CN106546167A - 用于检测机床平动轴误差的激光干涉仪辅助夹具 - Google Patents
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Abstract
本发明公开涉及机械制造设计领域,具体涉及一种用于提高检测机床平动轴误差效率的激光干涉仪辅助夹具,其包括用于激光发射器安装的第一夹具体和和用于反射镜安装的第二夹具体,第一夹具体从上到下依次包括调节云台、激光发射器角度调节楔块、支撑架,第二夹具体包括夹持轴杆、球形云台、水平仪、安装固定板、两块长方体定位块、“L”型定位块、多个第一圆柱镜柄、第二圆柱镜柄、磁性表座、反射镜角度调节楔块。该激光干涉仪辅助夹具能够方便、快速对机床单轴、两轴联动或者多轴联动轨迹直线定位误差的检测,适用于各类不同行程的机床平动轴误差检测,具有工具化的调节部件和程式化的调节过程,提高了检测精度,具有广阔的应用价值。
Description
技术领域
本发明涉及机械制造设计领域,具体涉及一种用于检测机床平动轴误差的激光干涉仪辅助夹具。
背景技术
机床的精度是影响工件加工精度的重要因素。随着全球制造业水平的不断提高和精密加工技术的广泛应用,多轴机床的应用领域不断扩大,对其加工精度的要求也日益提高。目前对生产中的多轴联动机床精度的保持最有效地方法是:定期对机床的平动轴进行几何误差测量并实施补偿。
无论是确定机床的初始精度,还是定期对机床精度进行检测和补偿,几何精度检测的核心问题是误差检测工具和辨识方法。目前,针对多轴机床平动轴的误差检测,应用最多的仪器就是激光干涉仪,通过激光干涉仪对机床单轴轨迹直线定位误差、两轴联动轨迹直线定位误差或者与水平面成任意夹角的联动轨迹倾斜直线定位误差的检测,从而实现对机床平动轴误差的检测。激光干涉仪主要由激光发射器、反射镜、干涉镜、安装镜柄、磁性表座及三角架等组成。由于不包含通用的夹具,将给误差检测带来诸多不便。在进行单轴直线误差检测时,一般通过磁性表座将反射镜固定在主轴上进行检测,并变更反射镜的位置,沿该轴方向测量多组数据。而手动变换磁性表座的位置最主要的弊端是:不能对不同测点精确定位;测点之间的相对位置不精确将直接降低误差辨识结果的准确性。而在进行YZ、ZX、XYZ多轴联动直线轨迹误差检测时,由于该测量轨迹与水平面成一定夹角(设为α),需要调整激光发生器和反射镜使其光路方向与水平面成α夹角,这个对光调节过程即便经验丰富的操作人员也需要很长时间,效率低下,不仅不满足高效的生产要求,而且会因为测量时间跨度过大机床温度发生变化而降低各组测量数据的等温性,影响检测的准确性。
发明内容
本发明所要解决的技术问题是提供一种用于提高检测机床平动轴误差效率的激光干涉仪辅助夹具。
本发明解决其技术问题所采用的用于检测机床平动轴误差的激光干涉仪辅助夹具,包括用于激光发射器安装的第一夹具体和用于反射镜安装的第二夹具体,第一夹具体从上到下依次包括调节云台、激光发射器角度调节楔块、支撑架,激光发射器角度调节楔块包括第一固定块、第一摆动块、第一蜗杆件,第一摆动块设置在第一固定块上部,第一固定块为弓形,第一固定块底部为平面,顶部为圆弧面,且顶部的中间开有第一燕尾槽,第一燕尾槽处的弧面上设置有第一涡轮齿,第一摆动块的底部为圆弧面,第一摆动块底部设置有第一凹槽,第一蜗杆件匹配设置在第一凹槽中,且第一蜗杆件与第一涡轮齿相啮合连接;
第二夹具体包括夹持轴杆、球形云台、水平仪、安装固定板、两块长方体定位块、“L”型定位块、多个第一圆柱镜柄、第二圆柱镜柄、磁性表座、反射镜角度调节楔块,夹持轴杆与球形云台相连接,安装固定板为一块正方体板,安装固定板的四个角分别设置有通孔,球形云台设置在安装固定板的上板正中间,水平仪设置在安装固定板的上板上,安装固定板下板的中间设置有第三角刻度线,“L”型定位块通过固定旋钮可拆卸设置在第三角刻度线处,两块长方体定位块分别设置在安装固定板下板的相邻两条边上,且两块长方体定位块的长边分别与之相对应安装固定板下板的边平行;
第一圆柱镜柄包括固定部位、连接部位,固定部位的直径小于连接部位的直径,固定部位的上端外表面设置有螺纹,且固定部位穿过通孔,通过蝶形螺母与安装固定板可拆卸连接,连接部位的外表面设置有刻度线;
反射镜角度调节楔块包括第二固定块、第二摆动块、第二蜗杆件,第二摆动块设置在第二固定块下部,第二固定块为弓形,第二固定块顶部为平面,底部为圆弧面,且底部的中间开有第二燕尾槽,第二燕尾槽处的弧面上设置有第二涡轮齿,第二摆动块的顶部为圆弧面,第二摆动块顶部设置有第二凹槽,第二蜗杆件匹配设置在第二凹槽中,且第二蜗杆件与第二涡轮齿相啮合连接,第二固定块与磁性表座相连接,磁性表座可贴靠长方体定位块或者“L”型定位块设置,第二圆柱镜柄与第二摆动块可拆卸连接。
进一步的是,调节云台与激光发射器角度调节楔块可拆卸连接,支撑架与激光发射器角度调节楔块可拆卸连接。
进一步的是,激光发射器角度调节楔块与反射镜角度调节楔块结构相同。
进一步的是,第一摆动块上设置有第一角刻度线,第一固定块上设置有第二角刻度线,第一角刻度线与第二角刻度线相对应。
进一步的是,第一蜗杆件的一端部设置有第一旋钮,第一旋钮的外表面设置有防滑滚花。
进一步的是,安装固定板的上板上设置有圆形凸台,圆形凸台的上表面与安装固定板的上板相互平行,水平仪设置在圆形凸台上。
进一步的是,相邻通孔之间的距离相等。
进一步的是,“L”型定位块上设置有连接孔,固定旋钮穿过连接孔与安装固定板通过螺纹连接固定。
本发明的有益效果是:对机床平动轴进行几何误差检测时,将激光发射器安装在第一夹具体中的调节云台上,反射镜安装在第二夹具体中的第一圆柱镜柄或者第二圆柱镜柄上,第二夹具体通过夹持轴杆与检测机床的主轴连接,干涉镜的安装和调整主要依据反射镜和激光反射器构成的光路进行调整,根据实际检测情况调整即可。使用本发明激光干涉仪辅助夹具,具体的有益效果如下:
1、对机床单轴或者两轴几何误差检测时,需要变换反射镜的位置来实施多次检测时,可精确标定反射镜的各个不同位置,提高单轴轨迹直线定位误差,检测数据的辨识准确性。
2、使激光发射器和反射镜具有精确调节角度功能,对多轴机床的两轴或三轴联动轨迹直线定位误差检测时,能够便捷的实现对光,快速完成与水平面成任意夹角的倾斜联动轨迹直线定位误差的检测,降低了多轴机床的平动轴几何误差检测对工程师经验的依赖,提高了精度检测的效率,能够为企业节省大量的时间、成本和精度。
3、运用本发明的激光干涉仪辅助夹具能减少机床平动轴误差检测前期准备时间,相对减小机床温度变化和环境温度变化的影响,提高各组测量数据的等温性,从而提高了测量精度。
4、对多轴机床的两轴或三轴联动轨迹直线定位误差检测时,由于机床行程各异,联动轨迹直线与水平面夹角以及联动轨迹直线的水平面投影与机床X轴夹角都各不相同,本发明激光干涉仪辅助夹具中设置有激光发射器角度调节楔块和反射镜角度调节楔块都具有可调整精确角度功能,可以根据需求调整以适应任意方向联动轨迹直线定位误差检测,所以,本发明激光干涉仪辅助夹具适用于各种不同行程的机床。
总体而言,本发明激光干涉仪辅助夹具方便检测机床单轴轨迹直线、两轴联动轨迹水平直线或者与水平面成任意夹角的多轴联动轨迹倾斜直线定位误差的检测,适用于各类不同行程的多轴机床平动轴几何误差检测,具有工具化的调节部件和程式化的调节过程,降低对工程师调节经验的依赖,可极大地缩短误差检测的时间和成本,并提高了检测精度,具有广阔的应用价值。
附图说明
图1是第一夹具体上安装有激光发射器的结构示意图;
图2是激光发射器角度调节楔块的结构示意图;
图3是第一摆动块与第一蜗杆件的结构示意图;
图4是第二夹具体进行单轴轨迹直线误差检测的安装示意图;
图5是第一圆柱镜柄与蝶形螺母的结构示意图;
图6是安装固定板、长方体定位、“L”型定位块的安装示意图;
图7是第二夹具体进行两轴或者三轴联合轨迹直线误差检测的安装示意图;
图8是激光干涉仪辅助夹具进行单轴轨迹直线误差检测时激光发射器、反射镜与机床安装示意图;
图9是激光干涉仪辅助夹具进行两轴联动轨迹直线误差检测时激光发射器、反射镜与机床安装示意图;
图10是激光干涉仪辅助夹具进行三轴联动轨迹误差检测时激光发射器、反射镜与机床安装示意图;
图中零部件、部位及编号:第一夹具体1、调节云台11、激光发射器角度调节楔块12、第一固定块121、第一摆动块122、第一蜗杆件123、第一涡轮齿124、第一凹槽125、支撑架13、第二夹具体2、磁性表座20、夹持轴杆21、球形云台22、水平仪23、安装固定板24、通孔241、蝶形螺母242、长方体定位块25、“L”型定位块26、第一圆柱镜柄27、固定部位271、连接部位272、第二圆柱镜柄28、反射镜角度调节楔块29、激光发射器3、反射镜4、五轴机床5、X轴51、Y轴52、Z轴53、C轴54、A轴55。
具体实施方式
下面结合附图对本发明作进一步说明。
如图1、图2、图3、图4、图5、图6、图7所示,本发明用于检测机床平动轴误差的激光干涉仪辅助夹具,包括用于激光发射器安装的第一夹具体1和用于反射镜安装的第二夹具体2,如图1所示,第一夹具体1从上到下依次包括调节云台11、激光发射器角度调节楔块12、支撑架13,激光发射器3可拆卸安装在调节云台11上,调节云台11可对激光发射器3的发射角度进行微调,约1°-2°范围,支撑架13优选为三脚支撑架,如图2、图3所示,激光发射器角度调节楔块12对激光发射器3的发射角度调整范围较大,至少在-40°-40°范围内,本发明激光干涉仪辅助夹具的激光发射器角度调节楔块12具体结构为:激光发射器角度调节楔块12包括第一固定块121、第一摆动块122、第一蜗杆件123,第一摆动块122设置在第一固定块121上部,第一固定块121为弓形,第一固定块121底部为平面,顶部为圆弧面,且顶部的中间开有第一燕尾槽,第一燕尾槽处的弧面上设置有第一涡轮齿124,第一摆动块122的底部为圆弧面,第一摆动块122底部设置有第一凹槽125,第一蜗杆件123匹配设置在第一凹槽125中,且第一蜗杆件123与相啮合连接。通过第一蜗杆件123与第一涡轮齿124相啮合转动来调节第一摆动块122在第一固定块121的相对位置,实现对激光发射器3的发射角度调整,第一蜗杆件123与第一涡轮齿124构成的涡轮蜗杆机构,具有自锁功能,可有效保证激光发射器3使用的稳定性。
如图4所示,第二夹具体2包括夹持轴杆21、球形云台22、水平仪23、安装固定板24、两块长方体定位块25、“L”型定位块26、多个第一圆柱镜柄27、第二圆柱镜柄28、磁性表座20、反射镜角度调节楔块29,夹持轴杆21一端可与检测机床的主轴连接,夹持轴杆21的另一端与球形云台22相连接,安装固定板24为一块正方体板,安装固定板24的四个角分别设置有通孔241,球形云台22设置在安装固定板24的上板正中间,球形云台22可作微调整,确保安装固定板24的上表面为水平的,同时也确保安装固定板24与夹持轴杆21始终处于垂直状态,从而方便检测和确保检测数据的准确性,水平仪23设置在安装固定板24的上板上,水平仪23用来检测安装固定板24是否处于水平。如图6所示,安装固定板24下板的中间设置有第三角刻度线,“L”型定位块26通过固定旋钮261可拆卸设置在第三角刻度线处,“L”型定位块26用于检测三轴(X轴、Y轴、Z轴)及其三轴以上机床的联动轨迹直线定位误差检测时定位使用,快速定位,提高了检测的效率。两块长方体定位块25分别设置在安装固定板24下板的相邻两条边上,且两块长方体定位块25的长边分别与之相对应安装固定板24下板的边平行;长方体定位块25用于两轴(X轴与Z轴和Y轴与Z轴)联动轨迹直线定位误差检测时定位使用,也同样快速定位,提高了检测的效率。为了方便加工,减小安装误差,安装固定板24与长方体定位块25为一整体,一体加工而成。
针对机床单轴轨迹直线、两轴联动轨迹或者三轴联动轨迹直线定位误差检测,本发明的激光干涉仪辅助夹具的装配形式各不相同。
如图5所示,第一圆柱镜柄27是用于检测单轴轨迹直线和X轴与Y轴联动轨迹直线定位误差使用,第一圆柱镜柄27与安装固定板24垂直连接,反射镜4可安装在第一圆柱镜柄27上,根据采用的检测方法和实际要求,第一圆柱镜柄27的数量可在1-4个之间变化。本发明的第一圆柱镜柄27包括固定部位271、连接部位272,固定部位271的直径小于连接部位272的直径,固定部位271的上端外表面设置有螺纹,且固定部位271穿过通孔241,通过蝶形螺母242与安装固定板24可拆卸连接,为了便于得到结果,相邻通孔241之间的距离相等,可设一个定值;连接部位272的外表面设置有刻度线。比如在在进行单轴直线误差检测时,如图4所示,反射镜4安装在连接部位272上,由于检测的要求,需要多次变换反射镜4的安装位置,由于连接部位272上设置有刻度线,可快速、安装反射镜4,直接得到相隔反射镜4的距离,精确定位,减小了误差,提高了检测数据的辨识准确性。
在对多轴机床的两轴(X轴与Z轴和Y轴与Z轴)或者三轴(X轴、Y轴、Z轴)的联动轨迹直线定位误差检测时,由于反射镜4需要在任意角度摆动,如图7所示,本发明通过设置反射镜角度调节楔块29来实现。本发明反射镜角度调节楔块29的具体结构为:反射镜角度调节楔块29包括第二固定块、第二摆动块、第二蜗杆件,第二摆动块设置在第二固定块下部,第二固定块为弓形,其顶部为平面,底部为圆弧面,且底部的中间开有第二燕尾槽,第二燕尾槽处的弧面上设置有第二涡轮齿,第二摆动块的顶部为圆弧面,其顶部设置有第二凹槽,第二蜗杆件匹配设置在第二凹槽中,且第二蜗杆件与第二涡轮齿相啮合连接。第二圆柱镜柄28与第二摆动块可拆卸连接,反射镜4可拆卸安装在第二圆柱镜柄28上。通过第二蜗杆与第二涡轮齿相啮合转动来调节第二摆动块在第二固定块的相对位置,实现对反射镜4的反射角度调整,第二蜗杆件与第二涡轮齿构成的涡轮蜗杆机构,具有自锁功能,可有效保证反射镜4使用的稳定性。为了方便、快速与安装固定板24连接,将第二固定块与磁性表座20相连接,磁性表座20通过磁性与安装固定板24连接,磁性表座20的形状为长方体。在对多轴机床的两轴(X轴与Z轴和Y轴与Z轴)的联动轨迹直线定位误差检测时,磁性表座20贴靠长方体定位块25设置;在对多轴机床的三轴(X轴、Y轴、Z轴)的联动轨迹直线定位误差检测时,磁性表座20贴靠“L”型定位块26设置。
综上所述,本发明激光干涉仪辅助夹具方便检测机床的单轴轨迹直线、两轴联动轨迹水平直线或者与水平面成任意夹角的多轴联动轨迹倾斜直线定位误差的检测,适用于各类不同行程的多轴机床平动轴几何误差检测,具有工具化的调节部件和程式化的调节过程,降低对工程师调节经验的依赖,可极大地缩短精度检测的时间和成本,并提高了检测精度,具有广阔的应用价值。
具体的,为了方便携带和使用,调节云台11与激光发射器角度调节楔块12可拆卸连接,支撑架13与激光发射器角度调节楔块12可拆卸连接。携带的时候,以上部件分开,方便携带,使用的时候组装起来即可。
具体的,激光发射器角度调节楔块12与反射镜角度调节楔块29结构相同。这样设置方便加工,降低加工成本,而且可互为备件,方便安装使用。更进一步,为了方便激光发射器角度调节楔块12调整使用,如图2所示,在第一摆动块122上设置有第一角刻度线,第一固定块121上设置有第二角刻度线,第一角刻度线与第二角刻度线相对应,在第一蜗杆件123的一端部设置有第一旋钮,第一旋钮的外表面设置有防滑滚花。
具体的,为了方便水平仪23安装,本发明在安装固定板24的上板上设置有圆形凸台,圆形凸台的上表面与安装固定板24的上板相互平行,水平仪23设置在圆形凸台上。
如图6所示,由于“L”型定位块26在检测过程中,需要调整其角度,为了方便其调节,在“L”型定位块26上设置有连接孔,固定旋钮261穿过连接孔与安装固定板24通过螺纹连接固定。
根据不同的检测目标,本发明的激光干涉仪辅助夹具的装配形式不同,下面以对五轴机床平动轴误差检测为例,对本发明激光干涉仪辅助夹具的具体运用进行说明,应用实施例如下:
应用实施例1是对五轴机床进行单轴平动轴轨迹直线定位误差检测时的一种方法。五轴机床5主要包括机身、X轴51、Y轴52、Z轴53、C轴54、A轴55。以进行X轴单轴轨迹直线定位误差检测为例,激光发射器3、反射镜4与机床安装如图8所示,首先将激光发射器3安装在第一夹具体1中的调节云台11上,第二夹具体2通过夹持轴杆21与机床的主轴连接,反射镜4安装在第二夹具体2中的第一圆柱镜柄27上;第一圆柱镜柄27通过蝶形螺母242连接在安装固定板24与X轴垂直的两个通孔241中,且第一圆柱镜柄27与安装固定板24垂直;由图8可见,相邻通孔241之间的距离相等第一圆柱镜柄27中的连接部位272的外表面设置有刻度线,可快速、安装反射镜4,直接得到相隔反射镜4的距离,精确定位,减小了误差,提高了检测数据的辨识准确性。由于进行X轴单轴轨迹直线定位误差检测时,激光发射器3和反射镜4都处于水平状态,只需利用支撑架13将激光发射器3调整到合适的高度,再通过调节云台11、激光发射器角度调节楔块12的调节,确保发射激光和反射激光在同一直线上,干涉镜的安装和调整主要依据反射镜4和激光反射器3构成的光路进行调整,即可进行对X轴单轴轨迹直线定位误差检测。与此类似,对Y轴和Z轴单轴轨迹直线定位误差检测时,可参考X轴单轴轨迹直线定位误差检测方法。此外,由于X轴与Y轴联动轨迹直线与水平面平行,因此其定位误差检测方法也可参考X轴单轴轨迹直线定位误差检测方法。
应用实施例2是对五轴机床进行两轴联动轨迹直线定位误差检测时的一种方法。以进行X轴与Z轴联动轨迹直线定位误差检测为例,激光发射器3、反射镜4与机床安装示意如图9所示,首先将激光发射器3安装在第一夹具体1中的调节云台11上,第二夹具体2通过夹持轴杆21与机床的主轴连接,反射镜4安装在第二夹具体2中的第二圆柱镜柄27上,第二圆柱镜柄27通过磁性表座20贴靠一个长方体定位块25(长边与X轴平行)设置;设进行X轴与Z轴联动轨迹直线与X轴之间夹角为α,通过激光发射器角度调节楔块12、反射镜角度调节楔块29调节使激光发射器3与反射镜4与X轴之间夹角也为α,确保发射激光和反射激光在同一直线上,干涉镜的安装和调整主要依据反射镜4和激光反射器3构成的光路进行调整,即可进行对X轴与Z轴联动轨迹直线定位误差检测。与此类似,对Y轴与Z轴联动轨迹直线定位误差检测时,可参考X轴与Z轴联动轨迹直线定位误差检测方法。
应用实施例3是对五轴机床三轴联动轨迹直线定位误差检测时的一种方法。激光发射器3、反射镜4与机床安装示意如图10所示,首先经过计算求得三轴联动轨迹直线与水平面的夹角β以及其在水平面的投影与X轴的夹角γ,然后将激光发射器3安装在第一夹具体1中的调节云台11上,第二夹具体2通过夹持轴杆21与机床的主轴连接,反射镜4安装在第二夹具体2中的第二圆柱镜柄27上,将“L”型定位块26调整到其与X轴夹角的角度为γ,通过固定旋钮261固定,第二圆柱镜柄27通过磁性表座20贴靠设置在“L”型定位块26开口处,通过激光发射器角度调节楔块12、反射镜角度调节楔块29调节使激光发射器3与反射镜4与水平面的夹角β,确保发射激光和反射激光在同一直线上,干涉镜的安装和调整主要依据反射镜4和激光反射器3构成的光路进行调整,即可进行对三轴联动轨迹直线定位误差检测。
Claims (8)
1.用于检测机床平动轴误差的激光干涉仪辅助夹具,包括用于激光发射器安装的第一夹具体(1)和用于反射镜安装的第二夹具体(2),其特征在于:第一夹具体(1)从上到下依次包括调节云台(11)、激光发射器角度调节楔块(12)、支撑架(13),激光发射器角度调节楔块(12)包括第一固定块(121)、第一摆动块(122)、第一蜗杆件(123),第一摆动块(122)设置在第一固定块(121)上部,第一固定块(121)为弓形,第一固定块(121)的底部为平面,顶部为圆弧面,且顶部的中间开有第一燕尾槽,第一燕尾槽处的弧面上设置有第一涡轮齿(124),第一摆动块(122)的底部为圆弧面,第一摆动块(122)的底部设置有第一凹槽(125),第一蜗杆件(123)匹配设置在第一凹槽(125)中,且第一蜗杆件(123)与第一涡轮齿(124)相啮合连接;
第二夹具体(2)包括夹持轴杆(21)、球形云台(22)、水平仪(23)、安装固定板(24)、两块长方体定位块(25)、“L”型定位块(26)、多个第一圆柱镜柄(27)、第二圆柱镜柄(28)、磁性表座(20)、反射镜角度调节楔块(29),夹持轴杆(21)与球形云台(22)相连接,安装固定板(24)为一块正方体板,安装固定板(24)的四个角分别设置有通孔(241),球形云台(22)设置在安装固定板(24)的上板正中间,水平仪(23)设置在安装固定板(24)的上板上,安装固定板(24)下板的中间设置有第三角刻度线,“L”型定位块(26)通过固定旋钮(261)可拆卸设置在第三角刻度线处,两块长方体定位块(25)分别设置在安装固定板(24)下板的相邻两条边上,且两块长方体定位块(25)的长边分别与之相对应安装固定板(24)下板的边平行;
第一圆柱镜柄(27)包括固定部位(271)、连接部位(272),固定部位(271)的直径小于连接部位(272)的直径,固定部位(271)的上端外表面设置有螺纹,且固定部位(271)穿过通孔(241),通过蝶形螺母(242)与安装固定板(24)可拆卸连接,连接部位(272)的外表面设置有刻度线;
反射镜角度调节楔块(29)包括第二固定块、第二摆动块、第二蜗杆件,第二摆动块设置在第二固定块下部,第二固定块为弓形,第二固定块顶部为平面,底部为圆弧面,且底部的中间开有第二燕尾槽,第二燕尾槽处的弧面上设置有第二涡轮齿,第二摆动块的顶部为圆弧面,第二摆动块顶部设置有第二凹槽,第二蜗杆件匹配设置在第二凹槽中,且第二蜗杆件与第二涡轮齿相啮合连接,第二固定块与磁性表座(20)相连接,磁性表座(20)可贴靠长方体定位块(25)或者“L”型定位块(26)设置,第二圆柱镜柄(28)与第二摆动块可拆卸连接。
2.如权利要求1所述的用于检测机床平动轴误差的激光干涉仪辅助夹具,其特征在于:调节云台(11)与激光发射器角度调节楔块(12)可拆卸连接,支撑架(13)与激光发射器角度调节楔块(12)可拆卸连接。
3.如权利要求1所述的用于检测机床平动轴误差的激光干涉仪辅助夹具,其特征在于:激光发射器角度调节楔块(12)与反射镜角度调节楔块(29)结构相同。
4.如权利要求3所述的用于检测机床平动轴误差的激光干涉仪辅助夹具,其特征在于:第一摆动块(122)上设置有第一角刻度线,第一固定块(121)上设置有第二角刻度线,第一角刻度线与第二角刻度线相对应。
5.如权利要求1所述的用于检测机床平动轴误差的激光干涉仪辅助夹具,其特征在于:第一蜗杆件(123)的一端部设置有第一旋钮,第一旋钮的外表面设置有防滑滚花。
6.如权利要求1所述的用于检测机床平动轴误差的激光干涉仪辅助夹具,其特征在于:安装固定板(24)的上板上设置有圆形凸台,圆形凸台的上表面与安装固定板(24)的上板相互平行,水平仪(23)设置在圆形凸台上。
7.如权利要求1所述的用于检测机床平动轴误差的激光干涉仪辅助夹具,其特征在于:相邻通孔(241)之间的距离相等。
8.如权利要求1至7任意一项所述的用于检测机床平动轴误差的激光干涉仪辅助夹具,其特征在于:“L”型定位块(26)上设置有连接孔,固定旋钮(261)穿过连接孔与安装固定板(24)通过螺纹连接固定。
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