CN106783919B - 提高显示面板制程良率的结构 - Google Patents
提高显示面板制程良率的结构 Download PDFInfo
- Publication number
- CN106783919B CN106783919B CN201611183909.0A CN201611183909A CN106783919B CN 106783919 B CN106783919 B CN 106783919B CN 201611183909 A CN201611183909 A CN 201611183909A CN 106783919 B CN106783919 B CN 106783919B
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- display panel
- colored filter
- filter
- layer
- conductor section
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims abstract description 37
- 230000008569 process Effects 0.000 title claims abstract description 24
- 239000004020 conductor Substances 0.000 claims abstract description 28
- 230000000903 blocking effect Effects 0.000 claims abstract description 26
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims abstract description 20
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims abstract description 20
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 claims abstract description 19
- 238000005530 etching Methods 0.000 claims abstract description 19
- 238000002161 passivation Methods 0.000 claims abstract description 18
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 13
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 11
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 claims description 5
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 5
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 4
- 239000004411 aluminium Substances 0.000 claims description 4
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 claims description 4
- 239000010949 copper Substances 0.000 claims description 4
- 238000001914 filtration Methods 0.000 claims description 3
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims description 2
- 230000003071 parasitic effect Effects 0.000 abstract description 7
- 239000000463 material Substances 0.000 description 9
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 7
- 229920001621 AMOLED Polymers 0.000 description 6
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 5
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 4
- 230000013011 mating Effects 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 239000010408 film Substances 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 239000011159 matrix material Substances 0.000 description 2
- 239000011368 organic material Substances 0.000 description 2
- 230000000717 retained effect Effects 0.000 description 2
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 2
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 description 2
- 239000003990 capacitor Substances 0.000 description 1
- 239000003086 colorant Substances 0.000 description 1
- QRJOYPHTNNOAOJ-UHFFFAOYSA-N copper gold Chemical compound [Cu].[Au] QRJOYPHTNNOAOJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- 239000004744 fabric Substances 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 1
- 239000004973 liquid crystal related substance Substances 0.000 description 1
- 229910044991 metal oxide Inorganic materials 0.000 description 1
- 150000004706 metal oxides Chemical class 0.000 description 1
- 230000004044 response Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K59/00—Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one organic light-emitting element covered by group H10K50/00
-
- G—PHYSICS
- G09—EDUCATION; CRYPTOGRAPHY; DISPLAY; ADVERTISING; SEALS
- G09F—DISPLAYING; ADVERTISING; SIGNS; LABELS OR NAME-PLATES; SEALS
- G09F9/00—Indicating arrangements for variable information in which the information is built-up on a support by selection or combination of individual elements
- G09F9/30—Indicating arrangements for variable information in which the information is built-up on a support by selection or combination of individual elements in which the desired character or characters are formed by combining individual elements
- G09F9/33—Indicating arrangements for variable information in which the information is built-up on a support by selection or combination of individual elements in which the desired character or characters are formed by combining individual elements being semiconductor devices, e.g. diodes
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10K—ORGANIC ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES
- H10K59/00—Integrated devices, or assemblies of multiple devices, comprising at least one organic light-emitting element covered by group H10K50/00
- H10K59/30—Devices specially adapted for multicolour light emission
- H10K59/38—Devices specially adapted for multicolour light emission comprising colour filters or colour changing media [CCM]
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Theoretical Computer Science (AREA)
- Electroluminescent Light Sources (AREA)
Abstract
一种提高显示面板制程良率的结构,包括设置在基板上的导线区彩色滤光片和发光区彩色滤光片;其中,发光区彩色滤光片包括:从下至上依次设置在基板上的栅极绝缘层,红绿蓝色阻,刻蚀阻挡层和钝化层;导线区彩色滤光片包括:从上至下依次设置在基板上的第一金属层,栅极绝缘层,红蓝绿色阻,刻蚀阻挡层第二金属层和钝化层。本发明可以有效减小导线间的短路概率,更能有效减小导线由于相互垂直交叠造成的寄生电容,同时还能有效防止色彩滤光片在后续制程中的气体渗出问题,保证机发光二极管(OLED)器件的发光效率和显示寿命。
Description
技术领域
本发明是关于一种提高显示面板制做过程优良率的结构,具体涉及一种有机面板的气体渗出结构。
背景技术
有源矩阵有机发光二极体(AMOLED)显示屏具有高对比度、广色域、响应速度快等特点。由于有源矩阵有机发光二极体具自发光的特色,不需使用背光板,因此比主动式矩阵液晶显示器(AMLCD)更能够做得更轻薄甚至柔性。有源矩阵有机发光二极体显示器的主要通过特定的薄膜晶体管进行控制调节有机发光二极管(OLED)器件的开关和亮度,在调节三原色的比例之后进行画面显示。其中,控制薄膜晶体管往往采用金属氧化物半导体,其不仅有较高的开态电流和较低的关态电流,还有均匀性和稳定性较高的特点。
蒸镀为主的有源矩阵有机发光二极体制程中,为了降低制程难度以及发光材料的色度和亮度的恶化不均,通常采用彩色滤光片和白色有机发光二极管(OLED)的显示方法。如图1所示,导线区彩色滤光片包括设置在玻璃基板上由下至上依次设置的第一金属层(M1)6、栅极绝缘层(GI)5、刻蚀阻挡层(ESL)4、第二金属层(M2)3、钝化层(PV)2、红绿蓝色阻(RGB)1,白色有机发光二极管显示装置背板的彩色滤光片主要在阵列程完成之后进行涂布,即采用传统的COA技术。然而,在导线(如铜)制程不太稳定情况下(又如铝在高温中易产生小丘或绝缘层膜质不太稳定而出现多孔),面板AA区内导线布局之间垂直跨线的地方容易发生短路现象。而且,导线与其中间的绝缘层更容易形成寄生电容,在追求大尺寸高分辨的显示面板中寄生电容的缺点显得尤为突出。同时,彩色滤光片主要为有机材料,而在完成色彩滤光片的制成后后还有较为复杂的制程,后续的制程往往会使色彩滤光片的机材料产生一些杂质气体,导致发光二极管器件受到破坏,影响显示寿命和效果。在有源阵列制程中,一方面难免会有两条导线的重叠,导线跨线(垂直重叠)的地方在制程工艺不稳定,如铜导线的新技术、铝导线在后续的制程中会经历相对高温发生小丘、绝缘层膜质不佳等情况下,容易发现短路。另一方面,在大尺寸高分辨的显示器中导线之间的寄生电容往往影响显示品质。
发明内容
本发明的目的在于克服现有源矩阵有机电致发光二极管制作过程中面板区导线垂直跨线的地方容易短路现象,绝缘层容易产生电容,红绿蓝有机材料产生杂质气体,从而导致有机发光二极管(OLED)器件受破坏的缺点,设计一种提高显示面板制作过程优良率的结构。
本发明的目的及解决其技术问题是采用以下技术方案来实现的。
一种提高显示面板制程良率的结构,包括设置在基板上的导线区彩色滤光片和发光区彩色滤光片;
其中,发光区彩色滤光片包括:从下至上依次设置在基板上的栅极绝缘层,红绿蓝色阻,刻蚀阻挡层和钝化层;
导线区彩色滤光片包括:从下至上依次设置在基板上的第一金属层,栅极绝缘层,红蓝绿色阻,刻蚀阻挡层第二金属层和钝化层。
所述的提高显示面板制程良率的结构,其中:发光区彩色滤光片中的刻蚀阻挡层延伸包围所述红绿蓝色阻。
所述的提高显示面板制程良率的结构,其中:导线区彩色滤光片中的刻蚀阻挡层延伸包围所述红绿蓝色阻。
所述的提高显示面板制程良率的结构,其中:导线区彩色滤光片的红绿蓝色阻的厚度与发光区内色彩滤光片的红蓝绿色阻厚度一致。
所述的提高显示面板制程良率的结构,其中:导线区彩色滤光片的红绿蓝色阻的厚度比发光区内色彩滤光片的红蓝绿色阻厚度薄。
所述的提高显示面板制程良率的结构,其中:第一金属层和第二金属层为铝、铜金属构成的导线。
所述的提高显示面板制程良率的结构,其中:导线区彩色滤光片和发光区彩色滤光片内的钝化层厚度一致且相互连接。
所述的提高显示面板制程良率的结构,其中:导线区彩色滤光片和发光区彩色滤光片内的刻蚀阻挡层厚度一致且相互连接。
所述的提高显示面板制程良率的结构,其中:导线区彩色滤光片和发光区彩色滤光片内的钝化层厚度一致且相互连接。
本发明具有以下优点:本申请在没有增加光罩数量的情况下,可以有效减小导线间的短路概率,更能有效减小导线由于相互垂直交叠造成的寄生电容,同时还能有效防止色彩滤光片在后续制程中出现的气体渗出问题,保证机发光二极管(OLED)器件的发光效率和显示寿命。
附图说明
在下文中将基于实施例并参考附图来对本发明进行更详细的描述。其中:
图1是蒸镀为主的有源矩阵有机发光二极体显示屏侧剖面示意图。
图2是本发明第一实施例的示意图。
图3是本发明第二实施例的示意图。
在附图中,相同的部件使用相同的附图标记。附图并未按照实际的比例。
具体实施方式
下面将结合附图对本发明作进一步说明。
图2是本发明第一实施例的示意图,包括设置在基板上的导线区彩色滤光片8和发光区彩色滤光片7;其中,发光区彩色滤光片包括:从下至上依次设置在基板上的的栅极绝缘层(GI)5,红蓝绿色阻(R/G/B)1,刻蚀阻挡层(ESL)4和钝化层(PV)2;
导线区彩色滤光片包括:从上至下依次设置在基板上的第一金属层(M1)6,栅极绝缘层5,红蓝绿色阻1,刻蚀阻挡层4第二金属层(M2)3和钝化层2。
所述发光区彩色滤光片中的刻蚀阻挡层延伸包围所述红绿蓝色阻1。导线区彩色滤光片中的刻蚀阻挡层延伸包围所述红绿蓝色阻1。
导线区彩色滤光片的红绿蓝色阻1的厚度与发光区内色彩滤光片的红蓝绿色阻厚度一致。
所述的第一金属层6和第二金属层3为铝、铜金属构成的导线。所述导线区彩色滤光片和发光区彩色滤光片内的钝化层2厚度一致且相互连接。导线区彩色滤光片和发光区彩色滤光片内的刻蚀阻挡层厚度一致且相互连接。导线区彩色滤光片和发光区彩色滤光片内的钝化层2厚度一致且相互连接。
这样在薄膜晶体管半导体(如IGZO)制程中,半导体如(IGZO)后或第二金属层3制程后便进行发光区色彩滤光片7的处理,且在导线垂直跨线的地方保留色彩滤光片的材料,此时保留在导线垂直跨线的地方色彩滤光片与发光区彩色滤光片厚度一致。完毕之后就立即进行彩色滤光片的制程,同时,在导线垂直跨线的地方保留彩色滤光片的材料,增加了导线间的垂直距离,不仅减少了导线间的短路概率,还能有效减小寄生电容。另一方面,后续的刻蚀阻挡层(ESL)或钝化层(PV)或者刻蚀阻挡层(ESL)和钝化层(PV)覆盖在彩色滤光片上还能进一步防止材料滤光片的气体渗出的问题,有效保证OLED的发光效率和寿命。
图3是本发明第二实施例的示意图,与第一实施例不同的是,导线区彩色滤光片的红绿蓝色阻的厚度比发光区内色彩滤光片的红蓝绿色阻厚度薄。
这样在薄膜晶体管半导体(如IGZO)制程中,在半导体(如IGZO)后或第二金属层(M2)制程后便进行色彩滤光片的处理,且在导线垂直跨线的地方保留色彩滤光片的材料,此时保留在导线垂直跨线的地方色彩滤光片与发光区彩色滤光片相比厚度要薄。完毕之后就立即进行彩色滤光片的制程,同时,在导线垂直跨线的地方保留彩色滤光片的材料,增加了导线间的垂直距离,不仅减少了导线间的短路概率,还能有效减小寄生电容。另一方面,后续的刻蚀阻挡层或钝化层覆盖在彩色滤光片上还能进一步防止材料滤光片的气体渗出的问题,有效保证发光二极管的发光效率和寿命。刻蚀阻挡层(ESL)和钝化层(PV)覆盖在彩色滤光片上也能进一步防止材料滤光片的气体渗出的问题,有效保证发光二极管的发光效率和寿命。
虽然已经参考优选实施例对本发明进行了描述,但在不脱离本发明的范围的情况下,可以对其进行各种改进并且可以用等效物替换其中的部件。尤其是,只要不存在结构冲突,各个实施例中所提到的各项技术特征均可以任意方式组合起来。本发明并不局限于文中公开的特定实施例,而是包括落入权利要求的范围内的所有技术方案。
Claims (8)
1.一种提高显示面板制程良率的结构,其特征在于:包括设置在基板上的导线区彩色滤光片和设置在所述导线区色彩滤光片一侧的发光区彩色滤光片;其中,发光区彩色滤光片包括:从下至上依次设置在基板上的栅极绝缘层,红绿蓝色阻,刻蚀阻挡层和钝化层;导线区彩色滤光片包括:从上至下依次设置在基板上的第一金属层、栅极绝缘层、红蓝绿色阻、刻蚀阻挡层、第二金属层和钝化层。
2.根据权利要求1所述的提高显示面板制程良率的结构,其特征在于:所述发光区彩色滤光片中的刻蚀阻挡层延伸包围所述红绿蓝色阻。
3.根据权利要求1所述的一种提高显示面板制程良率的结构,其特征在于:所述导线区彩色滤光片中的刻蚀阻挡层延伸包围所述红绿蓝色阻。
4.根据权利要求1所述的提高显示面板制程良率的结构,其特征在于:所述的导线区彩色滤光片的红绿蓝色阻的厚度与发光区内色彩滤光片的红蓝绿色阻厚度一致。
5.根据权利要求1所述的提高显示面板制程良率的结构,其特征在于:导线区彩色滤光片的红绿蓝色阻的厚度比发光区内色彩滤光片的红蓝绿色阻厚度薄。
6.根据权利要求1所述的提高显示面板制程良率的结构,其特征在于:所述的第一金属层和第二金属层为铝、铜金属构成的导线。
7.根据权利要求1所述的一种提高显示面板制程良率的结构,其特征在于所述导线区彩色滤光片和发光区彩色滤光片内的钝化层厚度一致且相互连接。
8.根据权利要求1所述的一种提高显示面板制程良率的结构,其特征在于所述导线区彩色滤光片和发光区彩色滤光片内的刻蚀阻挡层厚度一致且相互连接。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201611183909.0A CN106783919B (zh) | 2016-12-20 | 2016-12-20 | 提高显示面板制程良率的结构 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201611183909.0A CN106783919B (zh) | 2016-12-20 | 2016-12-20 | 提高显示面板制程良率的结构 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN106783919A CN106783919A (zh) | 2017-05-31 |
CN106783919B true CN106783919B (zh) | 2019-09-17 |
Family
ID=58895911
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN201611183909.0A Active CN106783919B (zh) | 2016-12-20 | 2016-12-20 | 提高显示面板制程良率的结构 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN106783919B (zh) |
Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN101026179A (zh) * | 2006-02-24 | 2007-08-29 | 财团法人工业技术研究院 | 有机发光二极管整合彩色滤光片影像质量改善结构及方法 |
CN103187428A (zh) * | 2011-12-30 | 2013-07-03 | 乐金显示有限公司 | 有机发光显示装置及其制造方法 |
CN103681746A (zh) * | 2012-09-21 | 2014-03-26 | 三星显示有限公司 | 有机发光显示装置及其制造方法 |
CN104752474A (zh) * | 2013-12-30 | 2015-07-01 | 乐金显示有限公司 | 有机发光显示装置及其制造方法 |
-
2016
- 2016-12-20 CN CN201611183909.0A patent/CN106783919B/zh active Active
Patent Citations (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN101026179A (zh) * | 2006-02-24 | 2007-08-29 | 财团法人工业技术研究院 | 有机发光二极管整合彩色滤光片影像质量改善结构及方法 |
CN103187428A (zh) * | 2011-12-30 | 2013-07-03 | 乐金显示有限公司 | 有机发光显示装置及其制造方法 |
CN103681746A (zh) * | 2012-09-21 | 2014-03-26 | 三星显示有限公司 | 有机发光显示装置及其制造方法 |
CN104752474A (zh) * | 2013-12-30 | 2015-07-01 | 乐金显示有限公司 | 有机发光显示装置及其制造方法 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN106783919A (zh) | 2017-05-31 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
TWI478126B (zh) | Surface light display device | |
CN110047898A (zh) | 显示基板及其制造方法、显示装置 | |
CN107785405B (zh) | 阵列基板及其制备方法 | |
CN104538428B (zh) | Coa型woled结构及制作方法 | |
CN108922964B (zh) | 一种oled显示面板开口率的确定方法 | |
KR20070094679A (ko) | 컬러필터 기판 | |
CN104953044A (zh) | 柔性oled及其制作方法 | |
US11036108B2 (en) | Array substrate and method of manufacturing the same, display panel and display apparatus | |
CN104952879B (zh) | 采用coa技术的双栅极tft基板结构 | |
TWI539592B (zh) | 畫素結構 | |
US10608070B2 (en) | Organic EL display device | |
TW201401504A (zh) | 有機發光二極體顯示器 | |
WO2018184330A1 (zh) | 一种显示面板和显示装置 | |
US9099404B2 (en) | Array substrate and manufacturing method thereof, OLED display device | |
CN109411522A (zh) | 一种透明显示面板及其制备方法、显示装置 | |
CN107134532A (zh) | 一种有机发光显示面板 | |
US10510921B2 (en) | Graphene display | |
WO2019041482A1 (zh) | 显示面板及其制造方法 | |
CN107369702A (zh) | 一种oled显示面板及其制作方法 | |
TW201743443A (zh) | 顯示裝置 | |
CN109638020A (zh) | 显示面板及其制作方法、显示模组 | |
CN108364993A (zh) | 一种显示面板的制作方法、显示面板及显示装置 | |
US20190067397A1 (en) | Display panel and method for manufacturing the same | |
TWI522713B (zh) | 畫素結構與顯示面板 | |
WO2016090747A1 (zh) | Oled显示装置及其制造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
PB01 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
GR01 | Patent grant | ||
GR01 | Patent grant | ||
CP01 | Change in the name or title of a patent holder |
Address after: 9-2 Tangming Avenue, Guangming New District, Shenzhen City, Guangdong Province Patentee after: TCL China Star Optoelectronics Technology Co.,Ltd. Address before: 9-2 Tangming Avenue, Guangming New District, Shenzhen City, Guangdong Province Patentee before: Shenzhen China Star Optoelectronics Technology Co.,Ltd. |
|
CP01 | Change in the name or title of a patent holder |