的额定电流为1-2A，通过气缸（9）给复合轴承（7）施加压力小于等于1000N。
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Families Citing this family (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN110925308A (zh) * 2018-09-19 2020-03-27 武汉科技大学 一种气膜形状可变的主动气浮轴承
CN110296839B (zh) * 2019-08-13 2024-02-06 中国工程物理研究院机械制造工艺研究所 用于气体轴承的气膜压力测试装置及测试方法
CN113027931A (zh) * 2021-03-25 2021-06-25 南京客棹歌贸易有限公司 一种工业机器人气垫悬浮轴承座

Family Cites Families (13)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP3118901B2 (ja) * 1991-09-19 2000-12-18 豊田工機株式会社 スライド装置
JPH09242756A (ja) * 1996-03-08 1997-09-16 Fanuc Ltd 支持装置および軸受
JPH10545A (ja) * 1996-06-12 1998-01-06 Nikon Corp 研磨ヘッド
JP2003339136A (ja) * 2002-05-20 2003-11-28 Kumamoto Technology & Industry Foundation 環状モータ
US7567339B2 (en) * 2006-09-08 2009-07-28 Asml Netherlands B.V. Lithographic apparatus with gas bearing supply mechanism and device manufacturing method
JP2008303913A (ja) * 2007-06-05 2008-12-18 Shinkawa Ltd 静圧案内装置
CN103790963B (zh) * 2012-11-02 2017-02-08 上海微电子装备有限公司 一种分体式气足及平面导向装置
US20160172931A1 (en) * 2014-12-11 2016-06-16 Joseph Michael Teets Alternator rotor to stator integrated hrdrodynamic bearing
CN205175691U (zh) * 2015-10-29 2016-04-20 昆明理工大学 一种测量气浮静压轴承承载力的实验装置
CN205175641U (zh) * 2015-10-29 2016-04-20 昆明理工大学 一种空气静压导轨气浮振动实验平台的检测装置
CN205483512U (zh) * 2016-01-13 2016-08-17 昆明理工大学 一种测试多孔供气静压气浮台抗倾侧特性的实验检测装置
CN206095588U (zh) * 2016-06-24 2017-04-12 昆明理工大学 一种基于外反馈调节的高刚度气浮实验装置
CN205940984U (zh) * 2016-07-25 2017-02-08 昆明理工大学 一种基于外反馈调节的气浮静压轴承性能测试装置

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