CN106378493A - 靶材组件的表面处理方法和工具 - Google Patents
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Abstract
本发明提供一种靶材组件的表面处理方法和工具，其中所述表面处理方法包括：提供第一刀具，所述第一刀具包括具有尖形顶角的楔形刀头；提供第二刀具，所述第二刀具包括圆锥形刀头；提供靶材组件，所述靶材组件包括靶材、背板和位于所述靶材和背板之间的焊缝，所述焊缝中形成有焊料；采用楔形刀头去除溢出所述焊缝的焊料；采用圆锥形刀头去除位于所述焊缝预设深度内的焊料。在形成靶材组件后，本发明通过先采用楔形刀头去除溢出所述焊缝的焊料，再采用圆锥形刀头去除位于所述焊缝预设深度内的焊料，使形成的靶材组件外观达到预设标准，同时避免在后续溅射工艺中，焊缝内的焊料因高温工艺环境而继续从焊缝中熔解溢出，进而提高了靶材组件的良率。
Description
技术领域
本发明涉及半导体制造领域，尤其涉及靶材加工领域，特别是针对一种靶材组件的表面处理方法和工具。
背景技术
物理气相沉积(Physical Vapor Deposition；PVD)工艺是液晶显示器(Liquid Crystal Display；LCD)生产过程中最关键的工艺之一，PVD用溅射金属靶材是LCD设备制造加工过程中最重要的原材料之一，在物理气相沉积过程中，电离形成的氩离子在电场的作用下加速，加速的氩离子轰击金属靶材形成大量靶材原子，溅射出的大量靶材原子沉积在基板上形成薄膜。
在LCD用靶材的制造过程中，靶材组件是由符合溅射性能的靶材和与所述靶材结合、具有一定强度的背板构成。其中，所述背板通过焊料被焊接至靶材的焊接面上形成靶材组件。然而靶材和背板焊接后，焊料容易从靶材和背板之间的焊缝中溢出，对后续成品靶材组件外观产生影响；此外，在后续的溅射工艺中，由于高温环境，从焊缝中溢出的焊料以及离焊缝一定深度内的焊料容易因高温环境而熔解滴落，进而引起溅射靶材低良率问题，甚至导致液晶显示器的报废。
发明内容
本发明解决的问题是提供一种靶材组件的表面处理方法和工具，以提高溅射靶材的良率。
为解决上述问题，本发明提供一种靶材组件的表面处理方法。包括：
提供第一刀具，包括：提供第一钢棒；对所述第一钢棒的一端进行处理形成第一刀头，未被处理的第一钢棒构成第一刀杆，所述第一刀头为楔形；
提供第二刀具，包括：提供第二钢棒；对所述第二钢棒的一端进行处理形成第二刀头，未被处理的第二钢棒构成第二刀杆，所述第二刀头为锥形；
提供靶材组件，所述靶材组件包括靶材、背板和位于所述靶材和背板之间的焊缝，所述焊缝中形成有焊料；
采用所述第一刀具的第一刀头去除溢出所述焊缝的焊料；
采用所述第二刀具的第二刀头去除位于所述焊缝预设深度内的焊料。
可选的，对所述第一钢棒的一端进行处理形成第一刀头的步骤包括：对所述第一钢棒的一端进行机械加工以形成所述第一刀头；对所述第二钢棒的一端进行处理形成第二刀头的步骤包括：对所述第二钢棒的一端进行机械加工以形成所述第二刀头。
可选的，对所述第一钢棒的一端进行处理形成第一刀头的步骤包括：对所述第一钢棒的一端进行打磨以形成所述第一刀头；对所述第二钢棒的一端进行处理形成第二刀头的步骤包括：对所述第二钢棒的一端进行打磨以形成所述第二刀头。
可选的，所述预设深度为1mm。
可选的，所述第二刀头沿第二钢棒延伸方向的尺寸在3mm至6mm。
可选的，对所述第二钢棒的一端进行处理形成圆锥形刀头。
可选的，所述圆锥形刀头的直径在0.1mm至1mm范围内；沿所述第二钢棒延伸方向，距离锥头前端2mm以内区域的锥形直径为0.1mm至0.5mm范围内，距离锥头前端2mm位置处的锥形直径小于等于0.5mm，距离锥头前端2mm以外区域的锥形直径为0.5至1mm范围内。
可选的，形成第一刀头的步骤中，对所述第一钢棒的一端进行处理形成具有尖形顶角的楔形刀头。
可选的，所述焊料的材料为铟。
可选的，提供靶材组件的步骤包括：
提供靶材和背板，所述靶材包括溅射面和与所述溅射面相对的焊接面；
在所述靶材的焊接面上形成焊料；
通过焊接工艺将所述靶材的焊接面焊接至所述背板形成靶材组件。
相应的，本发明还提供一种工具，用于对靶材组件进行表面处理，所述靶材组件包括靶材、背板和位于所述靶材和背板之间的焊缝，所述焊缝中形成有焊料，其特征在于，所述工具包括：
第一刀具，通过第一钢棒形成，包括：第一刀头，为对第一钢棒的一端进行处理所形成的楔形刀头，所述楔形刀头用于去除溢出所述焊缝的焊料；第一刀杆，与所述第一刀头相连，包括未被处理的第一钢棒；
第二刀具，通过第二钢棒形成，包括：第二刀头，为对第二钢棒的一端进行处理所形成的锥形刀头，所述锥形刀头用于去除焊缝内的部分焊料；第二刀杆，与所述第二刀头相连，包括未被处理的第二钢棒。
可选的，所述第一刀头为具有尖形顶角的楔形刀头。
可选的，所述第二刀头用于去除位于所述焊缝1mm深度内的焊料。
可选的，所述第二刀头沿第二钢棒延伸方向的尺寸在3mm至6mm。
可选的，所述第二刀头为圆锥形刀头。
可选的，所述圆锥形刀头的直径在0.1mm至1mm范围内；沿所述第二钢棒延伸方向，距离锥头前端2mm以内区域的锥形直径为0.1mm至0.5mm范围内，距离锥头前端2mm位置处的锥形直径小于等于0.5mm，距离锥头前端2mm以外区域的锥形直径为0.5至1mm范围内。
与现有技术相比，本发明的技术方案具有以下优点：本发明通过在形成靶材组件后，采用楔形的第一刀头去除从靶材和背板之间的焊缝中溢出的焊料，采用锥形的第二刀头去除离焊缝预设深度内的焊料，从而使形成的成品靶材组件外观达到预设标准，进而避免在后续溅射工艺中靶材组件因高温环境而引起焊缝内的焊料继续熔解溢出，提高了溅射靶材的良率。
进一步，本发明采用的工具包括对第一钢棒的一端进行处理形成的具有尖形顶角的楔形刀头，以及对第二钢棒的一端进行处理形成的圆锥形刀头，所述材料的刀头不如美工刀或手术刀锋利，因此在去除焊料时可以避免所述刀头对靶材组件造成划伤。
再进一步，所述工具采用钢棒形成，由于钢的使用寿命较长，可以节约耗材使用量。
附图说明
图1是本发明靶材组件的表面处理方法一实施例的流程示意图；
图2是图1中步骤S1中第一刀具的结构示意图；
图3是图1中步骤S2中第二刀具的结构示意图；
图4是图1中步骤S3的流程示意图；
图5至图8是根据图4所示流程图制作靶材组件的示意图；
图9是图1中步骤S4的示意图；
图10是图1中步骤S5的示意图；
图11是本发明靶材组件的表面处理方法一实施例的表面处理后的靶材组件结构示意图；
图12是本发明靶材组件的表面处理工具的第一刀具的结构示意图；
图13是本发明靶材组件的表面处理工具的第二刀具的结构示意图。
具体实施方式
现有技术形成所述靶材组件后，发现焊料容易从靶材和背板之间的焊缝中溢出。目前普遍采用美工刀或手术刀去除所述溢出的焊料。由于焊接工艺结束后，焊料冷却固化具有粘性，不同区域的焊料粘性不同，因此采用美工刀或手术刀去除多余焊料时力度不好控制，进而难以控制美工刀或手术刀的刀片进入焊缝的深度；此外，美工刀或手术刀的刀片较为锋利，容易对靶材产生划伤，引起靶材组件的低良率问题，甚至导致靶材组件的报废。进一步，美工刀或手术刀使用寿命短，很大程度地浪费耗材。
为了解决上述问题，本发明提供一种靶材组件的表面处理方法，包括：
提供第一刀具，包括：提供第一钢棒；对所述第一钢棒的一端进行处理形成第一刀头，未被处理的第一钢棒构成第一刀杆，所述第一刀头为楔形；提供第二刀具，包括：提供第二钢棒；对所述第二钢棒的一端进行处理形成第二刀头，未被处理的第二钢棒构成第二刀杆，所述第二刀头为锥形；提供靶材组件，所述靶材组件包括靶材、背板和位于所述靶材和背板之间的焊缝，所述焊缝中形成有焊料；通过所述第一刀具的第一刀头去除溢出所述焊缝的焊料；通过所述第二刀具的第二刀头去除位于所述焊缝预设深度内的焊料。
本发明通过采用楔形刀头去除溢出所述焊缝的焊料，采用锥形刀头去除位于所述焊缝预设深度内的焊料，从而使形成的成品靶材组件外观达到预设标准，进而避免因后续溅射工艺中的高温环境而使焊缝中的焊料继续熔解溢出，提高了溅射靶材的良率。
可选的，本发明采用的刀具包括对第一钢棒的一端进行处理形成的具有尖形顶角的第一刀头，以及对第二钢棒的一端进行处理形成的第一刀头，所述第一刀头以及所述第二刀头不如美工刀或手术刀锋利，因此在去除焊料时可以避免所述刀头对靶材组件造成划伤。
为使本发明的上述目的、特征和优点能够更为明显易懂，下面结合附图对本发明的具体实施例做详细的说明。
参考图1，图1是本发明靶材组件的表面处理方法一实施例的流程示意图，本发明所提供的靶材组件的表面处理方法包括以下基本步骤：
步骤S1：提供第一刀具，包括：提供第一钢棒；对所述第一钢棒的一端进行处理形成第一刀头，未被处理的第一钢棒构成第一刀杆，所述第一刀头为楔形；
步骤S2：提供第二刀具，包括：提供第二钢棒；对所述第二钢棒的一端进行处理形成第二刀头，未被处理的第二钢棒构成第二刀杆，所述第二刀头为锥形；
步骤S3：提供靶材组件，所述靶材组件包括靶材、背板和位于所述靶材和背板之间的焊缝，所述焊缝中形成有焊料；
步骤S4：采用第一刀具的第一刀头去除溢出所述焊缝的焊料；
步骤S5：采用第二刀具的第二刀头去除位于所述焊缝预设深度内的焊料。
下面将结合图1至图11对本发明的具体实施例做进一步描述。
参考图1，首先执行步骤S1，提供第一刀具，包括：提供第一钢棒；对所述第一钢棒的一端进行处理形成第一刀头，未被处理的第一钢棒构成第一刀杆，所述第一刀头为楔形。
具体地，参考图2，对所述第一钢棒的一端进行处理形成第一刀头101的步骤包括：对所述第一钢棒的一端进行机械加工，或对所述第一钢棒的一端进行打磨以形成楔形刀头101，未被处理的第一钢棒构成第一刀杆102，所述楔形刀头101和刀杆102构成本发明靶材组件的表面处理所采用的第一刀具100。
本实施例中，所述第一刀头101为具有尖形顶角的楔形刀头101。
然后执行步骤S2，提供第二刀具，包括：提供第二钢棒；对所述第二钢棒的一端进行处理形成第二刀头，未被处理的第二钢棒构成第二刀杆，所述第二刀头为锥形。
具体地，参考图3，对所述第二钢棒的一端进行处理形成第二刀头111的步骤包括：对所述第二钢棒的一端进行机械加工，或对所述第二钢棒的一端进行打磨以形成圆锥形刀头111，未被处理的第二钢棒构成第二刀杆112，所述圆锥形刀头111和第二刀杆112构成本发明靶材组件的表面处理所采用的第二刀具110。
本实施例中，所述圆锥形刀头111沿所述第二钢棒延伸方向113的尺寸a为3mm至6mm，所述圆锥形刀头111的直径为0.1mm至1mm范围内；其中沿所述第二钢棒延伸方向113，距离锥头前端2mm以内区域b的锥形直径为0.1mm至0.5mm范围内，距离锥头前端2mm位置处的锥形直径小于等于0.5mm，距离锥头前端2mm以外区域c的锥形直径为0.5至1mm范围内。
接着执行步骤S3，提供靶材组件，所述靶材组件包括靶材、背板和位于所述靶材和背板之间的焊缝，所述焊缝中形成有焊料。
在实际应用中，如图4所示，提供所述靶材组件的步骤包括：S31，提供靶材和背板，所述靶材包括溅射面和与所述溅射面相对的焊接面；S32，在所述靶材的焊接面上形成焊料；S33，通过焊接工艺将所述靶材的焊接面焊接至所述背板形成靶材组件。
结合参考图4至图8所示，对靶材组件的形成工艺进行详细说明。
在S31中，先提供靶材20和背板21，所述靶材包括溅射面200和与所述溅射面200相对的焊接面210，如图5和图6所示。
所述靶材20可以是高纯度的铜、铝或钛等金属材料，也可以为铜合金或铜锰合金等合金材料。
根据实际应用环境和溅射设备的实际要求，所述靶材20可以为圆形、矩形、环形、圆锥形或其他类似形状(包括规则形状和不规则形状)中的任一种，厚度为1mm至80mm。本实施例中，所述靶材20的形状为圆形，直径为300mm，厚度为8mm。
本实施例中，所述背板21的形状为圆形，且直径大于所述靶材20的直径。所述背板21在后续形成的靶材组件装配至溅射基台中起到了支撑作用，并且具有传到热量的功能，采用的材料可以为导热、导电性较高的铜或铝材料。
在S32中，在所述靶材20的焊接面210上形成焊料22，形成后的结构如图7所示。
需要说明的是，形成所述焊料22的工艺可以包括电镀、超音速喷涂、等离子溅射或电子束物理气相沉积工艺。本实施例中，采用的工艺为电子束物理气相沉积工艺。
具体地，利用灯丝加热后发射的电子束，经电场加速、磁场聚焦后，高速撞击置于水冷坩埚中的蒸发材料，使得蒸发材料表面的原子吸收电子携带的动能，温度迅速升高，在真空环境下蒸发或升华形成的低密度、非平衡蒸汽粒子射流与所述靶材20的焊接面210相撞，并在一定条件下生长为焊料22。所述电子束物理气相沉积工艺形成的焊料22具有表面粗糙度低、结合强度高和致密度高等优点。
焊料是制造靶材组件的重要原材料之一，焊料的质量也是影响靶材组件良率的重要因素之一，为了提高所述靶材20和背板21的焊接效率及后续形成的靶材组件的良率，需采用熔点低、焊接性能高、抗氧化能力强的焊料，因此，本实施例中，所述焊料22采用的材料为铟，所述焊料22的厚度d为0.28mm至0.32mm。
在S33中，通过焊接工艺将所述靶材20的焊接面210焊接至所述背板21形成靶材组件30，所述靶材组件30的结构如图8所示。
具体地，将靶材20的焊接面210和背板21相对设置，在所述靶材20和背板21之间形成焊缝，所述焊缝中形成有所述焊料22；将相对设置的靶材20和背板21放入加热炉中升温至350℃至500℃，并在所述温度下保温0.5小时至1小时；从加热炉中取出所述相对设置的靶材20和背板21，同时向所述靶材20和背板21上施加压力，在加压过程中，所述靶材20和背板21通过所述焊料22结合在一起，形成靶材组件30；将加压后的靶材组件30再放回加热炉中，升温到400℃至500℃，并在所述温度下保温3小时至5小时后进行水冷处理；将猝火后的靶材组件30再次放回加热炉中，升温至150℃至200℃，并在所述温度下保温7小时至9小时后取出，进行空冷处理，形成成品靶材组件30。
本实施例中，所述靶材20位于所述背板21的中心区域且露出所述背板21的边缘区域。
需要说明的是，本实施例中以采用扩散焊处理为例进行说明，但并不以此为限。将所述靶材20的焊接面210焊接至所述背板22的工艺还可以是钎焊处理或热等静压处理，在此不再赘述。
通过上述S31至S33的工艺步骤，将所述靶材20的焊接面210焊接至所述背板21形成靶材组件30，且形成的靶材组件30具有结合密度高、受热抗变形能力强等优点。
需要说明的是，现有技术通过焊接工艺将所述靶材20的焊接面210焊接至所述背板21形成靶材组件30的过程中，经历了350℃至500℃、400℃至500℃等高温环境，所述焊料22因高温环境而熔解成流体状，因此从焊缝中容易有焊料22’溢出；且由于所述靶材20露出所述背板21的边缘区域，所述溢出的焊料22’容易超出靶材20溅射面210，在所述背板21表面形成残留焊料22’，导致形成的靶材组件30外观不合格，甚至降低靶材组件30的良率。
执行步骤S4，如图9所示，通过第一刀具100的第一刀头101去除溢出所述焊缝的焊料22’。
为了避免从焊缝中溢出的焊料22’引起靶材组件30外观不合格的问题，在形成靶材组件30后去除所述从焊缝中溢出的焊料22’。
具体地，如图9所示，先采用第一刀具100的第一刀头101去除溢出所述焊缝的焊料22’，使形成的靶材组件30外观达到预设标准。
所述第一刀具100通过第一钢棒形成，包括：第一刀头101，为对所述第一钢棒的一端进行机械加工，或对所述第一钢棒的一端进行打磨以形成楔形刀头101，用于去除溢出所述焊缝的焊料22’；第一刀杆102，与所述第一刀头101相连，包括未被处理的第一钢棒。
本实施例中，所述第一刀头101为具有尖形顶角的楔形刀头101。由于所述第一刀头101的形状为楔形，可以去除溢出所述焊缝而位于所述背板21表面的焊料22’；进一步，将所述第一刀头101的顶角加工成尖形，能够提高对所述焊料22’的去除效率。
执行步骤S5，如图10所示，通过第二刀具110的第二刀头111去除位于所述焊缝预设深度内的焊料22。
为了避免在后续靶材溅射工艺过程中，因高温工艺环境而引起焊缝内的焊料22继续熔解溢出，还需去除位于所述焊缝预设深度内的焊料22，从而进一步提高靶材组件30的外观合格率和良率。
具体地，如图10所示，采用第一刀具100的第一刀头101去除溢出所述焊缝的焊料22’(参考图9)后，采用第二刀具110的第二刀头111去除位于所述焊缝预设深度内的焊料22。
当所述焊缝预设深度不够深时，在后续溅射工艺中，焊料22容易受到高温影响而继续熔解并从所述焊缝中溢出；当所述焊缝预设深度过深时，去除所述焊缝内的焊料22量过多，影响所述靶材20和背板21的焊接质量，使形成靶材组件30后，靶材20和背板21发生脱落。因此，本实施例中，去除所述焊料22的步骤包括：去除位于所述焊缝1mm深度内的焊料。
所述第二刀具110通过第二钢棒形成，包括：第二刀头111，为对所述第二钢棒的一端进行机械加工，或对所述第二钢棒的一端进行打磨以形成锥形刀头111，用于去除位于所述焊缝预设深度内的焊料22；第二刀杆112，与所述第二刀头111相连，包括未被处理的第二钢棒。
本实施例中，所述第二刀头111为圆锥形刀头111。
需要说明的是，所述焊料22的厚度为0.28mm至0.32mm范围内(参考图7)，即形成的焊缝的高度f为0.28mm至0.32mm范围内，所述圆锥形刀头111的尺寸设计与所述焊缝高度相匹配，距离锥头前端2mm以内区域的锥形直径为0.1mm至0.5mm，距离锥头前端2mm位置处的锥形直径小于等于0.5mm，距离锥头前端2mm以外区域的锥形直径为0.5mm至1mm，因此锥头前端2mm以外区域的刀头无法进入所述焊缝，且锥头前端1mm位置处的锥形直径可以与所述焊缝高度e相当，从而可以更好地控制所述圆锥形刀头111进入所述焊缝内的深度，使位于所述焊缝1mm深度内的焊料被去除。
综上，本发明通过在形成靶材组件30后，先采用第一刀具100的楔形刀头101去除溢出所述焊缝的焊料22’，再采用第二刀具110的圆锥形刀头111去除位于所述焊缝预设深度内的焊料22，使形成的靶材组件30(参考图11)外观达到预设标准；同时避免在后续溅射工艺中，由于高温工艺环境而导致焊缝内的焊料22继续熔解溢出，进一步提高了靶材组件30的良率。
此外，采用的刀具包括对第一钢棒的一端进行处理形成的具有尖形顶角的楔形刀头101，以及对第二钢棒的一端进行处理形成的圆锥形刀头111，所述材料的刀头不如美工刀或手术刀锋利，因此在去除溢出所述焊缝的焊料22’以及位于所述焊缝预设深度内的焊料22时，可以避免所述楔形刀头101和圆锥形刀头111对靶材组件30造成划伤。
相应的，参考图12和图13，本发明还提供一种工具，用于对靶材组件进行表面处理，所述靶材组件包括靶材、背板和位于所述靶材和背板之间的焊缝，所述焊缝中形成有焊料，所述工具包括：
第一刀具300，通过第一钢棒形成，包括：
第一刀头301，为对第一钢棒的一端进行处理所形成的楔形刀头，所述楔形刀头用于去除溢出所述焊缝的焊料；
第一刀杆302，与所述第一刀头301相连，包括未被处理的第一钢棒。
所述工具还包括：
第二刀具310，通过第二钢棒形成，包括：
第二刀头311，为对第二钢棒的一端进行处理所形成的锥形刀头，所述锥形刀头用于去除位于所述焊缝预设深度内的焊料；
第二刀杆312，与所述第二刀头311相连，包括未被处理的第二钢棒。
本实施例中，所述第一刀头301为楔形刀头。由于所述第一刀头301的形状为楔形，可以去除溢出所述焊缝而位于所述背板表面的焊料；进一步，所述第一刀头301具有尖形顶角，能够加快去除溢出所述焊缝的焊料。
本实施例中，所述第二刀头311用于去除位于所述焊缝1mm深度内的焊料。
本实施例中，所述第二刀头311沿所述第二钢棒延伸方向313的尺寸d在3mm至6mm的范围内。
所述第二刀头311为圆锥形刀头，圆锥形刀头表面过渡圆滑，对靶材组件进行处理时，对靶材组件表面损伤较小。
所述圆锥形刀头311的直径在0.1mm至1mm的范围内。具体地，沿所述第二钢棒延伸方向313，距离锥头前端2mm以内区域e的锥形直径为0.1mm至0.5mm的范围内，距离锥头前端2mm位置处的锥形直径小于等于0.5mm，距离锥头前端2mm以外区域f的锥形直径为0.5mm至1mm的范围内。
需要说明的是，本实施例通过所述圆锥形刀头311的尺寸设计与所述焊缝高度相匹配，将锥头前端2mm以内区域的锥形直径设定为0.1mm至0.5mm范围内，使锥头前端2mm以外区域的刀头无法进入所述焊缝，且锥头前端1mm位置处的锥形直径可以与所述焊缝高度相当，从而可以更好地控制所述圆锥形刀头311进入所述焊缝内的深度，使位于所述焊缝1mm深度内的焊料被去除。
但是本发明对锥形刀头311的尺寸不作限制，在其他实施例中，还可以根据焊缝尺寸设置锥形刀头的尺寸，使锥形刀头311在锥头预设尺寸处的直径与所述焊缝尺寸相当，从而使锥形刀头能够去除焊缝中与所述预设尺寸相同的深度内的焊料。
虽然本发明己以较佳实施例披露如上，但本发明并非限定于此。任何本领域技术人员，在不脱离本发明的精神和范围内，均可作各种更动与修改，因此本发明的保护范围应当以权利要求所限定的范围为准。
Claims (16)
1.一种靶材组件的表面处理方法，其特征在于，包括：
提供第一刀具，包括：提供第一钢棒；对所述第一钢棒的一端进行处理形成第一刀头，未被处理的第一钢棒构成第一刀杆，所述第一刀头为楔形；
提供第二刀具，包括：提供第二钢棒；对所述第二钢棒的一端进行处理形成第二刀头，未被处理的第二钢棒构成第二刀杆，所述第二刀头为锥形；
提供靶材组件，所述靶材组件包括靶材、背板和位于所述靶材和背板之间的焊缝，所述焊缝中形成有焊料；
采用所述第一刀具的第一刀头去除溢出所述焊缝的焊料；
采用所述第二刀具的第二刀头去除位于所述焊缝预设深度内的焊料。
2.如权利要求1所述的靶材组件的表面处理方法，其特征在于，对所述第一钢棒的一端进行处理形成第一刀头的步骤包括：对所述第一钢棒的一端进行机械加工以形成所述第一刀头；对所述第二钢棒的一端进行处理形成第二刀头的步骤包括：对所述第二钢棒的一端进行机械加工以形成所述第二刀头。
3.如权利要求1所述的靶材组件的表面处理方法，其特征在于，对所述第一钢棒的一端进行处理形成第一刀头的步骤包括：对所述第一钢棒的一端进行打磨以形成所述第一刀头；对所述第二钢棒的一端进行处理形成第二刀头的步骤包括：对所述第二钢棒的一端进行打磨以形成所述第二刀头。
4.如权利要求1所述的靶材组件的表面处理方法，其特征在于，所述预设深度为1mm。
5.如权利要求1所述的靶材组件的表面处理方法，其特征在于，所述第二刀头沿第二钢棒延伸方向的尺寸在3mm至6mm。
6.如权利要求1所述的靶材组件的表面处理方法，其特征在于，对所述第二钢棒的一端进行处理形成圆锥形刀头。
7.如权利要求6所述的靶材组件的表面处理方法，其特征在于，所述圆锥形刀头的直径在0.1mm至1mm范围内；沿所述第二钢棒延伸方向，距离锥头前端2mm以内区域的锥形直径为0.1mm至0.5mm范围内，距离锥头前端2mm位置处的锥形直径小于等于0.5mm，距离锥头前端2mm以外区域的锥形直径为0.5至1mm范围内。
8.如权利要求1所述的靶材组件的表面处理方法，其特征在于，形成第一刀头的步骤中，对所述第一钢棒的一端进行处理形成具有尖形顶角的楔形刀头。
9.如权利要求1所述的靶材组件的表面处理方法，其特征在于，所述焊料的材料为铟。
10.如权利要求1所述的靶材组件的表面处理方法，其特征在于，提供靶材组件的步骤包括：
提供靶材和背板，所述靶材包括溅射面和与所述溅射面相对的焊接面；
在所述靶材的焊接面上形成焊料；
通过焊接工艺将所述靶材的焊接面焊接至所述背板形成靶材组件。
11.一种工具，用于对靶材组件进行表面处理，所述靶材组件包括靶材、背板和位于所述靶材和背板之间的焊缝，所述焊缝中形成有焊料，其特征在于，所述工具包括：
第一刀具，通过第一钢棒形成，包括：第一刀头，为对第一钢棒的一端进行处理所形成的楔形刀头，所述楔形刀头用于去除溢出所述焊缝的焊料；第一刀杆，与所述第一刀头相连，包括未被处理的第一钢棒；
第二刀具，通过第二钢棒形成，包括：第二刀头，为对第二钢棒的一端进行处理所形成的锥形刀头，所述锥形刀头用于去除焊缝内的部分焊料；第二刀杆，与所述第二刀头相连，包括未被处理的第二钢棒。
12.如权利要求11所述的工具，其特征在于，所述第一刀头为具有尖形顶角的楔形刀头。
13.如权利要求11所述的工具，其特征在于，所述第二刀头用于去除位于所述焊缝1mm深度内的焊料。
14.如权利要求11所述的工具，其特征在于，所述第二刀头沿第二钢棒延伸方向的尺寸在3mm至6mm。
15.如权利要求11所述的工具，其特征在于，所述第二刀头为圆锥形刀头。
16.如权利要求15所述的工具，其特征在于，所述圆锥形刀头的直径在0.1mm至1mm范围内；沿所述第二钢棒延伸方向，距离锥头前端2mm以内区域的锥形直径为0.1mm至0.5mm范围内，距离锥头前端2mm位置处的锥形直径小于等于0.5mm，距离锥头前端2mm以外区域的锥形直径为0.5至1mm范围内。
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Cited By (1)
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|---|---|---|---|---|
| CN112063986A (zh) * | 2020-09-17 | 2020-12-11 | 福建阿石创新材料股份有限公司 | 一种靶材绑定的方法 |
Citations (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN1733376A (zh) * | 2004-07-16 | 2006-02-15 | 日立环球储存科技荷兰有限公司 | 从浮动块焊盘除去无铅焊料的方法以及磁盘驱动器 |
| CN101518851A (zh) * | 2009-02-19 | 2009-09-02 | 宁波江丰电子材料有限公司 | 靶材与背板的焊接结构及方法 |
| CN101543924A (zh) * | 2009-03-12 | 2009-09-30 | 宁波江丰电子材料有限公司 | 靶材与背板的焊接方法 |
| CN101543935A (zh) * | 2009-03-12 | 2009-09-30 | 宁波江丰电子材料有限公司 | 靶材组件的制作方法 |
| US20100288631A1 (en) * | 2009-05-12 | 2010-11-18 | Solar Applied Materials Technology Corp. | Ceramic sputtering target assembly and a method for producing the same |
| CN101912981A (zh) * | 2010-09-06 | 2010-12-15 | 无锡海特精密模具有限公司 | 一种车床刀具及其焊接工艺 |
| CN201922109U (zh) * | 2011-01-18 | 2011-08-10 | 郑州机械研究所 | 一种钎料剪切机 |
| WO2013122927A1 (en) * | 2012-02-14 | 2013-08-22 | Tosoh Smd, Inc. | Low deflection sputtering target assembly and methods of making same |
-
2015
- 2015-07-27 CN CN201510447283.9A patent/CN106378493B/zh active Active
Patent Citations (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN1733376A (zh) * | 2004-07-16 | 2006-02-15 | 日立环球储存科技荷兰有限公司 | 从浮动块焊盘除去无铅焊料的方法以及磁盘驱动器 |
| CN101518851A (zh) * | 2009-02-19 | 2009-09-02 | 宁波江丰电子材料有限公司 | 靶材与背板的焊接结构及方法 |
| CN101543924A (zh) * | 2009-03-12 | 2009-09-30 | 宁波江丰电子材料有限公司 | 靶材与背板的焊接方法 |
| CN101543935A (zh) * | 2009-03-12 | 2009-09-30 | 宁波江丰电子材料有限公司 | 靶材组件的制作方法 |
| US20100288631A1 (en) * | 2009-05-12 | 2010-11-18 | Solar Applied Materials Technology Corp. | Ceramic sputtering target assembly and a method for producing the same |
| CN101912981A (zh) * | 2010-09-06 | 2010-12-15 | 无锡海特精密模具有限公司 | 一种车床刀具及其焊接工艺 |
| CN201922109U (zh) * | 2011-01-18 | 2011-08-10 | 郑州机械研究所 | 一种钎料剪切机 |
| WO2013122927A1 (en) * | 2012-02-14 | 2013-08-22 | Tosoh Smd, Inc. | Low deflection sputtering target assembly and methods of making same |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN112063986A (zh) * | 2020-09-17 | 2020-12-11 | 福建阿石创新材料股份有限公司 | 一种靶材绑定的方法 |
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