CN106290376B - 微观缺陷检测装置及其控制方法、显微镜 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种微观缺陷检测装置及其控制方法、显微镜，属于显示技术领域。所述微观缺陷检测装置包括：检测组件和标记组件，所述检测组件和所述标记组件均设置在显微镜上，所述检测组件用于检测被测对象上存在微观缺陷的第一区域；所述标记组件用于在所述检测组件检测到所述第一区域后，采用第一标记印章标记所述第一区域中的微观缺陷。本发明解决了现有技术中微观缺陷检测装置的功能较单一的问题，实现了丰富了微观缺陷检测装置的功能的效果，用于检测微观缺陷。

Description

微观缺陷检测装置及其控制方法、显微镜

技术领域

本发明涉及显示技术领域，特别涉及一种微观缺陷检测装置及其控制方法、显微镜。

背景技术

在薄膜晶体管(英文：Thin Film Transistor；简称：TFT)领域中，显微镜是使用非常普遍的设备。在分析被测对象(如显示面板)的不良时，可以使用显微镜观察被测对象的微观形貌，检测被测对象上存在微观缺陷(如显示面板的不良点)的区域，然后标记该区域中的微观缺陷，进行微观分析等。

现有技术中有一种微观缺陷检测装置，在使用该装置检测被测对象上存在微观缺陷的区域后，采用人工标记的方式标记该区域中的微观缺陷，具体的，工作人员用记号笔在被测对象的表面画圈，使该微观缺陷位于工作人员所画的圈内。由于显微镜的存在，工作人员每次都是斜视微观缺陷，完成微观缺陷的标记过程。

由于在使用该装置检测被测对象上存在微观缺陷的区域后，需要采用人工标记的方式对该微观缺陷进行标记，因此，微观缺陷检测装置的功能较单一。

发明内容

为了解决现有技术中微观缺陷检测装置的功能较单一的问题，本发明提供了一种微观缺陷检测装置及其控制方法、显微镜。所述技术方案如下：

第一方面，提供了一种微观缺陷检测装置，所述微观缺陷检测装置包括：检测组件和标记组件，所述检测组件和所述标记组件均设置在显微镜上，

所述检测组件用于检测被测对象上存在微观缺陷的第一区域；

所述标记组件用于在所述检测组件检测到所述第一区域后，采用第一标记印章标记所述第一区域中的微观缺陷。

可选的，所述标记组件还用于在所述检测组件检测到所述第一区域后，在所述第一区域内确定所述被测对象上存在所述微观缺陷的第二区域，所述第二区域的面积小于所述第一区域的面积；

所述标记组件还用于在检测到所述第二区域后，采用第二标记印章标记所述第二区域中的微观缺陷。

可选的，所述标记组件包括依次连接的压力感测部件、驱动部件和标记部件，

所述标记部件用于在所述驱动部件的推力作用下，与所述被测对象的表面接触，并产生所述第一标记印章；

所述压力感测部件用于在检测到所述标记组件受到的压力达到预设压力值时，向所述驱动部件发送提示信号，以便于所述驱动部件根据所述提示信号带动所述标记组件远离所述被测对象，所述提示信号用于指示所述驱动部件控制所述标记组件远离所述被测对象。

可选的，所述驱动部件包括：控制单元、推动杆、弹性元件和推动元件，

所述推动元件设置在所述标记部件远离所述被测对象的一端，所述弹性元件设置在所述压力感测部件和所述推动元件之间，所述控制单元与所述推动杆电连接，所述推动杆与所述压力感测部件接触，所述控制单元用于控制所述推动杆靠近或远离所述被测对象，带动所述标记组件靠近或远离所述被测对象。

可选的，所述压力感测部件、所述弹性元件、所述推动元件和所述标记部件均呈圆环状，所述标记组件还包括定位部件，

所述定位部件贯穿设置在所述压力感测部件、所述弹性元件、所述推动元件和所述标记部件的中空区域，所述定位部件用于在所述检测组件检测到所述第一区域后，在所述第一区域内确定所述被测对象上存在所述微观缺陷的第二区域。

可选的，所述标记组件的长度方向与承载所述被测对象的承载台的台面垂直。

可选的，所述第一标记印章和所述第二标记印章均包括第一印章，所述第一印章呈圆形，所述微观缺陷位于所述第一印章内，所述第一印章为人眼可识别的印章。

可选的，所述第一标记印章和所述第二标记印章还包括第二印章，所述第二印章呈圆形，所述第二印章位于所述第一印章内，所述第二印章为人眼不可识别的印章。

可选的，所述压力感测部件还用于在检测到所述标记组件受到的压力达到所述预设压力值时，发出告警信号，所述告警信号用于指示所述标记组件受到的压力达到所述预设压力值。

可选的，所述检测组件为第一倍率的物镜；

所述定位部件为第二倍率的物镜，所述第二倍率大于所述第一倍率。

可选的，所述标记部件包括储油机构和印章机构，所述储油机构位于所述推动元件和所述印章机构之间，所述印章机构用于在受到压力后，挤压所述储油机构出油，以产生所述第一标记印章或所述第二标记印章。

可选的，所述压力感测部件为压力传感器；

所述弹性元件为弹簧；

所述推动元件为活塞。

可选的，所述储油机构为储油垫；

所述印章机构为光敏垫。

第二方面，提供了一种微观缺陷检测装置的控制方法，所述微观缺陷检测装置包括：检测组件和标记组件，所述检测组件和所述标记组件均设置在显微镜上，所述方法包括：

采用所述检测组件检测被测对象上存在微观缺陷的第一区域；

控制所述标记组件采用第一标记印章标记所述第一区域中的微观缺陷。

可选的，在所述采用所述检测组件检测被测对象上存在微观缺陷的第一区域之后，所述方法还包括：

采用所述标记组件在所述第一区域内确定所述被测对象上存在所述微观缺陷的第二区域，所述第二区域的面积小于所述第一区域的面积；

控制所述标记组件采用第二标记印章标记所述第二区域中的微观缺陷。

可选的，所述标记组件包括依次连接的压力感测部件、驱动部件和标记部件，

所述控制所述标记组件采用第一标记印章标记所述第一区域中的微观缺陷，包括：

控制所述驱动部件推动所述标记部件，以使所述标记部件在所述驱动部件的推力作用下，与所述被测对象的表面接触，并产生所述第一标记印章；

采用所述压力感测部件检测所述标记组件受到的压力；

其中，当所述压力达到预设压力值时，所述压力感测部件能够向所述驱动部件发送提示信号，所述驱动部件根据所述提示信号带动所述标记组件远离所述被测对象，所述提示信号用于指示所述驱动部件控制所述标记组件远离所述被测对象。

可选的，所述驱动部件包括：控制单元、推动杆、弹性元件和推动元件，所述推动元件设置在所述标记部件远离所述被测对象的一端，所述弹性元件设置在所述压力感测部件和所述推动元件之间，所述控制单元与所述推动杆电连接，所述推动杆与所述压力感测部件接触，

所述控制所述驱动部件推动所述标记部件，包括：

通过所述控制单元控制所述推动杆靠近所述被测对象，以推动所述标记部件；

所述驱动部件根据所述提示信号带动所述标记组件远离所述被测对象，包括：

所述控制单元根据所述提示信号，操纵所述推动杆远离所述被测对象，以带动所述标记组件远离所述被测对象。

可选的，所述压力感测部件、所述弹性元件、所述推动元件和所述标记部件均呈圆环状，所述标记组件还包括定位部件，所述定位部件贯穿设置在所述压力感测部件、所述弹性元件、所述推动元件和所述标记部件的中空区域，

所述采用所述标记组件在所述第一区域内确定所述被测对象上存在所述微观缺陷的第二区域，包括：

采用所述定位部件在所述第一区域内确定所述被测对象上存在所述微观缺陷的第二区域。

第三方面，提供了一种显微镜，包括：第一方面所述的微观缺陷检测装置。

本发明提供了一种微观缺陷检测装置及其控制方法、显微镜，该微观缺陷检测装置包括：检测组件和标记组件，通过检测组件能够检测被测对象上存在微观缺陷的第一区域，通过标记组件能够在检测组件检测到第一区域后，采用第一标记印章标记第一区域中的微观缺陷，微观缺陷检测装置不仅能够检测存在微观缺陷的区域，还能够对该微观缺陷进行标记，相较于现有技术，丰富了微观缺陷检测装置的功能。

应当理解的是，以上的一般描述和后文的细节描述仅是示例性和解释性的，并不能限制本发明。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1-1是本发明实施例提供的一种微观缺陷检测装置的结构示意图；

图1-2是本发明实施例提供的一种标记组件的结构示意图；

图1-3是本发明实施例提供的一种又一种标记组件的结构示意图；

图2-1是本发明实施例提供的另一种标记组件的结构示意图；

图2-2是本发明实施例提供的一种第一标记印章的示意图；

图3-1是本发明实施例提供的一种微观缺陷检测装置的控制方法的流程图；

图3-2是本发明实施例提供的一种控制标记组件采用第一标记印章标记第一区域中的微观缺陷的流程图。

通过上述附图，已示出本发明明确的实施例，后文中将有更详细的描述。这些附图和文字描述并不是为了通过任何方式限制本发明构思的范围，而是通过参考特定实施例为本领域技术人员说明本发明的概念。

具体实施方式

为使本发明的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图对本发明实施方式作进一步地详细描述。

本发明实施例提供了一种微观缺陷检测装置100，如图1-1所示，该微观缺陷检测装置100包括：检测组件110和标记组件120，检测组件110和标记组件120均设置在显微镜130上。

检测组件110用于检测被测对象上存在微观缺陷的第一区域。示例的，被测对象可以为显示面板。

标记组件120用于在检测组件110检测到第一区域后，采用第一标记印章标记第一区域中的微观缺陷。

综上所述，本发明实施例提供的微观缺陷检测装置，该微观缺陷检测装置包括：检测组件和标记组件，通过检测组件能够检测被测对象上存在微观缺陷的第一区域，通过标记组件能够在检测组件检测到第一区域后，采用第一标记印章标记第一区域中的微观缺陷，微观缺陷检测装置不仅能够检测存在微观缺陷的区域，还能够对该微观缺陷进行标记，相较于现有技术，丰富了微观缺陷检测装置的功能。

进一步的，标记组件还用于在检测组件检测到第一区域后，在第一区域内确定被测对象上存在微观缺陷的第二区域。该第二区域的面积小于第一区域的面积。

标记组件还用于在检测到第二区域后，采用第二标记印章标记第二区域中的微观缺陷。如先采用低倍率物镜检测第一区域，再切换到高倍率物镜如50倍物镜确定面积小于第一区域的第二区域，进而采用第二标记印章标记第二区域中的微观缺陷。这样一来，提高了微观缺陷的标记精度。

可选的，如图1-2所示，标记组件包括依次连接的压力感测部件121、驱动部件122和标记部件123。

标记部件123用于在驱动部件122的推力作用下，与被测对象140的表面接触，并产生第一标记印章(图1-2中未画出)。采用该标记组件标记微观缺陷的速度较快，提高了整个标记工作的效率，且该第一标记印章的形式统一，便于二次查找。

压力感测部件121用于在检测到标记组件受到的压力达到预设压力值时，向驱动部件122发送提示信号，以便于驱动部件122根据提示信号带动标记组件远离被测对象140。该提示信号用于指示驱动部件122控制标记组件远离被测对象140。驱动部件能够控制标记组件远离被测对象，避免了被测对象因受到过大压力而损坏。

可选的，压力感测部件可以为压力传感器。

可选的，如图1-3所示，驱动部件122包括：控制单元(图1-3中未画出)、推动杆1222、弹性元件1223和推动元件1224。

推动元件1224设置在标记部件123远离被测对象的一端。可选的，推动元件为活塞。

弹性元件1223设置在压力感测部件121和推动元件1224之间。可选的，弹性元件为弹簧。

控制单元与推动杆1222电连接，推动杆1222与压力感测部件121接触。控制单元用于控制推动杆1222靠近或远离被测对象，带动标记组件120靠近或远离被测对象。该控制单元能够控制推动杆沿着Z轴反方向(如图1-3中z所指示的方向)靠近被测对象，带动标记组件沿着Z轴反方向靠近被测对象，也能够控制推动杆沿着Z轴正方向(如图1-3中z所指示方向的反方向)远离被测对象，带动标记组件沿着Z轴正方向远离被测对象。

可选的，如图2-1所示，压力感测部件121、弹性元件1223、推动元件1224和标记部件123均呈圆环状，标记组件还可以包括定位部件124。

定位部件124贯穿设置在压力感测部件121、弹性元件1223、推动元件1224和标记部件123的中空区域。

定位部件124用于在检测组件检测到第一区域后，在第一区域内确定被测对象上存在微观缺陷的第二区域。可选的，检测组件可以为第一倍率的物镜；定位部件可以为第二倍率的物镜，第二倍率大于第一倍率。如可以先采用低倍率物镜(如5倍物镜)检测第一区域，再切换到高倍率物镜如50倍物镜确定面积小于第一区域的第二区域。

相应的，标记组件用于在定位部件124检测到第二区域后，采用第二标记印章标记第二区域中的微观缺陷。如先采用低倍率物镜检测第一区域，再切换到高倍率物镜如50倍物镜确定面积小于第一区域的第二区域，进而采用第二标记印章标记第二区域中的微观缺陷。这样一来，提高了微观缺陷的标记精度。同时，采用该标记组件标记微观缺陷的速度较快，提高了整个标记工作的效率，且该第二标记印章的形式统一，便于二次查找。

可选的，标记组件的长度方向与承载被测对象的承载台的台面垂直。由于现有技术中，工作人员每次都是斜视微观缺陷以完成微观缺陷的标记过程，而本发明实施例中的标记组件的长度方向与承载被测对象的承载台的台面垂直，因此可以进一步提高微观缺陷的标记精度。

如图1-3所示，标记部件123包括储油机构1231和印章机构1232，储油机构1231位于推动元件1224和印章机构1232之间，印章机构1232用于在受到压力后，挤压储油机构1231出油，以产生第一标记印章或第二标记印章。示例的，储油机构可以为储油垫；印章机构可以为光敏垫。需要说明的是，图2-1中的1231为储油机构，1232为印章机构。

可选的，第一标记印章和第二标记印章均包括第一印章，第一印章呈圆形，微观缺陷位于第一印章内，第一印章为人眼可识别的印章。第一印章为人眼可识别的印章，所以后续工作人员可以通过第一印章很好地识别微观缺陷。

可选的，第一标记印章和第二标记印章还包括第二印章，第二印章呈圆形，第二印章位于第一印章内，第二印章为人眼不可识别的印章。第二印章为人眼不可识别的印章，所以后续工作人员可以通过第二印章对微观缺陷进行微观分析。示例的，图2-2示出了包括第一印章1411和第二印章1412的第一标记印章141的示意图，图2-2中，121为压力感测部件，1223为弹性元件，1224为推动元件，1231为储油机构，1232为印章机构，140为被测对象。

可选的，压力感测部件还用于在检测到标记组件受到的压力达到预设压力值时，发出告警信号。该告警信号用于指示标记组件受到的压力达到预设压力值。压力感测部件及时发出报警信号，这样一来，避免了被测对象因受到过大压力而损坏。

综上所述，本发明实施例提供的微观缺陷检测装置，该微观缺陷检测装置包括：检测组件和标记组件，通过检测组件能够检测被测对象上存在微观缺陷的第一区域，通过标记组件能够在检测组件检测到第一区域后，采用第一标记印章标记第一区域中的微观缺陷，所以该微观缺陷检测装置不仅能够检测存在微观缺陷的区域，还能够对该微观缺陷进行标记，相较于现有技术，丰富了微观缺陷检测装置的功能，且标记速度较快，标记的精度较高，标记的形式较统一，便于二次查找。

本发明实施例提供了一种微观缺陷检测装置的控制方法，如图1-1所示，该微观缺陷检测装置100包括：检测组件110和标记组件120，检测组件110和标记组件120均设置在显微镜130上，如图3-1所示，该方法可以包括：

步骤301、采用检测组件检测被测对象上存在微观缺陷的第一区域。

步骤302、控制标记组件采用第一标记印章标记第一区域中的微观缺陷。

综上所述，本发明实施例提供的微观缺陷检测装置的控制方法，通过该方法，能够采用检测组件检测被测对象上存在微观缺陷的第一区域，再控制标记组件采用第一标记印章标记第一区域中的微观缺陷，使得微观缺陷检测装置不仅能够检测存在微观缺陷的区域，还能够对该微观缺陷进行标记，相较于现有技术，丰富了微观缺陷检测装置的功能。

进一步的，在步骤301之后，该方法还可以包括：

采用标记组件在第一区域内确定被测对象上存在微观缺陷的第二区域，该第二区域的面积小于第一区域的面积；

控制标记组件采用第二标记印章标记第二区域中的微观缺陷。

可选的，如图1-2所示，标记组件包括依次连接的压力感测部件121、驱动部件122和标记部件123。具体的，如图3-2所示，步骤302可以包括：

步骤3021、控制驱动部件推动标记部件，以使标记部件在驱动部件的推力作用下，与被测对象的表面接触，并产生第一标记印章。

如图1-2所示，通过该方法，可以控制驱动部件122推动标记部件123，以使标记部件123在驱动部件122的推力作用下，与被测对象140的表面接触，并产生第一标记印章。通过该方法，采用该标记组件标记微观缺陷的速度较快，提高了整个标记工作的效率，且标记部件产生的第一标记印章的形式统一，便于二次查找。

步骤3022、采用压力感测部件检测标记组件受到的压力。

如图1-2所示，采用压力感测部件121检测标记组件受到的压力。

其中，当压力达到预设压力值时，如图1-2所示，压力感测部件121能够向驱动部件122发送提示信号，驱动部件122根据该提示信号带动标记组件远离被测对象140，该提示信号用于指示驱动部件122控制标记组件远离被测对象140。

如图1-3所示，驱动部件122包括：控制单元、推动杆1222、弹性元件1223和推动元件1224。其中，推动元件1224设置在标记部件123远离被测对象的一端。弹性元件1223设置在压力感测部件121和推动元件1224之间。控制单元与推动杆1222电连接，推动杆1222与压力感测部件121接触。具体的，步骤3021可以包括：通过控制单元控制推动杆1222靠近被测对象，以推动标记部件123。控制单元控制推动杆1222靠近被测对象，通过压力感测部件121、弹性元件1223和推动元件1224推动标记部件123，使得标记部件123与被测对象的表面接触，并产生第一标记印章。

其中，驱动部件根据提示信号带动标记组件远离被测对象，可以包括：

控制单元根据提示信号，操纵推动杆远离被测对象，以带动标记组件远离被测对象，标记过程完成。

如图2-1所示，压力感测部件121、弹性元件1223、推动元件1224和标记部件123均呈圆环状，标记组件还包括定位部件124。定位部件124贯穿设置在压力感测部件121、弹性元件1223、推动元件1224和标记部件123的中空区域。相应的，采用标记组件在第一区域内确定被测对象上存在微观缺陷的第二区域，包括：

采用定位部件在第一区域内确定被测对象上存在微观缺陷的第二区域。

可选的，检测组件可以为第一倍率的物镜；定位部件可以为第二倍率的物镜，第二倍率大于第一倍率。如先采用低倍率物镜检测第一区域，再切换到高倍率物镜如50倍物镜确定面积小于第一区域的第二区域，进而控制标记组件采用第二标记印章标记第二区域中的微观缺陷。该方法提高了微观缺陷的标记精度。同时，标记微观缺陷的速度较快，提高了整个标记工作的效率，且产生的第二标记印章的形式统一，便于二次查找。

综上所述，本发明实施例提供的微观缺陷检测装置的控制方法，通过该方法，能够采用检测组件检测被测对象上存在微观缺陷的第一区域，再控制标记组件采用第一标记印章标记第一区域中的微观缺陷，使得微观缺陷检测装置不仅能够检测存在微观缺陷的区域，还能够对该微观缺陷进行标记，相较于现有技术，丰富了微观缺陷检测装置的功能，且标记速度较快，标记的精度较高，标记的形式较统一，便于二次查找。

本发明实施例还提供了一种显微镜，包括图1-1所示的微观缺陷检测装置。

以上所述仅为本发明的较佳实施例，并不用以限制本发明，凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。

Claims (16)

1.一种微观缺陷检测装置，其特征在于，所述微观缺陷检测装置包括：检测组件和标记组件，所述检测组件和所述标记组件均设置在显微镜上；

所述检测组件用于检测被测对象上存在微观缺陷的第一区域；

所述标记组件用于在所述检测组件检测到所述第一区域后，采用第一标记印章标记所述第一区域中的微观缺陷；

所述标记组件还用于在所述检测组件检测到所述第一区域后，在所述第一区域内确定所述被测对象上存在所述微观缺陷的第二区域，所述第二区域的面积小于所述第一区域的面积；

所述标记组件还用于在检测到所述第二区域后，采用第二标记印章标记所述第二区域中的微观缺陷；

所述检测组件包括具有第一倍率的物镜，所述标记组件包括具有第二倍率的物镜，所述第二倍率大于所述第一倍率。

2.根据权利要求1所述的微观缺陷检测装置，其特征在于，所述标记组件包括依次连接的压力感测部件、驱动部件和标记部件，所述标记部件用于在所述驱动部件的推力作用下，与所述被测对象的表面接触，并产生所述第一标记印章；

所述压力感测部件用于在检测到所述标记组件受到的压力达到预设压力值时，向所述驱动部件发送提示信号，以便于所述驱动部件根据所述提示信号带动所述标记组件远离所述被测对象，所述提示信号用于指示所述驱动部件控制所述标记组件远离所述被测对象。

3.根据权利要求2所述的微观缺陷检测装置，其特征在于，所述驱动部件包括：控制单元、推动杆、弹性元件和推动元件；

所述推动元件设置在所述标记部件远离所述被测对象的一端，所述弹性元件设置在所述压力感测部件和所述推动元件之间，所述控制单元与所述推动杆电连接，所述推动杆与所述压力感测部件接触，所述控制单元用于控制所述推动杆靠近或远离所述被测对象，带动所述标记组件靠近或远离所述被测对象。

4.根据权利要求3所述的微观缺陷检测装置，其特征在于，所述压力感测部件、所述弹性元件、所述推动元件和所述标记部件均呈圆环状，所述标记组件还包括定位部件；

所述定位部件贯穿设置在所述压力感测部件、所述弹性元件、所述推动元件和所述标记部件的中空区域，所述定位部件用于在所述检测组件检测到所述第一区域后，在所述第一区域内确定所述被测对象上存在所述微观缺陷的第二区域。

5.根据权利要求1所述的微观缺陷检测装置，其特征在于，

所述标记组件的长度方向与承载所述被测对象的承载台的台面垂直。

6.根据权利要求1所述的微观缺陷检测装置，其特征在于，

所述第一标记印章和所述第二标记印章均包括第一印章，所述第一印章呈圆形，所述微观缺陷位于所述第一印章内，所述第一印章为人眼可识别的印章。

7.根据权利要求6所述的微观缺陷检测装置，其特征在于，

所述第一标记印章和所述第二标记印章还包括第二印章，所述第二印章呈圆形，所述第二印章位于所述第一印章内，所述第二印章为人眼不可识别的印章。

8.根据权利要求2所述的微观缺陷检测装置，其特征在于，

所述压力感测部件还用于在检测到所述标记组件受到的压力达到所述预设压力值时，发出告警信号，所述告警信号用于指示所述标记组件受到的压力达到所述预设压力值。

9.根据权利要求3所述的微观缺陷检测装置，其特征在于，

所述标记部件包括储油机构和印章机构，所述储油机构位于所述推动元件和所述印章机构之间，所述印章机构用于在受到压力后，挤压所述储油机构出油，以产生所述第一标记印章或所述第二标记印章。

10.根据权利要求3所述的微观缺陷检测装置，其特征在于，

所述压力感测部件为压力传感器；

所述弹性元件为弹簧；

所述推动元件为活塞。

11.根据权利要求9所述的微观缺陷检测装置，其特征在于，

所述储油机构为储油垫；

所述印章机构为光敏垫。

12.一种微观缺陷检测装置的控制方法，其特征在于，所述微观缺陷检测装置包括：检测组件和标记组件，所述检测组件和所述标记组件均设置在显微镜上，所述方法包括：

采用所述检测组件检测被测对象上存在微观缺陷的第一区域；

控制所述标记组件采用第一标记印章标记所述第一区域中的微观缺陷；

采用所述标记组件在所述第一区域内确定所述被测对象上存在所述微观缺陷的第二区域，所述第二区域的面积小于所述第一区域的面积；

控制所述标记组件采用第二标记印章标记所述第二区域中的微观缺陷；

所述检测组件包括具有第一倍率的物镜，所述标记组件包括具有第二倍率的物镜，所述第二倍率大于所述第一倍率。

13.根据权利要求12所述的方法，其特征在于，所述标记组件包括依次连接的压力感测部件、驱动部件和标记部件，

所述控制所述标记组件采用第一标记印章标记所述第一区域中的微观缺陷，包括：

控制所述驱动部件推动所述标记部件，以使所述标记部件在所述驱动部件的推力作用下，与所述被测对象的表面接触，并产生所述第一标记印章；

采用所述压力感测部件检测所述标记组件受到的压力；

其中，当所述压力达到预设压力值时，所述压力感测部件能够向所述驱动部件发送提示信号，所述驱动部件根据所述提示信号带动所述标记组件远离所述被测对象，所述提示信号用于指示所述驱动部件控制所述标记组件远离所述被测对象。

14.根据权利要求13所述的方法，其特征在于，所述驱动部件包括：控制单元、推动杆、弹性元件和推动元件，所述推动元件设置在所述标记部件远离所述被测对象的一端，所述弹性元件设置在所述压力感测部件和所述推动元件之间，所述控制单元与所述推动杆电连接，所述推动杆与所述压力感测部件接触，

所述控制所述驱动部件推动所述标记部件，包括：

通过所述控制单元控制所述推动杆靠近所述被测对象，以推动所述标记部件；

所述驱动部件根据所述提示信号带动所述标记组件远离所述被测对象，包括：

所述控制单元根据所述提示信号，操纵所述推动杆远离所述被测对象，以带动所述标记组件远离所述被测对象。

15.根据权利要求14所述的方法，其特征在于，所述压力感测部件、所述弹性元件、所述推动元件和所述标记部件均呈圆环状，所述标记组件还包括定位部件，所述定位部件贯穿设置在所述压力感测部件、所述弹性元件、所述推动元件和所述标记部件的中空区域，

所述采用所述标记组件在所述第一区域内确定所述被测对象上存在所述微观缺陷的第二区域，包括：

采用所述定位部件在所述第一区域内确定所述被测对象上存在所述微观缺陷的第二区域。

16.一种显微镜，其特征在于，包括：权利要求1至11任一所述的微观缺陷检测装置。