JP3118901B2 - スライド装置 - Google Patents
スライド装置Info
- Publication number
- JP3118901B2 JP3118901B2 JP03266871A JP26687191A JP3118901B2 JP 3118901 B2 JP3118901 B2 JP 3118901B2 JP 03266871 A JP03266871 A JP 03266871A JP 26687191 A JP26687191 A JP 26687191A JP 3118901 B2 JP3118901 B2 JP 3118901B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pressurized fluid
- magnet
- movable table
- guide base
- guide
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
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Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、工作機械のワーク等を
支持して直動するスライド装置に関するものである。
支持して直動するスライド装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】従来、固定のガイドベース上を送りねじ
によって案内移動するワーク支持台をガイドベース側か
ら案内面に向かって供給される加圧流体により流体膜を
構成して減摩擦的にスライドさせるスライド装置が特開
昭６０−１１３８１６号，特開昭６１−４５１１０号で
提供されている。
によって案内移動するワーク支持台をガイドベース側か
ら案内面に向かって供給される加圧流体により流体膜を
構成して減摩擦的にスライドさせるスライド装置が特開
昭６０−１１３８１６号，特開昭６１−４５１１０号で
提供されている。
【０００３】
【発明が解決しようとする課題】上記スライド装置にお
いて、加圧流体の供給をワーク支持台の移動と連係して
制御するために、ワーク支持台の位置をセンサで検出し
て電磁弁を開閉する手段や、ワーク支持台の送りねじに
ドグを設け、このドグにより切換バルブを開閉する手段
によって制御している。
いて、加圧流体の供給をワーク支持台の移動と連係して
制御するために、ワーク支持台の位置をセンサで検出し
て電磁弁を開閉する手段や、ワーク支持台の送りねじに
ドグを設け、このドグにより切換バルブを開閉する手段
によって制御している。
【０００４】このような加圧流体の供給制御装置では、
多数個の電磁弁と多数本の流路配管を必要とし、配管の
複雑により長ストローク化には不向きである。
多数個の電磁弁と多数本の流路配管を必要とし、配管の
複雑により長ストローク化には不向きである。
【０００５】本発明の目的は、多数個の電磁弁と多数本
の流路配管を必要とすることなく加圧流体の供給制御を
可能としたスライド装置を提供することである。
の流路配管を必要とすることなく加圧流体の供給制御を
可能としたスライド装置を提供することである。
【０００６】
【課題を解決するための手段】上記の目的を達成する本
発明の特徴とする構成は、固定のガイドベースと、この
ガイドベースを案内として送りねじにより移動可能な可
動テーブルとからなり、前記ガイドベースには加圧流体
通路と、この加圧流体通路と連通し前記可動テーブルの
案内面に開口する加圧流体吐出口と、スプリングにより
前記加圧流体吐出口を常に閉じる方向に押圧付勢され磁
石を備えたバルブ機構とを有し、前記可動テーブルには
前記ガイドベースとの対接面に前記バルブ機構の磁石の
磁極と反対の磁極の磁石と、静圧ポケットとを備えたも
のである。
発明の特徴とする構成は、固定のガイドベースと、この
ガイドベースを案内として送りねじにより移動可能な可
動テーブルとからなり、前記ガイドベースには加圧流体
通路と、この加圧流体通路と連通し前記可動テーブルの
案内面に開口する加圧流体吐出口と、スプリングにより
前記加圧流体吐出口を常に閉じる方向に押圧付勢され磁
石を備えたバルブ機構とを有し、前記可動テーブルには
前記ガイドベースとの対接面に前記バルブ機構の磁石の
磁極と反対の磁極の磁石と、静圧ポケットとを備えたも
のである。
【０００７】
【作用】上記の構成により、可動テーブルの移動によっ
て可動テーブル側の磁石と対面するガイドベース側のバ
ルブの磁石が磁力反発してバルブを自動的に開口して加
圧流体を静圧ポケットに供給し、可動テーブルが通過し
たバルブはスプリングと加圧流体の圧力とによって自動
的に閉止される。
て可動テーブル側の磁石と対面するガイドベース側のバ
ルブの磁石が磁力反発してバルブを自動的に開口して加
圧流体を静圧ポケットに供給し、可動テーブルが通過し
たバルブはスプリングと加圧流体の圧力とによって自動
的に閉止される。
【０００８】
【実施例】以下本発明の実施例を図面に基づいて説明す
る。図１において、１は固定のガイドベース、２は前記
ガイドベース１に案内されて移動する可動テーブル、３
は前記可動テーブル２を移動させるボールネジでありサ
ーボモータ１１によって正逆回転する。４は前記可動テ
ーブル２に固設され前記ボールネジ３に螺合したボール
ナットである。
る。図１において、１は固定のガイドベース、２は前記
ガイドベース１に案内されて移動する可動テーブル、３
は前記可動テーブル２を移動させるボールネジでありサ
ーボモータ１１によって正逆回転する。４は前記可動テ
ーブル２に固設され前記ボールネジ３に螺合したボール
ナットである。
【０００９】前記ガイドベース１には、エアまたは圧油
の加圧流体通路５と、この加圧流体通路５と連通し、前
記可動テーブル２の案内面に開口する多数の吐出口６
と、この吐出口６を開閉するバルブ機構８とが設けら
れ、前記加圧流体通路５はポンプ７等の加圧流体源と接
続されている。
の加圧流体通路５と、この加圧流体通路５と連通し、前
記可動テーブル２の案内面に開口する多数の吐出口６
と、この吐出口６を開閉するバルブ機構８とが設けら
れ、前記加圧流体通路５はポンプ７等の加圧流体源と接
続されている。
【００１０】前記バルブ機構８は図２で示すように、ガ
イドベース１に螺着された非磁性体のバルブホルダ８ａ
内にバネガイド８ｂが昇降動自在に設けられ、このバネ
ガイド８ｂに磁石８ｅと非磁性体の弁８ｆとを備え、前
記バルブホルダ８ａに螺着されたバネ押さえ８ｃとバネ
ガイド８ｂとの間に前記弁８ｆをバルブホルダ８ａに穿
設した吐出口６の周囲の弁座部に押圧するスプリング８
ｄが介装され、前記弁座部にはＯリング８ｇが設けられ
た構造である。
イドベース１に螺着された非磁性体のバルブホルダ８ａ
内にバネガイド８ｂが昇降動自在に設けられ、このバネ
ガイド８ｂに磁石８ｅと非磁性体の弁８ｆとを備え、前
記バルブホルダ８ａに螺着されたバネ押さえ８ｃとバネ
ガイド８ｂとの間に前記弁８ｆをバルブホルダ８ａに穿
設した吐出口６の周囲の弁座部に押圧するスプリング８
ｄが介装され、前記弁座部にはＯリング８ｇが設けられ
た構造である。
【００１１】前記可動テーブル２のガイドベース１との
対接面には磁石９と静圧ポケット１０とが設けられてい
る。この可動テーブル２に設けられた磁石９の磁極は前
記バルブ機構８の磁石８ｅに磁極と同じ磁極である。す
なわち、バルブ機構８の磁石８ｅの可動テーブル側がＳ
極であれば可動テーブル２の磁石９のバルブ機構８側も
Ｓ極とし、バルブ機構８の磁石８ｅの可動テーブルと反
対側と可動テーブル２の磁石９のバルブ機構８と反対側
はＮ極とする。
対接面には磁石９と静圧ポケット１０とが設けられてい
る。この可動テーブル２に設けられた磁石９の磁極は前
記バルブ機構８の磁石８ｅに磁極と同じ磁極である。す
なわち、バルブ機構８の磁石８ｅの可動テーブル側がＳ
極であれば可動テーブル２の磁石９のバルブ機構８側も
Ｓ極とし、バルブ機構８の磁石８ｅの可動テーブルと反
対側と可動テーブル２の磁石９のバルブ機構８と反対側
はＮ極とする。
【００１２】本発明は上記の通りの構造であるから、ガ
イドベース１に多数設けられているバルブ機構８は、ス
プリング８ｄと加圧流体源７から加圧流体通路５に供給
されている加圧流体の圧力とによって弁８ｆはＯリング
８ｇに圧接され吐出口６を常時閉じている。
イドベース１に多数設けられているバルブ機構８は、ス
プリング８ｄと加圧流体源７から加圧流体通路５に供給
されている加圧流体の圧力とによって弁８ｆはＯリング
８ｇに圧接され吐出口６を常時閉じている。
【００１３】しかしながら、サーボモータ１１の作動に
よってボールネジ３が回転しボールナット４によって可
動テーブル２が移動してバルブ機構８に可動テーブル２
側の磁石９が対面すると、バルブ機構８の磁石８ｅによ
り磁力反発してスプリング８ｄ及び加圧流体の圧力に抗
して弁８ｆがＯリング８ｇより離れ、吐出口６を開口す
る。これにより、加圧流体は可動テーブル２の静圧ポケ
ット１０内に供給されて、ガイドベース１と可動テーブ
ル２との摺動面に加圧流体膜を形成して減摩擦作用を行
うのである。尚、静圧ポケット１０内に供給された加圧
流体はガイドベース１の案内面に沿って静圧ポケット１
０外に排出される。
よってボールネジ３が回転しボールナット４によって可
動テーブル２が移動してバルブ機構８に可動テーブル２
側の磁石９が対面すると、バルブ機構８の磁石８ｅによ
り磁力反発してスプリング８ｄ及び加圧流体の圧力に抗
して弁８ｆがＯリング８ｇより離れ、吐出口６を開口す
る。これにより、加圧流体は可動テーブル２の静圧ポケ
ット１０内に供給されて、ガイドベース１と可動テーブ
ル２との摺動面に加圧流体膜を形成して減摩擦作用を行
うのである。尚、静圧ポケット１０内に供給された加圧
流体はガイドベース１の案内面に沿って静圧ポケット１
０外に排出される。
【００１４】このようにして、可動テーブル２が位置す
るバルブ機構８は磁力の反発によって自動的に吐出口６
を開口し、可動テーブル２が通過した位置のバルブ機構
８はスプリング８ｄ及び加圧流体の圧力によって自動的
に吐出口６を閉止するのである。
るバルブ機構８は磁力の反発によって自動的に吐出口６
を開口し、可動テーブル２が通過した位置のバルブ機構
８はスプリング８ｄ及び加圧流体の圧力によって自動的
に吐出口６を閉止するのである。
【００１５】上記の説明並びに図面ではガイドベース１
の設けられた吐出口６及びこの吐出口６を開閉するバル
ブ機構８はガイドベース１の上下面に設置されている
が、図３に示すようにガイドベース１の両側面に設け、
可動テーブル２の両側面に磁石９を配置し、ガイドベー
ス１の側面に設けたバルブ機構８の弁８ｆに磁石８ｅを
取付け、磁石９，８ｅの反力によってガイドベース１の
上面に開口した吐出口６への加圧流体を供給し、スプリ
ング８ｄの付勢力によって遮断することも可能である。
この場合は可動テーブル２の左右の吸引力が両側面に設
けた磁石の反発によって相殺され、また、磁石８ｅ，９
の反発磁力は加圧流体の圧力に打ち勝つ力を必要としな
い利点がある。
の設けられた吐出口６及びこの吐出口６を開閉するバル
ブ機構８はガイドベース１の上下面に設置されている
が、図３に示すようにガイドベース１の両側面に設け、
可動テーブル２の両側面に磁石９を配置し、ガイドベー
ス１の側面に設けたバルブ機構８の弁８ｆに磁石８ｅを
取付け、磁石９，８ｅの反力によってガイドベース１の
上面に開口した吐出口６への加圧流体を供給し、スプリ
ング８ｄの付勢力によって遮断することも可能である。
この場合は可動テーブル２の左右の吸引力が両側面に設
けた磁石の反発によって相殺され、また、磁石８ｅ，９
の反発磁力は加圧流体の圧力に打ち勝つ力を必要としな
い利点がある。
【００１６】
【発明の効果】以上のように本発明によると、ガイドテ
ーブルに設けたバルブ機構を可動テーブルの移動にとも
なって磁力によって自動開閉して加圧流体を可動テーブ
ルに形成した静圧ポケットに供給するようにした構成で
あるから、可動テーブルの移動位置を検出して電磁弁を
制御する機構及び加圧流体の吐出口への多数本の配管が
不要となり、可動テーブルのストロークを長くしてもバ
ルブ機構を増設するのみで対応が可能となる効果を有し
ている。
ーブルに設けたバルブ機構を可動テーブルの移動にとも
なって磁力によって自動開閉して加圧流体を可動テーブ
ルに形成した静圧ポケットに供給するようにした構成で
あるから、可動テーブルの移動位置を検出して電磁弁を
制御する機構及び加圧流体の吐出口への多数本の配管が
不要となり、可動テーブルのストロークを長くしてもバ
ルブ機構を増設するのみで対応が可能となる効果を有し
ている。
【図１】本発明の一実施例を示す断面図
【図２】バルブ機構の詳細断面図
【図３】他の実施例としてのバルブ機構の詳細断面図
１ ガイドベース ２ 可動テーブル ３ ボールネジ ４ ボールナット ５ 加圧流体通路 ６ 吐出口 ７ 加圧流体源 ８ バルブ機構 ８ｄ スプリング ８ｅ 磁石 ８ｆ 弁 ９ 磁石 １０ 静圧ポケット
フロントページの続き (72)発明者 高橋 俊博 愛知県刈谷市朝日町１丁目１番地 豊田 工機株式会社内 (72)発明者 太田 浩充 愛知県刈谷市朝日町１丁目１番地 豊田 工機株式会社内 (72)発明者 山川 陽一 愛知県刈谷市朝日町１丁目１番地 豊田 工機株式会社内 (56)参考文献 特開 昭52−47154（ＪＰ，Ａ) 特開 昭52−68644（ＪＰ，Ａ) 特開 平４−125313（ＪＰ，Ａ) 特開 昭63−186029（ＪＰ，Ａ) 特開 昭60−113816（ＪＰ，Ａ) 特開 昭61−45110（ＪＰ，Ａ) (58)調査した分野(Int.Cl.7，ＤＢ名) F16C 32/06 B23Q 1/26
Claims (1)
- 【請求項１】 固定のガイドベースと、このガイドベー
スを案内として送りねじにより移動可能な可動テーブル
とからなり、前記ガイドベースには加圧流体通路と、こ
の加圧流体通路と連通し前記可動テーブルの案内面に開
口する加圧流体吐出口と、スプリングにより前記加圧流
体吐出口を常に閉じる方向に押圧付勢され磁石を備えた
バルブ機構とを有し、前記可動テーブルには前記ガイド
ベースとの対接面に前記バルブ機構の磁石の磁極と同一
の磁極の磁石と、静圧ポケットとを備えたことを特徴と
するスライド装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP03266871A JP3118901B2 (ja) | 1991-09-19 | 1991-09-19 | スライド装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP03266871A JP3118901B2 (ja) | 1991-09-19 | 1991-09-19 | スライド装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0579512A JPH0579512A (ja) | 1993-03-30 |
| JP3118901B2 true JP3118901B2 (ja) | 2000-12-18 |
Family
ID=17436814
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP03266871A Expired - Fee Related JP3118901B2 (ja) | 1991-09-19 | 1991-09-19 | スライド装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3118901B2 (ja) |
Families Citing this family (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPWO2006043434A1 (ja) * | 2004-10-18 | 2008-05-22 | 株式会社ニコン | 軸受装置及びステージ装置並びに露光装置 |
| US7705365B2 (en) | 2006-01-24 | 2010-04-27 | Denso Corporation | Lighting device and light emitting module for the same |
| US7567339B2 (en) * | 2006-09-08 | 2009-07-28 | Asml Netherlands B.V. | Lithographic apparatus with gas bearing supply mechanism and device manufacturing method |
| JP2010161926A (ja) * | 2010-04-21 | 2010-07-22 | Seiko Instruments Inc | アクチュエータ及びテーブル装置 |
| CN107061493B (zh) * | 2017-05-04 | 2018-12-14 | 昆明理工大学 | 基于单电磁铁悬浮与气浮复合支承的装置及其控制方法 |
-
1991
- 1991-09-19 JP JP03266871A patent/JP3118901B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0579512A (ja) | 1993-03-30 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |