CN106355620B - 标记的校正方法与校正系统 - Google Patents

Abstract

本申请提供了一种标记的校正方法与校正系统。该校正方法包括：步骤S1，在基板上设置透镜层后，获取透镜层的位置与透镜层的预定位置的初步偏移值；步骤S2，根据初步偏移值移动图像传感器的镜头，使得镜头捕捉到透镜层上的透镜对位标记并记录透镜对位标记的位置；步骤S3，根据透镜对位标记的位置计算透镜层的位置与透镜层的预定位置的实际偏移值；步骤S4，根据实际偏移值对后续对位标记的预设定位置进行校正。该校正方法不仅具有较高的校正精度，还降低了校正的成本。

Description

标记的校正方法与校正系统

技术领域

本申请涉及液晶显示领域，具体而言，涉及一种标记的校正方法与校正系统。

背景技术

在平板制造工艺中，为后续加工制程有定位基准，一般在基板上设置标记，一旦基板旋转一定角度，标记的位置就会偏移，后续的工艺的精度就会变差。

另外，在基板上设置透镜层时，同时在透镜层的表面上形成对位标记，如果设置透镜层时发生偏移，将导致标记透镜层上的对位标记发生偏移，而根据设定的对位标记进行后续的工艺时，会因为透镜层上的对位标记的位置偏移导致精度变差。

现有技术中，有两种方法解决上述的技术问题，一种方法是通过马达摆正基板来使得基板或者透镜层的位置恢复到未偏转的状态，但受限于马达本身以及精度问题，无法满足精确的偏差校正。

另一种方法是购买大视野的CCD来捕捉定位基板上的对位标记或者透镜层上的对位标记，进而根据捕捉到的对位标记进行后续的工艺。但是这种方法大大增加了设备的投入。

发明内容

本申请的主要目的在于提供一种标记的校正方法与校正系统，以解决现有技术中的无法以低成本的方式解决透镜层的偏移导致的后续工艺精度差的问题。

为了实现上述目的，根据本申请的一个方面，提供了一种标记的校正方法，该校正方法包括：步骤S1，在基板上设置透镜层后，获取上述透镜层的位置与上述透镜层的预定位置的初步偏移值；步骤S2，根据上述初步偏移值移动图像传感器的镜头，使得上述镜头捕捉到上述透镜层上的透镜对位标记并记录上述透镜对位标记的位置；步骤S3，根据上述透镜对位标记的位置计算上述透镜层的位置与上述透镜层的预定位置的实际偏移值；步骤S4，根据上述实际偏移值对后续对位标记的预设定位置进行校正。

进一步地，上述初步偏移值为透镜层的中心的坐标与基板的中心的坐标的偏移值。

进一步地，上述步骤S2中记录多个上述透镜对位标记的位置，上述透镜对位标记的位置为上述透镜对位标记的实际坐标值，上述多个上述透镜对位标记设置在上述透镜层的远离上述基板的表面上，至少两个上述透镜对位标记关于上述透镜层的中心对称或者关于对称轴对称，上述对称轴为上述透镜层的设置上述透镜对位标记的表面的中心线。

进一步地，上述步骤S1还包括获取上述透镜层的中心的预定坐标，上述步骤S3包括：步骤S31，根据多个上述透镜对位标记的实际坐标值计算上述透镜层的中心的实际坐标值；步骤S32，根据上述透镜层的中心的预定坐标值与上述透镜层的中心的实际坐标值计算上述实际偏移值。

进一步地，上述实际偏移值包括实际角度偏移值、实际X方向偏移值与实际Y方向偏移值。

进一步地，上述步骤S4包括：步骤S41，根据上述实际偏移值对上述后续对位标记的图像进行校正；步骤S42，将校正后的上述后续对位标记的图像对应的图像信息传输到上述后续对位标记的设置设备中，对上述后续对位标记的预设定位置进行校正。

根据本申请的另一方面，提供了标记的校正系统，该校正系统包括：初步偏移值获取单元，用于在基板上设置透镜层后，获取上述透镜层的位置与上述透镜层的预定位置的初步偏移值；图像传感器，包括镜头与记录模块，上述镜头用于捕捉到上述透镜层上的透镜对位标记，上述记录模块与上述镜头电连接，上述记录模块用于记录上述透镜对位标记的位置；计算单元，与上述记录模块电连接，上述计算单元用于根据上述透镜对位标记的位置计算上述透镜层的位置与上述透镜层的预定位置的实际偏移值；校正单元，与上述计算单元电连接，上述校正单元用于根据上述实际偏移值对后续对位标记的预设定位置进行调整

进一步地，上述初步偏移值为透镜层的中心的坐标与基板的中心的坐标的偏移值。

进一步地，上述图像传感器还包括控制模块，上述控制模块的一端与上述初步偏移值获取单元电连接，上述控制模块的另一端与上述镜头电连接，上述控制模块用于根据上述初步偏移值移动上述镜头，使得上述镜头捕捉到上述透镜层上的透镜对位标记并记录上述透镜对位标记的位置。

进一步地，上述记录模块记录多个上述透镜对位标记的位置，上述透镜对位标记的位置为上述透镜对位标记的实际坐标值，上述多个上述透镜对位标记设置在上述透镜层的远离上述基板的表面上，至少两个上述透镜对位标记关于上述透镜层的中心对称或者关于对称轴对称，上述对称轴为上述透镜层设置上述透镜对位标记的表面的中心线。

进一步地，上述校正系统还包括预定坐标的获取单元，上述预定坐标的获取模块用于获取上述透镜层的中心的预定坐标，上述计算单元包括：坐标计算模块，与上述记录模块电连接，上述坐标计算模块用于根据多个上述透镜对位标记的实际坐标值计算上述透镜层的中心的实际坐标值；偏移值计算模块，与上述坐标计算模块以及预定坐标的获取单元均电连接，上述偏移值计算模块用于根据上述透镜层的中心的预定坐标值与上述透镜层的中心的实际坐标值计算上述实际偏移值。

进一步地，上述偏移值计算模块包括：第一计算模块，与上述坐标计算模块以及预定坐标的获取单元均电连接，用于计算上述透镜层的中心与上述透镜层的中心的角度偏移值；第二计算模块，与上述坐标计算模块以及预定坐标的获取单元均电连接，用于计算上述透镜层的中心的与上述透镜层的中心在X方向上的偏移值；第三计算模块，与上述坐标计算模块以及预定坐标的获取单元均电连接，用于计算上述透镜层的中心的与上述透镜层的中心在Y方向上的偏移值。

进一步地，上述校正单元包括：图像校正模块，与上述计算单元电连接，上述用于根据上述实际偏移值对上述后续对位标记的图像进行校正；模数转化模块，用于将校正后的上述后续对位标记的图像转换为图像信息；标记校正模块，用于根据上述图像信息对上述后续对位标记的预设定位置进行校正。

应用本申请的技术方案，校正方法根据上述透镜层的位置与上述透镜层的预定位置计算得出实际偏移值，能够对后续对位标记的预设定位置进行精确地校正调整，使得后续工艺的精度较高，进一步保证了器件的具有较高的良率与较好的性能。并且，该校正方法中根据获取的初步偏移值移动图形传感器，使得图像传感器捕捉到透镜层上的透镜对位标记，这样无需更换视野范围更大的图像传感器就可以捕捉到透镜层上的透镜对位标记(透镜层的偏移使得图像传感器的视野范围内无法看到透镜层的对位标记，因而一般需要更换视野范围更大的图像传感器)，在保证了校正精度的前提下，还降低了校正方法的成本。

附图说明

构成本申请的一部分的说明书附图用来提供对本申请的进一步理解，本申请的示意性实施例及其说明用于解释本申请，并不构成对本申请的不当限定。在附图中：

图1示出了本申请的一种典型实施方式提供的标记的校正方法的流程示意图；以及

图2示出了本申请的另一种典型实施方式提供的标记的校正系统的结构示意图。

其中，上述附图包括以下附图标记：

1、初步偏移值获取单元；2、图像传感器；3、计算单元；4、校正单元。

具体实施方式

应该指出，以下详细说明都是例示性的，旨在对本申请提供进一步的说明。除非另有指明，本文使用的所有技术和科学术语具有与本申请所属技术领域的普通技术人员通常理解的相同含义。

需要注意的是，这里所使用的术语仅是为了描述具体实施方式，而非意图限制根据本申请的示例性实施方式。如在这里所使用的，除非上下文另外明确指出，否则单数形式也意图包括复数形式，此外，还应当理解的是，当在本说明书中使用术语“包含”和/或“包括”时，其指明存在特征、步骤、操作、器件、组件和/或它们的组合。

正如背景技术所介绍的，现有技术中的解决透镜层的实际位置与预定位置的偏移导致后续工艺精度差的方法不精确或者成本较高，为了解决如上的技术问题，本申请提出了一种标记的校正方法与校正系统。

本申请的一种典型的实施方式中提供了一种标记的校正方法，如图1所示，该校正方法包括：步骤S1，在基板上设置透镜层后，获取上述透镜层的位置与上述透镜层的预定位置的初步偏移值；步骤S2，根据上述初步偏移值移动图像传感器的镜头，使得上述图像传感器的镜头捕捉到上述透镜层上的透镜对位标记并记录上述透镜对位标记的位置；步骤S3，根据上述透镜对位标记的位置计算上述透镜层的位置与上述透镜层的预定位置的实际偏移值；以及步骤S4，根据上述实际偏移值对后续对位标记的预设定位置进行调整。

上述的方法根据上述透镜层的位置与上述透镜层的预定位置计算得出实际偏移值，能够对后续对位标记的预设定位置进行精确地校正调整，使得后续工艺的精度较高，进一步保证了器件的具有较高的良率与较好的性能。并且，该校正方法中根据获取的初步偏移值移动图形传感器，使得图像传感器捕捉到透镜层上的透镜对位标记，这样无需更换视野范围更大的图像传感器就可以捕捉到透镜层上的透镜对位标记(透镜层的偏移使得图像传感器的视野范围内无法看到透镜层的对位标记，因而一般需要更换视野范围更大的图像传感器)，在保证了校正精度的前提下，还降低了校正方法的成本。

本申请的一种实施例中，由于透镜层的中心的预定位置与基板的中心的位置是一致的，因此，上述初步偏移值为透镜层的中心的实际坐标与基板的中心的坐标的偏移值。

为了能够更加准确地获得上述透镜层的实际位置，进而能够更加准确地计算出实际偏移值，进而更加准确地对后续对位标记的位置进行校正，本申请优选上述步骤S2中记录多个上述透镜对位标记的位置，上述透镜对位标记的位置为上述透镜对位标记的实际坐标值，上述多个上述透镜对位标记设置在上述透镜层的远离上述基板的表面上，至少两个上述透镜对位标记关于上述透镜层的中心对称或者关于对称轴对称，上述对称轴为上述透镜层的设置上述透镜对位标记的表面的中心线。

本申请的一种实施例中，上述步骤S1还包括获取上述透镜层的中心的预定坐标，上述步骤S3包括：步骤S31，根据多个上述透镜对位标记的实际坐标值计算上述透镜层的中心的实际坐标值，由于多个透镜对位标记具有中心对称或者轴对称的关系，因此，根据多个上述透镜对位标记的实际坐标值与透镜层的尺寸就可以计算出透镜层的中心的实际坐标值；步骤S32，根据上述透镜层的中心的预定坐标值与上述透镜层的中心的实际坐标值计算上述实际偏移值。

为了更加准确地对后续对位标记进行校正，本申请优选上述实际偏移值包括实际角度偏移值、实际X方向偏移值与实际Y方向偏移值。其中，实际角度偏移值为上述透镜层的中心与上述透镜层的中心的角度偏移值，实际X方向偏移值为上述透镜层的中心的与上述透镜层的中心在X方向上的偏移值，实际Y方向偏移值为上述透镜层的中心的与上述透镜层的中心在Y方向上的偏移值。

本申请的另一种实施例中，上述步骤S4包括：步骤S41，根据上述实际偏移值对上述后续对位标记的图像进行校正；步骤S42，将校正后的上述后续对位标记的图像对应的图像信息传输到上述后续对位标记的设置设备中，对上述后续对位标记的预设定位置进行校正。

又一种实施例，在计算得到实际偏移值后，可以手动将施加偏移值输入到图像编辑器中，对上述后续对位标记的图像进行校正，然后将校正后的图像对应的图像信息传输至后续对位标记的设置设备中，对上述后续对位标记的预设定位置进行校正。

一种具体的实施例中，上述的图像为储存在CAD中的图像，也就是说，根据上述实际偏移值先对储存在CAD中的图像进行校正，然后将校正后的图形对应的图像信息传输到上述后续对位标记的设置设备中，对上述后续对位标记的预设定位置进行校正。

本申请中的后续对位标记可以是后续任何工艺的对位标记，比如用于FPC绑定中的对位标记，本领域技术人员可以根据与实际情况对后续工艺中的任何对位标记进行校正。

本申请的另一种典型的实施方式中，如图2所示，提供了一种标记的校正系统，该校正系统包括初步偏移值获取单元1、图像传感器2、计算单元3与校正单元4。其中，初步偏移值获取单元1用于在基板上设置透镜层后，获取上述透镜层的位置与上述透镜层的预定位置的初步偏移值；图像传感器2包括镜头与记录模块，上述镜头用于捕捉到上述透镜层上的透镜对位标记，上述记录模块与上述镜头电连接，上述记录模块用于记录上述透镜对位标记的位置；计算单元3与上述记录模块电连接，上述计算单元3用于根据上述透镜对位标记的位置计算上述透镜层的位置与上述透镜层的预定位置的实际偏移值；校正单元4与上述计算单元3电连接，上述校正单元4用于根据上述实际偏移值对后续对位标记的预设定位置进行调整。

上述的校正系统中的计算单元根据上述透镜层的位置与上述透镜层的预定位置计算出的实际偏移值，校正单元根据实际偏移值对后续对位标记的预设定位置进行精确地校正调整，使得后续工艺的精度较高，进一步保证了器件的具有较高的良率与较好的性能。并且，该校正系统根据初步偏移值获取单元获取的初步偏移值移动图像传感器，使得图像传感器捕捉到透镜层上的透镜对位标记，这样无需更换视野范围更大的图像传感器就可以捕捉到透镜层上的透镜对位标记(透镜层的偏移使得图像传感器的视野范围内无法看到透镜层的对位标记，因而一般需要更换视野范围更大的图像传感器)，在保证了校正精度的前提下，还降低了校正方法的成本。

本申请的一种实施例中，由于透镜层的中心的预定位置与基板的中心的位置是一致的，因此，上述初步偏移值为透镜层的中心的实际坐标与基板的中心的坐标的偏移值。

为了以更高效地方式使得镜头捕捉到对应的对位标记，本申请优选上述图像传感器还包括控制模块，上述控制模块的一端与上述初步偏移值获取单元电连接，上述控制模块的另一端与上述镜头电连接，上述控制模块用于根据上述初步偏移值移动上述镜头，使得上述镜头捕捉到上述透镜层上的透镜对位标记并记录上述透镜对位标记的位置。

为了能够更加准确地获得上述透镜层的实际位置，进而能够更加准确地计算出实际偏移值，进而更加准确地对后续对位标记的位置进行校正，本申请优选上述记录模块记录多个上述透镜对位标记的位置，上述透镜对位标记的位置为上述透镜对位标记的实际坐标值，上述多个透镜对位标记设置在上述透镜层的远离上述基板的表面上，至少两个上述透镜对位标记关于上述透镜层的中心对称或者关于对称轴对称，上述对称轴为上述透镜层设置上述透镜对位标记的表面的中心线。

本申请的另一种实施例中，上述初步偏移值获取单元1还包括预定坐标的获取单元与偏移值计算模块，其中，上述预定坐标的获取单元用于获取上述透镜层的中心的预定坐标，上述计算单元3包括坐标计算模块：坐标计算模块与上述记录模块电连接，上述坐标计算模块用于根据多个上述透镜对位标记的实际坐标值计算上述透镜层的中心的实际坐标值；偏移值计算模块，与上述坐标计算模块以及预定坐标的获取单元均电连接，上述偏移值计算模块用于根据上述透镜层的中心的预定坐标值与上述透镜层的中心的实际坐标值计算上述实际偏移值。

为了更加准确地对后续对位标记进行校正，本申请优选上述偏移值计算模块包括：第一计算模块、第二计算模块与第三计算模块，其中，第一计算模块与上述坐标计算模块以及预定坐标的获取单元均电连接，用于计算上述透镜层的中心与上述透镜层的中心的角度偏移值；第二计算模块与上述坐标计算模块以及预定坐标的获取单元均电连接，用于计算上述透镜层的中心的与上述透镜层的中心在X方向上的偏移值；第三计算模块与上述坐标计算模块以及预定坐标的获取单元均电连接，用于计算上述透镜层的中心的与上述透镜层的中心在Y方向上的偏移值。

本申请的又一种实施例中，上述校正单元4包括图像校正模块、模数转化模块与标记校正模块，其中，上述图像校正模块与计算单元电连接，该图像校正模块用于根据上述实际偏移值对上述后续对位标记的图像进行校正；模数转化模块用于将校正后的上述后续对位标记的图像转换为图像信息；标记校正模块用于根据上述图像信息对上述后续对位标记的预设定位置进行校正。

本申请的初步偏移值是由透镜层设置设备或者前制程其它设备计算出来的，并且，这些设备直接与初步偏移值获取单元电连接，或者这些设备与服务器电连接，服务器与初步偏移值获取单元电连接，初步偏移值获取单元从服务器上下载其他设备计算出来的初步偏移值。

本申请的一种实施例中，上述的上述图像传感器为CCD传感器。

为了使得本领域技术人员能够更加清楚地了解本申请的技术方案，以下将结合具体的实施例说明本申请的技术方案。

实施例

采用图2所示的校正系统对后续对位标记的预设位置进行校正，该校正系统包括初步偏移值获取单元1、预定坐标的获取单元、图像传感器2、计算单元3与校正单元4。并且，图像传感器2包括镜头、记录模块与控制模块；计算单元3包括坐标计算模块与偏移值计算模块，偏移值计算模块包括第一计算模块、第二计算模块与第三计算模块；校正单元4包括图像校正模块、模数转化模块与标记校正模块。具体的连接关系记载在上述的内容中，这里就不再赘述了。

校正的具体过程为：

首先，与服务器连接的初步偏移值获取单元从服务器上下载(即获取)初步偏移值。

然后，图像传感器中的控制模块与初步偏移值获取单元连接，该模块根据初步偏移值移动图像传感器的镜头，使得镜头捕捉到多个透镜对位标记，可以同时捕捉到几个透镜对位标记，也可以逐个捕捉透镜对位标记，并且，图像传感器的记录模块将捕捉到的透镜对位标记的实际坐标记录下来，包括横坐标与纵坐标。

其次，坐标计算模块与图像传感器的记录模块电连接，并且根据记录的透镜对位标记的实际坐标计算透镜层的中心的坐标，偏移值计算模块与坐标计算模块以及预定坐标的获取单元电连接，第一计算模块计算上述透镜层的中心与上述透镜层的中心的角度偏移值，即计算实际角度偏移值；第二计算模块计算上述透镜层的中心的与上述透镜层的中心在X方向上的偏移值，即计算实际X方向偏移值；第三计算模块计算上述透镜层的中心的与上述透镜层的中心在Y方向上的偏移值，即计算实际Y方向偏移值。

最后，图像校正模块与偏移值计算模块电连接，并且根据实际偏移值对上述后续对位标记的图像进行校正；模数转化模块与图像校正模块电连接，将校正后的上述后续对位标记的图像转换为图像信息；标记校正模块与模数转化模块电连接，根据上述图像信息对上述后续对位标记的预设定位置进行校正。

从以上的描述中，可以看出，本申请上述的实施例实现了如下技术效果：

1)、本申请的校正方法根据上述透镜层的位置与上述透镜层的预定位置计算得出实际偏移值，能够对后续对位标记的预设定位置进行精确地校正调整，使得后续工艺的精度较高，进一步保证了器件的具有较高的良率与较好的性能。并且，该校正方法中根据获取的初步偏移值移动图形传感器，使得图像传感器捕捉到透镜层上的透镜对位标记，这样无需更换视野范围更大的图像传感器就可以捕捉到透镜层上的透镜对位标记(透镜层的偏移使得图像传感器的视野范围内无法看到透镜层的对位标记，因而一般需要更换视野范围更大的图像传感器)，在保证了校正精度的前提下，还降低了校正方法的成本。

2)、本申请的校正系统中的计算单元根据上述透镜层的位置与上述透镜层的预定位置计算出的实际偏移值，校正单元根据实际偏移值对后续对位标记的预设定位置进行精确地校正调整，使得后续工艺的精度较高，进一步保证了器件的具有较高的良率与较好的性能。并且，该校正系统根据初步偏移值获取单元获取的初步偏移值移动图像传感器，使得图像传感器捕捉到透镜层上的透镜对位标记，这样无需更换视野范围更大的图像传感器就可以捕捉到透镜层上的透镜对位标记(透镜层的偏移使得图像传感器的视野范围内无法看到透镜层的对位标记，因而一般需要更换视野范围更大的图像传感器)，在保证了校正精度的前提下，还降低了校正方法的成本。

以上所述仅为本申请的优选实施例而已，并不用于限制本申请，对于本领域的技术人员来说，本申请可以有各种更改和变化。凡在本申请的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本申请的保护范围之内。

Claims (13)

1.一种标记的校正方法，其特征在于，所述校正方法包括：

步骤S1，在基板上设置透镜层后，获取所述透镜层的位置与所述透镜层的预定位置的初步偏移值；

步骤S2，根据所述初步偏移值移动图像传感器的镜头，使得所述镜头捕捉到所述透镜层上的透镜对位标记并记录所述透镜对位标记的位置；

步骤S3，根据所述透镜对位标记的位置计算所述透镜层的位置与所述透镜层的预定位置的实际偏移值；以及

步骤S4，根据所述实际偏移值对后续对位标记的预设定位置进行校正，使得后续工艺的精度较高，所述后续标记是后续工艺的任意一个或几个对位标记。

2.根据权利要求1所述的校正方法，其特征在于，所述初步偏移值为透镜层的中心的坐标与基板的中心的坐标的偏移值。

3.根据权利要求1所述的校正方法，其特征在于，所述步骤S2中记录多个所述透镜对位标记的位置，所述透镜对位标记的位置为所述透镜对位标记的实际坐标值，所述多个所述透镜对位标记设置在所述透镜层的远离所述基板的表面上，至少两个所述透镜对位标记关于所述透镜层的中心对称或者关于对称轴对称，所述对称轴为所述透镜层的设置所述透镜对位标记的表面的中心线。

4.根据权利要求3所述的校正方法，其特征在于，所述步骤S1还包括获取所述透镜层的中心的预定坐标，所述步骤S3包括：

步骤S31，根据多个所述透镜对位标记的实际坐标值计算所述透镜层的中心的实际坐标值；以及

步骤S32，根据所述透镜层的中心的预定坐标值与所述透镜层的中心的实际坐标值计算所述实际偏移值。

5.根据权利要求1所述的校正方法，其特征在于，所述实际偏移值包括实际角度偏移值、实际X方向偏移值与实际Y方向偏移值。

6.根据权利要求1所述的校正方法，其特征在于，所述步骤S4包括：

步骤S41，根据所述实际偏移值对所述后续对位标记的图像进行校正；以及

步骤S42，将校正后的所述后续对位标记的图像对应的图像信息传输到所述后续对位标记的设置设备中，对所述后续对位标记的预设定位置进行校正。

7.一种标记的校正系统，其特征在于，所述校正系统包括：

初步偏移值获取单元(1)，用于在基板上设置透镜层后，获取所述透镜层的位置与所述透镜层的预定位置的初步偏移值；

图像传感器(2)，包括镜头与记录模块，所述镜头用于捕捉到所述透镜层上的透镜对位标记，所述记录模块与所述镜头电连接，所述记录模块用于记录所述透镜对位标记的位置；

计算单元(3)，与所述记录模块电连接，所述计算单元(3)用于根据所述透镜对位标记的位置计算所述透镜层的位置与所述透镜层的预定位置的实际偏移值；以及

校正单元(4)，与所述计算单元(3)电连接，所述校正单元(4)用于根据所述实际偏移值对后续对位标记的预设定位置进行调整，使得后续工艺的精度较高，所述后续标记是后续工艺的任意一个或几个对位标记。

8.根据权利要求7所述的校正系统，其特征在于，所述初步偏移值为透镜层的中心的坐标与基板的中心的坐标的偏移值。

9.根据权利要求7所述的校正系统，其特征在于，所述图像传感器(2)还包括控制模块，所述控制模块的一端与所述初步偏移值获取单元(1)电连接，所述控制模块的另一端与所述镜头电连接，所述控制模块用于根据所述初步偏移值移动所述镜头，使得所述镜头捕捉到所述透镜层上的透镜对位标记并记录所述透镜对位标记的位置。

10.根据权利要求7所述的校正系统，其特征在于，所述记录模块记录多个所述透镜对位标记的位置，所述透镜对位标记的位置为所述透镜对位标记的实际坐标值，所述多个所述透镜对位标记设置在所述透镜层的远离所述基板的表面上，至少两个所述透镜对位标记关于所述透镜层的中心对称或者关于对称轴对称，所述对称轴为所述透镜层设置所述透镜对位标记的表面的中心线。

11.根据权利要求10所述的校正系统，其特征在于，所述校正系统还包括预定坐标的获取单元，所述预定坐标的获取模块用于获取所述透镜层的中心的预定坐标，所述计算单元(3)包括：

坐标计算模块，与所述记录模块电连接，所述坐标计算模块用于根据多个所述透镜对位标记的实际坐标值计算所述透镜层的中心的实际坐标值；以及

偏移值计算模块，与所述坐标计算模块以及预定坐标的获取单元均电连接，所述偏移值计算模块用于根据所述透镜层的中心的预定坐标值与所述透镜层的中心的实际坐标值计算所述实际偏移值。

12.根据权利要求11所述的校正系统，其特征在于，所述偏移值计算模块包括：

第一计算模块，与所述坐标计算模块以及预定坐标的获取单元均电连接，用于计算所述透镜层的中心与所述透镜层的中心的角度偏移值；

第二计算模块，与所述坐标计算模块以及预定坐标的获取单元均电连接，用于计算所述透镜层的中心的与所述透镜层的中心在X方向上的偏移值；以及

第三计算模块，与所述坐标计算模块以及预定坐标的获取单元均电连接，用于计算所述透镜层的中心的与所述透镜层的中心在Y方向上的偏移值。

13.根据权利要求7所述的校正系统，其特征在于，所述校正单元(4)包括：

图像校正模块，与所述计算单元(3)电连接，所述用于根据所述实际偏移值对所述后续对位标记的图像进行校正；

模数转化模块，用于将校正后的所述后续对位标记的图像转换为图像信息；以及

标记校正模块，用于根据所述图像信息对所述后续对位标记的预设定位置进行校正。

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