CN106337167A - 多片拼接靶材绑定方法 - Google Patents

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石煜
曾探
罗永春
曾墩风
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Wuhu Yingri Technology Co Ltd
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Wuhu Yingri Technology Co Ltd
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    • C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
    • C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
    • C23C14/34—Sputtering
    • C23C14/3407—Cathode assembly for sputtering apparatus, e.g. Target

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  • Mechanical Engineering (AREA)
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Abstract

本发明提供一种多片拼接靶材绑定方法，针对传统平面溅射靶材绑定技术的操作缓慢和长时间高温操作而改进.现采用多片靶材一次性拼接绑定，将打破传统的绑定技术，有效提高了绑定的效率和靶材贴合度的一致性.大幅缩短了工作人员高温作业时间，提高了产品质量，解决了靶材涂铟工作涂铟过久高温氧化的问题。

Description

多片拼接靶材绑定方法
技术领域
本发明涉及靶材涂铟领域，尤其涉及一种靶材涂铟前的多片拼接靶材绑定方法。
背景技术
目前在对平面靶材进行绑定时，需要对靶材表面进行涂铟。但是目前的靶材涂铟通常是一片片涂铟绑定，工作效率慢，同时铟在加热过程长时间容易氧化，绑定不好导致客户使用时容易脱绑，因此，解决靶材绑定效率及铟加热过久高温氧化的问题就显得尤为重要了。
发明内容
针对上述现有技术存在的问题，本发明的目的是提供一种靶材涂铟前的多片拼接靶材绑定方法，针对传统平面溅射靶材绑定技术的操作缓慢和长时间高温操作而改进.现采用多片靶材一次性拼接绑定，将打破传统的绑定技术，有效提高了绑定的效率和靶材贴合度的一致性.大幅缩短了工作人员高温作业时间，提高了产品质量，解决了靶材加热过久铟高温氧化的问题。
本发明提供一种多片拼接靶材绑定方法，所述绑定方法步骤如下：
步骤一：首先把一块平面铝板正反两面平整贴上相同大小的茶色高温胶带；
步骤二：然后把铝板平放,边缘顶靠在90度L形铝板内侧，把单片靶材金属化面朝上放在铝板的最前端,紧靠L形铝板；
步骤三：接着把第2片靶材紧挨着第一片靶材，并顶靠着L形铝板用相同方法放下；
步骤四：照上述做法依次放10片相同规格靶材；
步骤五：10片靶材拼接起来有9条缝隙，缝隙从靶材一端到另一端依次放入的间隔片。
进一步改进在于：所述步骤四结束后对10片靶材进行推挤，以确保整齐。
进一步改进在于：所述步骤五中的间隔片的尺寸分别为0.2mm、0.07mm、0.05mm、0.03mm、0.02mm、0.03mm、0.05mm、0.07mm、0.2mm。
进一步改进在于：所述靶材间隙为0.1mm到0.3mm之间。
进一步改进在于：所述步骤四中靶材的数量可根据靶材图纸改变。
进一步改进在于：所述间隙依据实际情况而放不同尺寸。
本发明的有益效果是：针对传统平面溅射靶材绑定技术的操作缓慢和长时间高温操作而改进.现采用多片靶材一次性拼接绑定，将打破传统的绑定技术，有效提高了绑定的效率和靶材贴合度的一致性.大幅缩短了工作人员高温作业时间，提高了产品质量。
具体实施方式
为了加深对本发明的理解，下面将结合实施例对本发明作进一步详述，该实施例仅用于解释本发明，并不构成对本发明保护范围的限定。
本实施例提供了一种多片拼接靶材绑定方法，所述绑定方法步骤如下：
步骤一：首先把一块平面铝板正反两面平整贴上相同大小的茶色高温胶带；
步骤二：然后把铝板平放,边缘顶靠在90度L形铝板内侧，把单片靶材金属化面朝上放在铝板的最前端,紧靠L形铝板；
步骤三：接着把第2片靶材紧挨着第一片靶材，并顶靠着L形铝板用相同方法放下；
步骤四：照上述做法依次放10片相同规格靶材；
步骤五：10片靶材拼接起来有9条缝隙，缝隙从靶材一端到另一端依次放入的间隔片。所述步骤四结束后对10片靶材进行推挤，以确保整齐。所述步骤五中的间隔片的尺寸分别为0.2mm、0.07mm、0.05mm、0.03mm、0.02mm、0.03mm、0.05mm、0.07mm、0.2mm。所述靶材间隙为0.1mm到0.3mm之间。针对传统平面溅射靶材绑定技术的操作缓慢和长时间高温操作而改进.现采用多片靶材一次性拼接绑定，将打破传统的绑定技术，有效提高了绑定的效率和靶材贴合度的一致性.大幅缩短了工作人员高温作业时间，提高了产品质量。

Claims (4)

1.一种多片拼接靶材绑定方法，其特征在于：所述绑定方法步骤如下：
步骤一：首先把一块平面铝板正反两面平整贴上相同大小的茶色高温胶带；
步骤二：然后把铝板平放,边缘顶靠在90度L形铝板内侧，把单片靶材金属化面朝上放在铝板的最前端,紧靠L形铝板；
步骤三：接着把第2片靶材紧挨着第一片靶材，并顶靠着L形铝板用相同方法放下；
步骤四：照上述做法依次放10片相同规格靶材；
步骤五：10片靶材拼接起来有9条缝隙，缝隙从靶材一端到另一端依次放入的间隔片。
2.如权利要求1所述的多片拼接靶材绑定方法，其特征在于：所述步骤四结束后对10片靶材进行推挤，以确保整齐。
3.如权利要求1所述的多片拼接靶材绑定方法，其特征在于：所述步骤五中的间隔片的尺寸分别为0.2mm、0.07mm、0.05mm、0.03mm、0.02mm、0.03mm、0.05mm、0.07mm、0.2mm。
4.如权利要求1所述的多片拼接靶材绑定方法，其特征在于：所述靶材间隙为0.1mm到0.3mm之间。
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