CN107043918A - 冷却装置 - Google Patents

Abstract

本发明提供一种能抑制收纳有冷却对象的空间中的排气速度下降的冷却装置。冷却装置具备冷却部和被冷却部冷却的冷却体。冷却体包括与冷却部连接的第1面(12a)和第1面(12a)相反侧的第2面(12b)。冷却体(12)进一步包括使气体在第1面(12a)与第2面(12b)之间流动的通道(21s)。

Description

冷却装置

技术领域

本发明涉及对冷却对象进行冷却的冷却装置。

背景技术

成膜装置、蒸镀装置等真空处理装置具备低温机构，低温机构通过使装置内的气体凝结而将其捕捉，从而对真空处理装置内进行减压(例如，参照专利文献1)。另外，在真空处理装置中，使用例如利用热辐射冷却作为处理对象的基板的冷却板(例如，参照专利文献2)。冷却板被在配置于冷却板的内部的配管中流动的冷却水冷却，通过与基板相对的冷却板的相对面从基板吸热，从而冷却基板。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开平11-166477号公报

专利文献2：日本特开2005-332619号公报

但是，在通过冷却板冷却基板时，优选将冷却板的相对面的大小设定得接近基板的大小，并将基板与相对面之间的距离设定得小。但是，冷却板的相对面变得越大，冷却板与真空处理装置的内周面的间隙变得越小，并且使冷却板的相对面越接近基板，冷却板与基板的间隙变得越小。其结果，表示排气能力的传导率(conductance)、即排气速度下降。

另外，这样的问题不限于冷却体被冷却水冷却的冷却装置，即使在利用低温机构进行冷却的冷却装置也同样会产生。

发明内容

本发明的目的在于，提供一种能抑制收纳冷却对象的空间中的排气速度的下降的冷却装置。

根据一个方式的冷却装置包括：冷却部；以及冷却体，其包括与所述冷却部连接的第1面和所述第1面相反侧的第2面，所述冷却体被所述冷却部冷却。所述冷却体进一步包括使气体在所述第1面与所述第2面之间流动的通道。

根据上述构成，由于在冷却体形成有使气体在第1面和第2面之间流动的通道，所以与不具有通道的构成相比，沿冷却体的第1面的气体的流动以及沿第2面的气体的流动被促进。因此，气体容易向冷却体流动，其结果，抑制收纳冷却对象的空间中的排气速度的下降。

在一个实施方式中，所述冷却体也可以具有沿相互交叉的第1方向和第2方向延伸的板形状。所述通道也可以是沿所述第1方向延伸，并将所述冷却体划分为多个冷却部件的狭缝。在该情况下，所述多个冷却部件也可以具有2种以上的不同的大小。

在一个实施方式中，所述冷却体也可以具有沿相互交叉的第1方向和第2方向延伸的板形状。所述冷却体也可以包括沿所述第1方向延伸，并将所述冷却体划分为多个冷却部件的至少两个狭缝。在该构成中，各狭缝作为所述通道发挥作用。所述多个冷却部件也可以包括：两个端部件，其位于所述冷却体在所述第2方向上的两端；以及至少一个中间部件，其位于所述两个端部件之间。在该情况下，所述两个端部件中的至少一个也可以比所述中间部件小。

根据上述构成，由于通道(狭缝)位于冷却体的两端附近，所以在冷却体的周围流动的气体容易流入冷却体的通道中。因此，沿第1面的气体的流动和沿第2面的气体的流动被促进，抑制收纳冷却对象的空间中的排气速度的下降。

在一个实施方式中，所述冷却体也可以具有沿相互交叉的第1方向和第2方向延伸的板形状。所述冷却体包括沿所述第1方向延伸并将所述冷却体划分为多个冷却部件至少两个狭缝。在该构成中，各狭缝作为所述通道发挥作用。所述多个冷却部件也可以包括：两个端部件，其位于所述冷却体在所述第2方向上的两端；以及至少一个中间部件，其位于所述两个端部件之间。在该情况下，所述至少一个中间部件中的至少1个也可以比所述两个端部件的每一个小。

根据上述构成，由于在冷却体的周围流动的气体流入位于冷却体的中央附近的通道(狭缝)中，所以沿冷却体的第1面的气体的流动和沿第2面的气体的流动被促进。因此，抑制收纳冷却对象的空间中的排气速度的下降。

在一个实施方式中，所述冷却体也可以具有沿相互交叉的第1方向和第2方向延伸的板形状。所述通道也可以是沿所述第1方向延伸并将所述冷却体划分为多个冷却部件的狭缝。在这种情况下，所述多个冷却部件也可以具有大致相同的形状。另外，所述多个冷却部件也可以在所述第2方向上等间隔地配置。

根据上述构成，在整个第1面上的沿第1面的气体的流动被促进。此外，在整个第2面上的沿第2面的气体的流动也被促进。因此，抑制收纳冷却对象的空间中的排气速度的下降。

在一个实施方式中，优选地，所述多个冷却部件中的至少一个是相对于由所述第1方向和所述第2方向划定的基准面倾斜的倾斜部件。所述倾斜部件在所述第2方向上的一端具有缘。在这种情况下，优选地，所述缘与在所述第2方向上相邻的所述多个冷却部件中的一个冷却部件重叠。

根据上述构成，由于倾斜部件的缘与相邻的冷却部件重叠，所以在从与第2面相对的位置观察冷却体时，不能目视确认两个冷却部件之间的间隙(即，狭缝)。也就是说，第2面的整个面通过多个冷却部件而在与冷却却对象相对的方向上无间隙地形成。其结果，冷却装置对冷却对象进行冷却的效率提高。

附图说明

图1是示出被搭载于真空处理装置的冷却装置的一个实施方式的概要框图。

图2是将冷却体与基准面一起示出的立体图。

图3是示出冷却体的第2面的俯视图。

图4是示出冷却体和冷媒通道的剖视图。

图5是示出冷却体的第1面的俯视图。

图6是示出变形例中的冷却体的第2面的俯视图。

图7是将变形例中的冷却体与基准面一起示出的立体图。

图8是将其他变形例中的冷却体与基准面一起示出的立体图。

图9是示出变形例中的冷却体的第2面的俯视图。

具体实施方式

参照图1-图5对冷却装置的一个实施方式进行说明。另外，在本实施方式中，冷却装置被搭载于作为真空处理装置的一例的成膜装置。以下，依次对成膜装置的概要结构、冷却装置的结构以及冷却装置的作用进行说明。

[成膜装置的概要结构]

参照图1对成膜装置的概要结构进行说明。图1是示意性地示出在从上表面观察成膜装置时的结构的框图。

如图1所示，冷却装置10具备冷却部11和被冷却部11冷却的冷却体12，冷却体12包括与冷却部11连接的第1面12a和第1面12a相反侧的第2面12b。

冷却装置10搭载于成膜装置100。成膜装置100例如为溅射装置和蒸镀装置中的某一个。成膜装置100具备：真空槽101，其收纳冷却装置10的冷却对象Tg(成膜对象)；成膜部102，其向冷却对象Tg放出成膜原料；以及支承部103，其支承冷却对象Tg的下端。在成膜装置100为溅射装置时，成膜部102是阴极装置，在成膜装置100为蒸镀装置时，成膜部102是蒸镀源。

在成膜装置100中，冷却装置10以冷却体12的第2面12b与成膜部102相对的状态配置，在冷却体12与成膜部102相对的方向上，支承部103位于冷却体12与成膜部102之间。

成膜装置100具备排气部104，排气部104将成膜装置100的内部减压为规定的压力且在成膜装置100的内部形成气体的流动。

在对冷却对象Tg进行成膜处理时，冷却装置10对冷却对象Tg进行冷却。另外，冷却装置10通过凝结真空槽101内的气体，从而降低收纳冷却对象Tg的空间的压力。冷却体12的第2面12b与冷却对象Tg之间的距离定义为第1距离L1。该第1距离L1例如为数十mm程度。另外，冷却体12的缘和与该冷却体12的缘相对的真空槽101的内周面的距离定义为第2距离L2。该第2距离L2的最小值例如为数十mm程度。

[冷却装置的结构]

参照图2-图5对冷却装置10的构成进行更详细地说明。

如图2所示，冷却体12具有沿相互交叉的第1方向D1和第2方向D2延伸的板形状。在本例中，第1方向D1和第2方向D2相互正交。冷却体12包括使气体在第1面12a与第2面12b之间流动的至少一个通道。在本例中，冷却体12包括将冷却体12划分为多个冷却部件21的多个狭缝21s，各狭缝21s作为通道而设置。各狭缝21s沿第1方向D1延伸。所有的多个冷却部件21具有大致相同的形状，并在第2方向D2上等间隔地排列。

根据该冷却体12，在第1面12a的整体上容易形成沿第1面12a的气体的流动，另外在第2面12b的整体上也容易形成沿第2面12b的气体的流动。因此，抑制真空槽101内、即收纳冷却对象Tg的空间中的排气速度的下降。

在本例中，各冷却部件21作为相对于由第1以及第2方向D1、D2划定的基准面R倾斜的倾斜部件21t而设置。也就是说，各倾斜部件21t相对于冷却体12的基准面R倾斜。各倾斜部件21t在第2方向D2上的一端具有缘21e。各倾斜部件21t的缘21e与在第2方向D2上相邻的倾斜部件21t重叠。

多个倾斜部件21t大致平行地设置。各倾斜部件21t相对于基准面R的倾角θ只要大于0°且小于或等于90°即可，优选为30°以上且60°以下。倾角θ只要考虑冷却体12吸热的效率和排气速度而设定即可。

各倾斜部件21t具有与冷却部11连接的第1倾斜面21a和与冷却对象Tg相对的第2倾斜面21b。并且，多个第1倾斜面21a构成冷却体12的与冷却部11连接的第1面12a。另外，多个第2倾斜面21b构成冷却体12的与冷却对象Tg相对的第2面12b。换句话来讲，各第1倾斜面21a包括第1面12a的不同的一部分，各第2倾斜面21b包括第2面12b的不同的一部分。

也就是说，如图2以及图3所示，由于各倾斜部件21t的缘21e与在第2方向D2上相邻的倾斜部件21t重叠，所以多个倾斜部件21t在基准面R的一侧构成第1面12a，在基准面R的另一侧构成第2面12b。

因此，在成膜装置100中，在从冷却对象Tg观察冷却体12时，第2面12b目视确认为单一面，且目视确认为不存在贯通第2面12b与第1面12a之间的间隙。也就是说，与第2面12b相对的冷却对象Tg的所有的部分与冷却部件21相对。换句话来讲，第2面12b的整个面通过多个冷却部件21而在与冷却对象Tg相对的方向上无间隙地形成。

如此，由于各倾斜部件21t的缘21e与在第2方向D2上相邻的倾斜部件21t重叠，所以在从与第2面12b相对的位置观察冷却体12时，不能目视确认到两个倾斜部件21t之间的间隙。也就是说，与第2面12b相对的冷却对象Tg的所有的部分与倾斜部件21t相对。其结果，冷却装置10对冷却对象Tg进行冷却的效率提高。

各倾斜部件21t为金属制的板部件，倾斜部件21t的形成材料只要是例如不锈钢、钛合金、或者铜等即可。

在各倾斜部件21t中，优选为第2倾斜面21b的至少一部分具有黑色，更优选为整个第2倾斜面21b具有黑色。另外，在这种情况下，优选为第2倾斜面21b的黑色部分的辐射率为0.8以上，更优选为整个第2倾斜面21b的辐射率为0.8以上。通过第2倾斜面21b具有黑色，从而使得冷却体12吸收从冷却对象Tg辐射的热的效率提高，其结果，冷却体12对冷却对象Tg的冷却效率提高。

另外，在各倾斜部件21t中，第1倾斜面21a的至少一部分也可以具有黑色。例如，在各倾斜部件21t中，第1倾斜面21a的至少一部分的辐射率也可以是0.8以上。在各倾斜部件21t中，上述倾角θ越大，冷却对象Tg与第2倾斜面21b之间的距离和冷却对象Tg与第1倾斜面21a之间的距离之差越小。因此，由于倾角θ越大，第1倾斜面21a有助于冷却对象Tg的冷却的程度越大，所以优选为第1倾斜面21a的至少一部分也具有黑色。

另外，具有黑色的第1倾斜面21a和第2倾斜面21b例如能通过将倾斜部件21t上的各个第1倾斜面21a和各个第2倾斜面21b氧化而形成。另外，也能通过在构成倾斜部件21t的板部件上涂布具有黑色的涂料，从而将第1倾斜面21a和第2倾斜面21b的颜色形成为黑色。

与此相对，在第2倾斜面21b上容易引起气体凝结的情况下，第1倾斜面21a的表面粗度也可以小于第2倾斜面21b的表面粗度。在此，第1倾斜面21a也可以是台阶面，该台阶面具有不改变倾斜部件21t的辐射率但稍微改变倾斜部件21t的吸热量的程度的台阶。或者，第1倾斜面21a也可以是具有改变倾斜部件21t的辐射率的程度的微小的台阶的台阶面。

此外，第1倾斜面21a也可以是具有这2种台阶的双方的台阶面。即使在第1倾斜面21a具有这2种台阶的某一个的情况下，通过将第1倾斜面21a的台阶设定得比第2倾斜面21b的台阶小，从而能将在第1倾斜面21a的吸热量设定得小。

因此，通过将第1倾斜面21a的表面粗度设定得比第2倾斜面21b的表面粗度小，从而与第1倾斜面21a的表面粗度为第2倾斜面21b的表面粗度以上的构成相比，第1倾斜面21a不容易吸热。其结果，与第1倾斜面21a的温度不容易上升相对应地，在第1倾斜面21a上容易引起气体的凝结。

第1倾斜面21a的表面粗度例如能通过对第1倾斜面21a进行镜面加工，从而设定得比第2倾斜面21b的表面粗度小。

图4是示出沿与基准面R正交的面的冷却体12以及冷媒通道(冷却部11)的剖视图。

如图4所示，冷却部11具备：管状的冷媒通道11a，其供对冷却体12进行冷却的冷媒通过；以及冷媒循环部11b，其与冷媒通道11a连接。冷媒循环部11b与冷媒通道11a上的两个端部连接，将冷媒的温度保持为规定的温度，并且使冷媒从冷媒通道11a的一个端部朝向另一个端部循环。

冷媒通道11a为金属制的管部件，冷媒通道11a的形成材料优选为例如铜或者具有与铜相同程度的热传导率的金属。冷媒通道11a被在冷媒通道11a的内部流动的冷媒直接冷却，冷媒通道11a的温度被冷却到例如90K以上且150K以下。由此，气体在冷媒通道11a的外表面上凝结，从而真空槽101内被减压。

各倾斜部件21t的第1倾斜面21a安装到冷媒通道11a上的一部分，各倾斜部件21t被在冷媒通道11a流动的冷媒冷却。倾斜部件21t的温度被冷却到例如与冷媒通道11a相同的程度，从而在各倾斜部件21t的第1倾斜面21a以及第2倾斜面21b上凝结气体。

另外，冷媒通道11a的外表面也可以具有黑色，具有黑色的外表面能通过氧化冷媒通道11a的外表面而形成。或者，也可以通过镀覆法在构成冷媒通道11a的管部件的外表面上形成具有黑色的金属膜。另外，通过在构成冷媒通道11a的管部件涂布具有黑色的涂料，从而能将冷媒通道11a的外表面的颜色形成为黑色。

冷媒通道11a多少受到冷却对象Tg辐射的热。通过冷媒通道11a的外表面为黑色，从而与冷媒通道11a的外表面为黑色以外的颜色的情况相比，能提高冷却装置10对冷却对象Tg的冷却效率。

在第2方向D2上相邻的两个倾斜部件21t之间的距离(相邻的两个缘21e之间的距离)L优选为50mm以上且100mm以下。通过将距离L设定为50mm以上，真空槽101内的气体容易流入狭缝21s。另外，通过将距离L设定为100mm以下，能将第2方向D2上的倾斜部件21t的宽度形成为容易被冷媒通道11a冷却的大小。

如图5所示，在从与第1面12a相对的位置观察时，冷媒通道11a具有折线形状，该折线形状具有多个折弯部分。例如，冷媒通道11a由多个直线部分11a1和多个折弯部分11a2构成，多个直线部分11a1沿第1方向D1延伸，在相邻的两个直线部分11a1之间各设置一个折弯部分11a2，多个折弯部分11a2沿第2方向D2延伸。

沿第1方向D1的各直线部分11a1的长度大致相等，多个直线部分11a1在第2方向D2上等间隔地配置。

通过各直线部分11a1安装于一个倾斜部件21t的第1倾斜面21a，从而多个倾斜部件21t在第2方向D2上连续。沿第1方向D1的各倾斜部件21t的长度比沿第1方向D1的各直线部分11a1的长度大。因此，在冷媒在直线部分11a1中流动的期间，在直线部分11a1与倾斜部件21t之间通过冷媒进行热交换。因此，与在第1方向D1上直线部分11a1从倾斜部件21t突出的构成相比，对倾斜部件21t进行冷却的效率提高。

[冷却装置的作用]

以下，对冷却装置10的作用进行说明。

在图1中，在第1距离L1为数十mm程度时，真空槽101内的气体几乎不流入冷却对象Tg与冷却体12的第2面12b之间。因此，在冷却体12如以前那样由单一板构成时，在冷却体12的第2面12b上几乎不产生气体的流动。由此，由于在冷却体12的第2面12b上几乎不产生气体的凝结，所以在第2面12b上的排气速度下降。

在第2距离L2为数十mm程度时，气体也不容易进入冷却体12的缘与真空槽101的内周面之间。因此，在冷却体12如以前那样由单一板构成时，在冷却体12的第1面12a上也几乎不产生气体的流动。其结果，在第1面12a上的排气速度也下降。

与此相对，在上述的冷却装置10中，冷却体12具有狭缝21s，狭缝21s作为将冷却体12的第1面12a和第2面12b之间贯通的至少一个通道。因此，与由不具有狭缝的单一板构成的以前的冷却体相比，在狭缝21s中的压力下降，真空槽101内的气体通过狭缝21s在第2面12b与第1面12a之间流动。由此，在各冷却体12的第1面12a和第2面12b上产生气体的流动，也容易引起气体的凝结。其结果，抑制冷却装置10的排气速度下降。

如上所述，根据冷却装置的一个实施方式，能得到以下列举的效果。

(1)由于在冷却体12上形成有使气体在第1面12a与第2面12b之间流动的通道，所以与不具有通道的构成相比，沿冷却体12的第1面12a的气体的流动和沿第2面12b的气体的流动被促进。因此，气体容易向冷却体12流入，其结果，抑制收纳有冷却对象Tg的空间中的排气速度的下降。

(2)多个冷却部件21具有大致相同的形状，并且在第2方向D2上等间隔地排列。因此，在整个第1面12a上的沿第1面12a的气体的流动被促进。此外，在整个第2面12b上的沿第2面12b的气体的流动也被促进。其结果，抑制收纳有冷却对象Tg的空间中的排气速度的下降。

(3)各倾斜部件21t在第2方向D2上的一端具有缘21e，各倾斜部件21t的缘21e与在第2方向D2上相邻的倾斜部件21t重叠。因此，在从与第2面12b相对的位置(即、冷却对象Tg)观察时，不能目视确认两个倾斜部件21t之间的间隙。因此，第2面12b的整个面通过多个倾斜部件21t而在与冷却对象Tg相对的方向上无间隙地形成。其结果，冷却装置10对冷却对象Tg进行冷却的效率提高。

另外，上述的实施方式也能以如下方式适当地变更并实施。

·多个倾斜部件21t的倾角θ也可以彼此不同。即使是这样的构成，只要各倾斜部件21t的缘21e与在第2方向D2上相邻的倾斜部件21t重叠，就能得到与上述(3)相同的效果。

·各倾斜部件21t由缘21e划定，具有位于冷却部11附近的基端和在第2方向D2上位于基端(缘21e)相反侧的顶端。在上述实施方式中，各倾斜部件21t以基端(缘21e)比顶端位于上方的方式相对于基准面R以正斜率倾斜(参照图2以及图4)，但是也可以形成为以基端(缘21e)比顶端位于下方的方式相对于基准面R以负斜率倾斜。或者，多个倾斜部件21t也可以包含以正斜率倾斜的部件和以负斜率倾斜的部件。

即使是这样的构成，只要各倾斜部件21t的缘21e与在第2方向D2上相邻的倾斜部件21t重叠，就能得到与上述(3)相等的效果。

·也可以仅使多个倾斜部件21t中的一部分的倾斜部件21t的缘21e与相邻的倾斜部件21t重叠。即使是这样的构成，在倾斜部件21t的缘21e与相邻的倾斜部件21t重叠的部分上也能得到与上述(3)相等的效果。

·也可以仅使多个冷却部件21中的一部分的冷却部件21由倾斜部件21t构成，将剩下的冷却部件21沿基准面R或者与基准面R平行地配置。即使是这样的构成，在倾斜部件21t的缘21e与相邻的冷却部件21重叠的部分上也能得到与上述(3)相等的效果。另外，只要多个冷却部件21在第2方向D2上被狭缝21s划分、且多个冷却部件21具有大致相同的形状，就能得到与上述(1)以及(2)相等的效果。

·如图6所示，也可以将冷却体12的多个冷却部件31的全部沿基准面R或者与基准面R平行地配置。即使是这样的构成，只要多个冷却部件31被狭缝31s划分且多个冷却部件31具有大致相同的形状，就能得到与上述(1)以及(2)相等的效果。

·在冷却体12由多个冷却部件构成的情况下，多个冷却部件也可以具有2种以上的不同的形状或者2种以上的不同的大小。

例如，如图7所示，冷却体12具有沿第1方向D1和第2方向D2延伸的板形状。冷却体12包括将冷却体12划分为多个冷却部件41的多个狭缝41s(在本例中为两个狭缝41s)，各狭缝41s作为通道而设置。各狭缝41s沿第1方向D1延伸。多个冷却部件41包括：两个端部件41a，其位于第2方向D2上的冷却体12的两端；以及至少一个中间部件41b(在本例中为一个中间部件41b)，其在第2方向D2上位于两个端部件41a之间。各端部件41a的大小小于中间部件41b的大小。

在本例中，在第1方向D1上，各端部件41a的长度与中间部件41b的长度相等。另一方面，在第2方向D2上，各端部件41a的长度比中间部件41b的长度小。

各冷却部件41是相对于基准面R倾斜的倾斜部件，在第2方向D2上的一端具有缘41e。并且，各冷却部件41的缘41e与在第2方向D2上相邻的冷却部件41重叠。

根据图7的构成，除了上述(1)以及(3)的效果以外，还能得到以下记载的效果。

(4)由于冷却体12在第2方向D2上的两端附近包括通道(狭缝41s)，所以在冷却体12周围流动的气体容易流入冷却体12的通道中。因此，气体容易在冷却体12的第1面12a与第2面12b之间流动。因此，沿第1面12a的气体的流动以及沿第2面12b的气体的流动被促进，抑制收纳有冷却对象Tg的空间中的排气速度的下降。

·在图7的构成中，也可以只有多个冷却部件41中的一部分的冷却部件41的缘41e与相邻的冷却部件41重叠。即使是这样的构成，在冷却部件41的缘41e与相邻的冷却部件41重叠的部分上也能得到与上述(3)相等的效果。另外，也可以仅将多个冷却部件41中的一部分的冷却部件41由倾斜部件构成，也可以将多个冷却部件41的全部沿基准面R或者与基准面R平行地配置。即使是这样的构成，只要冷却体12具有狭缝41s，就能得到与上述(1)相等的效果。

·在图7的构成中，只要位于两个端部件41a之间的中间部件41b比各端部件41a大，冷却体12也可以包括两个以上的中间部件41b。即使是这样的构成，只要各中间部件41b比各端部件41a大，就能得到与上述(4)相等的效果。

·在图7的构成中，也可以只有两个端部件41a中的一个部件比其他冷却部件41(另一个端部件41a以及中间部件41b)小。即使是这样的构成，在一个端部件41a(小的端部件41a)所处的部分上也能得到与上述(4)相等的效果。

·在冷却体12由多个冷却部件构成的情况下，也可以以如图8所示的形状、大小形成多个冷却部件。

如图8所示，冷却体12具有沿第1方向D1和第2方向D2延伸的板形状。冷却体12包括将冷却体12划分为多个冷却部件51的多个狭缝51s(在本例中为两个狭缝51s)，各狭缝51s作为通道而设置。各狭缝51s沿第1方向D1延伸。多个冷却部件51包括：两个端部件51b，其位于第2方向D2上的冷却体12的两端；以及至少一个中间部件51a(在本例中为一个中间部件51a)，其在第2方向D2上位于两个端部件51b之间。中间部件51a的大小小于各端部件51b的大小。

在本例中，在第1方向D1上，中间部件51a的长度与各端部件51b的长度相等。另一方面，在第2方向D2上，中间部件51a的长度比各端部件51b的长度小。

各冷却部件51是相对于基准面R倾斜的倾斜部件，在第2方向D2上的一端具有缘51e。并且，各冷却部件51的缘51e与在第2方向D2上相邻的冷却部件51重叠。

根据图8的构成，除了上述(1)以及(3)的效果以外，还能得到以下记载的效果。

(5)由于在冷却体12周围流动的气体流入位于冷却体12的中央附近的通道(狭缝51s)中，所以沿冷却体12的第1面12a的气体的流动以及沿第2面12b的气体的流动被促进。因此，抑制收纳有冷却对象Tg的空间中的排气速度的下降。

·在图8的构成中，也可以只有多个冷却部件51中的一部分的冷却部件51的缘51e与相邻的冷却部件51重叠。即使是这样的构成，在冷却部件51的缘51e与相邻的冷却部件51重叠的部分上能得到与上述(3)相等的效果。另外，也可以仅将多个冷却部件51中的一部分的冷却部件51由倾斜部件构成，也可以将多个冷却部件51的全部沿基准面R或者与基准面R平行地配置。即使是这样的构成，只要冷却体12具有狭缝51s，就能得到与上述(1)相等的效果。

·在图8的构成中，只要中间部件51a比其他冷却部件51小，冷却体12也可以包括四个以上的冷却部件51。例如，冷却体12也可以包括两个端部件51b和位于这些两个端部件51b之间的两个中间部件51a。在这种情况下，也可以是各中间部件51a小于各端部件51b，也可以是两个中间部件51a中的一个小于各端部件51b。也就是说，图8的构成包括位于两个端部件51b之间的至少一个中间部件51a中的至少一个形成得比各端部件51b小的构成。即使是这样的构成，只要中间部件51a比其他冷却部件51小，就能得到与上述(5)相等的效果。

·在图1-图8中，冷却体12由三个以上的冷却部件构成，但是也可以由两个冷却部件构成。也就是说，冷却体12也可以包括两个冷却部件和划分这两个冷却部件的单一狭缝(通道)。在这种情况下，两个冷却部件也可以以彼此不同的形状形成，也可以以一个冷却部件以与另一个冷却部件不同的大小形成。

·如图9所示，冷却体12也可以由具有板形状的一个冷却部件61构成。冷却体12作为通道包括沿冷却部件61的厚度方向贯通冷却部件61的至少一个贯穿孔61a(在图9中，九个贯穿孔61a)，各贯穿孔61a沿第1方向D1延伸。多个贯穿孔61a沿第2方向D2排列配置。另外，贯穿孔61a沿第2方向D2延伸，也可以是圆形孔等。

即使是这样的构成，只要冷却体12具有使气体在第1面12a与第2面12b之间流动的通道，就能得到与上述(1)相等的效果。

·第2方向D2不限定为与第1方向D1正交的方向，只要是与第1方向D1交叉的方向即可。也就是说，第1方向D1和第2方向D2也可以以90°以外的角度相互交叉。

·冷却部11不限定为使用冷媒对冷却体12进行冷却的机构，也可以是低温机构。低温机构只要具备冷冻机和用于将冷冻机连接到冷却体12的冷却部件的连接部即可。另外，在冷却体12由多个冷却部件构成的情况下，冷却装置10也可以具备一个低温机构，该低温机构的冷冻机通过连接部连接到多个冷却部件。或者，冷却装置10也可以具备多个低温机构，各低温机构的冷冻机通过对应的连接部而与多个冷却部件中的一个连接。

附图标记说明

10…冷却装置、11…冷却部、11a…冷媒通道、11a1…直线部分、11a2…折弯部分、11b…冷媒循环部、12…冷却体、12a…第1面、12b…第2面、21、31、41、51、61…冷却部件、21a…第1倾斜面、21b…第2倾斜面、21e、41e、51e…缘、21s、31s、41s、51s…狭缝、21t…倾斜部件、41a、51b…端部件、41b、51a…中间部件、61a…贯穿孔、100…成膜装置、101…真空槽、102…成膜部、103…支承部、104…排气部、R…基准面、Tg…冷却对象。

Claims (6)

1.一种冷却装置，其具备：

冷却部；以及

冷却体，其包括与所述冷却部连接的第1面和所述第1面相反侧的第2面，所述冷却体被所述冷却部冷却，

所述冷却体进一步包括使气体在所述第1面与所述第2面之间流动的通道。

2.根据权利要求1所述的冷却装置，其中，

所述冷却体具有沿相互交叉的第1方向和第2方向延伸的板形状，

所述通道是沿所述第1方向延伸并将所述冷却体划分为多个冷却部件的狭缝，

所述多个冷却部件具有2种以上的不同的大小。

3.根据权利要求1所述的冷却装置，其中，

所述冷却体具有沿相互交叉的第1方向和第2方向延伸的板形状，

所述冷却体包括沿所述第1方向延伸并将所述冷却体划分为多个冷却部件的至少两个狭缝，各狭缝作为所述通道而设置，

所述多个冷却部件包括：两个端部件，其位于所述冷却体在所述第2方向上的两端；以及至少一个中间部件，其位于所述两个端部件之间，

所述两个端部件中的至少一个比所述中间部件小。

4.根据权利要求1所述的冷却装置，其中，

所述冷却体具有沿相互交叉的第1方向和第2方向延伸的板形状，

所述冷却体包括沿所述第1方向延伸并将所述冷却体划分为多个冷却部件的至少两个狭缝，各狭缝作为所述通道而设置，

所述多个冷却部件包括：两个端部件，其位于所述冷却体在所述第2方向上的两端；以及至少一个中间部件，其位于所述两个端部件之间，

所述至少一个中间部件中的至少一个比所述两个端部件的每一个小。

5.根据权利要求1所述的冷却装置，其中，

所述冷却体具有沿相互交叉的第1方向和第2方向延伸的板形状，

所述通道是沿所述第1方向延伸并将所述冷却体划分为多个冷却部件的狭缝，

所述多个冷却部件具有大致相同的形状，并且在所述第2方向上等间隔地配置。

6.根据权利要求2-5中任意一项所述的冷却装置，其中，

所述多个冷却部件中的至少一个是相对于由所述第1方向和所述第2方向划定的基准面倾斜的倾斜部件，

所述倾斜部件在所述第2方向上的一端具有缘，

所述缘与在所述第2方向上相邻的所述多个冷却部件中的一个重叠。