CN106568812A - 一种用于异戊二烯气体检测的气体传感器的制备方法 - Google Patents

一种用于异戊二烯气体检测的气体传感器的制备方法 Download PDF

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Abstract

本发明公开了一种用于异戊二烯气体检测的气体传感器的制备方法，分别将盐酸溶液和钛酸四丁酯混合，然后加入油酸溶液，进行水热反应后，对产物反复进行清洗，干燥，退火，即得到纳米TiO2粉末；所得的纳米TiO2粉末与有机溶剂超声混合，得到乳白色的TiO2悬浮液；将所得的悬浮液均匀地喷涂在传感器芯片电极位置表面，然后将传感器芯片按照阶梯加热方式，退火；将传感器芯片焊接至TO管底座，将所得气敏元件置于密封气室中，对加热电极进行老化，即构建一种对Isoprene气体具有响应的气体传感器。该方法解决MEMS工艺和纳米技术不兼容的问题，制备方法简单可靠；可检测不同浓度的Isoprene气体，重复性好，响应快。

Description

一种用于异戊二烯气体检测的气体传感器的制备方法
技术领域
本发明公开了一种气体传感器的制备方法，具体涉及一种基于“蒲公英”状纳米二氧化钛构建的气体传感器的制备方法，属于新型纳米功能材料与人体健康呼吸气体检测技术领域。
背景技术
由于物质、精神生活的愈来愈丰富，人们对健康的追求也越来越高，和人体生命安全日益相关的“气体”必然直接关系到身体健康。据报道，人的呼吸成分直接和血液的变化有关，人呼出气体中的分子能够揭示身体内部的变化。在我们呼出的气体中，有超过1000个不同气体的混合物，除了氮、氧和二氧化碳等无机混合物气体外，还包含着其他许多种挥发性有机化合物(例如异戊二烯、乙烷、戊烷和丙酮等)和非挥发性物质(过氧亚硝酸盐、异前列烷等)，这些化合物作为一个人体内的各种生理过程的签名—呼吸气体指纹，是潜在的健康监测、诊断信息的重要来源。异戊二烯(Isoprene)作为肝脏代谢中胆固醇合成的重要挥发性有机化合物(VOC)，在肝纤维化诊断和治疗中具有重要的临床意义。
呼吸代谢检测(Breathomics)是生物医药技术中一个新领域。捕获、识别和分析挥发性有机化合物(VOC)气体，对于快速、无创，个性化疾病诊断和健康跟踪提供了一个全新的诊断方法。从目前现有呼气分析手段来看，传统的检测手段气相色谱质谱联用仪(GC-MS)、选择离子流管-质谱联用仪(SIFT-MS)、质子转移反应质谱仪(PTR-MS)等，因体积大、分析时间长、成本高等因素在某些应用场合受到限制。金属氧化物(SnO2、In2O3、TiO2等)半导体气体传感器因其具有结构简单，价格低廉、响应速度快、使用寿命长以及对可燃性气体和有机挥发性气体具有较高的灵敏度等优点而得到广泛应用。然而使用金属氧化物半导体气体传感器来进行人体呼气检测还未广泛应用，对Isoprene气体的气敏性能研究也比较缺少，而Isoprene气体作为人体代谢中重要的一种VOC，必然将会受到越来越多的关注。
发明内容
本发明所要解决的技术问题是针对上述现有Isoprene气体气敏性能研究的不足，提供一种用于Isoprene气体检测的气体传感器的制备方法，该方法可检测不同浓度的Isoprene气体，重复性好，响应快。本发明先采用水热法制备“蒲公英”状纳米TiO2，然后将其制备成悬浮液喷涂在微纳芯片敏感电极区域，从而构建了一种对Isoprene气体具有响应的气体传感器。
本发明是采用如下技术方案予以实现的：
一种用于异戊二烯气体检测的气体传感器的制备方法，包括以下步骤：
1)按照质量比为1～4：2～6的比例分别将盐酸溶液和钛酸四丁酯混合，然后加入相当于钛酸四丁酯5～10:1的油酸溶液，常温下搅拌，将所得溶液移入高温反应釜中进行水热反应，在140～180℃下反应4～12h；随炉冷却之后利用乙醇和去离子水反复进行清洗，在空气中80℃干燥12h之后，使用500℃退火2h，即可得到纳米TiO2粉末；
2)将步骤1)所得的纳米TiO2粉末与一定比例的有机溶剂混合，超声混合均匀，得到乳白色的TiO2悬浮液；
3)将步骤2)所得的悬浮液利用喷枪辅助陶瓷掩模版，均匀地喷涂在传感器芯片电极位置表面，然后将传感器芯片按照阶梯加热方式，升温至200～300℃退火2～4h；
4)使用金丝球焊引线将步骤3)中的传感器芯片焊接至TO管底座，将所得气敏元件置于密封气室中，对加热电极加上5v电压进行72h的老化，即可制成气敏传感器。
进一步，所述盐酸溶液的浓度为36wt％～38wt％。。
进一步，所述步骤1)中，常温下利用磁力搅拌器搅拌15min。
进一步，所述步骤2)中，纳米TiO2粉末与有机溶剂的质量比为1:5～20。
进一步，所述有机溶剂为丙三醇、乙醇或乙二醇与去离子水按照质量比为1:1的比例的混合液。
进一步，所述步骤3)中，阶梯加热方式为，先将芯片加热至50℃，保持10min；再将其以5℃/min的速率加热至150℃，保持30min，最后以同样的升温速率5℃/min加热至200～300℃，保持2～4h后自然冷却。
本发明与现有技术相比具有的优点及积极效果：本发明首次将“蒲公英”状纳米二氧化钛应用于有机挥发性气体Isoprene的气敏性能测试，为人体呼吸气体的便携式检测装置的研究提供一定的基础。通过制备纳米二氧化钛悬浮液作为气敏材料，使用掩模板辅助喷涂的方式解决MEMS工艺和纳米技术不兼容的问题，制备方法简单可靠。
附图说明
下面结合附图及具体实施方案对本发明作进一步的详细说明。
图1是本发明实施例制备的“蒲公英”状纳米TiO2粉末的SEM电镜图(a)和(b)分别为两种不同放大倍数的SEM图。
图2是本发明实例制备的“蒲公英”状纳米TiO2粉末的XRD图谱。
图3是本发明实例制备气体传感器测试样机的微型加热器示意图。
图4是本发明实例中使用陶瓷掩膜辅助的方式将TiO2悬浮液喷涂在微纳芯片电极表面敏感区域得示意图。
图5是两种不同温度下对不同浓度Isoprene气体进行测试的结果。
图6是在某确定温度下对不同浓度Isoprene气体进行测试的结果。
具体实施方式
为了使本发明的目的、技术方案及优点更加清楚明白，下面结合附图及具体实施方案对本发明作进一步的详细描述，需要指出的是，以下实施方案旨在便于对本发明的理解，而对其不起任何限定作用。
一种用于异戊二烯气体检测的气体传感器的制备方法，包括以下步骤：
1)按照质量比为1～4：2～6的比例分别将1～4mL的盐酸溶液(浓度为36wt％～38wt％)和2～6mL的钛酸四丁酯，混合后加入相当于钛酸四丁酯5～10:1的油酸溶液20～50mL，常温下利用磁力搅拌器搅拌15min，将所得溶液移入高温反应釜中进行水热反应，在140～180℃下反应4～12h；随炉冷却之后利用乙醇和去离子水反复进行清洗5遍，在空气中80℃干燥12h之后使用500℃退火2h，即可得到“蒲公英”状纳米TiO2粉末；
2)将步骤1)所得的TiO2粉末与有机溶剂(质量比为1:1用去离子水稀释过的乙醇、丙三醇或乙二醇)按照质量比为1:5～20混合，超声混合均匀，得到纳米TiO2的悬浮液；
3)将步骤2)所得的悬浮液利用喷枪辅助陶瓷掩膜版，均匀地喷涂在传感器芯片电极位置表面，然后将传感器芯片阶梯加热升温至200～300℃退火2～4h；其中，阶梯加热方式为，先将芯片加热至50℃，保持10min；再将其以5℃/min的升温速率加热至150℃，保持30min，最后以同样的升温速率5℃/min加热至200～300℃，保持2～4h后自然冷却至室温；
4)使用金丝球焊引线将步骤3)中的传感器芯片焊接至TO管底座，将所得气敏元件置于密封气室中，对加热电极加上5v电压进行72h的老化，即可制成气敏传感器。
本发明所采用的原理为：气敏材料暴露于空气中时，空气中的氧气分子会吸附在纳米材料表面并捕获电子形成各种吸附形态的氧，温度不同，吸附氧离子的形态也不一样，随着温度的升高，氧的吸附状态变化如下：
当通入有机挥发性气体(例如Isoprene)时，Isoprene(C5H8)会在纳米材料表面发生氧化还原反应，导致材料表面电子数目发生变化，材料的电阻随之发生变化，把气体信号转化为电信号，从而实现对Isoprene的气敏测试。
该制得的气体传感器可用于有机挥发性物异戊二烯气体的检测。
下面通过具体实施例对本发明做进一步详细说明。
实施例1
量取2mL质量分数为36wt％的HCl溶液置于50mL的烧杯中，称取4mL钛酸四丁酯逐滴加入到HCl溶液中，混合均匀，在混合溶液中缓慢加入20mL的油酸溶液，在常温下使用磁力搅拌器搅拌15min，称为前驱液。将前驱液移入50mL的特氟龙反应釜中进行水热反应，水热反应的温度和时间分别为160℃和5h，随炉冷却之后用乙醇溶液和去离子水进行反复清洗5遍，然后置于空气中进行80℃干燥12h，随后在空气中进行500℃退火2h的热处理，即可得到纳米TiO2白色粉末。
本实施例所生长的白色纳米粉末进行SEM表征，可以发现该粉末为“蒲公英”微球结构，直径为3.4μm左右，组成微球的纳米棒直径约为45～80nm(如图1(a)、(b)所示)，该“蒲公英”状结构有一个最大的优点就是材料的比表面积很大，对提高气敏性能有很大的优势。
本实施例所制备的白色纳米粉末进行X射线衍射分析(XRD)，如图2所示，确定是金红石型TiO2(JCPDS No.21-1127)。
将本实施例制备的“蒲公英”状纳米TiO2粉末作为敏感材料用于制备气敏元件，具体包括以下步骤：
将丙三醇与去离子水以1:1的比例混合均匀，按照丙三醇溶液与TiO2粉末质量比为1:5的比例加入TiO2粉末，然后超声分散即可得到纳米TiO2悬浮液，利用喷枪辅助陶瓷掩模版，均匀的将悬浮液喷涂在传感器芯片电极位置表面，如图3和图4；接下来将传感器芯片置于热板上进行阶梯加热升温至240℃退火3h，先将芯片加热至50℃，保持10min；再将其以5℃/min的升温速率加热至150℃，保持30min；最后以同样的升温速率5℃/min加热至240℃，保温3h后自然冷却；然后使用金丝球焊引线将传感器芯片焊接至TO管底座上，将所得气敏元件置于密封气室中，对加热电极加上5v电压进行72h的老化，即可制成气敏元件。
使用动态配气的方式对样品进行气敏性能测试，检测样品在不同温度下对不同浓度Isoprene的气敏响应。如图5所示，两种不同温度下，在同种Isoprene气体浓度中会有不同的灵敏度，具有一定的选择性。如图6所示，在确定温度100℃条件下，不同浓度的Isoprene气体分别对应不同的灵敏度，而且基线漂移较小。
实施例2
量取4mL质量分数为37.5wt％的HCl溶液置于100mL的烧杯中，称取6mL钛酸四丁酯逐滴加入到HCl溶液中，混合均匀，在混合溶液中缓慢加入40mL的油酸溶液，在常温下使用磁力搅拌器搅拌15min，称为前驱液。将前驱液移入特氟龙反应釜中进行水热反应，水热反应的温度和时间分别为140℃和12h，随炉冷却之后用乙醇溶液和去离子水进行反复清洗5遍，然后置于空气中进行80℃干燥12h，随后在空气中进行500℃退火2h的热处理，即可得到纳米TiO2白色粉末。
将本实施例制备的纳米TiO2粉末作为敏感材料用于制备气敏元件，具体包括以下步骤：
将乙二醇与去离子水以1:1的比例混合均匀，按照乙二醇溶液与TiO2粉末质量比为1:10的比例加入TiO2粉末，然后超声分散即可得到纳米TiO2悬浮液，利用喷枪辅助陶瓷掩模版，均匀的将悬浮液喷涂在传感器芯片电极位置表面；接下来将传感器芯片置于热板上进行阶梯加热升温至200℃退火4h，先将芯片加热至50℃，保持10min；再将其以5℃/min的升温速率加热至150℃，保持30min；最后以同样的升温速率5℃/min加热至200℃，保温4h后自然冷却；然后使用金丝球焊引线将传感器芯片焊接至TO管底座上，将所得气敏元件置于密封气室中，对加热电极加上5v电压进行72h的老化，即可制成气敏元件。
实施例3
量取3mL质量分数为38wt％的HCl溶液置于100mL的烧杯中，称取5mL钛酸四丁酯逐滴加入到HCl溶液中，混合均匀，在混合溶液中缓慢加入50mL的油酸溶液，在常温下使用磁力搅拌器搅拌15min，称为前驱液。将前驱液移入特氟龙反应釜中进行水热反应，水热反应的温度和时间分别为180℃和4h，随炉冷却之后用乙醇溶液和去离子水进行反复清洗5遍，然后置于空气中进行80℃干燥12h，随后在空气中进行500℃退火2h的热处理，即可得到纳米TiO2白色粉末。
将本实施例制备的纳米TiO2粉末作为敏感材料用于制备气敏元件，具体包括以下步骤：
将乙醇与去离子水以1:1的比例混合均匀，按照乙醇溶液与TiO2粉末质量比为1:20的比例加入TiO2粉末，然后超声分散即可得到纳米TiO2悬浮液，利用喷枪辅助陶瓷掩模版，均匀的将悬浮液喷涂在传感器芯片电极位置表面；接下来将传感器芯片置于热板上进行阶梯加热升温至300℃退火2h，先将芯片加热至50℃，保持10min；再将其以5℃/min的升温速率加热至150℃，保持30min；最后以同样的升温速率5℃/min加热至300℃，保温2h后自然冷却；然后使用金丝球焊引线将传感器芯片焊接至TO管底座上，将所得气敏元件置于密封气室中，对加热电极加上5v电压进行72h的老化，即可制成气敏元件。
本发明并不局限于上述实施例，在本发明公开的技术方案的基础上，本领域的技术人员根据所公开的技术内容，不需要创造性的劳动就可以对其中的一些技术特征作出一些替换和变形，这些替换和变形均在本发明的保护范围内。

Claims (6)

1.一种用于异戊二烯气体检测的气体传感器的制备方法，其特征在于包括以下步骤：
1)按照质量比为1～4：2～6的比例分别将盐酸溶液和钛酸四丁酯混合，然后加入相当于钛酸四丁酯5～10:1的油酸溶液，常温下搅拌，将所得溶液移入高温反应釜中进行水热反应，在140～180℃下反应4～12h；随炉冷却之后利用乙醇和去离子水反复进行清洗，在空气中80℃干燥12h之后，使用500℃退火2h，即可得到纳米TiO2粉末；
2)将步骤1)所得的纳米TiO2粉末与一定比例的有机溶剂混合，超声混合均匀，得到乳白色的TiO2悬浮液；
3)将步骤2)所得的悬浮液利用喷枪辅助陶瓷掩模版，均匀地喷涂在传感器芯片电极位置表面，然后将传感器芯片按照阶梯加热方式，升温至200～300℃退火2～4h；
4)使用金丝球焊引线将步骤3)中的传感器芯片焊接至TO管底座，将所得气敏元件置于密封气室中，对加热电极加上5v电压进行72h的老化，即可制成气敏传感器。
2.如权利要求1所述的用于异戊二烯气体检测的气体传感器的制备方法，其特征在于，所述盐酸溶液的浓度为36wt％～38wt％。
3.如权利要求1所述的用于异戊二烯气体检测的气体传感器的制备方法，其特征在于，所述步骤1)中，常温下利用磁力搅拌器搅拌15min。
4.如权利要求1所述的用于异戊二烯气体检测的气体传感器的制备方法，其特征在于，所述步骤2)中，纳米TiO2粉末与有机溶剂的质量比为1:5～20。
5.如权利要求4所述的用于异戊二烯气体检测的气体传感器的制备方法，其特征在于，所述有机溶剂为丙三醇、乙醇或乙二醇与去离子水按照质量比为1:1的比例的混合液。
6.如权利要求1所述的用于异戊二烯气体检测的气体传感器的制备方法，其特征在于，所述步骤3)中，阶梯加热方式为，先将芯片加热至50℃，保持10min；再将其以5℃/min的升温速率加热至150℃，保持30min；最后以同样的升温速率5℃/min加热至200～300℃，保持2～4h后自然冷却至室温。
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN112439658A (zh) * 2020-11-04 2021-03-05 中国科学院空天信息创新研究院 晶圆级敏感材料及半导体传感器的喷涂方法

Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
EP2103929A1 (en) * 2007-01-12 2009-09-23 Nitto Denko Corporation Substance detection sensor
US20090291024A1 (en) * 2004-12-09 2009-11-26 Lutz Maedler Formation of highly porous gas-sensing layers by deposition of nanoparticles produced by flame spray pyrolysis
US20120042713A1 (en) * 2009-04-30 2012-02-23 Korea Institute Of Science And Technology Gas sensor using metal oxide nanoparticles, and method for manufacturing same
CN103018309A (zh) * 2012-12-06 2013-04-03 西安交通大学 一种用于氧传感器的TiO2 敏感层结构及其制备方法
CN103675048A (zh) * 2013-11-18 2014-03-26 西安交通大学 一种基于mems的金属氧化物气体传感器及制备工艺
CN104458826A (zh) * 2014-10-28 2015-03-25 大连理工大学 一种新型氨气传感器及其制备工艺
CN105092652A (zh) * 2015-08-06 2015-11-25 北京大学 锡掺杂的光催化甲醛传感材料及其制备方法和甲醛传感器
CN105195133A (zh) * 2015-09-18 2015-12-30 黑龙江大学 一种用于制氢的二硫化钼/黑色二氧化钛复合可见光催化剂的制备方法

Patent Citations (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20090291024A1 (en) * 2004-12-09 2009-11-26 Lutz Maedler Formation of highly porous gas-sensing layers by deposition of nanoparticles produced by flame spray pyrolysis
EP2103929A1 (en) * 2007-01-12 2009-09-23 Nitto Denko Corporation Substance detection sensor
US20120042713A1 (en) * 2009-04-30 2012-02-23 Korea Institute Of Science And Technology Gas sensor using metal oxide nanoparticles, and method for manufacturing same
CN103018309A (zh) * 2012-12-06 2013-04-03 西安交通大学 一种用于氧传感器的TiO2 敏感层结构及其制备方法
CN103675048A (zh) * 2013-11-18 2014-03-26 西安交通大学 一种基于mems的金属氧化物气体传感器及制备工艺
CN104458826A (zh) * 2014-10-28 2015-03-25 大连理工大学 一种新型氨气传感器及其制备工艺
CN105092652A (zh) * 2015-08-06 2015-11-25 北京大学 锡掺杂的光催化甲醛传感材料及其制备方法和甲醛传感器
CN105195133A (zh) * 2015-09-18 2015-12-30 黑龙江大学 一种用于制氢的二硫化钼/黑色二氧化钛复合可见光催化剂的制备方法

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
包定华: "Sol-Gel法合成TiO2纳米粉末和薄膜", 《无机材料学报》 *

Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN112439658A (zh) * 2020-11-04 2021-03-05 中国科学院空天信息创新研究院 晶圆级敏感材料及半导体传感器的喷涂方法

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