CN106756892A - 一种用于pecvd设备的石墨舟推舟机构 - Google Patents

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Abstract

本发明公开了一种用于PECVD设备的石墨舟推舟机构，包括推舟及设于推舟上的一对推舟杆组件，各所述推舟杆组件远离所述推舟的一端设有旋转式拉舟块，所述推舟上设有用于驱动旋转式拉舟块转动的驱动组件，所述驱动组件与所述推舟杆组件连接，本发明具有结构简单、能够顺利进入石墨舟底部并可靠拉舟等优点。

Description

一种用于PECVD设备的石墨舟推舟机构
技术领域
本发明涉及光伏设备，尤其涉及一种用于PECVD设备的石墨舟推舟机构。
背景技术
PECVD设备（其中PECVD为Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition的简写，又称等离子体增强化学气相沉积法）是光伏制造领域必不可少的装备，近年来，随着我国光伏产业的迅猛发展，自动化、智能化制造成为趋势，PECVD的自动化生产就是其中很重要的一环。
如附图1至图5所示，石墨舟100（装载太阳能电池片的石墨平台，形状与龙舟相似）通过机械手放置于一对推舟杆200上，然后利用推舟300（用于承载推舟杆200和石墨舟100的机构）将石墨舟100送入石英管400内进行工艺过程，反应完成之后，推舟杆200插入石墨舟100底部并抬起石墨舟100，然后利用安装于推舟杆200上的拉舟块500将石墨舟100拉出来，放舟时拉舟块500也可对石墨舟100进行定位。由于受到石英管400尺寸的限制，同时也为了推舟杆200能够顺利地进入石墨舟100底部，拉舟块500的高度设计较低。随着使用时间的增加，推舟杆200会发生变形，推舟杆200中段不能有效将石墨舟100抬起，拉舟时由于拉舟块500高度过低无法有效拉动石墨舟100，石墨舟100会越过拉舟块500，从而导致拖舟现象。此外，现有的拉舟块500因高度过低，无法校准石墨舟100在推舟杆200上位置的偏移，当石墨舟100放置不准确而架在拉舟块500上时，导致石墨舟100取放位置出现偏差，机械手取石墨舟100时容易砸舟、压舟，从而损坏石墨舟100。
发明内容
本发明要解决的技术问题是克服现有技术的不足，提供一种结构简单、能够顺利进入石墨舟底部并可靠拉舟的用于PECVD设备的石墨舟推舟机构。
为解决上述技术问题，本发明采用以下技术方案：
一种用于PECVD设备的石墨舟推舟机构，包括推舟及设于推舟上的一对推舟杆组件，各所述推舟杆组件远离所述推舟的一端设有旋转式拉舟块，所述推舟上设有用于驱动旋转式拉舟块转动的驱动组件，所述驱动组件与所述推舟杆组件连接。
作为上述技术方案的进一步改进：
所述推舟杆组件包括推舟管及旋转杆，所述推舟管固设于所述推舟上，所述旋转杆穿过所述推舟管，所述旋转式拉舟块设于所述旋转杆远离所述推舟的一端，所述驱动组件与所述旋转杆的另一端连接。
所述驱动组件包括驱动缸、一对连杆及一对转盘，所述驱动缸装设于所述推舟上且推杆与一对连杆的一端铰接，一对连杆的另一端分别与一个转盘铰接，一对转盘与一对旋转杆一一对应连接。
所述驱动组件还包括PLC控制器，所述PLC控制器与所述驱动缸连接。
所述驱动缸为气缸。
所述旋转式拉舟块靠近所述推舟的侧面为倾斜调整面，当石墨舟 落在所述倾斜调整面上时，所述石墨舟向下滑动并向所述推舟靠近。
当一对旋转式拉舟块转动至一对推舟杆组件之间时，一对旋转式拉舟块接触。
与现有技术相比，本发明的优点在于：本发明公开的用于PECVD设备的石墨舟推舟机构，在各推舟杆组件上分别设置一块旋转式拉舟块，旋转式拉舟块由驱动组件驱动旋转，需要将推舟杆组件穿过石墨舟时，将旋转式拉舟块转动至水平状态以降低高度，从而克服石英管和石墨舟的尺寸限制；拉舟时再将旋转式拉舟块旋转至竖直状态恢复最大高度，又可避免因高度不够导致的拖舟及石墨舟定位不准的现象，结构简单、可靠；且驱动组件装设于推舟上，远离石英管内高温环境，避免损坏。
附图说明
图1是现有推舟机构的结构示意图。
图2是现有推舟机构进入石墨舟底部时的示意图。
图3是现有推舟机构完全进入石墨舟底部时的结构示意图。
图4是现有推舟机构拉舟时的结构示意图。
图5是现有推舟机构出现石墨舟位置偏差时的结构示意图。
图6是本发明用于PECVD设备的石墨舟推舟机构的立体结构示意图。
图7是本发明用于PECVD设备的石墨舟推舟机构另一种状态的立体结构示意图。
图8是本发明中的驱动组件的立体结构示意图（放大）。
图9是本发明完全进入石墨舟底部时的结构示意图。
图10是本发明拉舟时的结构示意图。
图11是本发明出现石墨舟位置偏差时的结构示意图。
图中各标号表示：100、石墨舟；200、推舟杆；300、推舟；400、石英管；500、拉舟块；1、推舟杆组件；11、推舟管；12、旋转杆；2、旋转式拉舟块；21、倾斜调整面；3、驱动组件；31、驱动缸；32、连杆；33、转盘；34、PLC控制器。
具体实施方式
以下将结合说明书附图和具体实施例对本发明做进一步详细说明。
如图6至图11所示，本实施例的用于PECVD设备的石墨舟推舟机构，包括推舟300及设于推舟300上的一对推舟杆组件1，各推舟杆组件1远离推舟300的一端设有旋转式拉舟块2，推舟300上设有用于驱动旋转式拉舟块2转动的驱动组件3，驱动组件3与推舟杆组件1连接。该用于PECVD设备的石墨舟推舟机构在各推舟杆组件1上分别设置一块旋转式拉舟块2，旋转式拉舟块2由驱动组件3驱动旋转，需要将推舟杆组件1穿过石墨舟100时，将旋转式拉舟块2转动至水平状态以降低高度，从而克服石英管400和石墨舟100的尺寸限制；拉舟时再将旋转式拉舟块2旋转至竖直状态恢复最大高度，又可避免因高度不够导致的拖舟及石墨舟100定位不准的现象，结构简单、可靠；且驱动组件3装设于推舟上，远离石英管400内高温环境，避免损坏。
推舟杆组件1包括推舟管11及旋转杆12，推舟管11固设于推舟300上，旋转杆12穿过推舟管11，旋转式拉舟块2设于旋转杆12远离推舟300的一端，驱动组件3与旋转杆12的另一端连接。需要转动旋转式拉舟块2时，由驱动组件3带动旋转杆12转动，旋转杆12进而带动旋转式拉舟块2转动。本实施例中，旋转杆12也采用空心结构，在其他实施例中也可采用实心结构。
驱动组件3包括驱动缸31、一对连杆32及一对转盘33，驱动缸31装设于推舟300上且推杆与一对连杆32的一端铰接，一对连杆32的另一端分别与一个转盘33铰接，一对转盘33与一对旋转杆12一一对应连接。驱动组件3的工作原理为：驱动缸31的推杆上下伸缩，进而带动一对连杆32运动，一对连杆32则分别带动对应的转盘33转动，转盘33进而带动旋转杆12和旋转杆12上的旋转式拉舟块2整体转动，实现旋转式拉舟块2在水平状态和竖直状态之间的切换；且切换至水平状态时，一对旋转式拉舟块2位于一对推舟杆组件1内侧，减少设备占用的空间。本实施例中，驱动缸31为气缸，在其他实施例中也可采用液压缸；驱动组件3也可采用其他部件或组件，能够驱动旋转式拉舟块2转动即可。
本实施例中，驱动组件3还包括PLC控制器34，PLC控制器34与驱动缸31连接，由PLC控制器34控制驱动缸31的运动极限位置，提高设备的自动化程度和运动精度。
本实施例中，旋转式拉舟块2靠近推舟300的侧面为倾斜调整面21，当石墨舟100落在倾斜调整面21上时，石墨舟100向下滑动并向推舟300靠近，实现石墨舟100在推舟杆组件1上位置的自动校正，保证石墨舟100定位准确，便于后续机械手取放。
本实施例中，当一对旋转式拉舟块2转动至一对推舟杆组件1之间时，一对旋转式拉舟块2接触，也就是说旋转式拉舟块2的高度为一对推舟杆组件1之间间距的一半，既保证旋转式拉舟块2具有足够的高度，又避免了一对旋转式拉舟块2同步向一对推舟杆组件1之间转动时相互干涉。
虽然本发明已以较佳实施例揭露如上，然而并非用以限定本发明。任何熟悉本领域的技术人员，在不脱离本发明技术方案范围的情况下，都可利用上述揭示的技术内容对本发明技术方案做出许多可能的变动和修饰，或修改为等同变化的等效实施例。因此，凡是未脱离本发明技术方案的内容，依据本发明技术实质对以上实施例所做的任何简单修改、等同变化及修饰，均应落在本发明技术方案保护的范围内。

Claims (7)

1.一种用于PECVD设备的石墨舟推舟机构，包括推舟（300）及设于推舟（300）上的一对推舟杆组件（1），其特征在于：各所述推舟杆组件（1）远离所述推舟（300）的一端设有旋转式拉舟块（2），所述推舟（300）上设有用于驱动旋转式拉舟块（2）转动的驱动组件（3），所述驱动组件（3）与所述推舟杆组件（1）连接。
2.根据权利要求1所述的用于PECVD设备的石墨舟推舟机构，其特征在于：所述推舟杆组件（1）包括推舟管（11）及旋转杆（12），所述推舟管（11）固设于所述推舟（300）上，所述旋转杆（12）穿过所述推舟管（11），所述旋转式拉舟块（2）设于所述旋转杆（12）远离所述推舟（300）的一端，所述驱动组件（3）与所述旋转杆（12）的另一端连接。
3.根据权利要求2所述的用于PECVD设备的石墨舟推舟机构，其特征在于：所述驱动组件（3）包括驱动缸（31）、一对连杆（32）及一对转盘（33），所述驱动缸（31）装设于所述推舟（300）上且推杆与一对连杆（32）的一端铰接，一对连杆（32）的另一端分别与一个转盘（33）铰接，一对转盘（33）与一对旋转杆（12）一一对应连接。
4.根据权利要求3所述的用于PECVD设备的石墨舟推舟机构，其特征在于：所述驱动组件（3）还包括PLC控制器（34），所述PLC控制器（34）与所述驱动缸（31）连接。
5.根据权利要求3或4所述的用于PECVD设备的石墨舟推舟机构，其特征在于：所述驱动缸（31）为气缸。
6.根据权利要求1至4中任一项所述的用于PECVD设备的石墨舟推舟机构，其特征在于：所述旋转式拉舟块（2）靠近所述推舟（300）的侧面为倾斜调整面（21），当石墨舟（100） 落在所述倾斜调整面（21）上时，所述石墨舟（100）向下滑动并向所述推舟（300）靠近。
7.根据权利要求6所述的用于PECVD设备的石墨舟推舟机构，其特征在于：当一对旋转式拉舟块（2）转动至一对推舟杆组件（1）之间时，一对旋转式拉舟块（2）接触。
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