CN106676469B

CN106676469B - 蒸镀掩膜板及其制造方法

Info

Publication number: CN106676469B
Application number: CN201710014430.2A
Authority: CN
Inventors: 王徐亮; 李伟丽; 甘帅燕
Original assignee: Kunshan Guoxian Photoelectric Co Ltd
Current assignee: Kunshan Guoxian Photoelectric Co Ltd
Priority date: 2017-01-09
Filing date: 2017-01-09
Publication date: 2019-03-26
Anticipated expiration: 2037-01-09
Also published as: CN106676469A

Abstract

本发明提供了一种蒸镀掩膜板及其制造方法，支撑条包括第一固定区，所述第一固定区内设置有开口，框架包括第二固定区，所述第二固定区与所述第一固定区对应，所述第二固定区内设置有标记，通过所述开口和所述标记之间的相对位置能够得到所述支撑条和所述框架之间的相对位置，张网时所述开口和所述标记能够同时出现在CCD镜头中，从而便可方便、快速的根据所述开口和所述标记之间的相对位置调整所述支撑条和所述框架之间的相对位置，使得所述支撑条位于所述框架的位置适当，提高了张网效率。进一步的，由于通过所述开口和所述标记之间的相对位置能够有效、精确的得到所述支撑条和所述框架之间的相对位置，从而调整时也能够提高两者之间的位置精度。

Description

蒸镀掩膜板及其制造方法

技术领域

本发明涉及显示器制造技术领域，特别涉及一种蒸镀掩膜板及其制造方法。

背景技术

有机发光二极管(OLED)显示器以其轻薄、主动发光、快响应速度、广视角、色彩丰富及高亮度、低功耗、耐高低温等众多优点而被业界公认为是继液晶显示器(LCD)之后的第三代显示技术，可以广泛用于智能手机、平板电脑、电视等终端产品。

目前OLED的制作过程中采用蒸镀掩膜板进行蒸镀以在基板上形成膜层。蒸镀掩膜板通常包括框架及固定在所述框架上的支撑条。具体的，请参考图1，其为现有的蒸镀掩膜板的结构示意图。如图1所示，框架10上具有固定槽11，支撑条12需要固定于所述固定槽11中。对于有些OLED产品，需要较宽的支撑条12，而目前张网机的CCD镜头视野较窄，导致支撑条12和固定槽11不能完整出现在CCD镜头中，由此张网时需要不断移动CCD镜头，从而导致张网时间较长，张网效率不高。此外，由于不能非常有效的判断与调整支撑条12和固定槽11的相对位置，一定程度上也降低了所述支撑条12固定于所述框架10上的位置精度。

发明内容

本发明的目的在于提供一种蒸镀掩膜板及其制造方法，以解决现有技术中的蒸镀掩膜板制造过程中支撑条和固定槽不能完整出现在CCD镜头中，由此张网时需要不断移动CCD镜头，从而导致张网时间较长，张网效率不高的问题。

为解决上述技术问题，本发明提供一种蒸镀掩膜板，所述蒸镀掩膜板包括：框架及固定于所述框架上的支撑条；所述支撑条包括第一固定区，所述第一固定区内设置有开口；所述框架包括第二固定区，所述第二固定区与所述第一固定区对应，所述第二固定区内设置有标记；通过所述开口和所述标记之间的相对位置能够得到所述支撑条和所述框架之间的相对位置。

可选的，在所述的蒸镀掩膜板中，当所述标记位于所述开口的中间位置时，所述支撑条位于所述框架的位置适当；当所述标记相对于所述开口偏上时，所述支撑条相对于所述框架偏下；当所述标记相对于所述开口偏下时，所述支撑条相对于所述框架偏上；当所述标记相对于所述开口偏左时，所述支撑条相对于所述框架偏右；当所述标记相对于所述开口偏右时，所述支撑条相对于所述框架偏左。

可选的，在所述的蒸镀掩膜板中，，所述支撑条的数量为多个，每个支撑条均包括第一固定区，每个支撑条上的第一固定区内均设置有开口，所述框架包括多个第二固定区，每个第二固定区内均设置有标记。

可选的，在所述的蒸镀掩膜板中，所述标记在所述框架上的投影位于所述开口在所述框架上的投影内。

可选的，在所述的蒸镀掩膜板中，所述开口位于所述第一固定区的中间位置。

可选的，在所述的蒸镀掩膜板中，所述开口为规则结构。

可选的，在所述的蒸镀掩膜板中，所述标记位于所述第二固定区的中间位置。

可选的，在所述的蒸镀掩膜板中，所述标记为规则结构。

本发明还提供一种蒸镀掩膜板的制造方法，所述蒸镀掩膜板的制造方法包括：

提供框架及支撑条；所述支撑条包括第一固定区，所述第一固定区内设置有开口；所述框架包括第二固定区，所述第二固定区与所述第一固定区对应，所述第二固定区内设置有标记；

将所述支撑条放置于所述框架上，并根据所述开口和所述标记之间的相对位置调整所述支撑条与所述框架之间的相对位置；

将所述支撑条固定于所述框架上。

可选的，在所述的蒸镀掩膜板的制造方法中，根据所述开口和所述标记之间的相对位置调整所述支撑条与所述框架之间的相对位置主要包括：当所述标记相对于所述开口偏上时，将所述支撑条向上调整；当所述标记相对于所述开口偏下时，将所述支撑条向下调整；当所述标记相对于所述开口偏左时，将所述支撑条向左调整；当所述标记相对于所述开口偏右时，将所述支撑条向右调整。

在本发明提供的蒸镀掩膜板及其制造方法中，支撑条包括第一固定区，所述第一固定区内设置有开口，框架包括第二固定区，所述第二固定区与所述第一固定区对应，所述第二固定区内设置有标记，通过所述开口和所述标记之间的相对位置能够得到所述支撑条和所述框架之间的相对位置，张网时所述开口和所述标记能够同时出现在CCD镜头中，从而便可方便、快速的根据所述开口和所述标记之间的相对位置调整所述支撑条和所述框架之间的相对位置，使得所述支撑条位于所述框架的位置适当，提高了张网效率。进一步的，由于通过所述开口和所述标记之间的相对位置能够有效、精确的得到所述支撑条和所述框架之间的相对位置，从而调整时也能够提高两者之间的位置精度。

附图说明

图1是现有的蒸镀掩膜板的结构示意图；

图2是本发明实施例一的蒸镀掩膜板的结构示意图；

图3是本发明实施例二的蒸镀掩膜板的结构示意图；

图4是本发明实施例三的蒸镀掩膜板的结构示意图；

图5是本发明实施例四的蒸镀掩膜板的结构示意图；

图6是本发明实施例五的蒸镀掩膜板的结构示意图；

其中，框架-10、20、30、40、50、60；支撑条-12、21、31、41、51、61；开口-22、32、42、52、62；标记-23、33、43、53、63；固定槽-11。

具体实施方式

以下结合附图和具体实施例对本发明提出的蒸镀掩膜板及其制造方法作进一步详细说明。根据下面说明和权利要求书，本发明的优点和特征将更清楚。需说明的是，附图均采用非常简化的形式且均使用非精准的比例，仅用以方便、明晰地辅助说明本发明实施例的目的。

【实施例一】

请参考图2，其为本发明实施例一的蒸镀掩膜板的结构示意图。如图2所示，所述蒸镀掩膜板2包括：框架20及固定于所述框架20上的支撑条21；所述支撑条21包括第一固定区(图2中未示出)，所述第一固定区内设置有开口22；所述框架20包括第二固定区(图2中未示出)，所述第二固定区与所述第一固定区对应，所述第二固定区内设置有标记23；通过所述开口22和所述标记23之间的相对位置能够得到所述支撑条21和所述框架20之间的相对位置。

其中，所述第一固定区指所述支撑条21上用于固定(于框架20上)的区域，通常的，所述第一固定区靠近所述支撑条21的端部。所述第二固定区指所述框架20上用于固定(支撑条21)的区域。所述第一固定区与所述第二固定区的大小、形状基本相似，当所述支撑条21固定于所述框架20上时，所述第一固定区与所述第二固定区基本重合。

进一步的，当所述标记23位于所述开口22的中间位置时，所述支撑条21位于所述框架20的位置适当(也即所述支撑条21和所述框架20之间的相对位置符合要求)；当所述标记23相对于所述开口22偏上时，所述支撑条21相对于所述框架20偏下；当所述标记23相对于所述开口22偏下时，所述支撑条21相对于所述框架20偏上；当所述标记23相对于所述开口22偏左时，所述支撑条21相对于所述框架20偏右；当所述标记23相对于所述开口22偏右时，所述支撑条21相对于所述框架20偏左。

较佳的，所述框架20包括多个第二固定区，每个第二固定区内均设置有标记23。所述支撑条21包括两个第一固定区，每个第一固定区内均设置有开口22。由此，能够更加方便、也更加好的调整所述支撑条21和所述框架20之间的相对位置。

请继续参考图2，在本申请实施例中，示出了一根支撑条21。在本申请的其他实施例中，所述支撑条21的数量可以多个。相应的，每个支撑条21均包括第一固定区，每个支撑条21上的第一固定区内均设置有开口22。优选的，每个支撑条21均包括两个第一固定区，每个支撑条21上的每个第一固定区内均设置有开口22。

优选的，所述标记23在所述框架20上的投影位于所述开口22在所述框架20上的投影内，即所述标记23小于所述开口22(包括面积、截面宽度等参数)。由此，所述标记23能够完整的出现在所述开口22内，从而便于观察两者之间的相对位置。

在本申请实施例中，所述开口22位于所述第一固定区的中间位置；所述标记23位于所述第二固定区的中间位置。由此可以进一步降低所述开口22和所述标记23之间的相对距离，从而使得张网时所述开口22和所述标记23能够更快、更好的同时出现在CCD镜头中。较佳的，所述开口22为规则结构，例如，所述开口22可以为圆形结构(开口)、方形结构(开口)、三角形结构(开口)、菱形结构(开口)或者梯形结构(开口)等；所述标记23为规则结构，所述标记23可以为圆形结构(标记)、方形结构(标记)、三角形结构(标记)、菱形结构(标记)、梯形结构(标记)、“一”形结构(标记)、“土”形结构(标记)或者形结构(标记)等。更优的，所述开口22及所述标记23均为对称结构。在本申请实施例中，所述开口22为圆形结构(开口)，所述标记23为圆形结构(标记)。

进一步的，本实施例还提供一种蒸镀掩膜板的制造方法(可相应参考图2)，所述蒸镀掩膜板的制造方法包括：

提供框架20及支撑条21；所述支撑条21包括第一固定区，所述第一固定区内设置有开口22；所述框架20包括第二固定区，所述第二固定区与所述第一固定区对应，所述第二固定区内设置有标记23；

将所述支撑条21放置于所述框架20上，并根据所述开口22和所述标记23之间的相对位置调整所述支撑条21与所述框架20之间的相对位置；

将所述支撑条21固定于所述框架20上。

在此，根据所述开口22和所述标记23之间的相对位置调整所述支撑条21与所述框架20之间的相对位置主要包括：当所述标记23相对于所述开口22偏上时，将所述支撑条21向(所述框架20的)上调整；当所述标记23相对于所述开口22偏下时，将所述支撑条21向(所述框架20的)下调整；当所述标记23相对于所述开口22偏左时，将所述支撑条21向(所述框架20的)左调整；当所述标记23相对于所述开口22偏右时，将所述支撑条21向(所述框架20的)右调整。

综上可见，在本申请实施例中，通过支撑条包括第一固定区，所述第一固定区内设置有开口，框架包括第二固定区，所述第二固定区与所述第一固定区对应，所述第二固定区内设置有标记，通过所述开口和所述标记之间的相对位置能够得到所述支撑条和所述框架之间的相对位置，张网时所述开口和所述标记能够同时出现在CCD镜头中，从而便可方便、快速的根据所述开口和所述标记之间的相对位置调整所述支撑条和所述框架之间的相对位置，使得所述支撑条位于所述框架的位置适当，提高了张网效率。进一步的，由于通过所述开口和所述标记之间的相对位置能够有效、精确的得到所述支撑条和所述框架之间的相对位置，从而调整时也能够提高两者之间的位置精度。

【实施例二】

请参考图3，其为本发明实施例二的蒸镀掩膜板的结构示意图。如图3所示，所述蒸镀掩膜板3包括：框架30及固定于所述框架30上的支撑条31；所述支撑条31包括第一固定区(图3中未示出)，所述第一固定区内设置有开口32；所述框架30包括第二固定区(图3中未示出)，所述第二固定区与所述第一固定区对应，所述第二固定区内设置有标记33；通过所述开口32和所述标记33之间的相对位置能够得到所述支撑条31和所述框架30之间的相对位置。

其中，所述第一固定区指所述支撑条31上用于固定(于框架30上)的区域，通常的，所述第一固定区靠近所述支撑条31的端部。所述第二固定区指所述框架30上用于固定(支撑条31)的区域。所述第一固定区与所述第二固定区的大小、形状基本相似，当所述支撑条31固定于所述框架30上时，所述第一固定区与所述第二固定区基本重合。

进一步的，当所述标记33位于所述开口32的中间位置时，所述支撑条31位于所述框架30的位置适当(也即所述支撑条31和所述框架30之间的相对位置符合要求)；当所述标记33相对于所述开口32偏上时，所述支撑条31相对于所述框架30偏下；当所述标记33相对于所述开口32偏下时，所述支撑条31相对于所述框架30偏上；当所述标记33相对于所述开口32偏左时，所述支撑条31相对于所述框架30偏右；当所述标记33相对于所述开口32偏右时，所述支撑条31相对于所述框架30偏左。

较佳的，所述框架30包括多个第二固定区，每个第二固定区内均设置有标记33。所述支撑条31包括两个第一固定区，每个第一固定区内均设置有开口32。由此，能够更加方便、也更加好的调整所述支撑条31和所述框架30之间的相对位置。

请继续参考图3，在本申请实施例中，示出了一根支撑条31。在本申请的其他实施例中，所述支撑条31的数量可以多个。相应的，每个支撑条31均包括第一固定区，每个支撑条31上的第一固定区内均设置有开口32。优选的，每个支撑条31均包括两个第一固定区，每个支撑条31上的每个第一固定区内均设置有开口32。

优选的，所述标记33在所述框架30上的投影位于所述开口32在所述框架30上的投影内，即所述标记33小于所述开口32(包括面积、截面宽度等参数)。由此，所述标记33能够完整的出现在所述开口32内，从而便于观察两者之间的相对位置。

在本申请实施例中，所述开口32位于所述第一固定区的中间位置；所述标记33位于所述第二固定区的中间位置。由此可以进一步降低所述开口32和所述标记33之间的相对距离，从而使得张网时所述开口32和所述标记33能够更快、更好的同时出现在CCD镜头中。较佳的，所述开口32为规则结构，例如，所述开口32可以为圆形结构(开口)、方形结构(开口)、三角形结构(开口)、菱形结构(开口)或者梯形结构(开口)等；所述标记33为规则结构，所述标记33可以为圆形结构(标记)、方形结构(标记)、三角形结构(标记)、菱形结构(标记)、梯形结构(标记)、“一”形结构(标记)、“土”形结构(标记)或者形结构(标记)等。更优的，所述开口32及所述标记33均为对称结构。在本申请实施例中，所述开口32为圆形结构(开口)，所述标记33为方形结构(标记)。

进一步的，本实施例还提供一种蒸镀掩膜板的制造方法(可相应参考图3)，所述蒸镀掩膜板的制造方法包括：

提供框架30及支撑条31；所述支撑条31包括第一固定区，所述第一固定区内设置有开口32；所述框架30包括第二固定区，所述第二固定区与所述第一固定区对应，所述第二固定区内设置有标记33；

将所述支撑条31放置于所述框架30上，并根据所述开口32和所述标记33之间的相对位置调整所述支撑条31与所述框架30之间的相对位置；

将所述支撑条31固定于所述框架30上。

在此，根据所述开口32和所述标记33之间的相对位置调整所述支撑条31与所述框架30之间的相对位置主要包括：当所述标记33相对于所述开口32偏上时，将所述支撑条31向(所述框架30的)上调整；当所述标记33相对于所述开口32偏下时，将所述支撑条31向(所述框架30的)下调整；当所述标记33相对于所述开口32偏左时，将所述支撑条31向(所述框架30的)左调整；当所述标记33相对于所述开口32偏右时，将所述支撑条31向(所述框架30的)右调整。

【实施例三】

请参考图4，其为本发明实施例三的蒸镀掩膜板的结构示意图。如图4所示，所述蒸镀掩膜板4包括：框架40及固定于所述框架40上的支撑条41；所述支撑条41包括第一固定区(图4中未示出)，所述第一固定区内设置有开口42；所述框架40包括第二固定区(图4中未示出)，所述第二固定区与所述第一固定区对应，所述第二固定区内设置有标记43；通过所述开口42和所述标记43之间的相对位置能够得到所述支撑条41和所述框架40之间的相对位置。

其中，所述第一固定区指所述支撑条41上用于固定(于框架40上)的区域，通常的，所述第一固定区靠近所述支撑条41的端部。所述第二固定区指所述框架40上用于固定(支撑条41)的区域。所述第一固定区与所述第二固定区的大小、形状基本相似，当所述支撑条41固定于所述框架40上时，所述第一固定区与所述第二固定区基本重合。

进一步的，当所述标记43位于所述开口42的中间位置时，所述支撑条41位于所述框架40的位置适当(也即所述支撑条41和所述框架40之间的相对位置符合要求)；当所述标记43相对于所述开口42偏上时，所述支撑条41相对于所述框架40偏下；当所述标记43相对于所述开口42偏下时，所述支撑条41相对于所述框架40偏上；当所述标记43相对于所述开口42偏左时，所述支撑条41相对于所述框架40偏右；当所述标记43相对于所述开口42偏右时，所述支撑条41相对于所述框架40偏左。

较佳的，所述框架40包括多个第二固定区，每个第二固定区内均设置有标记43。所述支撑条41包括两个第一固定区，每个第一固定区内均设置有开口42。由此，能够更加方便、也更加好的调整所述支撑条41和所述框架40之间的相对位置。

请继续参考图4，在本申请实施例中，示出了一根支撑条41。在本申请的其他实施例中，所述支撑条41的数量可以多个。相应的，每个支撑条41均包括第一固定区，每个支撑条41上的第一固定区内均设置有开口42。优选的，每个支撑条41均包括两个第一固定区，每个支撑条41上的每个第一固定区内均设置有开口42。

优选的，所述标记43在所述框架40上的投影位于所述开口42在所述框架40上的投影内，即所述标记43小于所述开口42(包括面积、截面宽度等参数)。由此，所述标记43能够完整的出现在所述开口42内，从而便于观察两者之间的相对位置。

在本申请实施例中，所述开口42位于所述第一固定区的中间位置；所述标记43位于所述第二固定区的中间位置。由此可以进一步降低所述开口42和所述标记43之间的相对距离，从而使得张网时所述开口42和所述标记43能够更快、更好的同时出现在CCD镜头中。较佳的，所述开口42为规则结构，例如，所述开口42可以为圆形结构(开口)、方形结构(开口)、三角形结构(开口)、菱形结构(开口)或者梯形结构(开口)等；所述标记43为规则结构，所述标记43可以为圆形结构(标记)、方形结构(标记)、三角形结构(标记)、菱形结构(标记)、梯形结构(标记)、“一”形结构(标记)、“土”形结构(标记)或者形结构(标记)等。更优的，所述开口42及所述标记43均为对称结构。在本申请实施例中，所述开口42为三角形结构(开口)，所述标记43为三角形结构(标记)。

进一步的，本实施例还提供一种蒸镀掩膜板的制造方法(可相应参考图4)，所述蒸镀掩膜板的制造方法包括：

提供框架40及支撑条41；所述支撑条41包括第一固定区，所述第一固定区内设置有开口42；所述框架40包括第二固定区，所述第二固定区与所述第一固定区对应，所述第二固定区内设置有标记43；

将所述支撑条41放置于所述框架40上，并根据所述开口42和所述标记43之间的相对位置调整所述支撑条41与所述框架40之间的相对位置；

将所述支撑条41固定于所述框架40上。

在此，根据所述开口42和所述标记43之间的相对位置调整所述支撑条41与所述框架40之间的相对位置主要包括：当所述标记43相对于所述开口42偏上时，将所述支撑条41向(所述框架40的)上调整；当所述标记43相对于所述开口42偏下时，将所述支撑条41向(所述框架40的)下调整；当所述标记43相对于所述开口42偏左时，将所述支撑条41向(所述框架40的)左调整；当所述标记43相对于所述开口42偏右时，将所述支撑条41向(所述框架40的)右调整。

【实施例四】

请参考图5，其为本发明实施例四的蒸镀掩膜板的结构示意图。如图5所示，所述蒸镀掩膜板5包括：框架50及固定于所述框架50上的支撑条51；所述支撑条51包括第一固定区(图5中未示出)，所述第一固定区内设置有开口52；所述框架50包括第二固定区(图5中未示出)，所述第二固定区与所述第一固定区对应，所述第二固定区内设置有标记53；通过所述开口52和所述标记53之间的相对位置能够得到所述支撑条51和所述框架50之间的相对位置。

其中，所述第一固定区指所述支撑条51上用于固定(于框架50上)的区域，通常的，所述第一固定区靠近所述支撑条51的端部。所述第二固定区指所述框架50上用于固定(支撑条51)的区域。所述第一固定区与所述第二固定区的大小、形状基本相似，当所述支撑条51固定于所述框架50上时，所述第一固定区与所述第二固定区基本重合。

进一步的，当所述标记53位于所述开口52的中间位置时，所述支撑条51位于所述框架50的位置适当(也即所述支撑条51和所述框架50之间的相对位置符合要求)；当所述标记53相对于所述开口52偏上时，所述支撑条51相对于所述框架50偏下；当所述标记53相对于所述开口52偏下时，所述支撑条51相对于所述框架50偏上；当所述标记53相对于所述开口52偏左时，所述支撑条51相对于所述框架50偏右；当所述标记53相对于所述开口52偏右时，所述支撑条51相对于所述框架50偏左。

较佳的，所述框架50包括多个第二固定区，每个第二固定区内均设置有标记53。所述支撑条51包括两个第一固定区，每个第一固定区内均设置有开口52。由此，能够更加方便、也更加好的调整所述支撑条51和所述框架50之间的相对位置。

请继续参考图5，在本申请实施例中，示出了一根支撑条51。在本申请的其他实施例中，所述支撑条51的数量可以多个。相应的，每个支撑条51均包括第一固定区，每个支撑条51上的第一固定区内均设置有开口52。优选的，每个支撑条51均包括两个第一固定区，每个支撑条51上的每个第一固定区内均设置有开口52。

优选的，所述标记53在所述框架50上的投影位于所述开口52在所述框架50上的投影内，即所述标记53小于所述开口52(包括面积、截面宽度等参数)。由此，所述标记53能够完整的出现在所述开口52内，从而便于观察两者之间的相对位置。

在本申请实施例中，所述开口52位于所述第一固定区的中间位置；所述标记53位于所述第二固定区的中间位置。由此可以进一步降低所述开口52和所述标记53之间的相对距离，从而使得张网时所述开口52和所述标记53能够更快、更好的同时出现在CCD镜头中。较佳的，所述开口52为规则结构，例如，所述开口52可以为圆形结构(开口)、方形结构(开口)、三角形结构(开口)、菱形结构(开口)或者梯形结构(开口)等；所述标记53为规则结构，所述标记53可以为圆形结构(标记)、方形结构(标记)、三角形结构(标记)、菱形结构(标记)、梯形结构(标记)、“一”形结构(标记)、“土”形结构(标记)或者形结构(标记)等。更优的，所述开口52及所述标记53均为对称结构。在本申请实施例中，所述开口52为方形结构(开口)，所述标记53为“一”形结构(标记)。其中，方形开口52具有相互垂直的水平侧边和竖直侧边，所述“一”形标记53为水平线条，由此，通过所述方形开口52和所述“一”形标记53能够更加容易的观察所述开口52和所述标记53在竖直方向上的相对位置关系，从而能够进一步提高张网效率及支撑条51和框架50之间的位置精度。

进一步的，本实施例还提供一种蒸镀掩膜板的制造方法(可相应参考图5)，所述蒸镀掩膜板的制造方法包括：

提供框架50及支撑条51；所述支撑条51包括第一固定区，所述第一固定区内设置有开口52；所述框架50包括第二固定区，所述第二固定区与所述第一固定区对应，所述第二固定区内设置有标记53；

将所述支撑条51放置于所述框架50上，并根据所述开口52和所述标记53之间的相对位置调整所述支撑条51与所述框架50之间的相对位置；

将所述支撑条51固定于所述框架50上。

在此，根据所述开口52和所述标记53之间的相对位置调整所述支撑条51与所述框架50之间的相对位置主要包括：当所述标记53相对于所述开口52偏上时，将所述支撑条51向(所述框架50的)上调整；当所述标记53相对于所述开口52偏下时，将所述支撑条51向(所述框架50的)下调整；当所述标记53相对于所述开口52偏左时，将所述支撑条51向(所述框架50的)左调整；当所述标记53相对于所述开口52偏右时，将所述支撑条51向(所述框架50的)右调整。

【实施例五】

请参考图6，其为本发明实施例五的蒸镀掩膜板的结构示意图。如图6所示，所述蒸镀掩膜板6包括：框架60及固定于所述框架60上的支撑条61；所述支撑条61包括第一固定区(图6中未示出)，所述第一固定区内设置有开口62；所述框架60包括第二固定区(图6中未示出)，所述第二固定区与所述第一固定区对应，所述第二固定区内设置有标记63；通过所述开口62和所述标记63之间的相对位置能够得到所述支撑条61和所述框架60之间的相对位置。

其中，所述第一固定区指所述支撑条61上用于固定(于框架60上)的区域，通常的，所述第一固定区靠近所述支撑条61的端部。所述第二固定区指所述框架60上用于固定(支撑条61)的区域。所述第一固定区与所述第二固定区的大小、形状基本相似，当所述支撑条61固定于所述框架60上时，所述第一固定区与所述第二固定区基本重合。

进一步的，当所述标记63位于所述开口62的中间位置时，所述支撑条61位于所述框架60的位置适当(也即所述支撑条61和所述框架60之间的相对位置符合要求)；当所述标记63相对于所述开口62偏上时，所述支撑条61相对于所述框架60偏下；当所述标记63相对于所述开口62偏下时，所述支撑条61相对于所述框架60偏上；当所述标记63相对于所述开口62偏左时，所述支撑条61相对于所述框架60偏右；当所述标记63相对于所述开口62偏右时，所述支撑条61相对于所述框架60偏左。

较佳的，所述框架60包括多个第二固定区，每个第二固定区内均设置有标记63。所述支撑条61包括两个第一固定区，每个第一固定区内均设置有开口62。由此，能够更加方便、也更加好的调整所述支撑条61和所述框架60之间的相对位置。

请继续参考图6，在本申请实施例中，示出了一根支撑条61。在本申请的其他实施例中，所述支撑条61的数量可以多个。相应的，每个支撑条61均包括第一固定区，每个支撑条61上的第一固定区内均设置有开口62。优选的，每个支撑条61均包括两个第一固定区，每个支撑条61上的每个第一固定区内均设置有开口62。

优选的，所述标记63在所述框架60上的投影位于所述开口62在所述框架60上的投影内，即所述标记63小于所述开口62(包括面积、截面宽度等参数)。由此，所述标记63能够完整的出现在所述开口62内，从而便于观察两者之间的相对位置。

在本申请实施例中，所述开口62位于所述第一固定区的中间位置；所述标记63位于所述第二固定区的中间位置。由此可以进一步降低所述开口62和所述标记63之间的相对距离，从而使得张网时所述开口62和所述标记63能够更快、更好的同时出现在CCD镜头中。较佳的，所述开口62为规则结构，例如，所述开口62可以为圆形结构(开口)、方形结构(开口)、三角形结构(开口)、菱形结构(开口)或者梯形结构(开口)等；所述标记63为规则结构，所述标记63可以为圆形结构(标记)、方形结构(标记)、三角形结构(标记)、菱形结构(标记)、梯形结构(标记)、“一”形结构(标记)、“土”形结构(标记)或者形结构(标记)等。更优的，所述开口62及所述标记63均为对称结构。在本申请实施例中，所述开口62为方形结构(开口)，所述标记63为形结构(标记)。其中，方形开口62具有相互垂直的水平侧边和竖直侧边，所述形标记63具有相互垂直的水平线条和竖直线条，由此，通过所述方形开口62和所述形标记63能够更加容易的观察所述开口62和所述标记63在水平方向和竖直方向上的相对位置关系，从而能够进一步提高张网效率及支撑条61和框架60之间的位置精度。

进一步的，本实施例还提供一种蒸镀掩膜板的制造方法(可相应参考图6)，所述蒸镀掩膜板的制造方法包括：

提供框架60及支撑条61；所述支撑条61包括第一固定区，所述第一固定区内设置有开口62；所述框架60包括第二固定区，所述第二固定区与所述第一固定区对应，所述第二固定区内设置有标记63；

将所述支撑条61放置于所述框架60上，并根据所述开口62和所述标记63之间的相对位置调整所述支撑条61与所述框架60之间的相对位置；

将所述支撑条61固定于所述框架60上。

在此，根据所述开口62和所述标记63之间的相对位置调整所述支撑条61与所述框架60之间的相对位置主要包括：当所述标记63相对于所述开口62偏上时，将所述支撑条61向(所述框架60的)上调整；当所述标记63相对于所述开口62偏下时，将所述支撑条61向(所述框架60的)下调整；当所述标记63相对于所述开口62偏左时，将所述支撑条61向(所述框架60的)左调整；当所述标记63相对于所述开口62偏右时，将所述支撑条61向(所述框架60的)右调整。

上述描述仅是对本发明较佳实施例的描述，并非对本发明范围的任何限定，本发明领域的普通技术人员根据上述揭示内容做的任何变更、修饰，均属于权利要求书的保护范围。

Claims

1.一种蒸镀掩膜板，其特征在于，所述蒸镀掩膜板包括：框架及固定于所述框架上的支撑条；所述支撑条包括第一固定区，所述第一固定区内设置有开口；所述框架包括第二固定区，所述第二固定区与所述第一固定区对应，所述第二固定区内设置有标记；通过所述开口和所述标记之间的相对位置能够得到所述支撑条和所述框架之间的相对位置。

2.如权利要求1所述的蒸镀掩膜板，其特征在于，当所述标记位于所述开口的中间位置时，所述支撑条位于所述框架的位置适当；当所述标记相对于所述开口偏上时，所述支撑条相对于所述框架偏下；当所述标记相对于所述开口偏下时，所述支撑条相对于所述框架偏上；当所述标记相对于所述开口偏左时，所述支撑条相对于所述框架偏右；当所述标记相对于所述开口偏右时，所述支撑条相对于所述框架偏左。

3.如权利要求1所述的蒸镀掩膜板，其特征在于，所述支撑条的数量为多个，每个支撑条均包括第一固定区，每个支撑条上的第一固定区内均设置有开口；所述框架包括多个第二固定区，每个第二固定区内均设置有标记。

4.如权利要求1～3中任一项所述的蒸镀掩膜板，其特征在于，所述标记在所述框架上的投影位于所述开口在所述框架上的投影内。

5.如权利要求1～3中任一项所述的蒸镀掩膜板，其特征在于，所述开口位于所述第一固定区的中间位置。

6.如权利要求1～3中任一项所述的蒸镀掩膜板，其特征在于，所述开口为规则结构。

7.如权利要求1～3中任一项所述的蒸镀掩膜板，其特征在于，所述标记位于所述第二固定区的中间位置。

8.如权利要求1～3中任一项所述的蒸镀掩膜板，其特征在于，所述标记为规则结构。

9.一种蒸镀掩膜板的制造方法，其特征在于，所述蒸镀掩膜板的制造方法包括：

将所述支撑条固定于所述框架上。

10.如权利要求9所述的蒸镀掩膜板的制造方法，其特征在于，根据所述开口和所述标记之间的相对位置调整所述支撑条与所述框架之间的相对位置主要包括：当所述标记相对于所述开口偏上时，将所述支撑条向上调整；当所述标记相对于所述开口偏下时，将所述支撑条向下调整；当所述标记相对于所述开口偏左时，将所述支撑条向左调整；当所述标记相对于所述开口偏右时，将所述支撑条向右调整。