CN106289935B - 管路式气体动态稀释混匀装置及方法 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种管路式气体动态稀释混匀装置及方法，装置包括主体、气路接头和气管，主体包括主气路端、次气路端和混气路端，主气路端包括主气路接口和主气路通道，次气路端包括次气路接口、次气路通道、变径缓冲腔和直管，混气路端包括混气路接口、混气路通道和混气腔；气路接头包括主气路接头、次气路接头和混气路接头，气管包括主气路气管、次气路气管和混气路气管。方法是采用上述管路式气体动态稀释混匀装置进行待稀释气体的动态稀释混匀并得到预定浓度的标准气体。本发明实现了大配比气体的快速均匀混合且具有较好的稳定性，装置结构简单，配气成本低且效果显著；同时，在低配比气路稀释混合场合，同样能保证混合速度和响应速度。

Description

管路式气体动态稀释混匀装置及方法

技术领域

本发明涉及气体混合技术领域，更具体地讲，涉及一种管路式气体动态稀释混匀装置，特别适用于ppbv级及以下超低浓度二氧化氮、二氧化硫等腐蚀性气体且易在管路内壁产生物理吸附的气体配制场合。

背景技术

在气体检测领域研究中，经常涉及标气配制以用于检测设备的标定。在一些标气浓度较低的场合，需要将较高浓度的标准气源稀释较多倍数才能满足使用的需求。比如，在二氧化氮检测领域，需要配制ppbv级二氧化氮标准气体用于大气二氧化氮在线监测设备的标定。市面上能保证浓度精度的标准气瓶气源，浓度一般在10ppmv以上。这意味着需要对标气稀释10倍～10000倍才能得到ppbv级范围的二氧化氮标准气体。由于二氧化氮非常容易在管路表面产生物理吸附作用，传统的多级混合装置和混合方式势必造成二氧化氮配气精度降低，且稳定性差。

在单级混合场合，目前大多采用T型或Y型结构的三通装置来完成气体的动态混合。当稀释气气路和标准气气路的气体流量比相差不大的情形下，这种方式可以较好的达到气体混合的作用。但是，当稀释气的流量远高于标准气的流量时，比如稀释气与标准气流量比达到1000:1时，稀释气的气流在气路混合点会对标准气的气流产生较大阻力，标准气会以间断性的方式混入稀释气，从而造成配制的标准气体浓度出现周期性的波动，且波动幅度较大。为了配制不同浓度的标准气体，需要改变标准气气路的流量或者稀释气气路的流量，此时需要较长时间才能达到此前的平衡状态，且在达到平衡状态的时间段内，混合气的浓度会出现大幅度的波动。另外，大流量的稀释气也容易反向进入标气气路。这些都影响了气体的混合精度与混合速度，以及气体浓度变化时的响应速度。虽然采用多级稀释的方式可以缓解该问题，但多级稀释的气路更加复杂，配气成本急剧增大，并且在大配比气体混合场合下，有限级数的多级稀释效果并不会得到明显的改善。另外，多级稀释也导致混合速度和响应速度的降低，配气的精度更加难以保证。

发明内容

为了解决现有技术中气体稀释混合领域特别是大配比气体稀释混合领域出现的气体混合困难、响应速度慢、混合精度低的问题，本发明的目的是提供一种能够实现气体的快速、均匀、稳定混合并有效降低管路表面对低浓度气体的物理吸附问题的管路式气体动态稀释混匀装置及方法。

本发明的一方面提供了管路式气体动态稀释混匀装置，所述装置包括主体、气路接头和气管，其中，

所述主体包括主气路端、次气路端和混气路端，主气路端包括主气路接口和主气路通道，次气路端包括次气路接口、次气路通道、变径缓冲腔和直管，混气路端包括混气路接口、混气路通道和混气腔；次气路通道与混气路通道同轴设置并且次气路通道通过依次设置在次气路通道出口端的变径缓冲腔和直管与依次连接的混气腔和混气路通道连通；所述主气路通道包括第一通道段和第二通道段，所述第一通道段设置在主气路接口中并且第一通道段的轴线与所述次气路通道或混气路通道的轴线相交设置，第二通道段与次气路通道或混气路通道同轴设置并且第二通道段的出口端与混气腔的入口端连接，所述直管穿过第二通道段并且所述直管的出口位于所述混气腔的入口处；

所述气路接头包括主气路接头、次气路接头和混气路接头，所述气管包括主气路气管、次气路气管和混气路气管；所述主气路接头与主气路接口连接，主气路气管设置在主气路接头中并通过主气路接头与主气路通道连通；所述次气路接头与次气路接口连接，次气路气管设置在次气路接头中并通过次气路接头与次气路通道连通；所述混气路接头与混气路接口连接，混气路气管设置在混气路接头中并通过混气路接头与混气路通道和混气腔连通。

根据本发明管路式气体动态稀释混匀装置的一个实施例，所述第一通道段的轴线垂直于所述次气路通道或混气路通道的轴线，所述第一通道段与第二通道段互相垂直并且所述第一通道段和第二通道段之间采用圆角连接。

根据本发明管路式气体动态稀释混匀装置的一个实施例，所述变径缓冲腔的入口端直径与次气路通道的内径相同且出口端直径与直管的内径相同，所述直管的内径小于次气路通道的内径。

根据本发明管路式气体动态稀释混匀装置的一个实施例，所述直管与次气路通道或混气路通道同轴设置并且所述直管的出口位于混气腔的中轴线上。

根据本发明管路式气体动态稀释混匀装置的一个实施例，所述混气腔的入口端与主气路通道的出口端连接并且出口端与混气路通道的入口端连接，所述混气腔的入口端直径与出口段直径相同，所述混气腔的内径从入口端开始逐渐扩大至最大内径再逐渐缩小至出口端并形成膨大内腔。

根据本发明管路式气体动态稀释混匀装置的一个实施例，所述混气腔内设置有多孔填充物，所述多孔填充物为PFA滤芯、聚四氟乙烯滤芯或PP超细纤维滤芯；所述混气腔的内表面转折处均采用渐变式圆角设计。

根据本发明管路式气体动态稀释混匀装置的一个实施例，所述气路接头为PP或PVDF材质的JACO卡套接头，所述主气路接头、次气路接头和混气路接头分别通过螺纹与主气路接口、次气路接口和混气路接口连接；所述主气路气管、次气路气管和混气路气管的内径分别与主气路通道、次气路通道和混气路通道的内径相同。

本发明的另一方面提供了一种气体动态稀释混匀方法，采用上述管路式气体动态稀释混匀装置进行待稀释气体的动态稀释混匀并得到预定浓度的标准气体。

根据本发明气体动态稀释混匀方法的一个实施例，所述方法包括以下步骤：

步骤1：将内含高浓度待稀释标准气体的标准气瓶通过减压阀、第一质量流量计和次气路气管连接至安装在次气路端的次气路接头上；

步骤2：将稀释气源通过稳压阀、第二质量流量计和主气路气管连接至安装在主气路端的主气路接头上，在混气路端的混气路接口上连接混气路接头和混气路气管；

步骤3：打开所述标准气瓶的阀门和所述减压阀，通过调节第一质量流量计使高浓度待稀释标准气体以100SCCM以上的流量通过装置5～10分钟；

步骤4：通过所述第一质量流量计和第二质量流量计调节高浓度待稀释标准气体和稀释气的流量，收集混气路气管所排气体得到预定浓度的标准气体，其中，所述预定浓度的标准气体的浓度C_混由下式计算得到：

其中，L_次为次气路中高浓度待稀释标准气体的流量，C_标为高浓度待稀释标准气体的浓度，L_主为主气路中稀释气的流量。

根据本发明气体动态稀释混匀方法的一个实施例，所述稀释气为高纯氮气或高纯零空气。

与现有技术相比，本发明提供的管路式气体动态稀释混匀装置及方法解决了大配比气体稀释混合领域存在的气体混合困难、响应速度慢、混合精度低的问题，实现了大配比气体的快速均匀混合且具有较好的稳定性，装置结构简单，配气成本低且效果显著；同时，在低配比气路稀释混合场合，同样能保证混合速度和响应速度，并且混合均匀、稳定性好。

附图说明

图1示出了根据本发明示例性实施例的管路式气体动态稀释混匀装置的结构原理图。

附图标记说明：

10-主体、11-主气路端、111-主气路接口、112-主气路通道、1121-第一通道段、1122-第二通道段、12-次气路端、121-次气路接口、122-次气路通道、123-变径缓冲腔、124-直管、13-混气路端、131-混气路接口、132-混气路通道、133-混气腔、134-多孔填充物；21-主气路接头、22-次气路接头、23-混气路接头；31-主气路气管、32-次气路气管、33-混气路气管。

具体实施方式

本说明书中公开的所有特征，或公开的所有方法或过程中的步骤，除了互相排斥的特征和/或步骤以外，均可以以任何方式组合。

本说明书(包括任何附加权利要求、摘要和附图)中公开的任一特征，除非特别叙述，均可被其他等效或具有类似目的的替代特征加以替换。即，除非特别叙述，每个特征只是一系列等效或类似特征中的一个例子而已。

下面将先对本发明管路式气体动态稀释混匀装置的结构和原理进行详细的说明。

图1示出了根据本发明示例性实施例的管路式气体动态稀释混匀装置的结构原理图。

如图1所示，根据本发明的示例性实施例，所述管路式气体动态稀释混匀装置括主体10、气路接头和气管，其中，主体10是进行气体动态稀释混匀的主要组件，气路接头和气管用于连接主体10与标准气源或稀释气源，从而能够将标准气体与稀释气通入装置中进行稀释混匀并得到预定浓度的标准气体。

具体地，主体10包括主气路端11、次气路端12和混气路端13，主气路端11包括主气路接口111和主气路通道112，次气路端12包括次气路接口121、次气路通道122、变径缓冲腔123和直管124，混气路端13包括混气路接口131、混气路通道132和混气腔133。其中，主气路端11形成主气路，次气路端12形成次气路，混气路端13形成混合气路；主气路端11与次气路端12分别用于向主气路和次气路中通入稀释气和高浓度标准气体，混气路端13则用于实现主气路与次气路中气体的混合。

次气路通道122与混气路通道132同轴设置并且次气路通道122通过依次设置在次气路通道122出口端的变径缓冲腔123和直管124与依次连接的混气腔133和混气路通道132连通。其中，混气腔133的出口端与混气路通道132的入口端连接。

主气路通道112包括第一通道段1121和第二通道段1122，第一通道段1121设置在主气路接口111中并且第一通道段1121的轴线与次气路通道122或混气路通道132的轴线相交设置；第二通道段1122与次气路通道122或混气路通道132同轴设置并且第二通道段1122的出口端与混气腔133的入口端连接，直管124穿过第二通道段1122并且直管124的出口位于混气腔133的入口处。

优选地，第一通道段1121的轴线垂直于次气路通道122或混气路通道132的轴线。但本发明不限于此，第一通道段1121也可以倾斜地设置。第一通道段1121与第二通道段1122互相垂直并且第一通道段1121和第二通道段1122之间采用圆角连接，以减小主气路的阻力并防止死体积的产生。实际上，主气路通道112是在与次气路通道122的相交处产生变向，由此形成了第一通道段1121和第二通道段1122，直管124优选地位于主气路通道112的第二通道段1122的中央。

本发明装置中的次气路通道122与混气路通道132为同轴设计，次气路通道122的出口端设有变径缓冲腔123和直管124，其中，变径缓冲腔123的入口端直径与次气路通道122的内径相同且出口端直径与直管124的内径相同，从而减小气路压力波动并避免死体积；直管124是细径直管并且直管124的内径小于次气路通道122的内径，这可以增大直管124内的气压，减小直管腔体，提高混合速度和响应速度，同时减小主气路与混气气路中的气流对次气路中气流的影响。优选地，直管124与次气路通道122或混气路通道132同轴设置并且直管124的出口位于混气腔133的中轴线上。

由此，通过次气路端12中的次气路进入的高浓度标准气体能够与通过主气路端11中的主气路进入的稀释气体在混合腔133的入口端处汇合并进入混合腔133中混合。混合时，主气路与次气路中的气流方向相同，均指向混气路端13。而在混合腔混合时采用同向混合方式，混合前主气路中的气体基本处于层流状态，因此在高配比气体稀释混合时可降低主气流在次气路出口端产生的阻力，从而减小主气路大气流对次气路微小气流的阻碍作用。

根据本发明的优选实施例，混气腔133的入口端与主气路通道112的出口端连接并且出口端与混气路通道132的入口端连接，混气腔133的入口端直径与出口段直径相同，混气腔133的内径从入口端开始逐渐扩大至最大内径再逐渐缩小至出口端并形成膨大内腔。由于混合腔133采用膨大内腔设计，则主气路中的气流经主气路进入混合腔133的瞬间，由于腔体内径急剧扩大，会产生文丘里现象，在次气路的直管出口附近空间产生微真空，方便次气路的气体离开次气路进入混气腔并与主气路的气体混合，从而起到进一步降低主气路对次气路的阻碍作用。同时，由于混气腔133入口端的直管出口附近所产生的微真空空间，导致主气路中的主气流和次气路中的次气流在此处产生湍流现象，利于气体的混合。

进一步优选地，混气腔133内还设置有多孔填充物134，多孔填充物134可以为PFA滤芯、聚四氟乙烯滤芯或PP超细纤维滤芯。此时，当主气路与次气路中的气体进入混气腔133后，多孔填充物134的孔隙结构对气流产生分割混乱作用，方便两路气体的混匀。并且，混气腔133的内表面转折处优选地采用渐变式圆角设计，避免混气腔133内部出现死体积，保证混合气体在混气腔133的更新，提高混气的响应速度。

为了方便将上述主体1与气源连接，本发明的装置还包括气路接头和气管，其中，气路接头包括主气路接头21、次气路接头22和混气路接头23，气管包括主气路气管31、次气路气管32和混气路气管33。主气路接头21与主气路接口111连接，主气路气管31设置在主气路接头21中并通过主气路接头21与主气路通道112连通；次气路接头22与次气路接口121连接，次气路气管32设置在次气路接头22中并通过次气路接头22与次气路通道122连通；混气路接头23与混气路接口131连接，混气路气管33设置在混气路接头23中并通过混气路接头23与混气路通道132和混气腔133连通。

其中，气路接头优选为PP或PVDF材质的JACO卡套接头，主气路接头21、次气路接头22和混气路接头23分别通过螺纹与主气路接口111、次气路接口121和混气路接口131连接；主气路气管31、次气路气管32和混气路气管33的内径分别与主气路通道112、次气路通道122和混气路通道132的内径相同，以保证整个气路通道压力稳定、无死体积产生，提高混合精度与稳定性。

接下来对采用上述管路式气体动态稀释混匀装置进行待稀释气体的动态稀释混匀并得到预定浓度的标准气体的气体动态稀释混匀方法进行具体说明。

根据本发明的示例性实施例，所述方法包括以下步骤：

步骤1：将内含高浓度待稀释标准气体的标准气瓶通过减压阀、第一质量流量计和次气路气管连接至安装在次气路端的次气路接头上。其中，标准气瓶和减压阀均可以选用316L不锈钢材质，内表面均进行钝化处理，比如表面钝化处理；减压阀为内部腔体极小的微型双级减压阀，比如美国Restek公司的CGA 660双级减压阀；第一质量流量计为层流式质量流量计，流量计内部腔体均进行镜面抛光和钝化处理；次气路气管可以使用1/8英寸的PFA管。

步骤2：将稀释气源通过稳压阀、第二质量流量计和主气路气管连接至安装在主气路端的主气路接头上，在混气路端的混气路接口上连接混气路接头和混气路气管。其中，主气路气管可以为1/4英寸的PFA管，混气路气管也可以为1/4英寸的PFA管；稀释气可以为高纯氮气或高纯零空气。

步骤3：打开标准气瓶的阀门和减压阀，通过调节第一质量流量计使高浓度待稀释标准气体以100SCCM以上的流量通过装置5～10分钟。

步骤4：通过第一质量流量计和第二质量流量计调节高浓度待稀释标准气体和稀释气的流量，收集混气路气管所排气体得到预定浓度的标准气体，其中，所述预定浓度的标准气体的浓度C_混由下式计算得到：

其中，L_次为次气路中高浓度待稀释标准气体的流量，C_标为高浓度待稀释标准气体的浓度，L_主为主气路中稀释气的流量。

应理解，本发明详述的上述实施方式及以下实施例仅用于说明本发明而不用于限制本发明的范围，本领域的技术人员根据本发明的上述内容作出的一些非本质的改进和调整均属于本发明的保护范围。

下面结合具体实施例对本发明管路式气体动态稀释混匀装置及方法作进一步说明。

实施例1：

将本发明的装置和方法用于产生10ppbv的二氧化氮标准气体。具体步骤如下：

将内含10ppmv二氧化氮的标准气瓶与减压阀和第一质量流量计连接后，用次气路气管连接至本装置次气路接口上的次气路接头中。其中，二氧化氮标准气瓶和减压阀均为选用316L不锈钢材质且内表面均进行钝化处理；减压阀为内部腔体极小的微型双级减压阀，比如美国Restek公司的CGA 660双级减压阀；第一质量流量计为层流式质量流量计，流量计内部腔体均进行镜面抛光和钝化处理；次气路气管使用1/8英寸的PFA管。

将气瓶阀门和减压阀打开后，先通过调节第一质量流量计使标准气体以100SCCM或以上流量通过气路约5分钟，然后再调节至20SCCM的流量用以配制10ppbv的二氧化氮标准气体。

将稀释气源与稳压阀和第二质量流量计连接后，用主气路气管连接至本装置主气路接口上的主气路接头中。其中，稀释气源可以为高纯氮气或高纯零空气，主气路气管为1/4英寸的PFA管。

主气路的流量为20SLM，主气路与次气路的流量配比为1000:1，经过稀释后的二氧化氮标准气体浓度为10ppbv。

本装置材质优选为PFA材质，次气路通道内径为1/8英寸，主气路通道和混气路通道内径均为1/4英寸；次气路中的直管内径为1.0～1.2mm，管壁为0.2mm，次气路直管伸入混合腔的入口约1～3mm；混合腔内多孔填充物为PFA滤芯，混气路接头处接入约1m长的1/4英寸PFA管。混气路端的出口处所排出的气体即为预定浓度10ppbv的二氧化氮标准气体。

实施例2：

将本发明的装置和方法用于产生5ppbv的二氧化氮标准气体。具体步骤如下：

将内含10ppmv二氧化氮的标准气瓶与减压阀和第一质量流量计连接后，用次气路气管连接至本装置次气路接口上的次气路接头中。其中，二氧化氮标准气瓶和减压阀均为选用316L不锈钢材质且内表面均进行钝化处理；减压阀为内部腔体极小的微型双级减压阀，比如美国Restek公司的CGA 660双级减压阀；第一质量流量计为层流式质量流量计，流量计内部腔体均进行镜面抛光和钝化处理；次气路气管使用1/8英寸的PFA管。

将气瓶阀门和减压阀打开后，先通过调节第一质量流量计使标准气体以100SCCM或以上流量通过气路约5分钟，然后再调节至10SCCM的流量用以配制5ppbv的二氧化氮标准气体。

将稀释气源与稳压阀和第二质量流量计连接后，用主气路气管连接至本装置主气路接口上的主气路接头中。其中，稀释气源可以为高纯氮气或高纯零空气，主气路气管为1/4英寸的PFA管。

主气路的流量为20SLM，主气路与次气路的流量配比为2000:1，经过稀释后的二氧化氮标准气体浓度为5ppbv。

本装置材质优选为PFA材质，次气路通道内径为1/8英寸，主气路通道和混气路通道内径均为1/4英寸；次气路中的直管内径为1.0～1.2mm，管壁为0.2mm，次气路直管伸入混合腔的入口约1～3mm；混合腔内多孔填充物为PFA滤芯，混气路接头处接入约1m长的1/4英寸PFA管。混气路端的出口处所排出的气体即为预定浓度5ppbv的二氧化氮标准气体。

综上所述，本发明提供的管路式气体动态稀释混匀装置及方法解决了大配比气体稀释混合领域存在的气体混合困难、响应速度慢、混合精度低的问题，实现了大配比气体的快速均匀混合且具有较好的稳定性，装置结构简单，配气成本低且效果显著；同时，在低配比气路稀释混合场合，同样能保证混合速度和响应速度，并且混合均匀、稳定性好。

本发明并不局限于前述的具体实施方式。本发明扩展到任何在本说明书中披露的新特征或任何新的组合，以及披露的任一新的方法或过程的步骤或任何新的组合。

Claims (10)

1.一种管路式气体动态稀释混匀装置，其特征在于，所述装置包括主体、气路接头和气管，其中，

所述主体包括主气路端、次气路端和混气路端，主气路端包括主气路接口和主气路通道，次气路端包括次气路接口、次气路通道、变径缓冲腔和直管，混气路端包括混气路接口、混气路通道和混气腔；次气路通道与混气路通道同轴设置并且次气路通道通过依次设置在次气路通道出口端的变径缓冲腔和直管与依次连接的混气腔和混气路通道连通；所述主气路通道包括第一通道段和第二通道段，所述第一通道段设置在主气路接口中并且第一通道段的轴线与所述次气路通道或混气路通道的轴线相交设置，第二通道段与次气路通道或混气路通道同轴设置并且第二通道段的出口端与混气腔的入口端连接，所述直管穿过第二通道段并且所述直管的出口位于所述混气腔的入口处；

所述气路接头包括主气路接头、次气路接头和混气路接头，所述气管包括主气路气管、次气路气管和混气路气管；所述主气路接头与主气路接口连接，主气路气管设置在主气路接头中并通过主气路接头与主气路通道连通；所述次气路接头与次气路接口连接，次气路气管设置在次气路接头中并通过次气路接头与次气路通道连通；所述混气路接头与混气路接口连接，混气路气管设置在混气路接头中并通过混气路接头与混气路通道和混气腔连通。

2.根据权利要求1所述的管路式气体动态稀释混匀装置，其特征在于，所述第一通道段的轴线垂直于所述次气路通道或混气路通道的轴线，所述第一通道段与第二通道段互相垂直并且所述第一通道段和第二通道段之间采用圆角连接。

3.根据权利要求1所述的管路式气体动态稀释混匀装置，其特征在于，所述变径缓冲腔的入口端直径与次气路通道的内径相同且出口端直径与直管的内径相同，所述直管的内径小于次气路通道的内径。

4.根据权利要求1所述的管路式气体动态稀释混匀装置，其特征在于，所述直管与次气路通道或混气路通道同轴设置并且所述直管的出口位于混气腔的中轴线上。

5.根据权利要求1所述的管路式气体动态稀释混匀装置，其特征在于，所述混气腔的入口端与主气路通道的出口端连接并且出口端与混气路通道的入口端连接，所述混气腔的入口端直径与出口段直径相同，所述混气腔的内径从入口端开始逐渐扩大至最大内径再逐渐缩小至出口端并形成膨大内腔。

6.根据权利要求5所述的管路式气体动态稀释混匀装置，其特征在于，所述混气腔内设置有多孔填充物，所述多孔填充物为PFA滤芯、聚四氟乙烯滤芯或PP超细纤维滤芯；所述混气腔的内表面转折处均采用渐变式圆角设计。

7.根据权利要求1所述的管路式气体动态稀释混匀装置，其特征在于，所述气路接头为PP或PVDF材质的JACO卡套接头，所述主气路接头、次气路接头和混气路接头分别通过螺纹与主气路接口、次气路接口和混气路接口连接；所述主气路气管、次气路气管和混气路气管的内径分别与主气路通道、次气路通道和混气路通道的内径相同。

8.一种气体动态稀释混匀方法，其特征在于，采用权利要求1至7中任一项所述管路式气体动态稀释混匀装置进行待稀释气体的动态稀释混匀并得到预定浓度的标准气体。

9.根据权利要求8所述的气体动态稀释混匀方法，其特征在于，所述方法包括以下步骤：

步骤1：将内含高浓度待稀释标准气体的标准气瓶通过减压阀、第一质量流量计和次气路气管连接至安装在次气路端的次气路接头上；

步骤2：将稀释气源通过稳压阀、第二质量流量计和主气路气管连接至安装在主气路端的主气路接头上，在混气路端的混气路接口上连接混气路接头和混气路气管；

步骤3：打开所述标准气瓶的阀门和所述减压阀，通过调节第一质量流量计使高浓度待稀释标准气体以100SCCM以上的流量通过装置5～10分钟；

步骤4：通过所述第一质量流量计和第二质量流量计调节高浓度待稀释标准气体和稀释气的流量，收集混气路气管所排气体得到预定浓度的标准气体，其中，所述预定浓度的标准气体的浓度C_混由下式计算得到：

其中，L_次为次气路中高浓度待稀释标准气体的流量，C_标为高浓度待稀释标准气体的浓度，L_主为主气路中稀释气的流量。

10.根据权利要求9所述的气体动态稀释混匀方法，其特征在于，所述稀释气为高纯氮气或高纯零空气。