CN106605092A - 具备固定加热块的角阀 - Google Patents

Abstract

本发明涉及具备固定加热块的角阀，其特征在于，包括：阀壳(100)，其在内侧形成有流体移动孔(101)，且具备供流体流入的流入部(110)和供流体流出的流出部(120)；固定加热块(200)，其固定安装于所述阀壳(100)的内侧，且在内部具备滑动孔(210)；驱动构件(300)，其能拆卸地结合于所述阀壳(100)上部，提供驱动力；密闭部(400)，其与所述驱动构件(300)连接，根据所述驱动构件(300)的驱动与否而开闭所述流入部(110)。

Description

具备固定加热块的角阀

技术领域

本发明涉及具备固定加热块的角阀，所述具备固定加热块的角阀的特征在于，包括：阀壳100，其在内侧形成有流体移动孔101，且具备供流体流入的流入部110和供流体流出的流出部120；固定加热块200，其固定安装于所述阀壳100的内侧，且在内部具备滑动孔210；驱动构件300，其能拆卸地结合于所述阀壳100上部，提供驱动力；密闭部400，其与所述驱动构件300连接，根据所述驱动构件300的驱动与否而开闭所述流入部110。

背景技术

一般而言，半导体或LCD具有固定密度，因而要求高清洁度和特殊的制造技术。

由于这种理由，半导体元件在能够最完美地切断与空气中包含的异物接触的真空状态下进行制造。

因此，半导体制造装置的真空作业区域与大气的密封技术，也对半导体制品的品质产生许多影响。

在如上所述制造半导体所需的工序区间安装有角阀，执行把借助于真空泵而移动的流体传递到腔内或切断的功能。

这种角阀具备供流体流入的流入部和供流体流出的流出部，随着缸的驱动，密闭部移动并对流入部进行开闭，从而向腔内部传递流体或切断。

另一方面，随着流体借助于真空泵而排气，流体内存在的工序副产物流入角阀内部，因此，如果暴露于角阀内部的由不锈钢或铁等材质形成的波纹管等，则因化学反应而生成微粒。

如上所述因化学反应而生成的微粒在低温下析出，发生固着于角阀内部或密闭部等的现象，缩短角阀的寿命，为了防止微粒的固着，在角阀内部附着有发散既定温度以上的热的加热器，使角阀内部的温度上升，从而防止微粒的析出现象。

下述专利文献1的“CVD装置的真空排气阀(大韩民国注册专利公报第10-0256768号)”涉及在一侧具有气体流入口或气体流出口而在下侧具有气体流出口的阀箱中，利用波纹管对借助于上侧的促动器而进行开闭运转的阀体的运转连接部进行密封的CVD装置的真空排气阀，在所述波纹管内，在阀体的运转连接部的外周侧配置能弹性伸缩的线圈状的加热套，将其下端固定于阀体的上侧，上端固定于阀箱内顶面后，连接于阀箱外的导线，把对加热套进行温度控制的铠装式热电偶按相同级别、相同圈数，同心配置于加热套的内周侧，在阀箱外面附着橡胶加热器，从而使波纹管内部的阀体和加热套一体运转，在阀开闭时，可以加热阀体或波纹管，具有能够防止在阀箱内发生微粒的优点。

但是，所述专利文献1的“CVD装置的真空排气阀”在促动器通过空压而上下运动时，连接于活塞杆的线圈形状的加热套及铠装式热电偶同时游动，因而由于每天少则数百次、多则数千次的促动器的反复运转，加热套及铠装式热电偶因收缩及放松的反复运转而发生变位，具有存在破损危险性的问题。

另外，线圈形状的加热套及铠装式热电偶由于其结构性形状，在放松时，与放松的加热套的体积相比，发热量小，存在难以高效地把热传递到阀箱及波纹管内部的问题。

发明内容

本发明要解决的技术问题

本发明正是为了解决所述问题而研发的，本发明的目的在于提供一种具备固定加热块的角阀，把发热的固定加热块固定安装于波纹管内侧，从而即使驱动构件运转，固定加热块仍然保持固定状态，能够提高固定加热块的寿命及效率，减小部件更换的次数，能够防止连接于固定加热块的电线因驱动构件的运转而损伤。

另外，提供一种具备固定加热块的角阀，把借助于驱动构件的驱动而上下移动的热传递块与整体发热的固定加热块连接，从而能够对阀壳及波纹管内部均匀地发挥热传递及辐射作用。

技术方案

为了解决如上所述的问题，本发明的具备固定加热块的角阀1的特征在于，包括：阀壳100，其在内侧形成有流体移动孔101，且具备供流体流入的流入部110和供流体流出的流出部120；固定加热块200，其固定安装于所述阀壳100的内侧，且在内部具备滑动孔210；驱动构件300，其能拆卸地结合于所述阀壳100上部，提供驱动力；密闭部400，其与所述驱动构件300连接，根据所述驱动构件300的驱动与否而开闭所述流入部110。

另外，其特征在于，形成有热传递块410，所述热传递块410包括供所述固定加热块200进入的连接槽411，以便能够接受传递所述固定加热块200发生的热。

另外，其特征在于，所述密闭部400形成有固定板420、波纹管430、密闭板440，所述固定板420由在上部沿水平方向延长形成的固定部421、在下部形成的底座部422及在所述底座部422的中央形成的插入孔423构成，所述波纹管430结合于所述底座部420下部，使在所述阀壳100内部形成的真空状态和大气压状态隔离，所述密闭板440具备沿内侧方向凹陷形成的结合槽441，以便所述热传递块410进入。

另外，其特征在于，所述固定加热块200还包括在上部外周缘延长形成的放置部220，所述固定加热块200的放置部220放置于所述固定板420的底座部422，所述固定加热块200位于所述波纹管430内侧。

另外，其特征在于，形成有连接所述驱动构件300和热传递块610的热传递杆450。

有益效果

根据本发明，把发热的固定加热块固定安装于波纹管内侧，从而即使驱动构件运转，固定加热块仍然保持固定状态，具有的优点是能够提高固定加热块的寿命及效率，减少部件更换的次数，能够防止连接于固定加热块的电线因驱动构件的运转而损伤。

另外，把借助于驱动构件的驱动而上下移动的热传递块与整体发热的固定加热块连接，从而具有的优点是能够对阀壳及波纹管内部均匀地发挥热传递及辐射作用。

附图说明

图1是显示本发明优选实施例的具备固定加热块的角阀的整体样子的立体图。

图2是显示本发明优选实施例的具备固定加热块的角阀的分解样子的分解立体图。

图3是显示本发明优选实施例的具备固定加热块的角阀的分解样子的分解剖面图。

图4是显示本发明优选实施例的具备固定加热块的角阀的剖面的剖面图。

图5是显示本发明优选实施例的具备固定加热块的角阀的运转状态的状态图。

具体实施方式

下面以附图为参照，详细本发明一个实施例的具备固定加热块的角阀1。首先应注意的是，在附图中，相同的构成要素或部件尽可能以相同的参照符号代表。在说明本发明方面，为了不模糊本发明的要素，省略对相关公知功能或构成的具体说明。

本发明如图2所示，大致由阀壳100和固定加热块200、驱动构件300及密闭部400构成。

首先，对阀壳100进行说明。所述阀壳100如图1或图2所示，作为发挥能够使流体从真空泵(图中未示出)向腔(图中未示出)移动的通路作用的构成要素，优选形成有供流体流入的流入部110和供流体流出的流出部120。

另外，在所述阀壳100内侧，如图3或图4所示由空间形成，可以供后述的固定加热块200等本发明的构成要素插入安装，形成有供流体移动的流体移动孔101。

另一方面，在所述阀壳100的上部，如图1或图2所示，优选具备形成得所述阀壳100与后述驱动构件300紧密连接的第一结合架130。

另外，在本发明中，所述第一结合架130如图2或图3所示，在中央形成有通孔131，在所述通孔131的上部内周缘形成有“L”形状的固定棱132，能够与后述的固定板420连接。

下面对固定加热块200进行说明。所述固定加热块200作为如图2或图4所示固定安装于所述阀壳100内侧的构成要素，发挥加热所述阀壳100内侧而去除在所述阀壳100内侧生成的微粒的作用。

另一方面，在所述固定加热块200的上部外周缘，如图2或图3所示，形成有向外侧延长的放置部220，从而所述固定加热块200的放置部220连接于所述固定板420的底座部422，可以使得所述固定加热块200放置于所述固定板420。

此时，所述放置部220和底座部422也可以通过螺纹结合等固定。

在本发明中，固定加热块200包括放置部220，以“T”形状形成，从而能够连接所述固定板420的底座部422和所述底座部422，向与所述固定板420结合的后述的波纹管700传递热。

另外，在所述固定加热块200的内侧，如图3或图4所示，优选形成有滑动孔210，供后述的杆330的下部进入，形成有供筒形加热器和热电偶(Thermocouple)分别插入于内部的加装槽230。

在本发明中，所述固定加热块200固定安装于所述阀壳100内侧，从而即使所述杆330上下移动，所述固定加热块200也固定，因而完全不对其它构成要素的运转(例如，活塞320的竖直运动、弹性构件316的弹性运动等)造成影响，能够防止连接于所述固定加热块200和在具备固定加热块的角阀1外部安装的发热装置部500的电线510及传感器520因移动而磨损或损伤。

下面对驱动构件300进行说明。所述驱动构件300作为如图1或图2所示结合于所述阀壳100上部并驱动具备固定加热块的角阀1的构成要素，在本发明的附图中，虽然以由活塞320和杆330构成的缸310型的驱动装置为例进行说明，但此外也可以由促动器等多样地构成。

另一方面，所述缸310如图1或图2所示，在内侧具备后述的活塞320和所述杆330，所述缸310分别区分形成有所述活塞320进行驱动的活塞驱动部311、连接于所述活塞320的所述杆330进行驱动的杆驱动部312。

此时，所述活塞驱动部311根据所述活塞320的顺畅运转及切断热传递等目的，优选由独立于杆驱动部312的密闭空间形成。

另一方面，在所述缸310的下部，如图2或图4所示，优选具备第二结合架313，与所述第一结合架130连接，以便所述阀壳100和缸310能够结合。

在本发明中，所述第二结合架313在中央下部构成有圆筒形状的支撑部314，所述，所述支撑部314形成有进入孔315，以便杆330插入、通过，从而在所述阀壳100和缸310结合的状态下，所述支撑部314的下部对所述固定加热块200上部加压，发挥更坚固地固定所述固定加热块200的作用。

另一方面，在所述杆驱动部312的内侧，可以具备引导所述杆330的移动的弹性构件316。

所述活塞400作为如图3或图4所示安装于所述活塞驱动部311并借助于空压而竖直运动的构成要素，优选由活塞板321和在所述活塞板321下部的轴形状的活塞杆322构成。

此时，优选所述活塞板321安装于所述活塞驱动部311内侧，活塞杆322通过所述活塞驱动部311，露出于所述杆驱动部312内侧。

另一方面，所述活塞杆322的下部如图4所示与所述杆330的上部连接，从而根据所述活塞320是否竖直运动，所述杆330也可以相同地运转。

所述杆330如图3或图4所示，作为上部与活塞杆322连接、下部进入所述滑动孔210并与后述的密闭板440连接的构成要素，发挥根据所述活塞320是否竖直运动而开闭所述密闭板440的作用。

另外，优选在所述杆330的外周缘，如图2或图4所示形成有挂接板331，以便所述弹性构件316可以连动，向所述杆330提供弹力。

另一方面，把进入所述滑动孔210的杆330的下部直径设置得小于所述滑动孔210的直径，从而所述杆330的下部外周缘与所述滑动孔210的内侧面不相互接触，防止所述杆330因摩擦而磨损及损伤，可以使所述固定加热块200发生热不直接传递给所述杆330。

另外，优选位于所述杆驱动部312内侧的所述杆330部分由绝热材料等追加构成，以便通过所述固定加热块200而发生的热不传递到所述缸310内部。

下面对密闭部400进行说明。所述密闭部400作为如图3或图4所示结合于所述杆330下部并可借助于所述活塞320的竖直运动而开闭流入部110的构成要素，由热传递块410、固定板420、波纹管430、密闭板440、热传递杆450构成。

所述热传递块410作为如图2或图4所示包围所述固定加热块200中央部及下部外周缘并接受传递所述固定加热块200释放的热的构成要素，此时，可以在中央形成有连接槽411，以便所述固定加热块200进入。

此时，所述热传递块410如图5的(a)或图5的(b)所示，根据所述活塞320是否竖直运动，能够以包围所述固定加热块200中央部及下部外周缘的状态上下滑动。

所述固定板420放置固定于所述固定棱132，从而发挥使所述固定加热块200的上部放置于所述底座部142、所述固定加热块200固定安装于所述波纹管430内侧的作用。

所述固定板420如图2或图3所示，可以以在内侧包括空间的圆筒形状形成，且包括为了连接于所述固定棱132而在上部形成的固定部421、在下部形成的底座部422及在所述底座部422中央形成的插入孔423。

其中，优选所述固定部421和底座部422如图3所示，保持既定落差地形成。

这是为了当所述固定加热块200的放置部220连接于所述底座部422上部，连接所述阀壳100和所述驱动构件300并固定所述固定加热块200的所述第二结合架313结合于所述第一结合架130时，在所述放置部220和第二结合架313之间形成空间，由于所述空间，防止所述固定加热块200释放的热直接传递到所述驱动构件300，提高所述驱动构件300的制品可靠性。

另外，在所述空间中，可以安装与后述的发热装置部500连接的传感器520。

所述波纹管430的特征是使在所述阀壳100内部形成的真空状态与大气压状态隔离，优选构成得所述波纹管430的上部固定于所述固定板420，下部固定于后述的密闭板440。

所述密闭板440作为如图4或图5所示开放或封闭所述流入部110的构成要素，优选在中央形成有结合槽441，以便与所述热传递块410结合。

所述热传递杆450如图4所示，插入于所述滑动孔210，使得能够连接所述杆330和热传递块410。

另一方面，在所述具备固定加热块的角阀1中，可以安装感知所述阀壳100的温度的温度调节传感器部600。

构成所述温度调节传感器部600并进行运转的原理属于本发明所属技术领域的公知水平的技术，因而省略详细说明。

如前所述，本发明分别独立地构成供所述固定加热块200安装的所述阀壳100和所述驱动构件300，以能够结合及分离的结构构成，从而能够便利、高效地进行在所述阀壳100及驱动构件300内侧构成的构成要素的更换及检查等。

下面参照图5，说明具备所述固定加热块的角阀1的运转状态。

首先，图5的(a)是显示所述活塞驱动部311内侧的压缩空气流出，所述活塞320、杆330及密闭板440下降，所述流入部110被所述密闭板440封闭的状态的图。

然后，如图5的(b)所示，如果使压缩空气流入所述活塞驱动部311内侧，则由于所述活塞320的上升，所述杆330及密闭板440也上升，因所述密闭板440而封闭的所述流入部110开放。

如上所述，即使所述活塞320、杆330、密闭板440连动进行往复运动，由于位于所述波纹管430内部的所述固定加热块200被固定于所述阀壳100的内侧，因而能够防止连接于所述固定加热块200和在具备固定加热块的角阀1外部安装的所述发热装置部500的电线510及传感器520因移动而磨损或损伤，所述固定加热块200稳定地释放热，增加所述阀壳100内侧的温度，能够有效去除因气体而在所述阀壳100内部发生的微粒。

在附图和说明书中公开了最佳实施例。其中使用了特定术语，但这只是出于说明本发明的目的而使用，并非为了限定意义或限制权利要求书中记载的本发明范围而使用。因此，只要是本技术领域的技术人员便会理解，可以由此导出多样的变形及均等的其它实施例。因此，本发明真正的技术保护范围应根据附带的权利要求书的技术思想确定。

Claims (5)

1.一种具备固定加热块的角阀(1)，其特征在于，包括：

阀壳(100)，其在内侧形成有流体移动孔(101)，且具备供流体流入的流入部(110)和供流体流出的流出部(120)；

固定加热块(200)，其固定安装于所述阀壳(100)的内侧，且在内部具备滑动孔(210)；

驱动构件(300)，其能拆卸地结合于所述阀壳(100)上部，提供驱动力；

密闭部(400)，其与所述驱动构件(300)连接，根据所述驱动构件(300)的驱动与否而开闭所述流入部(110)。

2.根据权利要求1所述的具备固定加热块的角阀(1)，其特征在于，

所述密闭部(400)形成有热传递块(410)，所述热传递块(410)包括供所述固定加热块(200)进入的连接槽(411)，以便能够接受传递所述固定加热块(200)发生的热。

3.根据权利要求2所述的具备固定加热块的角阀(1)，其特征在于，

所述密闭部(400)形成有固定板(420)、波纹管(430)、密闭板(440)，

所述固定板(420)由在上部沿水平方向延长形成的固定部(421)、在下部形成的底座部(422)及在所述底座部(422)的中央形成的插入孔(423)构成，所述波纹管(430)结合于所述底座部(420)下部，使在所述阀壳(100)内部形成的真空状态和大气压状态隔离，

所述密闭板(440)具备沿内侧方向凹陷形成的结合槽(441)，以便所述热传递块(410)进入。

4.根据权利要求3所述的具备固定加热块的角阀(1)，其特征在于，

所述固定加热块(200)还包括在上部外周缘延长形成的放置部(220)，所述固定加热块(200)的放置部(220)放置于所述固定板(420)的底座部(422)，所述固定加热块(200)位于所述波纹管(430)内侧。

5.根据权利要求2所述的具备固定加热块的角阀(1)，其特征在于，

形成有连接所述驱动构件(300)和热传递块(610)的热传递杆(450)。