CN106835059B - 带角度可调行星盘的镀膜机膜片转动机构 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种带角度可调行星盘的镀膜机膜片转动机构，涉及镀膜机技术领域，镀膜机膜片公转结构，包括传动机构、定轴、绕定轴转动的转筒、罩体以及可固定在镀膜机顶部的环形底盘，定轴的上端部固定在罩体的顶部，转筒的外周面上固定设置一个减速齿轮，所述驱动齿轮由外部电机带动转动，驱动齿轮与减速齿轮啮合从而驱动减速齿轮转动，进一步带动转筒转动，所述环形底盘上方设置一个轴向支撑转筒的推力球轴承，所述罩体的内壁与转筒外周面之间还设置防止转筒径向偏移的球轴承，转筒下端固定设置一个传动齿轮和一个旋转板，旋转板设置多个角度可调的膜片行星盘机构。双轴承设置有利与转筒的稳定转动，减少轴承的卡死，可实现膜片自转和角度可调。
Description
技术领域
本发明涉及镀膜机技术领域，具体涉及一种带角度可调行星盘的镀膜机膜片转动机构。
背景技术
真空镀膜机主要由以下几部分组成：真空腔体，抽气系统，充气布气系统，加热系统，薄膜沉积控制系统，高压控制系统，低压控制系统，蒸发源系统，工件旋转系统。其功能描述如下：
真空腔体：镀膜加工的一个空间
抽气系统：使镀膜达到所需的真空度
充气布气系统：使气动元件获得足够的气压完成动作
加热系统：使基片达到镀膜所需的温度
薄膜沉积控制系统：使基片上镀的膜厚达到所需的要求
高压控制系统:使蒸发源获得足够的电压
低压控制系统：控制镀膜机的元件完成规定的动作
蒸发源系统：让膜料蒸发
工件旋转系统：装载基片并使其转动
目前行业内的镀膜机工转主要是单轴承，易发生卡死、抖动等问题，公转和自转普遍是链轮和链条结构，但是这种结构转动的时候不稳定，噪音大，而且链条链轮结构在长时间使用后会变松，从而影响膜层的均匀性。
发明内容
本发明要解决的技术问题是解决上述现有技术的不足，提供一种不易卡死，稳定的可实现基片公转和自转的镀膜机膜片转动机构。
为了解决上述现有技术的不足，本发明采用的技术方案是：一种带角度可调行星盘的镀膜机膜片转动机构，包括转筒传动机构、定轴、绕定轴转动的转筒、罩体以及可固定在镀膜机顶部的环形底盘，所述传动机构主要包括一个驱动齿轮，所述罩体固定在底盘上，所述转筒和定轴穿过环形底盘伸入镀膜机的真空镀膜腔，所述定轴的上端部固定在罩体的顶部，所述转筒的外周面上固定设置一个减速齿轮，所述驱动齿轮由外部电机带动转动，驱动齿轮与减速齿轮啮合从而驱动减速齿轮转动，进一步带动转筒转动，所述环形底盘上方设置一个轴向支撑转筒的推力球轴承，所述罩体的内壁与转筒外周面之间还设置防止转筒径向偏移的球轴承，转筒下端固定设置一个传动齿轮和一个旋转板，旋转板设置多个膜片行星盘机构，所述行星盘机构包括自转轴以及对自转轴进行径向和轴向支撑的支撑部件，支撑部件安装在旋转板上，所述自转轴上端固定设有与自转轴同轴心的从动齿轮，从动齿轮可与传动齿轮啮合带动自转轴的自转，自转轴的下端设置锥形主动齿轮，旋转板下端与支撑部件对应位置固定设置一个连接上座，连接上座上固定设置一个与自转轴垂直的横轴，横轴上同轴心设置有与锥形主动齿轮啮合的锥形传动齿轮，连接上座连接一个连接下座，连接下座可绕横轴相对连接上座转动，连接下座上设置与横轴垂直的从动轴以及支撑从动轴的支撑部件，从动轴的上端设置与锤形传动齿轮相配合的锤形从动齿轮，锤形从动齿轮带动从动轴的转动，从动轴的下端用于安装工件架装载基片。
进一步的，所述推力球轴承包括座圈、轴圈和钢球保持架组成，轴圈与减速齿轮或者转筒固定，座圈固定在环形底盘上。
进一步的，所述罩体靠近环形底盘的端部与推力球轴承对应位置设置环形空腔用于注入冷却水，罩体在环形空腔处设置注水孔和出水孔用于水循环。
进一步的，所述球轴承设置在罩体顶部，罩体顶部设置冷却水循环网路用于给球轴承降温。
进一步的，还包括一个磁流体密封装置，磁流体密封装置一端连接驱动电机，另一端伸入镀膜机真空腔连接驱动齿轮。
进一步的，所述定轴为中部结构，设置贯穿定轴的用于测量基片镀膜厚度的晶控探头。
进一步的，所述球轴承和推力球轴承上涂抹有耐高温的润滑脂。
进一步的，所述上连接座上设置弧形槽，连接下座设置处于同一条弧线上且与弧形槽相配的螺孔，弧形槽的圆心位置横轴上，弧形槽中设置锁紧螺钉将上连接座和下连接座固定。
从上述技术方案可以看出本发明具有以下优点：双轴承设置有利与转筒的稳定转动，减少轴承的卡死，通过冷却水的循环来带走热量，这样就大大降低了工转结构内部的温度，从而减少了热涨变形造成的卡死，设置行星盘实现基片在腔体内部的公转和自转，从而提高膜层的均匀性，且可以多基片的角度进行调整；磁流体密封来替代原有的O型圈，J型密封圈组合，它既具有液体的流动性又具有固体磁性材料的磁性，进而保证基片镀膜的品质，密封效果好，而且也很耐用，是传统橡胶密封的几倍，可以保持镀膜腔的真空度。
附图说明
图1为本发明中膜片公转结构的剖视图；
图2为本发明的结构示意图；
图3为本发明中行星盘的机构示意图。
具体实施方式
以下结合附图对本发明的具体实施方式做详细说明。
本发明的带角度可调行星盘的镀膜机膜片转动机构的公转结构如图1所示，包括传动机构、定轴10、绕定轴转动的转筒9、罩体2以及可固定在镀膜机顶部的环形底盘1，所述传动机构主要包括驱动齿轮7和磁流体密封装置6，磁流体密封装置6连接外部的驱动电机，另一端伸入镀膜机的镀膜真空腔连接驱动齿轮7，磁流体密封来替代原有的O型圈，J型密封圈组合。它既具有液体的流动性又具有固体磁性材料的磁性。密封效果好，而且也很耐用，是传统橡胶密封的几倍，可以保持镀膜腔的真空度。
罩体2固定在底盘1上从而固定在镀膜机上，转筒9和定轴10穿过环形底盘1伸入镀膜机的真空镀膜腔，定轴10的上端部固定在罩体2的顶部，转筒9和定轴10同轴心设置，转筒9的外周面上固定设置一个减速齿轮8，减速齿轮8与转筒9同轴心设置，驱动齿轮7与减速齿轮8啮合从而驱动减速齿轮8转动，进一步带动转筒9绕定轴10转动，在环形底盘1上方设置一个轴向支撑转筒9的推力球轴承，推力球轴承包括座圈14、轴圈3和钢球保持架13组成，轴圈3与减速齿轮或者转筒固定，座圈14固定在环形底盘1上，罩体2的内壁与转筒9外周面之间还设置防止转筒9径向偏移的球轴承4。双轴承设置有利与转筒的稳定转动，减少轴承的卡死，进而保证基片镀膜的品质。
对工转结构的外围增加了水冷，通过冷却水的循环来带走热量，这样就大大降低了工转结构内部的温度，从而减少了热涨变形造成的卡死。水冷结构如下，将球轴承设置在罩体顶部，罩体顶部设置冷却水循环网路12用于给球轴承降温；罩体2靠近环形底盘1的端部与推力球轴承对应位置设置环形空腔11用于注入冷却水，罩体在环形空腔处设置注水孔和出水孔用于水循环
定轴10为中部结构，设置贯穿定轴的用于测量基片镀膜厚度的晶控探头5。
且镀膜过程中不能有挥油的存在，因为在薄膜沉积过程中，油的存在会影响薄膜沉积的牢固度。因此，在球轴承和推力球轴承上涂抹有耐高温的润滑脂。抖动的根本原因是轴承的磨损，因此选用了一种高真空不挥发的，耐高温的润滑脂。
如图2和图3所示，转筒9下端固定设置一个传动齿轮15和一个旋转板17，旋转板设置多个膜片行星盘机构，行星盘机构包括自转轴25以及对自转轴进行径向和轴向支撑的支撑部件19，支撑部件19安装在旋转板17上，自转轴25上端固定设有与自转轴同轴心的从动齿轮16，从动齿轮16可与传动齿轮啮合带动自转轴25的自转，自转轴25的下端设置锥形主动齿轮20，旋转板17下端与支撑部件19对应位置固定设置一个连接上座29，连接上座29上固定设置一个与自转轴垂直的横轴21，横轴21上同轴心设置有与锥形主动齿轮啮合的锥形传动齿轮24，连接上座连接一个连接下座30，连接下座30可绕横轴21相对连接上座转动，连接下座30上设置与横轴21垂直的从动轴23以及支撑从动轴的支撑部件，从动轴23的上端设置与锤形传动齿轮相配合的锤形从动齿轮27，锤形从动齿轮27带动从动轴23的转动，从动轴23的下端用于安装工件架22装载基片。锤形齿轮的齿牙相对其轴心的倾斜角度在45°度左右，因此垂直的两个齿轮之间可以较好的啮合。
所述上连接座29上设置弧形槽18，连接下座30上设置处于同一条弧线上且与弧形槽相配的螺孔26，弧形槽的圆心位置横轴上，弧形槽18中设置锁紧螺钉28将上连接座和下连接座固定。当需要调节基片的角度是，松开锁紧螺钉，将下连接座绕着横轴旋转所需的角度即可，随后在锁紧锁定螺钉，这样就可以把角度调好了。
Claims (7)
1.一种带角度可调行星盘的镀膜机膜片转动机构，包括转筒传动机构、定轴、绕定轴转动的转筒、罩体以及可固定在镀膜机顶部的环形底盘，所述传动机构主要包括一个驱动齿轮，所述罩体固定在底盘上，其特征在于：所述转筒和定轴穿过环形底盘伸入镀膜机的真空镀膜腔，所述定轴的上端部固定在罩体的顶部，所述转筒的外周面上固定设置一个减速齿轮，所述驱动齿轮由外部电机带动转动，驱动齿轮与减速齿轮啮合从而驱动减速齿轮转动，进一步带动转筒转动，所述环形底盘上方设置一个轴向支撑转筒的推力球轴承，所述罩体的内壁与转筒外周面之间还设置防止转筒径向偏移的球轴承，转筒下端固定设置一个传动齿轮和一个旋转板，旋转板设置多个膜片行星盘机构，所述行星盘机构包括自转轴以及对自转轴进行径向和轴向支撑的支撑部件，支撑部件安装在旋转板上，所述自转轴上端固定设有与自转轴同轴心的从动齿轮，从动齿轮可与传动齿轮啮合带动自转轴的自转，自转轴的下端设置锥形主动齿轮，旋转板下端与支撑部件对应位置固定设置一个连接上座，连接上座上固定设置一个与自转轴垂直的横轴，横轴上同轴心设置有与锥形主动齿轮啮合的锥形传动齿轮，连接上座连接一个连接下座，连接下座可绕横轴相对连接上座转动，连接下座上设置与横轴垂直的从动轴以及支撑从动轴的支撑部件，从动轴的上端设置与锤形传动齿轮相配合的锤形从动齿轮，锤形从动齿轮带动从动轴的转动，从动轴的下端用于安装工件架装载基片。
2.根据权利要求1所述的带角度可调行星盘的镀膜机膜片转动机构，其特征在于：所述推力球轴承包括座圈、轴圈和钢球保持架组成，轴圈与减速齿轮或者转筒固定，座圈固定在环形底盘上。
3.根据权利要求1或者2所述的带角度可调行星盘的镀膜机膜片转动机构，其特征在于：所述罩体靠近环形底盘的端部与推力球轴承对应位置设置环形空腔用于注入冷却水，罩体在环形空腔处设置注水孔和出水孔用于水循环。
4.根据权利要求1或者2所述的带角度可调行星盘的镀膜机膜片转动机构，其特征在于：所述球轴承设置在罩体顶部，罩体顶部设置冷却水循环网路用于给球轴承降温。
5.根据权利要求1所述的带角度可调行星盘的镀膜机膜片转动机构，其特征在于：还包括一个磁流体密封装置，磁流体密封装置一端连接驱动电机，另一端伸入镀膜机真空腔连接驱动齿轮。
6.根据权利要求1所述的带角度可调行星盘的镀膜机膜片转动机构，其特征在于：所述定轴为中部结构，设置贯穿定轴的用于测量基片镀膜厚度的晶控探头。
7.根据权利要求2所述的带角度可调行星盘的镀膜机膜片转动机构，其特征在于：所述球轴承和推力球轴承上涂抹有耐高温的润滑脂。
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