CN106371231A - 显微取像设备 - Google Patents

Abstract

本发明是关于一种显微取像设备，用于对一目标物的取像区进行取像。该显微取像设备包括一激光追焦模组及一显微取像镜组。该激光追焦模组具有一激光位移检测模组，正对该目标物的该取像区；而该显微取像镜组具有一镜头，正对该目标物的该取像区。该激光追焦模组能沿x轴移动，并在移动的同时检测该目标物的该取像区与该镜头之间的垂直距离变化；而该显微取像镜组能跟该激光位移检测模组一起沿x轴移动，并能单独沿y轴移动，及能根据该激光位移检测模组的检测结果，与该激光位移检测模组一起沿z轴微调高度位置。

Description

显微取像设备

技术领域

本发明与用于检查异方性导电胶的导电粒子的系统有关，尤指该系统中用于取像的显微取像设备。

背景技术

使用异方性导电胶(anisotropic conductive film；ACF)将一软性电路板或芯片组装至一液晶面板或印刷电路板上的技术已经普遍运用于液晶面板、印刷电路板的制造工程中，与此相关者，例如卷带封装(tape carrier package；TCP)、薄膜覆晶封装(chip onfilm；COF)、将驱动芯片直接组装到玻璃基板的玻璃覆晶封装(chip on glass；COG)及将芯片直接组装到印刷电路板的电路板覆晶封装(chip on board；COB)等，多以异方性导电胶进行。

异方性导电胶由导电粒子与绝缘胶材所组成，其具有垂直导通、左右绝缘的特性，然而，在进行热压程序时，若异方性导电胶受压的压力不均或不足，都会导致可导通的变形导电粒子数目不足，而使传导性不佳。此外，当导电粒子密度分布不均时，也会使得传导性不佳。因此，在使用异方性导电胶的组接场合中，通常需检查导电粒子压痕的状态、数目及分布，以确定导电性的状况，中国台湾公告583403号专利案即显示用于这类检查用途的一种导电粒子压合自动检测系统。

该系统采取图像检查技术，其利用具有光学显微镜的图像撷取模组来撷取芯片接脚经压合后的数字图像，并将数字图像传送至图像处理模组处理，该图像处理模组的处理结果即供分析之用，以判断导电粒子的导电性状况是否良好。与此类似的技术，亦可见于中国台湾公开第200910484号专利案。

由于上述导电粒子非常微小，若光学显微镜的镜头稍有偏差而未正对于目标物上所欲取像的区域，或是镜头与该取像区之间的垂直距离稍微不足或稍微过大，都会导致取像不够清晰，增加后续图像处理难度及分析上的正确性，因此，如何提供一种能确保取像清晰度在可接受范围内的新式显微取像设备，乃为当务之急。

发明内容

有鉴于此，本发明的目的是提供一种显微取像设备，以对一目标物的取像区进行取像。

本发明的显微取像设备用于对一目标物的取像区进行取像，该显微取像设备大致包括一x轴移载装置、由该x轴移载装置带动而能沿x轴移动的一z轴移载装置、设于该z轴移载装置的一z轴载板上的一激光追焦模组、及设于该z轴载板上的一显微取像镜组。

该激光追焦模组具有正对该目标物的该取像区的一激光位移检测模组；而该显微取像镜组具有正对该目标物的该取像区的一镜头。该激光追焦模组通过该x轴移载装置而能沿x轴移动，并在移动的同时检测该目标物的取像区与该镜头之间的垂直距离变化。该z轴载板通过该x轴移载装置而能沿x轴移动，该z轴移载装置并能根据该激光位移检测模组的检测结果，微调该z轴载板的高度位置。

此外，该激光追焦模组还包括设于该z轴载板的一第一z轴调整机构及设于该第一z轴调整机构上且承载该激光位移检测模组的一x轴调整机构。该第一z轴调整机构用以调整该激光位移检测模组在z轴上的位置，而该x轴调整机构用以调整该激光位移检测模组在x轴上的位置。该显微取像镜组还包括一显微图像撷取模组、设于该z轴载板的一第二z轴调整机构、及设于该第二z轴调整机构上且承载该显微图像撷取模组的一水平角度调整机构。该第二z轴调整机构用以调整该显微图像撷取模组在z轴上的位置，该水平角度调整机构用以调整该显微图像撷取模组的角度位置，以使该镜头的焦平面与该目标物的取像区平行。

较佳地，该显微取像设备更包括一y轴移载装置，该显微取像镜组通过y轴移载装置而设于该z轴载板上。该y轴移载装置包括一座板、一组y轴轨道、一y轴载板及一y轴驱动单元。该座板设于该z轴载板上。该组y轴轨道设于该座板上且沿y轴延伸一段长度。该y轴载板可滑动地设于该组y轴轨道上且承载该显微图像撷取模组。该y轴驱动单元设于座板上且用以驱动该y轴载板沿着该组y轴轨道移动。

较佳地，该第一z轴调整机构包括一载片及一z轴调整螺栓。该载片面对面地贴靠于该z轴载板上。该z轴调整螺栓螺设于该z轴载板上且由下往上顶抵该载片。该x轴调整机构包括一活动板及两x轴调整螺栓。该活动板面对面地贴靠于该载片上且承载该该激光位移检测模组。该两x轴调整螺栓分别螺设于该载片的两相对侧且分别顶抵该活动板在x轴方向上的两相对侧边。

较佳地，该y轴移载装置的该座板具有相互垂直连接的一第一片体及一第二片体。该座板的第一片体面对面地贴靠于该z轴载板上，该第二z轴调整机构包括一第一调整螺栓，该第一调整螺栓螺设于该z轴载板上且由下往上抵靠于该座板的第一片体的底缘。

较佳地，该y轴载板具有背对于该座板的该第二片体的一表面，该水平角度调整机构包括一轴柱、一前后摆动座及两第二调整螺栓。该轴柱设于该y轴载板的该表面上。该前后摆动座具有相互垂直连接的一第一片体及一第二片体。该前后摆动座的第一片体面对面地贴靠于该y轴载板的该表面上，且该前后摆动座的第一片体具有一轴孔对应接收该轴柱，使得该前后摆动座的第一片体能在该表面上以该轴柱为轴地作前后摆动。该两第二调整螺栓螺设于该y轴载板上，其中一第二调整螺栓的位置高于该轴柱，且抵于该前后摆动座的第一片体的前侧边的上部，另一第二调整螺栓的位置低于该轴柱，且推抵该前后摆动座的第一片体的前侧边的下部。

较佳地，该水平角度调整机构包括一左右摆动座及两支第三调整螺栓。该左右摆动座承载该显微图像撷取模组且具有一轴块，该轴块被安装于该前后摆动座的该第二片体上的一轴槽内，使得该左右摆动座能以轴块为轴地作左右摆动。该两支第三调整螺栓螺设于该前后摆动座的该第二片体上，其中一第三调整螺栓的位置高于该轴块，且抵于该左右摆动座的一侧边的上部，另一第三调整螺栓的位置低于该轴块，且抵于该左右摆动座的该侧边的下部。

从宏观角度观之，本发明提供一种显微取像设备，用于对一目标物的取像区进行取像，且该显微取像设备包括一激光追焦模组及一显微取像镜组；该激光追焦模组具有正对该目标物的该取像区的一激光位移检测模组，该显微取像镜组具有正对该目标物的该取像区的一镜头；该激光追焦模组能沿x轴移动，并在移动的同时检测该目标物的该取像区与该镜头之间的垂直距离变化；该显微取像镜组能跟该激光位移检测模组一起沿x轴移动，并能单独沿y轴移动，及能根据该激光位移检测模组的检测结果，与该激光位移检测模组一起沿z轴微调高度位置。

如上所述，本发明的显微取像设备能够三轴移动且其镜头提供多角度的调整，因此能够大幅提高导电粒子取像的精准度，克服先前技术的问题或缺陷。

附图说明

以下附图仅旨在于对本发明做示意性说明和解释，并不限定本发明的范围。其中：

图1是本发明显微取像设备的立体分解示意图。

图2是本发明显微取像设备的立体结构的局部放大示意图。

图3是本发明显微取像设备的前视图。

图4是本发明显微取像设备的侧视图。

图5是本发明显微取像设备对一基板扫描取像的路径图。

图6是本发明显微取像设备的激光调整组件的立体分解示意图。

图7是本发明显微取像设备的激光追焦模组及其调整组件的立体结构示意图。

图8是本发明显微取像设备的激光追焦模组及其调整组件的前视图。

图9是本发明显微取像设备的显微取像镜组及其调整组件的立体分解示意图。

图10是本发明显微取像设备的显微取像镜组及其调整组件的立体结构示意图。

图11是本发明显微取像设备的显微取像镜组的调整组件的立体分解示意图。

图12是本发明显微取像设备的显微取像镜组的调整组件的立体结构示意图。

图13是本发明显微取像设备的显微取像镜组的调整组件的局部侧视图。

图14是本发明显微取像设备的显微取像镜组的调整组件的局部前视图。

主要元件标号说明：

1 x轴移载装置 10 长条座

11 x轴轨道 12 x轴载板

13 x轴驱动单元 13a 定子

13b 动子

2 z轴移载装置 20 z轴轨道

21 z轴载板 22 z轴驱动单元

220 伺服马达

3 激光追焦模组 30 激光位移检测模组

31 激光调整组件 32 第一z轴调整机构

320 载片 321 z轴调整螺栓

322 挡件 323 翼板

324 长导孔 325 导板

326 栓板 327 长形阶梯孔

328 导栓

33 x轴调整机构 330 活动板

331 x轴调整螺栓 332 挡件

336 导栓 337 长导孔

4 y轴移载装置 40 座板

400 第一片体 401 第二片体

41 y轴轨道 42 y轴载板

43 y轴驱动单元

43a 定子 43b 动子

5 显微取像镜组 50 显微图像撷取模组

501 镜头

51 镜组调整组件 52 第二z轴调整机构

520 调整螺栓 521 栓板

522 挡件 523 导栓

524 长导孔

53 水平角度调整机构 530 轴柱

531 前后摆动座 531a 第一片体

531b 第二片体 531c 轴孔

531d 轴槽

532 栓座 533 调整螺栓

534 挡件 535 弧形导孔

535a 导栓 536 左右摆动座

536a 上板 536b 下板

536c 立板 536d 轴块

537 调整螺栓 538 挡件

539 栓座 540 导栓

541 弧形导孔

8 目标物 80 芯片

801 前半边 802 后半边

9 吸附载台

具体实施方式

为了对本发明的技术特征、目的和效果有更加清楚的理解，现对照附图说明本发明的具体实施方式。

图1显示本发明的显微取像设备的一个较佳实施例，其包括一激光追焦模组3及一显微取像镜组5，并借此二者对图2所示的目标物8进行显微取像。

如图2所示，在此例子中，目标物8为放置在一吸附载台9上的一液晶面板，该液晶面板被吸附载台9吸住而固定不动，且其相邻的一长侧边及一短侧边凸出于吸附载台9的外面。该液晶面板还具有多个芯片80，该些芯片80通过玻璃覆晶封装技术(chip on glass；COG)，也就是利用异方性导电胶(anisotropic conductive film；ACF)而热压到形成于该液晶面板的一顶面的多个导电金属垫(图中未示)上，其中一芯片80邻近且平行于该液晶面板的该短侧边，其余芯片80邻近该液晶面板的该长侧边，且平行于该长侧边地排列成一直线。需指出的是，各侧边所对应的芯片80的数量不以前述为限。

目标物8的一底面还具有多个取像区，在此例子中，每个取像区刚好对应位于各个芯片80的正下方，且每个取像区的大小大致相同于相对应的芯片80的底面面积。由于该些芯片80所占据的是该液晶面板的透明部分，故可利用显微取像镜组5的一显微图像撷取模组50的一镜头501对该些取像区进行取像。所取得的图像数据能显示异方性导电胶的导电粒子在导电金属垫上所造成的压痕。这些图像数据接着被传送到一图像分析判断单元(图中未示)进行图像处理与分析，并根据分析结果判读每一芯片80与对应导电金属垫的导电连接状况的良莠。其中，目标物8所指的物品种类及数量，不以该液晶面板为限，例如可为一或多片电路板或其它种类物品供分别放在一或多个吸附载台9上。

如图3、图4所示，激光追焦模组3与显微取像镜组5都已通过本身的调整机构(容后详述)而手动调整到能对目标物8清晰取像的位置(清晰取像是指所撷取到的图像清晰度在可接受范围内)，且此目标物8已通过吸附载台9的转动而转动到使其长侧边确实平行于显微取像镜组5的移动路线。激光追焦模组3能沿x轴移动，并在移动的同时检测目标物8的取像区与镜头501之间的垂直距离变化。显微取像镜组5能跟随激光追焦模组3一起沿x轴移动，并能根据激光追焦模组3的一激光位移检测模组30的检测结果，与激光追焦模组3一起沿z轴微调高度位置，以使显微图像撷取模组50的镜头501与激光位移检测模组30在一起沿x轴移动时都随时保持在能对目标物8清晰取像的位置，以确保所摄取到的图像的清晰度能符合要求。如此，就算目标物8的取像区有凹凸不平之处而使得镜头501与取像区之间的垂直距离(焦距)在该处稍微不足或稍微过大，都能通过激光位移检测模组30予以检测出来，并依检测结果微调激光追焦模组3与显微取像镜组5的高度位置，以使镜头501与取像区之间的垂直距离(焦距)保持在一预定值，确保激光位移检测模组30与镜头501在该处仍能对目标物8清晰取像。

如图3及图5所示，当位于一原始位置的镜头501随着显微取像镜组5从一起点A移动到一终点B时，显微图像撷取模组50就通过镜头501以线扫瞄方式(line scan)取得邻近目标物8长侧边的每一个取像区(即每一芯片80的底面)的图像数据，并将它们传送给上述图像分析判断单元。在此例子中，因镜头501的取像范围很小，故所取得的图像数据只是该些取像区的前半边801的图像，因此，显微取像镜组5还具有沿y轴移动的能力，当镜头501到达终点B时，显微取像镜组5即相对于激光追焦模组3稍微往前移(即往吸附载台9方向移动)，以使镜头501沿y轴向前移动到能使其取像范围涵盖该些取像区的后半边802。接着，显微取像镜组5沿x轴往反向移动，使得镜头501从该终点B移动到该起点A，在此移动过程中，显微图像撷取模组50通过镜头501以线扫瞄方式取得邻近目标物8长侧边的每一个取像区后半边802的图像数据，并将它们传送给上述图像分析判断单元。当镜头501回到起点A时，显微取像镜组5即相对于激光追焦模组3地稍微往后移，以使镜头501沿y轴向后移动返回该原始位置。至此，本发明的显微取像设备即完成对邻近目标物8长侧边的取像区的显微取像作业。在此例子中，当镜头501回到该原始位置之后，吸附载台9转动90度，以使邻近目标物8短侧边的取像区位于激光位移检测模组30与镜头501的正上方，随后本发明的显微取像设备即对邻近目标物8短侧边的取像区进行显微取像作业，此大致相同于前述，容不赘述。

从上述说明可知，激光追焦模组3与显微取像镜组5是具有一起沿x轴移动及一起沿z轴移动的能力，且显微取像镜组5还单独具有沿y轴移动的能力。其中，激光追焦模组3与显微取像镜组5沿x轴一起移动是为了让镜头501依预定路线以扫瞄方式取得目标物8的取像区的图像数据。显微取像镜组5自己沿y轴移动是为了变换镜头501的取像范围所涵盖的区域，这是在镜头501的取像范围很小的时候才需要的功能，并非必要。至于激光追焦模组3与显微取像镜组5沿z轴一起移动，则是为了随时调整两者的高度位置，以使镜头501在移动过程中能保持在能对目标物8清晰取像的位置。以下进一步说明能实现激光追焦模组3与显微取像镜组5前述移动能力的较佳实施例，但不以此为限。

如图1所示，本发明的显微取像设备还包括一x轴移载装置1、由x轴移载装置1带动而能沿x轴左右移动的一z轴移载装置2、及由z轴移载装置2带动而能沿z轴作上下移动的一y轴移载装置4。其中，z轴移载装置2承载激光追焦模组3，y轴移载装置4承载显微取像镜组5。然而，显微取像镜组5亦可选择直接由z轴移载装置2予以承载，此时即无需y轴移载装置4。

x轴移载装置1可选用图1中所示的构造，其包括一长条座10、一组x轴轨道11设于长条座10上且沿x轴延伸一段长度、一x轴载板12可滑动地设于x轴轨道11上、以及一x轴驱动单元13设于长条座10上且连接x轴载板12。较佳地，x轴驱动单元13可选用现有的线性马达。图1、图4中显示该线性马达的定子13a，而滑行于定子13a内的动子13b则连接着x轴载板12。如此，x轴驱动单元13就能驱动x轴载板12沿着x轴轨道11作左右移动。

z轴移载装置2可选用图1中所示的构造，其包括一组z轴轨道20设于x轴载板12上且沿z轴延伸一段长度、一z轴载板21可滑动地设于z轴轨道20上、以及设于x轴载板12上的一z轴驱动单元22。较佳地，z轴驱动单元22可选用现有产品，例如包含一伺服马达220及一组精密导螺杆机构(图中未示)的公知伺服驱动模组。如此，z轴驱动单元22就能驱动z轴载板21沿着z轴轨道20作上下移动。

激光追焦模组3与显微取像镜组5设于z轴载板21上，z轴载板21可滑动地设于x轴载板12，因此，在x轴驱动单元13的带动下，激光追焦模组3、显微取像镜组5与z轴载板21能一起沿x轴移动，一如图3所示，在z轴驱动单元22的带动下，激光追焦模组3与显微取像镜组5能一起沿z轴上下移动，一如图4所示。

显微取像镜组5可选择直接连接到z轴载板21上，较佳地，可通过一y轴移载装置4连接到z轴载板21上。y轴移载装置4可选用图1所示的构造，其包括一座板40设于z轴载板21上、一组y轴轨道41设于座板40上且沿y轴延伸一段长度、一y轴载板42可滑动地设于y轴轨道41上、以及一y轴驱动单元43设于座板40上且连接y轴载板42。较佳地，y轴驱动单元43可选用现有的线性马达，图1、图3中显示该线性马达的定子43a固定在座板40上且沿y轴延伸一段长度，而滑行于定子43a内的动子43b则连接着y轴载板42。如此，y轴驱动单元43就能驱动y轴载板42沿着y轴轨道41作前后移动，使得设于y轴载板42的显微取像镜组5跟着前后移动，进而使得镜头501能相对于激光位移检测模组30沿y轴作前后移动。

为了使激光追焦模组3与显微取像镜组5能通过其本身调整机构而手动快速调整到能对目标物8清晰取像的位置，如图6～图8所示，激光追焦模组3还包括一激光调整组件31，如图9～图11所示，显微取像镜组5还包括一镜组调整组件51。

图6～图8显示激光调整组件31的一个较佳实施例，其包设于z轴载板21上的一第一z轴调整机构32、及设于第一z轴调整机构32上且承载激光位移检测模组30的一x轴调整机构33。

第一z轴调整机构32用以调整激光位移检测模组30相对于z轴载板21作上下移动。在此例子中，第一z轴调整机构32选择图中所示的构造，其至少包括一载片320、两支z轴调整螺栓321(也可以一支或更多支)、及一挡件322。该载片320面对面地贴靠于z轴载板21上，两z轴调整螺栓321分别螺设于z轴载板21两相对侧且分别由下往上顶抵载片320，较佳地，两z轴调整螺栓321螺设于z轴载板21的两侧栓板210上且顶抵着载片320的两侧翼板323。挡件322穿过载片320的一长形阶梯孔327而固定在z轴载板21上，用以挡住载片320，使它保持贴靠且不至于脱离。如此，当转动两z轴调整螺栓321，就能使载片320沿z轴方向上移或下移。其中，为了确保载片320能垂直地上下移动，第一z轴调整机构32还包括多支导栓328及两导板325，该些导栓328设于z轴载板21上且分别对应位于载片320的多个纵向长导孔324内，两导板325设于z轴载板21上且分别贴靠载片320的两相对侧边。

x轴调整机构33用以调整激光位移检测模组30相对于z轴载板21作左右移动。在此例子中，x轴调整机构33选择图中所示的构造，其至少包括一活动板330、两支x轴调整螺栓331、及两个挡件332(也可以一或多个)。活动板330面对面地贴靠于载片320上，两x轴调整螺栓331分别螺设于载片320两相对侧且分别顶抵活动板330的左侧边及右侧边，较佳地，两x轴调整螺栓331螺设于载片320上的两相对栓板326上且顶抵着活动板330中间部分的左侧边及右侧边。挡件332固定在载片320上，用以挡住活动板330，使它保持贴靠且不至于脱离。如此，只需一手转动左边的x轴调整螺栓331使其向右推抵活动板330的左侧边，另一手反向转动右边的x轴调整螺栓331使其向右后退，就能使活动板330向右移动。至于调整活动板330向左移动的动作与前述类似，差别只在于转动两x轴调整螺栓331的动作相反而已，容不赘述。其中，为了确保活动板330能水平地左右移动，x轴调整机构33还包括多支导栓336，该些导栓336设于载片320上且分别对应位于活动板330的多个横向长导孔337内。

如图8所示，通过转动两调整螺栓321就能使载片320上下移动，以使激光位移检测模组30跟着上下移动到想要的高度位置。通过转动两调整螺栓331就能使活动板330左右位移，以使激光位移检测模组30跟着左右移动到想要的位置。

图9～图10显示镜组调整组件一个较佳实施例，其包括设于z轴载板21上的一第二z轴调整机构52及设于y轴载板42上的一水平角度调整机构53。第二z轴调整机构52用以调整显微图像撷取模组50的高度位置。水平角度调整机构53承载显微图像撷取模组50，用以调整显微图像撷取模组50使其焦平面与目标物8的取像区平行。

在此例子中，y轴移载装置4的座板40具有相互垂直且一体成型的一第一片体400及一第二片体401，第一片体400面对面地贴靠于z轴载板21上。

在此例子中，第二z轴调整机构52选择图中所示的构造，其至少包括一支调整螺栓520(也可以多支)及一挡件522。调整螺栓520螺设于z轴载板21的一栓板521上且由下往上抵靠于第一片体400的底缘。挡片522挡住第一片体400的一侧，使它保持贴靠且不至于脱离。如此，只需转动调整螺栓520就能一并调整y轴移载装置4与显微图像撷取模组50的高度位置。其中，为了确保座板40能垂直地上下移动，z轴调整机构52还包括多支导栓523，该些导栓523设于z轴载板21上且分别对应位于座板40的第一片体400的多个纵向长导孔524内。

如图11、图12所示，在此例子中，水平角度调整机构53选择图中所示的构造，其至少包括一前后摆动座531、两调整螺栓533、及一挡件534。前后摆动座531具有相互垂直的一第一片体531a及一第二片体531b，第一片体531a面对面地贴靠于且枢设于y轴载板42上，较佳地，第一片体531a具有一轴孔531c对应接收设于y轴载板42上的一轴柱530，使得前后摆动座531能以轴柱530为轴地作前后摆动。挡件534设于y轴载板42上，用于挡住第一片体531a的一侧，使它保持贴靠且不至于脱离。两调整螺栓533螺设于y轴载板42上，例如对应螺设于y轴载板42前侧边的栓座532上。其中一调整螺栓533的位置高于轴柱530(即第一片体531a的转动轴心)，另一调整螺栓533的位置低于轴柱530，用以分别对应推抵第一片体531a前侧边的上部及下部，借以调整前后摆动座531作前后摆动。如图13所示，当一手转动较高的调整螺栓533而使其向前移动并推抵第一片体531a，另一手反向转动较低的调整螺栓533而使其向后移动，就能使前后摆动座531以轴柱530为轴地向前摆动。至于调整前后摆动座531向后摆动的动作与前述类似，差别只在于转动两调整螺栓533的动作相反而已，容不赘述。因此，通过转动两调整螺栓533就能调整显微图像撷取模组50往前或往后摆动到想要的角度位置。其中，为了确保前后摆动座531能平顺地前后摆动，水平角度调整机构53还包括多支导栓535a，该些导栓535a设于y轴载板42上且分别对应位于第一片体531a的多个弧形导孔535内。

水平角度调整机构53还包括一左右摆动座536、另两支调整螺栓537、及两个挡件538(也可以是一个或多个)。左右摆动座536具有一上板536a、一下板536b及一立板536c。立板536c的上下侧边分别连接上、下板536a、536b，上、下板536a、536b则连接显微图像撷取模组50。立板536c面对面地贴靠于前后摆动座531的第二片体531b上且具有一轴块536d，轴块536d被安装于第二片体531b上的一轴槽531d内，使得左右摆动座536能以轴块536d为轴地作左右摆动。挡件538设于第二片体531b上，用于挡住立板536c的一侧，使它保持贴靠且不至于脱离。另两支调整螺栓537螺设于前后摆动座531的第二片体531b，例如分别对应螺设于前后摆动座531的第二片体531b一侧边的两栓座539上。其中一调整螺栓537的位置高于轴块536d(即立板536c的转动轴心)，另一调整螺栓537的位置低于轴块536d，用以分别对应推抵立板536c右侧边的上部及下部，借以调整左右摆动座536作左右摆动。如图14所示，当一手转动较高的调整螺栓537而使其向左移动并推抵立板536c的右侧边上部，另一手反向转动较低的调整螺栓537而使其向后移动，就能使左右摆动座536以轴块536d为轴地向左摆动。至于调整左右摆动座536向右摆动的动作与前述类似，差别只在于转动两调整螺栓537的动作相反而已，容不赘述。因此，通过转动两调整螺栓537就能调整显微图像撷取模组50往左或往右摆动到想要的角度位置。其中，为了确保左右摆动座536能平顺地左右摆动，水平角度调整机构53还包括多支导栓540，该些导栓540设于前后摆动座531的第二片体531b上且分别对应位于立板536c的多个弧形导孔541内。

从上述说明可知，本发明的显微取像设备不但能通过激光追焦模组3及显微取像镜组5对目标物8进行显微取像，且能在进行前述取像运作之前，先通过此二者本身的调整机构，以手动方式先调整激光位移检测模组30在x轴方向上的位置与z轴方向上的位置，再快速调整显微图像撷取模组50在z轴方向上的位置与水平角度位置，以使激光位移检测模组30与显微图像撷取模组50的镜头501能位于适当的高度位置，及使显微图像撷取模组50的镜头501的焦平面与目标物8的取像区平行，进而确保显微取像上的清晰度能在可接受的范围内。

以上所述仅为本发明示意性的具体实施方式，并非用以限定本发明的范围。任何本领域的技术人员，在不脱离本发明的构思和原则的前提下所作的等同变化与修改，均应属于本发明保护的范围。而且需要说明的是，本发明的各组成部分并不仅限于上述整体应用，本发明的说明书中描述的各技术特征可以根据实际需要选择一项单独采用或选择多项组合起来使用，因此，本发明理所当然地涵盖了与本案发明点有关的其它组合及具体应用。

Claims (7)

1.一种显微取像设备，其特征在于，所述显微取像设备用于对一目标物的取像区进行取像，且该显微取像设备包括一x轴移载装置、由该x轴移载装置带动而能沿x轴移动的一z轴移载装置、设于该z轴移载装置的一z轴载板上的一激光追焦模组、及设于该z轴载板上的一显微取像镜组；该激光追焦模组具有正对该目标物的该取像区的一激光位移检测模组，该显微取像镜组具有正对该目标物的该取像区的一镜头；该激光追焦模组通过该x轴移载装置而能沿x轴移动，并在移动的同时检测该目标物的取像区与该镜头之间的垂直距离变化；该z轴载板通过该x轴移载装置而能沿x轴移动，该z轴移载装置并能根据该激光位移检测模组的检测结果，微调该z轴载板的高度位置，其中：

该激光追焦模组还包括设于该z轴载板的一第一z轴调整机构、及设于该第一z轴调整机构上且承载该激光位移检测模组的一x轴调整机构，该第一z轴调整机构用以调整该激光位移检测模组在z轴上的位置，该x轴调整机构用以调整该激光位移检测模组在x轴上的位置；及

该显微取像镜组还包括一显微图像撷取模组、设于该z轴载板的一第二z轴调整机构、及设于该第二z轴调整机构上且承载该显微图像撷取模组的一水平角度调整机构，该第二z轴调整机构用以调整该显微图像撷取模组在z轴上的位置，该水平角度调整机构用以调整该显微图像撷取模组的角度位置，以使该镜头的焦平面与该目标物的取像区平行。

2.如权利要求1所述的显微取像设备，其特征在于，所述显微取像设备包括一y轴移载装置，该显微取像镜组通过该y轴移载装置而设于该z轴载板上，该y轴移载装置包括：

一座板，设于该z轴载板上；

一组y轴轨道，设于该座板上且沿y轴延伸一段长度；

一y轴载板，能滑动地设于该组y轴轨道上且承载该显微图像撷取模组；以及

一y轴驱动单元，设于该座板上且用以驱动该y轴载板沿着该组y轴轨道移动。

3.如权利要求1或2所述的显微取像设备，其特征在于，该第一z轴调整机构包括：

一载片，面对面地贴靠于该z轴载板上；及

一z轴调整螺栓，螺设于该z轴载板上且由下往上顶抵该载片；

其中，该x轴调整机构包括：

一活动板，面对面地贴靠于该载片上且承载该激光位移检测模组；及

两x轴调整螺栓，分别螺设于该载片的两相对侧且分别顶抵该活动板在x轴方向上的两相对侧边。

4.如权利要求2所述的显微取像设备，其特征在于，该y轴移载装置的该座板具有相互垂直连接的一第一片体及一第二片体，该座板的该第一片体面对面地贴靠于该z轴载板上，该第二z轴调整机构包括一第一调整螺栓，该第一调整螺栓螺设于该z轴载板上且由下往上抵靠于该座板的该第一片体的底缘。

5.如权利要求4所述的显微取像设备，其特征在于，该y轴载板具有背对于该座板的该第二片体的一表面，该水平角度调整机构包括：

一轴柱，设于该y轴载板的该表面上；

一前后摆动座，具有相互垂直连接的一第一片体及一第二片体，该前后摆动座的该第一片体面对面地贴靠于该y轴载板的该表面上，且该前后摆动座的该第一片体具有一轴孔对应接收该轴柱，使得该前后摆动座的该第一片体能在该表面上以该轴柱为轴地作前后摆动；及

两第二调整螺栓，螺设于该y轴载板上，其中一该第二调整螺栓的位置高于该轴柱，且抵于该前后摆动座的该第一片体的前侧边的上部，另一该第二调整螺栓的位置低于该轴柱，且推抵该前后摆动座的该第一片体的前侧边的下部。

6.如权利要求5所述的显微取像设备，其特征在于，该水平角度调整机构包括：

一左右摆动座，承载该显微图像撷取模组且具有一轴块，该轴块被安装于该前后摆动座的该第二片体上的一轴槽内，使得该左右摆动座能以轴块为轴地作左右摆动；及

两支第三调整螺栓，螺设于该前后摆动座的该第二片体上，其中一该第三调整螺栓的位置高于该轴块，且抵于该左右摆动座的一侧边的上部，另一该第三调整螺栓的位置低于该轴块，且抵于该左右摆动座的该侧边的下部。

7.一种显微取像设备，其特征在于，所述显微取像设备用于对一目标物的取像区进行取像，且该显微取像设备包括一激光追焦模组及一显微取像镜组；该激光追焦模组具有正对该目标物的该取像区的一激光位移检测模组，该显微取像镜组具有正对该目标物的该取像区的一镜头；该激光追焦模组能沿x轴移动，并在移动的同时检测该目标物的该取像区与该镜头之间的垂直距离变化；该显微取像镜组能跟该激光位移检测模组一起沿x轴移动，并能单独沿y轴移动，及能根据该激光位移检测模组的检测结果，与该激光位移检测模组一起沿z轴微调高度位置。