CN106969711B - 直线位移测量装置 - Google Patents

Abstract

提供一种直线位移测量装置，其在被不良安装时通知使用者。滑动件包括沿着主标尺在主标尺上行进的行进体、安装于对象物的滑架部和连结行进体与滑架部的连结部件。连结部件允许行进体与滑架部之间相对位移，并且连结部件对行进体朝向主标尺施力。连结部件具有连接杆，连接杆配置成经由球接头连结行进体与滑架部。滑动件还包括检测行进体与滑架部之间的超出了预定的允许范围的相对位移的未对准检测部件。未对准检测部件为配置于连接杆的附近使得连接杆的位移被限制在预定范围内的一对突片。

Description

直线位移测量装置

本申请基于2015年9月30日提交的日本专利申请No.2015-193963，并要求该日本专利申请的优先权，其全部内容通过引用合并于此。

技术领域

本发明涉及直线位移测量装置。

背景技术

为了用于各种工业机械以便精确地进行位置控制，已经使用了位移测量装置，也就是所谓的编码器(例如，JP2004-301541A)。

图1中示出了直线位移测量装置100。该直线位移测量装置100包括长形的标尺部200和设置成能够相对于标尺部200滑动的滑动件300。

直线位移测量装置100安装于例如移动台90。假设移动台90由基部91和能够相对于基部91滑动的台92构成。此时，标尺部200螺接于台92的侧端面，滑动件300螺接于基部91。在此结构的情况下，能够精确地测量台92相对于基部91的相对位移。

图2是沿着图1的线II-II截取的截面图。

标尺部200包括长形的主标尺210(参见图2)和收容主标尺210的标尺收容框体220。主标尺210主要由玻璃基板构成，并且沿测量轴线方向形成标尺的分度(graduation)。在光电装置的示例中，分度等同于衍射光栅(diffraction grating)。

标尺收容框体220中空且长，并且主要由诸如铝等的(轻)金属制成。标尺收容框体220在侧面具有沿着轴线方向的狭缝222，并且经由狭缝222连接内侧和外侧。主标尺210安装固定于标尺收容框体220的内部。然后，在待要安装固定的标尺收容框体220内钻出多个孔，利用这些孔将标尺收容框体220螺接于台92。

滑动件300设置成能够沿标尺收容框体220的长度方向相对移动，并且检测相对于主标尺210的相对移动量或相对位置。滑动件300包括行进体400、滑架部310和连结部件500。行进体400在主标尺210上沿着主标尺210行进。滑架部310设置在标尺收容框体220外，并且沿着标尺部200滑动。连结部件500使行进体400与滑架部310连结。

行进体400包括检测单元，该检测单元检测相对于主标尺210的相对位移量。连结部件500是能够吸收一定程度的角度变化的接头，并且允许行进体400与滑架部310之间的相对移位。(这里，以球接头作为示例。)

通过直线引导件等沿直线引导台92，而由例如玻璃制成的主标尺210能够具有波纹。除非在一定程度上允许行进体400与滑架部310之间的相对移位，否则行进体400会咬住主标尺210，或者行进体400会从主标尺210浮起。因此，行进体400和滑架部310通过具有一定程度自由度的接头连结。另外，通过弹簧(线弹簧(wire spring))将行进体400以保持面对主标尺210的方式压至主标尺210。

利用该配置，当台92滑动时，标尺部200和滑架部310相应地相对移位。由于通过连结部件500将滑架部310和行进体400连结在一起，所以行进体400和滑架部310相对于主标尺210相对移动。此时，检测单元检测相对于主标尺210的相对位移量，并将检测结果输出到外部。

发明内容

直线位移测量装置100应当在规定的安装公差内安装于对象物(例如，移动台90或机械工具等)。然而，直线位移测量装置100实际上可能被使用者以超出规定的安装公差不平行地安装或者在被张紧的状态下安装。如果直线位移测量装置100以超出规定的安装公差的方式安装，则接头(连结部件500)的功能会吸收张紧或不平行，行进体400能够在主标尺210上行进。然后，获得测量值。然而，当基于测量值控制对象物(例如，移动台90或机械工具等)时，不能正确地获得结果。可选地，如果直线位移测量装置100以超出规定的安装公差的方式安装，则构成直线位移测量装置100的部件会摩擦或撞在一起，这能够造成故障。然而，在没有注意到该问题的情况下，使用者可能由于加工误差而造成不良或引起故障。

本发明的目的在于提供一种在被不良安装时通知使用者的直线位移测量装置。

本发明的一个方面中的直线位移测量装置包括：

长形的主标尺，其安装于沿直线相对移动的两个对象物中的一个对象物；和

滑动件，其安装于所述两个对象物中的另一个对象物，并且被构造成沿着所述主标尺滑动且检测相对于所述主标尺的相对位移量，其中，

所述滑动件包括：

行进体，其构造成沿着所述主标尺在所述主标尺上行进；

滑架部，其安装于所述两个对象物中的所述另一个对象物；

连结部件，其用于连结所述行进体与所述滑架部，所述连结部件允许所述行进体与所述滑架部之间的相对位移，并且所述连结部件对所述行进体朝向所述主标尺施力；以及

未对准检测部件，其用于检测所述行进体与所述滑架部之间的超出了预定的允许范围的相对位移。

在本发明的方面中，优选地，所述未对准检测部件为配置于所述连接杆的附近使得所述连接杆的位移被限制在预定范围内的一对突片。

在本发明的方面中，优选地，所述一对突片以如下方式布置于所述行进体的框架：所述一对突片以预定距离彼此面对，以在所述一对突片之间接收所述连接杆。

在本发明的方面中，优选地，所述未对准检测部件为固定地配置于所述行进体的框架所在侧的相反侧的压板，所述连接杆介于所述压板和所述行进体的框架之间。

在本发明的方面中，优选地，所述未对准检测部件包括：

孔，其设置于所述行进体和所述滑架部中的一者；和

销，其设置于所述行进体和所述滑架部中的另一者，其中

所述销的头部间隙配合于所述孔。

在本发明的方面中，优选地，所述连结部件具有连接杆，所述连接杆配置成经由球接头连结所述行进体与所述滑架部，并且

所述未对准检测部件为构造成检测所述连接杆的超出预定范围的位移的传感器。

在本发明的方面中，优选地，所述连结部件包括：

连接杆，其配置成经由球接头连结所述行进体与所述滑架部；和

弹性构件，其构造成对所述连接杆朝向所述主标尺施力，并且

所述未对准检测部件为固定于所述连接杆或所述弹性构件的应变仪。

附图说明

图1是直线位移测量装置的立体图；

图2是沿着图1的线II-II截取的截面图；

图3是滑动件的立体图；

图4是滑动件的立体图；

图5是滑动件的背面侧视图；

图6是行进体的立体图；

图7是示出了标尺稍微倾斜于台并安装的情况的图；

图8是示意性地示出滑动件和主标尺之间的关系的图；

图9是示出传统行进体跟随标尺的情况的图；

图10是示出第二示例性实施方式的图；

图11是示出第二示例性实施方式的图；

图12是示出第三示例性实施方式的图；

图13是示出第四示例性实施方式的示例的图；

图14是示出第五示例性实施方式的示例的图；以及

图15是示出第六示例性实施方式的示例的图。

具体实施方式

参照附图中的各要素的附图标记示出并说明本发明的实施方式。

(第一示例性实施方式)

本示例性实施方式的特征主要是滑动件300的结构，由于标尺部200与现有技术相同，所以省略了标尺部200的说明。

图3和图4是滑动件300的立体图。

图5是滑动件300的背面侧视图。

滑动件300包括行进体400、滑架部310、连结部件500和未对准检测部件600。行进体400在主标尺210上沿着主标尺210行进。滑架部310设置在标尺收容框体220外并且沿着标尺部200滑动。连结部件500使行进体400与滑架部310连结。未对准检测部件600检测超出规定量的安装移位。

图6是在从滑动件300去除滑架部310之后的行进体400和连结部件500的一部分的立体图。

行进体400包括基框部410、多个辊421至425和安装于基框部410的检测单元430。

基框部410是整体上呈矩形的框体。

基框部410的面对主标尺210的侧面是基框部410的正面。

辊以可枢转的方式由基框部410支撑。在本说明书中，设置了五个辊。这里，假设主标尺210的面对行进体400的侧面是主标尺210的正面。五个辊中的三个辊与主标尺210的正面接触，另外两个辊与主标尺210的侧面接触。将接触主标尺210的侧面的辊称为侧面辊421和422，将接触主标尺210的正面的辊称为正面辊423、424和425。

这里，为了便于说明方向，设定了坐标轴。在图3中，假设主标尺210的测量轴线为X轴，主标尺210的宽度方向为Y轴，从主标尺210的背面到正面的方向为Z轴。另外，在图3中，定义了上、下、前、后。假设Y轴的正方向为上，Y轴的负方向为下，X的正方向为前，X轴的负方向为后。

主标尺210的侧面(图3和图4中标尺的面对下方的侧面)为基准面，并且精加工为笔直的平坦表面。侧面辊421和422与主标尺210的下侧面接触。两个侧面辊421和422分别配置于基框部410的下侧的前部和后部，并且转动轴线平行于Z轴。侧面辊421和422在与主标尺210的下侧面接触的状态下通过滚动而移动，由此使行进体400被主标尺210引导而直线移动。

三个正面辊423、424和425分别配置于基框部410的上侧的前部和后部以及下侧的大致中央，并且转动轴线平行于Y轴。

三个正面辊423、424和425在与主标尺210的正面接触的状态下通过滚动而移动，由此使行进体400在保持面对主标尺210的状态下移动。

检测单元430安装于基框部410的正面，并且检测单元430布置成面对主标尺210。检测单元430读取主标尺210的分度，并且检测相对于主标尺210的相对位移量或相对位置。如果装置为光电装置，则检测单元430包括光源、指数标尺(index scale)、光接收元件阵列。在某些情况下，检测单元430可以包括IC芯片。

行进体400在保持面对主标尺210的状态下行进，检测单元430相应地也在保持面对主标尺210的状态下移动。更具体地，主标尺210和行进体400被设计为在侧面辊421和422与主标尺210的下侧面接触并且正面辊423、424和425与主标尺210的正面接触时，检测单元430面对主标尺210的分度。

滑架部310设置在标尺收容框体220外，并且安装固定于对象物(例如，基部91)。

这里，滑架部310螺接于基部91。

连结部件500在使行进体400与滑架部310连结的同时将行进体400压向主标尺210。

连结部件500包括连接杆505、两个球接头510和520、颈部530和线弹簧(弹性构件、施力部件)540。

连接杆505平行于X轴地配置于基框部410的背面侧。第一球接头510设置于基框部410的长度方向上的大致中央，连接杆505的基端与基框部410的背面的大致中央通过第一球接头510连接。在本说明书中，接收球511的球接收凹部512设置于基框部410的背面的大致中央。设置于连接杆505的基端的球511嵌合于球接收凹部512。注意，为了使球511不容易从球接收凹部512脱落，利用压板513将球511压至球接收凹部512。

连接杆505的末端突出成比基框部410的前侧端长，并且与第二球接头520连结。

下面将说明第二球接头520。

颈部530设置成与滑架部310一体化，并且颈部530经由标尺收容框体220的狭缝222布置在标尺收容框体220内。颈部530具有在基框部410的背面侧的前部附近立起的连结头部531。连结头部531具有用于和连接杆505的末端连接的连接片532和用于在连接杆505上产生压力的闩锁片533。连接片532设置于基框部410的前侧，并且通过第二球接头520与连接杆505的末端连结。在本说明书中，在连接杆505的末端处设置球521，在连接片532处设置球接收凹部522，并且球521嵌合于球接收凹部522。为了使球521不容易从球接收凹部522脱落，利用压板523将球521压至球接收凹部522。另外，在连接片532中还设置了平行于X轴的插入孔534。以下说明插入孔534和闩锁片533的作用。

线弹簧(施力部件)540介于连接杆505的末端和闩锁片533之间。线弹簧(施力部件)540的基端安装于连接杆505的末端，线弹簧540的末端与闩锁片533接合。更具体地，线弹簧540通过从连接杆505的末端向后折返经由插入孔534而与闩锁片533接合。

注意，如图3至图5所示，线弹簧540与连接杆505并不平行，而是从基端朝向末端稍微斜向下降低。当线弹簧540在闩锁片533与连接杆505的末端之间施加力时，连接杆505的基端在以连接杆505的末端为支点的状态下被压向主标尺210。行进体400由此被相应地压向主标尺210。更具体地，由于线弹簧540的末端相比于基端稍微斜向下降低，所以行进体400被斜向上地施力。因此，行进体400的侧面辊421和422被压向主标尺210的下侧面，并且正面辊423、424和425被同时压向主标尺210的正面。由此使行进体400保持面对主标尺210的状态，并且使行进体400通过被主标尺210的基准面引导而沿着主标尺210行进。

未对准检测部件600由从基框部410的背面的前部突出的两个突片601构成。两个突片601是以预定间隔彼此面对的一对突片，并且在这两个突片601之间接收连接杆505。两个突片601设置于如下的梁：该梁位于基框部410的背面的X正方向附近并且平行于Y轴。两个突片601在Y方向上彼此分开。两个突片601之间的距离稍微大于连接杆505的直径。例如，各突片601与连接杆505之间的间隙为大约0.1mm至0.3mm。

(动作)

以下说明具有上述结构的第一示例性实施方式的动作。

如图1所示，标尺部200安装于台92，滑架部31安装于基部91。于是，当台92滑动时，标尺部200和滑架部310相应地相对移位。由于滑架部310通过连结部件500连结至行进体400，所以行进体400以及滑架部310相对于主标尺210移动。此时，检测头部检测相对于主标尺210的相对位移量，并将该相对位移量输出到外部。

为了便于说明作为本示例性实施方式的特征的未对准检测部件600(突片601和601)的功能，考虑了图7示出的情况。在图7中，标尺200相对于台92稍微倾斜并被安装。

注意，为了容易理解，图7示出了过分倾斜的标尺200，但是实际的安装公差等于或小于0.1mm，如果公差超过0.1mm则能够引起测量误差或部件破损。

说明台92相对于基部91向左右滑动的情况。图8是示意性地示出在台92滑向左侧时滑动件300与主标尺210之间的关系的图。注意，为了容易理解，图8示出了滑动件300在假设台92停止时相对移动至右侧。

由于移位了的主标尺210处于安装状态，所以当滑架部310相对于主标尺210向右相对移动时，主标尺210逐渐与滑架部310分开。当移位了的主标尺210处于安装状态时，行进体400在通过特别是连结部件500的线弹簧540的施力保持与主标尺210紧密接触的状态的情况下，沿着主标尺210移动。然而，随着主标尺210与滑架部310逐渐分开，连接行进体400和滑架部310的连接杆505相对于行进体400逐渐倾斜。然后，当突片601和连接杆505之间的间隙由于连接杆505的倾斜而超出允许范围时，连接杆505被突片601卡住。

当连接杆505与突片601接触时，连接杆505不能相对于行进体400进一步倾斜。(换言之，行进体400不能相对于连接杆505进一步倾斜。)如果连接杆505进一步倾斜，则行进体400由于突片601与连接杆505的接合而被连接杆505拉动，并且与主标尺210分开。当行进体400以此方式与主标尺200分开时，检测单元430不能充分地检测标尺信号。除非获得充分的信号强度，否则会引起检测错误。然后，例如，将该错误显示在显示器上，并且机械(移动台90或机械工具)的动作停止。使用者此时能够注意到某些错误。

注意，图8过分示出了这种情况，尽管行进体400没有完全如图8所示的那样移位，但是当行进体400从主标尺210稍微移位时(例如，大约0.5mm)就会引起信号强度错误。

为了进一步便于说明突片601的功能，图9示出了跟随标尺的传统的行进体400作为比较例。如图9所示，当没有设置突片601时，连结部件500的球接头吸收行进体400和滑架部310之间的倾斜或分开，并且，如果主标尺210倾斜，行进体400不受限制地跟随主标尺210。然后，获得了一些检测信号，并且使用者不能够注意到主标尺210的未对准。

在上述的本示例性实施方式中，作为未对准检测部件600的突片601从基框部410突设。利用该结构，当行进体400相对于滑架部310倾斜太多或者与滑架部310分开太多时，连接杆505被突片601卡住，行进体400被连接杆505拉动并且与主标尺210分开。因此，行进体400不能跟随未对准的主标尺210，并且产生用于未对准的主标尺210的信号强度错误。由于信号强度错误使测量中断，使用者由此注意到未对准。由此，在未对准的状态下不会错误地进行测量。另外，能够通过避免部件摩擦或撞在一起而防止编码器(直线位移测量装置100)的破损。

(第二示例性实施方式)

接下来，在下面说明本发明的第二示例性实施方式。

第二示例性实施方式的基本结构与第一示例性实施方式的基本结构相同，但是第二示例性实施方式的特征是增加了压板603作为未对准检测部件600(参见图11)。在上述第一示例性实施方式中，连接杆505被接收在彼此在Y轴方向上分开的两个突片601之间。因此，当主标尺210在Y方向上倾斜时，能够检测到倾斜。然而，当主标尺210例如在Z轴方向上移位时，在第一示例性实施方式中不能检测到这种移位。

例如，在图10中，编码器(直线位移测量装置100)检测沿X轴方向前后移动的门型滑动件93的位置。

此时，尽管标尺部200应当平行于门型滑动件93的移动方向安装，但是标尺部200能够从平行于X轴的方向移位并且安装为如图10所示那样。

为了检测这种移位，如图11所示，未对准检测部件600具有以跨过连接杆505的方式布置在基框部410的背面侧的压板603。压板603的末端固定于基框部410的背面。更具体地，压板603的末端固定于基框部410的背面上的相对于颈部530的相反侧，第一球接头510介于压板603和基框部410的背面之间。另外，压板603跨过连接杆505，并且压板603的基端固定于颈部530。此时，在压板603和连接杆505之间留有微小的间隙，该间隙允许行进体400相对于滑架部310在Z方向上以一定程度相对移位。

由于主标尺210(在Z轴方向上)移位并且被安装，例如，当滑架部310相对于主标尺210移动时，主标尺210逐渐与滑架部310(在Z方向上)分开。如果主标尺210移位并且被安装，则行进体400会在通过尤其是连结部件500的线弹簧540的施力而保持与主标尺210紧密接触的状态下沿着主标尺210移动。然而，当主标尺210逐渐与滑架部310分开时，连接行进体400和滑架部310的连接杆505相对于行进体400逐渐(在Z方向上)倾斜。然后，当压板603和连接杆505之间的间隙由于连接杆505的(在Z方向上)的倾斜而超出允许范围时，连接杆505被压板603卡住。

当连接杆505与压板603接触时，连接杆505不能相对于行进体400进一步(在Z方向上)倾斜。(行进体400不能相对于连接杆505进一步(在Z方向上)倾斜)。如果连接杆505进一步(在Z方向上)倾斜，则行进体400由于压板603与连接杆505的接合而被连接杆505拉动，并且与主标尺210分开(参见图11)。当行进体400以此方式与主标尺210分开时，检测单元430不能充分地检测标尺信号。除非获得充分的信号强度，否则会引起检测错误。然后，例如，将该错误显示在显示器上，并且机械(移动台90或机械工具)的动作停止。使用者此时能够注意到某些错误。

根据第二示例性实施方式，尽管主标尺210由于在Z方向上移位而未对准，但是由于信号强度错误使测量中断，使用者能够注意到未对准。

另外，能够在标尺未对准的情况下使测量不再继续。

(第三示例性实施方式)

在第二示例性实施方式中，压板603固定于基框部410。作为用于限制连接杆505和行进体400之间的Z方向上的相对位移的部件，例如如图12所示，在突片601的末端可以设置压板604。压板604设置成从突片601的末端弯折从而具有悬于连接杆505的L字形状。利用压板604，获得与第二示例性实施方式相同的效果。

(第四示例性实施方式和第五示例性实施方式)

图13示出了本发明的第四示例性实施方式的示例，图14示出了第五示例性实施方式的示例。在上述第一示例性实施方式至第三示例性实施方式中，通过固定限制连接杆505的倾斜的突片601和压板603、604构成了未对准检测部件600。然而，未对准检测部件600可以与连接杆505无关的方式构成。

例如，在图13中，在基框部410中钻出中空的孔605，并且在颈部530上突设销606。在销606的末端，设置间隙配合于孔605的头部。该头部的直径小于孔605的内径，并且大于孔605的口。该头部将被孔605的口卡住。成对的销606和孔605可以设置成多于两对。在图3中，设置了两对销606和孔605；一对靠近X轴正方向，另一对靠近X轴负方向。

尽管销606和孔605具有这样的结构，但是当行进体400的相对于滑架部310的倾斜超出预定量时，销606的头部被孔605的口卡住，并且行进体400与主标尺210分开。

因此，如果主标尺210未对准，则由于信号强度错误使测量中断。

在图14中，与图13相似，在基框部410中钻出中空的孔607，并且在颈部530上突设销608。这里，孔607具有L字形状，销608的头部弯折成也具有L字形状。尽管孔607和销608具有这样的结构，但是当行进体400的相对于滑架部310的倾斜超出预定量时，销608的头部被孔607卡住，并且行进体400与主标尺210分开。因此，如果主标尺210未对准，则由于信号强度错误使测量中断。

注意，通过在颈部布置孔并且在行进体上布置销获得同样的效果。

(第六示例性实施方式)

图15示出了本发明的第六示例性实施方式的示例。

在上述第一示例性实施方式至第五示例性实施方式中，当标尺部200未对准时，通过行进体400与主标尺210的分离检测到未对准。

未对准检测部件600可以直接检测行进体400与连接杆505之间的相对角度(相对位移)，以代替检测行进体400与主标尺210的分离。

例如，如图15所示，可以在基框部410上配置用于检测连接杆505的位置的传感器609。传感器609可以是例如磁力式或静电容量式的接近传感器609。传感器609检测连接杆505的超出预定量的位移。然后，当传感器609检测到该位移时，利用显示器或报警声通知使用者。因此，使用者能够注意到主标尺210的未对准。

注意，传感器609不受特别限制，其可以制成为诸如照相机等的图像传感器。另外，传感器609可以是例如应变仪(strain gauge)。例如，将应变仪安装于连接杆505或线弹簧540，并且在所产生的应变超出预定量时输出检测信号。

注意，本发明不限于上述实施方式，并且能够在不背离主旨的范围内进行适当变型。

已经说明了作为未对准检测部件的突片601从基框部410突设，但是突片的安装位置不特别受限制，只要能够限制连接杆的相对位移即可。例如，可以在滑架部侧设置等同于突片的限制片。完全能够在颈部530上、更具体地在连接片532上设置这种限制片。

Claims (7)

1.一种直线位移测量装置，其包括：

长形的主标尺，其安装于沿直线相对移动的两个对象物中的一个对象物；和

滑动件，其安装于所述两个对象物中的另一个对象物，并且被构造成沿着所述主标尺滑动且检测相对于所述主标尺的相对位移量，其中，

所述滑动件包括：

行进体，其构造成沿着所述主标尺在所述主标尺上行进；

滑架部，其安装于所述两个对象物中的所述另一个对象物；

连结部件，其用于连结所述行进体与所述滑架部，所述连结部件允许所述行进体与所述滑架部之间的相对位移，并且所述连结部件朝向所述主标尺对所述行进体施力；以及

未对准检测部件，其用于检测所述行进体与所述滑架部之间的超出了预定的允许范围的相对位移。

2.根据权利要求1所述的直线位移测量装置，其特征在于，

所述连结部件具有连接杆，所述连接杆配置成经由球接头连结所述行进体与所述滑架部，和

所述未对准检测部件为配置于所述连接杆的附近使得所述连接杆的位移被限制在预定范围内的一对突片。

3.根据权利要求2所述的直线位移测量装置，其特征在于，

所述一对突片以如下方式布置于所述行进体的框架：所述一对突片以预定距离彼此面对，以在所述一对突片之间接收所述连接杆。

4.根据权利要求2所述的直线位移测量装置，其特征在于，

所述未对准检测部件为固定地配置于所述行进体的框架所在侧的相反侧的压板，所述连接杆介于所述压板和所述行进体的框架之间。

5.根据权利要求1所述的直线位移测量装置，其特征在于，

所述未对准检测部件包括：

孔，其设置于所述行进体和所述滑架部中的一者；和

销，其设置于所述行进体和所述滑架部中的另一者，其中

所述销的头部间隙配合于所述孔。

6.根据权利要求1所述的直线位移测量装置，其特征在于，

所述连结部件具有连接杆，所述连接杆配置成经由球接头连结所述行进体与所述滑架部，并且

所述未对准检测部件为构造成检测所述连接杆的超出预定范围的位移的传感器。

7.根据权利要求1所述的直线位移测量装置，其特征在于，

所述连结部件包括：

连接杆，其配置成经由球接头连结所述行进体与所述滑架部；和

弹性构件，其构造成朝向所述主标尺对所述连接杆施力，并且

所述未对准检测部件为固定于所述连接杆或所述弹性构件的应变仪。