CN106601307A - 二维纳米柔性运动平台 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种二维纳米柔性运动平台，包括：基座；终端平台；X向连接杆和Y向连接杆；两个X向柔性导向件，两个X向柔性导向件分别与X向连接杆的两端相连；两个Y向柔性导向件，两个Y向柔性导向件分别与Y向连接杆的两端相连；两个X向柔性解耦件，两个X向柔性解耦件分别与X向连接杆的两端相连，两个X向柔性解耦件分别与两个X向柔性导向件相连；两个Y向柔性解耦件，两个Y向柔性解耦件分别与Y向连接杆的两端相连，两个Y向柔性解耦件分别与两个Y向柔性导向件相连；X向驱动器和Y向驱动器。根据本发明实施例的二维纳米柔性运动平台具有误差小、精度高等优点。

Description

二维纳米柔性运动平台

技术领域

本发明涉及纳米级位移输出技术领域，具体而言，涉及一种二维纳米柔性运动平台。

背景技术

相关技术中的二维纳米柔性运动平台，其寄生误差较大，特别是对于大行程的二维纳米柔性运动平台尤为明显，影响二维纳米柔性运动平台的运动精度。

发明内容

本发明旨在至少在一定程度上解决现有技术中的上述技术问题之一。为此，本发明提出一种二维纳米柔性运动平台,该二维纳米柔性运动平台具有误差小、精度高等优点。

为实现上述目的，根据本发明的实施例提出一种二维纳米柔性运动平台，所述二维纳米柔性运动平台包括：基座；终端平台，所述终端平台位于所述基座的外边沿的内侧；X向连接杆和Y向连接杆，所述X向连接杆沿X向定向且所述Y向连接杆沿Y向定向；两个X向柔性导向件，两个所述X向柔性导向件分别与所述X向连接杆的两端相连以使两个所述X向柔性导向件同步运动，每个所述X向柔性导向件与所述基座相连；两个Y向柔性导向件，两个所述Y向柔性导向件分别与所述Y向连接杆的两端相连以使两个所述Y向柔性导向件同步运动，每个所述Y向柔性导向件与所述基座相连；两个X向柔性解耦件，两个所述X向柔性解耦件分别与所述X向连接杆的两端相连以使两个所述X向柔性解耦件同步运动，两个所述X向柔性解耦件分别与两个所述X向柔性导向件相连，两个所述X向柔性解耦件分别与所述终端平台相对的两侧壁相连；两个Y向柔性解耦件，两个所述Y向柔性解耦件分别与所述Y向连接杆的两端相连以使两个所述Y向柔性解耦件同步运动，两个所述Y向柔性解耦件分别与两个所述Y向柔性导向件相连，两个所述Y向柔性解耦件分别与所述终端平台相对的两侧壁相连；X向驱动器和Y向驱动器，所述X向驱动器与两个所述X向柔性导向件中的一个相连，所述Y向驱动器与两个所述Y向柔性导向件中的一个相连。

根据本发明实施例的二维纳米柔性运动平台，具有误差小、精度高等优点。

另外，根据本发明上述实施例的二维纳米柔性运动平台还可以具有如下附加的技术特征：

根据本发明的一个实施例，两个所述X向柔性导向件在X向上对称设置，两个所述Y向柔性导向件在Y向上对称设置，两个所述X向柔性解耦件在X向上对称设置，两个所述Y向柔性解耦件在Y向上对称设置。

根据本发明的一个实施例，每个所述X向柔性导向件包括X向内侧板簧、X向外侧板簧和X向刚性连接件，两个所述X向内侧板簧分别与所述X向连接杆的两端相连，所述X向外侧板簧位于所述X向内侧板簧的外侧且均与所述基座相连，所述X向内侧板簧和所述X向外侧板簧通过所述X向刚性连接件相连，每个所述Y向柔性导向件包括Y向内侧板簧、Y向外侧板簧和Y向刚性连接件，两个所述Y向内侧板簧分别与所述Y向连接杆的两端相连，所述Y向外侧板簧位于所述Y向内侧板簧的外侧且均与所述基座相连，所述Y向内侧板簧和所述Y向外侧板簧通过所述Y向刚性连接件相连。

根据本发明的一个实施例，所述X向内侧板簧和所述Y向内侧板簧在竖直方向上的高度低于所述X向外侧板簧和所述Y向外侧板簧。

根据本发明的一个实施例，所述X向柔性解耦件、所述Y向柔性解耦件、所述X向外侧板簧和所述Y向外侧板簧在竖直方向上的高度相同。

根据本发明的一个实施例，所述终端平台、所述X向柔性解耦件、所述Y向柔性解耦件、所述X向外侧板簧和所述Y向外侧板簧在竖直方向上的高度相同。

根据本发明的一个实施例，所述X向连接杆、Y向连接杆、所述X向内侧板簧和所述Y向内侧板簧在竖直方向上的高度相同。

根据本发明的一个实施例，所述基座包括：基板；四个内连接凸台，四个所述内连接凸台在所述基板的上表面间隔设置，每个所述X向内侧板簧的两端分别与相邻的两个所述内连接凸台相连，每个所述Y向内侧板簧的两端分别与相邻的两个所述内连接凸台相连；四个外连接凸台，四个所述外连接凸台在所述基板的上表面间隔设置且位于四个所述内连接凸台的外侧，每个所述X向外侧板簧的两端分别与相邻的两个所述外连接凸台相连，每个所述Y向外侧板簧的两端分别与相邻的两个所述外连接凸台相连。

根据本发明的一个实施例，每个所述X向柔性解耦件包括两个X向外平行板簧、两个X向内平行板簧和两个X向刚性连接板，两个所述X向外平行板簧均与所述终端平台的同一侧边沿相连，两个所述X向内平行板簧位于两个所述X向外平行板簧的内侧且与两个所述X向外平行板簧平行设置，两个所述X向内平行板簧均与对应的所述X向柔性导向件相连，两个所述X向外平行板簧分别通过两个所述X向刚性连接板与两个所述X向内平行板簧相连，每个所述Y向柔性解耦件包括两个Y向外平行板簧、两个Y向内平行板簧和两个Y向刚性连接板，两个所述Y向外平行板簧均与所述终端平台的同一侧边沿相连，两个所述Y向内平行板簧位于两个所述Y向外平行板簧的内侧且与两个所述Y向外平行板簧平行设置，两个所述Y向内平行板簧均与对应的所述Y向柔性导向件相连，两个所述Y向外平行板簧分别通过两个所述Y向刚性连接板与两个所述Y向内平行板簧相连。

根据本发明的一个实施例，所述X向驱动器和所述Y向驱动器为音圈电机或压电陶瓷。

附图说明

图1是根据本发明实施例的二维纳米柔性运动平台的结构示意图。

图2是根据本发明实施例的二维纳米柔性运动平台的结构示意图。

图3是根据本发明实施例的二维纳米柔性运动平台的结构示意图，其中终端平台未示出。

图4是根据本发明实施例的二维纳米柔性运动平台的结构示意图，其中终端平台、X向柔性解耦件和Y向柔性解耦件未示出。

附图标记：二维纳米柔性运动平台1、基座100、基板110、内连接凸台120、外连接凸台130、终端平台200、X向连接杆310、Y向连接杆320、X向柔性导向件410、X向内侧板簧411、X向外侧板簧412、X向刚性连接件413、Y向柔性导向件420、Y向内侧板簧421、Y向外侧板簧422、Y向刚性连接件423、X向柔性解耦件510、X向外平行板簧511、X向内平行板簧512、X向刚性连接板513、Y向柔性解耦件520、Y向外平行板簧521、Y向内平行板簧522、Y向刚性连接板523、X向驱动器610、Y向驱动器620。

具体实施方式

下面详细描述本发明的实施例，所述实施例的示例在附图中示出，其中自始至终相同或类似的标号表示相同或类似的元件或具有相同或类似功能的元件。下面通过参考附图描述的实施例是示例性的，旨在用于解释本发明，而不能理解为对本发明的限制。

在本发明的描述中，需要理解的是，术语“中心”、“纵向”、“横向”、“长度”、“宽度”、“厚度”、“上”、“下”、“前”、“后”、“左”、“右”、“竖直”、“水平”、“顶”、“底”“内”、“外”、“顺时针”、“逆时针”、“轴向”、“径向”、“周向”等指示的方位或位置关系为基于附图所示的方位或位置关系，仅是为了便于描述本发明和简化描述，而不是指示或暗示所指的装置或元件必须具有特定的方位、以特定的方位构造和操作，因此不能理解为对本发明的限制。

此外，术语“第一”、“第二”仅用于描述目的，而不能理解为指示或暗示相对重要性或者隐含指明所指示的技术特征的数量。由此，限定有“第一”、“第二”的特征可以明示或者隐含地包括至少一个该特征。在本发明的描述中，“多个”的含义是至少两个，例如两个，三个等，除非另有明确具体的限定。

下面参考附图描述根据本发明实施例的二维纳米柔性运动平台1。

如图1-图4所示，根据本发明实施例的二维纳米柔性运动平台1包括基座100、终端平台200、X向连接杆310、Y向连接杆320、X向柔性导向件410、Y向柔性导向件420、X向柔性解耦件510、Y向柔性解耦件520、X向驱动器610和Y向驱动器620(X向、Y向如图中的箭头所示)。这里需要理解的是X向、Y向仅为了便于表述，并非对于二维纳米柔性运动平台1实际设置方向的限定。

终端平台200位于基座100的外边沿的内侧。X向连接杆310沿X向定向且Y向连接杆320沿Y向定向。两个X向柔性导向件410分别与X向连接杆310的两端相连以使两个X向柔性导向件410同步运动，每个X向柔性导向件410与基座100相连。两个Y向柔性导向件420分别与Y向连接杆320的两端相连以使两个Y向柔性导向件420同步运动，每个Y向柔性导向件420与基座100相连。两个X向柔性解耦件510分别与X向连接杆310的两端相连以使两个X向柔性解耦件510同步运动，两个X向柔性解耦件510分别与两个X向柔性导向件410相连，两个X向柔性解耦件510分别与终端平台200相对的两侧壁相连。两个Y向柔性解耦件520分别与Y向连接杆320的两端相连以使两个Y向柔性解耦件520同步运动，两个Y向柔性解耦件520分别与两个Y向柔性导向件420相连，两个Y向柔性解耦件520分别与终端平台200相对的两侧壁相连。X向驱动器610与两个X向柔性导向件410中的一个相连，Y向驱动器620与两个Y向柔性导向件420中的一个相连。

下面参考图1-图4描述根据本发明实施例的二维纳米柔性运动平台1的工作过程。

在需要终端平台200沿X向运动时，通过X向驱动器610驱动X向柔性导向件410，并带动X向柔性解耦件510和终端平台200沿X向运动，此时两个X向柔性导向件410在X向连接杆310的连接下同步运动，同时通过Y向柔性解耦件520的弹性形变来实现运动解耦。

在需要终端平台200沿Y向运动时，通过Y向驱动器620驱动Y向柔性导向件420，并带动Y向柔性解耦件520和终端平台200沿Y向运动，此时两个Y向柔性导向件420在Y向连接杆320的连接下同步运动，同时通过X向柔性解耦件510的弹性形变来实现运动解耦。

在需要终端平台200同时沿X向和Y向运动时，X向驱动器610和Y向驱动器620一同工作，带动终端平台200在X向和Y向运动，同时通过X向柔性解耦件510和Y向柔性解耦件520的弹性形变实现运动解耦，从而实现终端平台200在平面内的自由运动。

根据本发明实施例的二维纳米柔性运动平台1，通过设置X向柔性解耦件510和Y向柔性解耦件520，可以通过X向柔性解耦件510和Y向柔性解耦件520的弹性变形来实现对终端平台200的两个方向运动的解耦，从而可以实现终端平台200的高精度运动。

并且，由于相关技术中的二维纳米柔性运动平台，其终端平台在运动时，两侧相对的导向和解耦机构易发生运动不一致的情况，易导致解耦件受到的轴向力不一致，从而导致终端平台200发生寄生运动，使终端平台200的位移产生较大误差。

通过设置X向连接杆310和Y向连接杆320，使两个X向柔性导向件410分别与X向连接杆310的两端相连，两个Y向柔性导向件420分别与Y向连接杆320的两端相连，当终端平台200沿X向运动时，由于X向连接杆310将两个X向柔性导向件410连接在一起，能够抑制X向柔性导向件410的转动，大大提高终端平台200在X向运动的精度。

同理，当终端平台200沿Y向运动时，由于Y向连接杆320将两个Y向柔性导向件420连接在一起，能够抑制Y向柔性导向件420的转动，大大提高终端平台200在Y向运动的精度。

通过使两个Y向柔性解耦件520分别与Y向连接杆320的两端相连，两个X向柔性解耦件510分别与X向连接杆310的两端相连，当终端平台200沿X方向运动时，由于X向连接杆310将两个X向柔性解耦件510连接在一起，能够抑制X向柔性解耦件510的转动，进一步提高终端平台200在X向运动的精度。

同理，当终端平台200沿Y向运动时，由于Y向连接杆320将两个Y向柔性解耦件520连接在一起，能够抑制Y向柔性解耦件520的转动，进一步提高终端平台200在Y向运动的精度。

此外，由于Y向连接杆320将两个Y向柔性解耦件520连接在一起，当终端平台200沿X向运动时，能够使两个Y向柔性解耦件520受到的轴向力始终保持相等，使两个Y向柔性解耦件520的刚度始终保持相等，以抑制终端平台200的转动，进一步提高终端平台200在X向运动的精度。

同理，由于X向连接杆310将两个X向柔性解耦件510连接在一起，当终端平台200沿Y向运动时，能够使两个X向柔性解耦件510受到的轴向力始终保持相等，使两个Y向柔性解耦件520的刚度始终保持相等，以抑制终端平台200的转动，进一步提高终端平台200在Y方向运动的精度。

也就是说，二维纳米柔性运动平台1通过设置X向连接杆310和Y向连接杆320，可以使连接杆相连接的导向件或解耦件同步运动，以提高二维纳米柔性运动平台1运动的一致性，使X向驱动器610和Y向驱动器620的驱动力能够均匀作用在位于同向上的解耦件或导向件上，抑制终端平台200的转动，避免因运动不一致产生的寄生运动，提高终端平台200的运动精度。

因此，根据本发明实施例的二维纳米柔性运动平台1具有误差小、精度高等优点。

下面参考附图描述根据本发明具体实施例的二维纳米柔性运动平台1。

在本发明的一些具体实施例中，如图1-图4所示，根据本发明实施例的二维纳米柔性运动平台1包括基座100、终端平台200、X向连接杆310、Y向连接杆320、X向柔性导向件410、Y向柔性导向件420、X向柔性解耦件510、Y向柔性解耦件520、X向驱动器610和Y向驱动器620。

两个X向柔性导向件410在X向上对称设置，两个Y向柔性导向件420在Y向上对称设置，两个X向柔性解耦件510在X向上对称设置，两个Y向柔性解耦件520在Y向上对称设置。具体而言，二维纳米柔性运动平台1相对其中心轴线呈中心对称。这样可以进一步提高二维纳米柔性运动平台1各个部件的一致性，从而进一步便于提高二维纳米柔性运动平台1的运动精度。

具体地，如图1-图4所示，每个X向柔性导向件410包括X向内侧板簧411、X向外侧板簧412和X向刚性连接件413，两个X向内侧板簧411分别与X向连接杆310的两端相连，X向外侧板簧412位于X向内侧板簧411的外侧且均与基座100相连，X向内侧板簧411和X向外侧板簧412通过X向刚性连接件413相连，每个Y向柔性导向件420包括Y向内侧板簧421、Y向外侧板簧422和Y向刚性连接件423，两个Y向内侧板簧421分别与Y向连接杆320的两端相连，Y向外侧板簧422位于Y向内侧板簧421的外侧且均与基座100相连，Y向内侧板簧421和Y向外侧板簧422通过Y向刚性连接件423相连。这样可以实现X向柔性导向件410、Y向柔性导向件420、基座100、X向柔性解耦件510和Y向柔性解耦件520的柔性连接，便于驱动终端平台200精确移动。

更为具体地，如图4所示，X向内侧板簧411和Y向内侧板簧421在竖直方向上的高度低于X向外侧板簧412和Y向外侧板簧422。这样可以便于内侧板簧避让X向柔性解耦件510和Y向柔性解耦件520，从而便于二维纳米柔性运动平台1的设置，便于降低二维纳米柔性运动平台1的整体厚度。

有利地，如图3和图4所示，X向柔性解耦件510、Y向柔性解耦件520、X向外侧板簧412和Y向外侧板簧422在竖直方向上的高度相同。这样可以进一步便于驱动终端平台200精确移动。

更为有利地，如图2-图4所示，终端平台200、X向柔性解耦件510、Y向柔性解耦件520、X向外侧板簧412和Y向外侧板簧422在竖直方向上的高度相同。这样可以更进一步便于驱动终端平台200精确移动。

可选地，如图4所示，X向连接杆310、Y向连接杆320、X向内侧板簧411和Y向内侧板簧421在竖直方向上的高度相同。这样可以便于X向连接杆310和Y向连接杆320避让终端平台200，从而便于二维纳米柔性运动平台1的设置。

图1-图4示出了根据本发明一个具体示例的二维纳米柔性运动平台1。如图1-图4所示，基座100包括基板110、四个内连接凸台120和四个外连接凸台130。四个内连接凸台120在基板110的上表面间隔设置，每个X向内侧板簧411的两端分别与相邻的两个内连接凸台120相连，每个Y向内侧板簧421的两端分别与相邻的两个内连接凸台120相连。四个外连接凸台130在基板110的上表面间隔设置且位于四个内连接凸台120的外侧，每个X向外侧板簧412的两端分别与相邻的两个外连接凸台130相连，每个Y向外侧板簧422的两端分别与相邻的两个外连接凸台130相连。这样可以便于板簧连接在基座100上。

具体地，如图1-图4所示，每个X向柔性解耦件510包括两个X向外平行板簧511、两个X向内平行板簧512和两个X向刚性连接板513，两个X向外平行板簧511均与终端平台200的同一侧边沿相连，两个X向内平行板簧512位于两个X向外平行板簧511的内侧且与两个X向外平行板簧511平行设置，两个X向内平行板簧512均与对应的X向柔性导向件410相连，两个X向外平行板簧511分别通过两个X向刚性连接板513与两个X向内平行板簧512相连，每个Y向柔性解耦件520包括两个Y向外平行板簧521、两个Y向内平行板簧522和两个Y向刚性连接板523，两个Y向外平行板簧521均与终端平台200的同一侧边沿相连，两个Y向内平行板簧522位于两个Y向外平行板簧521的内侧且与两个Y向外平行板簧521平行设置，两个Y向内平行板簧522均与对应的Y向柔性导向件420相连，两个Y向外平行板簧521分别通过两个Y向刚性连接板523与两Y向内平行板簧522相连。这样可以保证X向柔性解耦件510和Y向柔性解耦件520具有良好的结构强度和柔性，保证X向柔性解耦件510和Y向柔性解耦件520对二维纳米柔性运动平台1的运动解耦效果。

可选地，X向驱动器610和Y向驱动器620可以是音圈电机或压电陶瓷。这样可以便于驱动终端平台200精确移动。

具体而言，所述X向连接杆和所述Y向连接杆均为刚性件。

有利地，二维纳米柔性运动平台1可以为一体件。由此可以进一步提高二维纳米柔性运动平台1的运动精度。

更为有利地，二维纳米柔性运动平台1进一步包括用于检测终端平台200的行程的检测器(图中未示出)，所述检测器设在基座100上。

具体而言，所述检测器可以是光栅尺传感器、激光干涉仪或电容传感器。

进一步地，二维纳米柔性运动平台1可以进一步包括控制器，所述控制器分别与所述检测器、X向驱动器610和Y向驱动器620相连，以便根据所述检测器的检测值对X向驱动器610和Y向驱动器620进行控制。由此可以进一步提高二维纳米柔性运动平台1的运动精度。

图中示出了X向连接杆310和Y向连接杆320的横截面均为矩形的实施方式，本领域的技术人员可以理解的是，X向连接杆310和Y向连接杆320的具体形状也可以为图中所示的形状以外的其他形状，例如横截面也可以为圆形或回字形。

根据本发明实施例的二维纳米柔性运动平台1的其他构成以及操作对于本领域普通技术人员而言都是已知的，这里不再详细描述。

在本发明中，除非另有明确的规定和限定，术语“安装”、“相连”、“连接”、“固定”等术语应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接或彼此可通讯；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系，除非另有明确的限定。对于本领域的普通技术人员而言，可以根据具体情况理解上述术语在本发明中的具体含义。

在本说明书的描述中，参考术语“一个实施例”、“一些实施例”、“示例”、“具体示例”、或“一些示例”等的描述意指结合该实施例或示例描述的具体特征、结构、材料或者特点包含于本发明的至少一个实施例或示例中。在本说明书中，对上述术语的示意性表述不必须针对的是相同的实施例或示例。而且，描述的具体特征、结构、材料或者特点可以在任一个或多个实施例或示例中以合适的方式结合。此外，在不相互矛盾的情况下，本领域的技术人员可以将本说明书中描述的不同实施例或示例以及不同实施例或示例的特征进行结合和组合。

尽管上面已经示出和描述了本发明的实施例，可以理解的是，上述实施例是示例性的，不能理解为对本发明的限制，本领域的普通技术人员在本发明的范围内可以对上述实施例进行变化、修改、替换和变型。

Claims (10)

1.一种二维纳米柔性运动平台，其特征在于，包括：

基座；

终端平台，所述终端平台位于所述基座的外边沿的内侧；

X向连接杆和Y向连接杆，所述X向连接杆沿X向定向且所述Y向连接杆沿Y向定向；

两个X向柔性导向件，两个所述X向柔性导向件分别与所述X向连接杆的两端相连以使两个所述X向柔性导向件同步运动，每个所述X向柔性导向件与所述基座相连；

两个Y向柔性导向件，两个所述Y向柔性导向件分别与所述Y向连接杆的两端相连以使两个所述Y向柔性导向件同步运动，每个所述Y向柔性导向件与所述基座相连；

两个X向柔性解耦件，两个所述X向柔性解耦件分别与所述X向连接杆的两端相连以使两个所述X向柔性解耦件同步运动，两个所述X向柔性解耦件分别与两个所述X向柔性导向件相连，两个所述X向柔性解耦件分别与所述终端平台相对的两侧壁相连；

两个Y向柔性解耦件，两个所述Y向柔性解耦件分别与所述Y向连接杆的两端相连以使两个所述Y向柔性解耦件同步运动，两个所述Y向柔性解耦件分别与两个所述Y向柔性导向件相连，两个所述Y向柔性解耦件分别与所述终端平台相对的两侧壁相连；

X向驱动器和Y向驱动器，所述X向驱动器与两个所述X向柔性导向件中的一个相连，所述Y向驱动器与两个所述Y向柔性导向件中的一个相连。

2.根据权利要求1所述的二维纳米柔性运动平台，其特征在于，两个所述X向柔性导向件在X向上对称设置，两个所述Y向柔性导向件在Y向上对称设置，两个所述X向柔性解耦件在X向上对称设置，两个所述Y向柔性解耦件在Y向上对称设置。

3.根据权利要求1所述的二维纳米柔性运动平台，其特征在于，每个所述X向柔性导向件包括X向内侧板簧、X向外侧板簧和X向刚性连接件，两个所述X向内侧板簧分别与所述X向连接杆的两端相连，所述X向外侧板簧位于所述X向内侧板簧的外侧且均与所述基座相连，所述X向内侧板簧和所述X向外侧板簧通过所述X向刚性连接件相连，每个所述Y向柔性导向件包括Y向内侧板簧、Y向外侧板簧和Y向刚性连接件，两个所述Y向内侧板簧分别与所述Y向连接杆的两端相连，所述Y向外侧板簧位于所述Y向内侧板簧的外侧且均与所述基座相连，所述Y向内侧板簧和所述Y向外侧板簧通过所述Y向刚性连接件相连。

4.根据权利要求3所述的二维纳米柔性运动平台，其特征在于，所述X向内侧板簧和所述Y向内侧板簧在竖直方向上的高度低于所述X向外侧板簧和所述Y向外侧板簧。

5.根据权利要求4所述的二维纳米柔性运动平台，其特征在于，所述X向柔性解耦件、所述Y向柔性解耦件、所述X向外侧板簧和所述Y向外侧板簧在竖直方向上的高度相同。

6.根据权利要求5所述的二维纳米柔性运动平台，其特征在于，所述终端平台、所述X向柔性解耦件、所述Y向柔性解耦件、所述X向外侧板簧和所述Y向外侧板簧在竖直方向上的高度相同。

7.根据权利要求4所述的二维纳米柔性运动平台，其特征在于，所述X向连接杆、Y向连接杆、所述X向内侧板簧和所述Y向内侧板簧在竖直方向上的高度相同。

8.根据权利要求3所述的二维纳米柔性运动平台，其特征在于，所述基座包括：

基板；

四个内连接凸台，四个所述内连接凸台在所述基板的上表面间隔设置，每个所述X向内侧板簧的两端分别与相邻的两个所述内连接凸台相连，每个所述Y向内侧板簧的两端分别与相邻的两个所述内连接凸台相连；

四个外连接凸台，四个所述外连接凸台在所述基板的上表面间隔设置且位于四个所述内连接凸台的外侧，每个所述X向外侧板簧的两端分别与相邻的两个所述外连接凸台相连，每个所述Y向外侧板簧的两端分别与相邻的两个所述外连接凸台相连。

9.根据权利要求1所述的二维纳米柔性运动平台，其特征在于，每个所述X向柔性解耦件包括两个X向外平行板簧、两个X向内平行板簧和两个X向刚性连接板，两个所述X向外平行板簧均与所述终端平台的同一侧边沿相连，两个所述X向内平行板簧位于两个所述X向外平行板簧的内侧且与两个所述X向外平行板簧平行设置，两个所述X向内平行板簧均与对应的所述X向柔性导向件相连，两个所述X向外平行板簧分别通过两个所述X向刚性连接板与两个所述X向内平行板簧相连，每个所述Y向柔性解耦件包括两个Y向外平行板簧、两个Y向内平行板簧和两个Y向刚性连接板，两个所述Y向外平行板簧均与所述终端平台的同一侧边沿相连，两个所述Y向内平行板簧位于两个所述Y向外平行板簧的内侧且与两个所述Y向外平行板簧平行设置，两个所述Y向内平行板簧均与对应的所述Y向柔性导向件相连，两个所述Y向外平行板簧分别通过两个所述Y向刚性连接板与两个所述Y向内平行板簧相连。

10.根据权利要求1-9中任一项所述的杆状连接件，其特征在于，所述X向驱动器和所述Y向驱动器为音圈电机或压电陶瓷。