CN107052731B - 一种炉体装卸机构 - Google Patents

Abstract

本发明提供了一种炉体装卸机构，包括：主体，前传送支架调整结构，前传送支架，中间传送架，后传送支架，炉体固定支架，安装炉体时，将炉体装到后传送支架上，推动炉体至中间传送架，炉体固定支架固定炉体，推动主体至目标设备，前传送支架插入目标位置，炉体固定支架取消对炉体的固定，移动炉体至前传送支架，用锁紧螺栓将炉体顶起，前传送支架移出目标位置，炉体放下后位于目标位置；卸下炉体时，将主体移动到目标设备，用锁紧螺栓将炉体顶起，前传送支架插入位于目标位置上的炉体底部，移动炉体从前传送支架到中间传送架，炉体固定支架固定炉体，推动主体离开目标设备，炉体固定支架取消对炉体的固定，移动炉体至后传送支架，将炉体从后传送支架上取走。

Description

一种炉体装卸机构

技术领域

本发明涉及半导体设备技术领域，具体涉及一种炉体装卸机构。

背景技术

半导体热处理设备是集成电路制造的重要工艺设备，适用于集成电路制造过程中各种氧化、退火和薄膜生长等工艺。炉体是热处理设备的核心部件，由于其质量较大且安装空间较小，所以炉体拆卸和安装的难度比较大。

传统炉体装卸工装只适用于带有支撑板的炉体，包括主体、插板、脚轮、地脚、前传送支架、中间传送架和后传送支架等，但是有以下问题存在：高度可调范围太小，不能满足各种厂房高度的要求；调节工装高度操作不方便；主体结构复杂，成本高；工装在不使用时，占用空间大；无炉体固定装置，推动载有炉体工装时不安全；炉体在前传送支架、中间传送架及后传送支架的过渡处移动困难；工装无定位装置，多次调整才能达到位置要求，效率低；由于装配空间小，工装在推进热处理设备处时，容易刮伤两侧部件。

发明内容

为了克服以上问题，本发明旨在提供一种炉体装卸机构，能够方便的进行炉体拆卸和安装。

为了达到上述目的，本发明提供了一种炉体装卸机构，其包括：

主体，其顶部和底部具有间隔，用于传送炉体；

前传送支架调整结构，安装于主体顶部的一侧，用于调整前传送支架的高度；

前传送支架，其一端固定于前传送支架调整结构上；当装卸炉体时，前传送支架水平固定于前传送支架调整结构上；

中间传送架，固定在主体的顶部，且与前传送支架相衔接，使得炉体能够在前传送支架和中间传送架之间过渡；

后传送支架，包括水平结构件和水平结构件支撑件；当装卸炉体时，水平结构件的一端固定于固定在与前传送支架相对的主体的另一侧的顶部，水平结构件支撑件固定于主体上并支撑水平结构件；后传送支架与中间传送架相衔接，使得炉体能够在中间传送架和后传送支架之间过渡；

炉体固定支架，安装于主体的顶部，用于固定位于中间传送架上的炉体；其中，

向目标设备安装炉体时，将炉体装到后传送支架上，推动炉体至中间传送架，炉体固定支架固定炉体，然后推动主体至目标设备，此时，前传送支架插入目标位置，炉体固定支架取消对炉体的固定，移动炉体至前传送支架，用锁紧螺栓将炉体顶起，前传送支架移出目标位置，炉体放下后位于目标位置；

从目标设备卸下炉体时，将主体移动到目标设备，用锁紧螺栓将炉体顶起，前传送支架插入位于目标位置上的炉体底部，移动炉体从前传送支架到中间传送架，炉体固定支架固定炉体，然后推动主体离开目标设备，炉体固定支架取消对炉体的固定，移动炉体至后传送支架，将炉体从后传送支架上取走。

优选地，所述前传送支架由前端板和滚珠构成，滚珠设置于前端板上，前端板固定于前传送支架调整结构上，滚珠用于炉体放置于滚珠上时炉体能够360度方向上自由移动。

优选地，前传送支架调整机构包括调整块、支撑块和调整螺钉组件；支撑块固定于主体上，调整块固定于支撑块上，前传送支架固定于调整块上，通过调整螺钉组件将支撑块在主体侧面上下移动，从而调整前传送支架上下移动的位置。

优选地，中间传送架包括第一结构钢件和第一滚轮，第一滚轮设置与第一结构钢件上，第一结构钢件固定于主体顶部；第一结构钢件的前端和后端均具有第一倾斜端面，炉体底部四周也为斜面结构，斜面结构和第一倾斜端面相配合。

优选地，后传送支架的水平结构件包括第二结构钢件和第二滚轮，第二滚轮设置于第二结构钢件上，第二结构钢件固定于主体顶部；第二结构钢件的前端和后端均具有第二倾斜端面，炉体底部四周也为斜面结构，斜面结构和第二倾斜端面相配合。

优选地，在主体内设置有配重块，配重块在主体内的位置可以任意调整，在炉体位于前传送支架、中间传送架和后传送支架上时，防止主体倾倒。

优选地，还包括：插板，超出主体侧面且安装于主体底部的前端，当炉体位于后传送支架上时，插板插入到目标设备的设备底部，防止装卸机构发生向后倾倒。

优选地，所述插板包括插板护罩和手动旋钮，插板插入插板护罩，手动旋钮用于调整插板的高度。

优选地，还包括定位装置，所述定位装置具有定位结构和与定位结构配合的定位座，定位座固定在目标设备底部，定位结构固定在主体底部前端，当定位结构移动到定位座内与之配合时，主体到达目标设备。

优选地，所述炉体固定支架包括前端固定支架和后端固定支架；当装卸炉体时，前端固定支架安装在前传送支架调整结构上，后端固定支架安装在主体顶部且与前端固定支架相对一侧，用于防止位于中间传送架上的炉体产生移动或倾倒；当不工作时，卸下前端固定支架和后端固定支架。

优选地，当不工作时，前传送支架放置于主体的侧面且与主体侧面平行；后传送支架放置于主体的内侧底部，水平结构件与主体侧面平行，水平结构件支撑件的一端固定在水平结构件上，另一端固定在主体上。

优选地，水平结构件的一端通过一固定支架固定在主体上；固定支架可拆卸式固定在主体上。

优选地，在主体上还可拆卸安装或放置有锁紧螺栓，将锁紧螺栓取下后顶起炉体。

优选地，还包括橡胶调整块，安装在主体的四个对角处，防止主体移动过程中刮伤其周围的部件。

优选地，还包括安全护板，安装于主体顶部，用于装配人员站立此处进行炉体的安装和拆卸。

优选地，在主体底部还固定有地脚，用于支撑主体和调整主体的高度；地脚上还固定有若干手柄，用于调整主体高度。

优选地，在主体底部还安装有脚轮，脚轮分为前端脚轮和后端脚轮；前端脚轮位于主体底部前端，后端脚轮位于主体底部后端，前端脚轮采用万向轮，后端加仑采用定向轮。

本发明的炉体装卸机构，通过采用前传送支架、中间传送架和后传送支架以及三者之间的衔接，来实现对目标设备的炉体装卸，本发明的装卸机构结构简单且使用方便。首先，装卸机构带有定位装置，能能快速准确达到位置要求，效率高；并且，装卸结构可调范围大，能适用于各种高度厂房；主体结构简单，减轻重量，降低成本；前传送支架带有高度调节的前传送支架调整结构，且中间传送架及后传送支架端面为斜面，使炉体能在前传送支架、中传送架、后传送支架过渡处顺利移动；此外，装卸机构非使用状态时占用厂房空间小；进一步的，带有炉体固定装置，避免炉体的移动或倾倒；在主体底部安装地脚，地脚上焊接有三个手柄，以方便快速的调整地脚的高度；配重块调节装卸机构的重心位置；橡胶调整块的设置能够防止装卸机构在移动过程中刮伤装卸机构周围的部件。

附图说明

图1为本发明的一个较佳实施例的进行炉体装卸时所对应的炉体装卸机构的结构示意图

图2为本发明的一个较佳实施例的不工作时所对应的炉体装卸机构的结构示意图

图3为本发明的一个较佳实施例的从目标设备装卸炉体的示意图

附图标记：

主体1

安全护板2

锁紧螺栓3

橡胶调整块4

配重块5

前传送支架6

前传送支架调整结构7

中间传送架8

炉体固定支架9

后传送支架10

固定支架11

定位结构12

地脚13

脚轮14

插板15

炉体16

具体实施方式

为使本发明的内容更加清楚易懂，以下结合说明书附图，对本发明的内容作进一步说明。当然本发明并不局限于该具体实施例，本领域内的技术人员所熟知的一般替换也涵盖在本发明的保护范围内。

以下结合附图1～3和具体实施例对本发明作进一步详细说明。需说明的是，附图均采用非常简化的形式、使用非精准的比例，且仅用以方便、清晰地达到辅助说明本实施例的目的。

本实施例中，炉体装卸机构以下沉式炉体的装为例进行描述，请参阅图1～3，包括：

主体1，其顶部和底部具有间隔，用于传送炉体16；这里，主体1也采用支架形式，主体1支架可以由结构钢焊接而成，也可以由型材组装而成。

安全护板2，安装于主体1顶部，装配人员可以站立在此处进行炉体16的安装和拆卸。

在主体1上还可拆卸安装或放置有锁紧螺栓3；装卸炉体16时，当炉体16位于目标设备中时，将锁紧螺栓3取下后顶起炉体16，使用完毕后还放置在主体1上。

橡胶调整块4，安装在主体1支架的四个对角处，可以防止主体1移动过程中刮伤其周围的部件，例如，如图3所示，向目标设备处移动或离开目标设备时容易刮伤目标设备两侧部件，橡胶调整块4可以防止该问题的产生。

在主体1内设置有配重块5，配重块5在主体1内的位置可以任意调整，在炉体16位于前传送支架6、中间传送架8和后传送支架10上时，可以使装卸机构的重心位于所要求的位置，防止主体1倾倒。

在主体1底部还固定有地脚13，例如地脚安装于主体底部用于支撑主体1和调整主体1的高度；地脚13上还固定有若干手柄例如三个，从而方便快速的调整主体高度。

在主体1底部还安装有脚轮14，脚轮14分为前端脚轮和后端脚轮；前端脚轮位于主体底部前端，后端脚轮位于主体底部后端，前端脚轮采用万向轮，后端加仑采用定向轮。脚轮14的高度也可以调整，调整范围在地脚13调节范围之内。

前传送支架调整结构7，安装于主体1顶部的一侧，用于调整前传送支架6的高度；具体的，前传送支架调整机构7包括调整块、支撑块和调整螺钉组件；支撑块固定于主体1上，调整块固定于支撑块上，前传送支架6固定于调整块上，通过调整螺钉组件将支撑块在主体1侧面上下移动，从而调整前传送支架上下移动的位置，较佳的，使前传送支架6的高度与中间传送架8的高度相同，以有利于炉体在前传送支架6和中间传送架8之间的移动。

前传送支架6，其一端固定于前传送支架调整结构7上；如图1所示，当装卸炉体时，前传送支架6水平固定于前传送支架调整结构7上；具体的，前传送支架6由前端板和滚珠构成，滚珠设置于前端板上，前端板固定于前传送支架调整结构7上，滚珠用于炉体放置于滚珠上时炉体能够360度方向上自由移动，在炉体安装或拆卸时可以方便移动炉体至要求位置。如图2所示，当不工作时，前传送支架6放置于主体1的侧面且与主体1侧面平行。

中间传送架8，固定在主体1的顶部，且与前传送支架6相衔接，使得炉体16能够在前传送支架6和中间传送架8之间过渡；具体的，中间传送架8包括第一结构钢件和第一滚轮，第一滚轮设置与第一结构钢件上，第一滚轮只可使炉体前后移动；第一结构钢件固定于主体1顶部；第一结构钢件的前端和后端均具有第一倾斜端面，炉体16底部四周也为斜面结构，斜面结构和第一倾斜端面相配合，这样使得炉体16在中间传送架8和前传送支架6之间的移动更加容易和顺利。

后传送支架10，包括水平结构件和水平结构件支撑件；如图1所示，当装卸炉体时，水平结构件的一端固定于固定在与前传送支架6相对的主体的另一侧的顶部，水平结构件支撑件固定于主体1上并支撑水平结构件；后传送支架10与中间传送架8相衔接，使得炉体能够在中间传送架8和后传送支架10之间过渡；具体的，后传送支架10的水平结构件包括第二结构钢件和第二滚轮，第二滚轮设置于第二结构钢件上，第二滚轮只能使炉体前后移动；第二结构钢件固定于主体顶部；第二结构钢件的前端和后端均具有第二倾斜端面，炉体底部四周也为斜面结构，斜面结构和第二倾斜端面相配合，这样使得炉体在中间传送架8和后传送支架10之间的移动更为容易和顺利。如图2所示，后传送支架10放置于主体1的内侧底部；具体的，水平结构件与主体1侧面平行，水平结构件的一端通过一固定支架11固定在主体上，固定支架11可拆卸式固定在主体1上；水平结构件支撑件的一端固定在水平结构件上，另一端固定在主体1上。

炉体固定支架9，安装于主体1的顶部，用于固定位于中间传送架8上的炉体；具体的，如图1所示，炉体固定支架9包括前端固定支架和后端固定支架；当装卸炉体时，前端固定支架安装在前传送支架调整结构7上，后端固定支架安装在主体1顶部且与前端固定支架相对一侧，用于防止位于中间传送架8上的炉体产生移动，例如在主体向目标设备移动或离开目标设备时，如果炉体没有固定很容易发生滑移甚至倾倒；如图2所示，当不工作时，卸下前端固定支架和后端固定支架。图2中所示，炉体装卸机构闲置时的一种状态，可以节约占用面积。

定位装置，定位装置具有定位结构12和与定位结构12配合的定位座，定位座固定在目标设备底部，定位结构12固定在主体1底部前端，当定位结构12移动到定位座内与之配合时，则说明主体1到达目标设备。例如，定位座和定位结构之间采用卡合锁定方式配合，当定位结构接触定位座并且被卡合锁定时，说明主体已经达到所要求位置，主体停止移动。

此外，本实施例的装卸机构还包括插板15，插板15超出主体1侧面且安装于主体1底部的前端，当炉体位于后传送支架10上时，插板15插入到目标设备的设备底部，防止装卸机构发生向后倾倒。具体的，插板15包括插板护罩和手动旋钮，插板15插入插板护罩，手动旋钮用于调整插板的高度。

请参阅图3，向目标设备安装炉体16时，装卸机构从图2所示的结构安装为图1所示的结构，其中，把前传送支架6和后传送支架10分别安装在相应位置，定位座固定于目标设备底部，并且取下锁紧螺栓3；然后，可以使用叉车将炉体16装到后传送支架10上，推动炉体16至中间传送架8，将前端固定支架和后端固定支架安装于图1所示的位置，从而从前后两侧固定炉体16；然后推动主体1至目标设备，定位结构12和定位座相接触配合或卡合，主体1到达指定位置，此时，前传送支架6插入目标位置，然后，将前端固定支架和后端固定支架卸掉，移动炉体16至前传送支架6，采用锁紧螺栓3将炉体16顶起的同时将前传送支架6移出目标位置，松掉锁紧螺栓3，使炉体16放下后即位于目标位置；

从目标设备卸下炉体时，请再次参阅图3，装卸机构从图2所示的结构安装为图1所示的结构，其中，把前传送支架6和后传送支架10分别安装在相应位置，定位座固定于目标设备底部，并且取下锁紧螺栓3，采用锁紧螺栓3将炉体16顶起；将主体1移动到目标设备，定位结构12和定位座相接触配合或卡合，主体1到达指定位置，此时将前传送支架6插入位于目标位置上的炉体16底部，移动炉体16从前传送支架6到中间传送架8，将前端固定支架和后端固定支架安装于图1所示的位置，从而从前后两侧固定炉体16；然后推动主体1离开目标设备至安全位置，然后，将前端固定支架和后端固定支架卸掉，移动炉体16至后传送支架10，可以使用叉车将炉体16从后传送支架10上取走至安全的地方。

此外，本实施例的目标设备可以是工艺处理设备，例如热处理设备等。

虽然本发明已以较佳实施例揭示如上，然所述实施例仅为了便于说明而举例而已，并非用以限定本发明，本领域的技术人员在不脱离本发明精神和范围的前提下可作若干的更动与润饰，本发明所主张的保护范围应以权利要求书所述为准。

Claims (16)

1.一种炉体装卸机构，其特征在于，包括：

主体，其顶部和底部具有间隔，用于传送炉体；

前传送支架调整结构，安装于主体顶部的一侧，用于调整前传送支架的高度；所述前传送支架调整结构包括调整块、支撑块和调整螺钉组件；支撑块固定于主体上，调整块固定于支撑块上，前传送支架固定于调整块上，通过调整螺钉组件将支撑块在主体侧面上下移动，从而调整前传送支架上下移动的位置；

前传送支架，其一端固定于前传送支架调整结构上；当装卸炉体时，前传送支架水平固定于前传送支架调整结构上；当不工作时，前传送支架放置于主体的侧面且与主体侧面平行；

中间传送架，固定在主体的顶部，且与前传送支架相衔接，使得炉体能够在前传送支架和中间传送架之间过渡；

后传送支架，包括水平结构件和水平结构件支撑件；当装卸炉体时，水平结构件的一端固定在与前传送支架相对的主体顶部的另一侧，水平结构件支撑件固定于主体上并支撑水平结构件；后传送支架与中间传送架相衔接，使得炉体能够在中间传送架和后传送支架之间过渡；

炉体固定支架，安装于主体的顶部，用于固定位于中间传送架上的炉体；其中，

向目标设备安装炉体时，将炉体装到后传送支架上，推动炉体至中间传送架，炉体固定支架固定炉体，然后推动主体至目标设备，此时，前传送支架插入目标位置，炉体固定支架取消对炉体的固定，移动炉体至前传送支架，用锁紧螺栓将炉体顶起，前传送支架移出目标位置，炉体放下后位于目标位置；

从目标设备卸下炉体时，将主体移动到目标设备，用锁紧螺栓将炉体顶起，前传送支架插入位于目标位置上的炉体底部，移动炉体从前传送支架到中间传送架，炉体固定支架固定炉体，然后推动主体离开目标设备，炉体固定支架取消对炉体的固定，移动炉体至后传送支架，将炉体从后传送支架上取走。

2.根据权利要求1所述的炉体装卸机构，其特征在于，所述前传送支架由前端板和滚珠构成，滚珠设置于前端板上，前端板固定于前传送支架调整结构上，滚珠用于炉体放置于滚珠上时炉体能够360度方向上自由移动。

3.根据权利要求1所述的炉体装卸机构，其特征在于，中间传送架包括第一结构钢件和第一滚轮，第一滚轮设置于第一结构钢件上，第一结构钢件固定于主体顶部；第一结构钢件的前端和后端均具有第一倾斜端面，炉体底部四周也为斜面结构，斜面结构和第一倾斜端面相配合。

4.根据权利要求1所述的炉体装卸机构，其特征在于，后传送支架的水平结构件包括第二结构钢件和第二滚轮，第二滚轮设置于第二结构钢件上，第二结构钢件固定于主体顶部；第二结构钢件的前端和后端均具有第二倾斜端面，炉体底部四周也为斜面结构，斜面结构和第二倾斜端面相配合。

5.根据权利要求1所述的炉体装卸机构，其特征在于，在主体内设置有配重块，配重块在主体内的位置可以任意调整，在炉体位于前传送支架、中间传送架和后传送支架上时，防止主体倾倒。

6.根据权利要求1所述的炉体装卸机构，其特征在于，还包括：插板，超出主体侧面且安装于主体底部的前端，当炉体位于后传送支架上时，插板插入到目标设备的设备底部，防止装卸机构发生向后倾倒。

7.根据权利要求6所述的炉体装卸机构，其特征在于，所述插板包括插板护罩和手动旋钮，插板插入插板护罩，手动旋钮用于调整插板的高度。

8.根据权利要求1所述的炉体装卸机构，其特征在于，还包括定位装置，所述定位装置具有定位结构和与定位结构配合的定位座，定位座固定在目标设备底部，定位结构固定在主体底部前端，当定位结构移动到定位座内与之配合时，主体到达目标设备。

9.根据权利要求1所述的炉体装卸机构，其特征在于，所述炉体固定支架包括前端固定支架和后端固定支架；当装卸炉体时，前端固定支架安装在前传送支架调整结构上，后端固定支架安装在主体顶部且与前端固定支架相对一侧，用于防止位于中间传送架上的炉体产生移动或倾倒；当不工作时，卸下前端固定支架和后端固定支架。

10.根据权利要求1所述的炉体装卸机构，其特征在于，当不工作时，后传送支架放置于主体的内侧底部，水平结构件与主体侧面平行，水平结构件支撑件的一端固定在水平结构件上，另一端固定在主体上。

11.根据权利要求10所述的炉体装卸机构，其特征在于，水平结构件的一端通过一固定支架固定在主体上；固定支架可拆卸式固定在主体上。

12.根据权利要求1所述的炉体装卸机构，其特征在于，在主体上还可拆卸安装或放置有锁紧螺栓，将锁紧螺栓取下后顶起炉体。

13.根据权利要求1所述的炉体装卸机构，其特征在于，还包括橡胶调整块，安装在主体的四个对角处，防止主体移动过程中刮伤其周围的部件。

14.根据权利要求1所述的炉体装卸机构，其特征在于，还包括安全护板，安装于主体顶部，用于装配人员站立此处进行炉体的安装和拆卸。

15.根据权利要求1-14任意一项所述的炉体装卸机构，其特征在于，在主体底部还固定有地脚，用于支撑主体和调整主体的高度；地脚上还固定有若干手柄，用于调整主体高度。

16.根据权利要求1-14任意一项所述的炉体装卸机构，其特征在于，在主体底部还安装有脚轮，脚轮分为前端脚轮和后端脚轮；前端脚轮位于主体底部前端，后端脚轮位于主体底部后端，前端脚轮采用万向轮，后端脚轮采用定向轮。

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