CN106153218A - 一种摩擦力测量装置和方法 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种摩擦力测量装置和方法，包括：上吸盘、下吸盘、真空泵和推拉力计。所述上吸盘吸附在待镀膜基板的上表面；所述下吸盘吸附在所述待镀膜基板的下表面；所述真空泵排净所述上吸盘与所述待镀膜基板的上表面之间的空气以及所述下吸盘与所述待镀膜基板的下表面之间的空气；所述推拉力计在所述上吸盘与所述待镀膜基板的上表面之间的空气以及所述下吸盘与所述待镀膜基板的下表面之间的空气被排净时，在外力作用下测量所述待镀膜基板与机械臂之间的摩擦力数值大小。通过摩擦力测量装置既能够准确地得到待镀膜基板与机械臂之间的摩擦力大小，又能够有效保证在测量待镀膜基板与机械臂之间的摩擦力时待镀膜基板不被损坏。

Description

一种摩擦力测量装置和方法

技术领域

本发明涉及半导体技术领域，尤其涉及一种摩擦力测量装置和方法。

背景技术

随着半导体技术的发展，磁控溅射技术逐渐发展成为制备耐磨、耐腐蚀等各种功能性薄膜的重要手段。利用磁控溅射技术制备各种功能性薄膜的设备可以被称为磁控溅射镀膜设备。

在对待镀膜基板进行薄膜制备时，利用机械臂把待镀膜基板运送至镀膜腔室。在运送过程中，需要确保待镀膜基板与机械臂之间的摩擦力满足设定的运送要求，以防止在运送待镀膜基板的过程中待镀膜基板发生偏移，使待镀膜基板在镀膜前被污染或出现破损。

因此，为了确保待镀膜基板与机械臂之间的摩擦力满足设定的运送要求，需要对待镀膜基板与机械臂之间的摩擦力进行测量。

目前，测量摩擦力的方法有推力测量法。

具体地，推力测量法是在待镀膜基板的一端开一个微型口，通过该微型口建立待镀膜基板与推拉力计之间的连接，机械臂通过啮合方式与待镀膜基板的另一端连接，通过向推拉力计施加外力，使机械臂与待镀膜基板之间发生相对滑动，那么此时所施加的外力大小即为需要测量的待镀膜基板和机械臂之间的摩擦力大小，这个摩擦力可以称之为待镀膜基板与机械臂之间的最大静摩擦力。这种方式由于需要在待镀膜基板上形成微型口，在测量过程中很容易使待镀膜基板发生破损。

发明内容

有鉴于此，本发明实施例提供了一种摩擦力测量装置和方法，用于解决现有技术中在测量待镀膜基板与机械臂之间的摩擦力时存在的容易损坏待镀膜基板的问题。

本发明实施例提供了一种摩擦力测量装置，包括：上吸盘、下吸盘、真空泵和推拉力计，其中：

所述上吸盘，用于吸附待镀膜基板的上表面；

所述下吸盘，用于吸附所述待镀膜基板的下表面；

所述真空泵，用于排净所述上吸盘与所述待镀膜基板的上表面之间的空气以及所述下吸盘与所述待镀膜基板的下表面之间的空气；

所述推拉力计，用于在所述上吸盘与所述待镀膜基板的上表面之间的空气以及所述下吸盘与待镀膜基板的下表面之间的空气被排净时，在外力作用下对所述待镀膜基板施加推力或拉力，测量所述待镀膜基板与机械臂之间的摩擦力数值大小。

本发明实施例还提供了一种摩擦力测量方法，包括：

分别将上吸盘、下吸盘吸附在待镀膜基板的表面；

通过真空泵排净所述上吸盘与所述待镀膜基板的上表面之间的空气以及所述下吸盘与所述待镀膜基板的下表面之间的空气；

在所述上吸盘与所述待镀膜基板的上表面之间的空气以及所述下吸盘与所述待镀膜基板的下表面之间的空气被排净时，推拉力计在外力作用下对所述待镀膜基板施加推力或拉力，测量所述待镀膜基板与机械臂之间的摩擦力数值大小。

本发明有益效果如下：

本发明实施例提供了一种摩擦力测量装置和方法，该测量装置包括：上吸盘、下吸盘、真空泵和推拉力计，所述上吸盘，用于吸附待镀膜基板的上表面；所述下吸盘，用于吸附所述待镀膜基板的下表面；所述真空泵，用于排净所述上吸盘与所述待镀膜基板的上表面之间的空气以及所述下吸盘与所述待镀膜基板的下表面之间的空气；所述推拉力计，用于在所述上吸盘与所述待镀膜基板的上表面之间的空气以及所述下吸盘与所述待镀膜基板的下表面之间的空气被排净时，在外力作用下对所述待镀膜基板施加推力或拉力，测量所述待镀膜基板与机械臂之间的摩擦力数值大小。这样，通过摩擦力测量装置既能够准确地得到待镀膜基板与机械臂之间的摩擦力大小，又能够保证待镀膜基板在测量过程中不受到污染，进而有效保证在测量待镀膜基板与机械臂之间的摩擦力时待镀膜基板不被损坏。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例中的技术方案，下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简要介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域的普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动性的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为本发明实施例提供的一种摩擦力测量装置结构示意图；

图2(a)为本发明实施例提供的一种摩擦力测量装置结构示意图；

图2(b)为本发明实施例提供的一种摩擦力测量装置结构示意图；

图3为本发明实施例提供的一种摩擦力测量方法流程示意图。

具体实施方式

在对待镀膜基板与机械臂之间的摩擦力进行测量时，可以采用胶带粘贴拉力测量法进行摩擦力大小的测量。具体地，在待镀膜基板的一端粘贴带孔的胶带，通过胶带上的孔将推拉力计与待镀膜基板连接，机械臂通过啮合方式与待镀膜基板的另一端连接，通过向推拉力计施加外力，使得机械臂与待镀膜基板之间发生相对滑动，那么此时施加的外力大小即为需要测量的待镀膜基板和机械臂之间的最大静摩擦力。但是这种方法由于需要把胶带粘到待镀膜基板上，在测量过程中很容易使待镀膜基板受到污染。

为了实现本发明的目的，本发明实施例提供了一种摩擦力测量装置和方法，通过摩擦力测量装置既能够准确地得到待镀膜基板与机械臂之间的摩擦力大小，又能够保证待镀膜基板在测量过程中不受到污染，进而有效保证在测量待镀膜基板与机械臂之间的摩擦力时待镀膜基板不被损坏。

本发明实施例中所记载的待镀膜基板可以是玻璃基板，还可以是其他基板，这里不做具体限定。

本发明实施例中所记载的机械臂，通过啮合方式与待镀膜基板连接，用于将待镀膜基板运送至镀膜腔室。

下面结合说明书附图对本发明各个实施例作进一步地详细描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部份实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例，都属于本发明保护的范围。

图1为本发明实施例提供的一种摩擦力测量装置的结构示意图。所述摩擦力测量装置包括：上吸盘11、下吸盘12、真空泵13和推拉力计15，其中：

所述上吸盘11，用于吸附待镀膜基板10的上表面；

所述下吸盘12，用于吸附所述待镀膜基板10的下表面；

所述真空泵13，用于排净所述上吸盘11与所述待镀膜基板10的上表面之间的空气以及所述下吸盘12与所述待镀膜基板10的下表面之间的空气；

所述推拉力计15，用于在所述上吸盘与所述待镀膜基板10的上表面之间的空气以及所述下吸盘与待镀膜基板10的下表面之间的空气被排净时，在外力作用下对所述待镀膜基板10施加推力或拉力，测量所述待镀膜基板10与机械臂之间的摩擦力数值大小。

可选地，所述测量装置还包括：吸盘管路14，其中：

所述吸盘管路14，用于将所述真空泵13抽取的所述上吸盘11与所述待镀膜基板10的上表面之间的空气导出，以及将所述真空泵13抽取的所述下吸盘12与所述待镀膜基板10的下表面之间的空气导出。

其中，所述上吸盘11、下吸盘12通过所述吸盘管路14与真空泵13连接，所述真空泵13与所述推拉力计15连接，如图2(a)所示。

具体地，大气环境下，在机械臂通过啮合方式与待镀膜基板10的一端连接后，待镀膜基板10的另一端被放置于上吸盘11与下吸盘12之间，通过抽取上吸盘11与待镀膜基板10上表面的空气，使上吸盘11吸附在待镀膜基板10的上表面；通过抽取下吸盘12与待镀膜基板10下表面的空气，使下吸盘12吸附在待镀膜基板10的下表面。

其中，所述上吸盘11与下吸盘12的表面粗糙，使得所述上吸盘11与待镀膜基板10的上表面之间的吸附力增加，以及所述下吸盘12与待镀膜基板10的下表面之间的吸附力增加。

优选地，所述上吸盘11与所述下吸盘12分别在位于待镀膜基板10边缘10～20厘米的位置吸附待镀膜基板10。

所述真空泵13，用于抽取上吸盘11与待镀膜基板10的上表面之间的空气，以及抽取下吸盘12与待镀膜基板10的下表面之间的空气。

具体地，由于所述上吸盘11、下吸盘12通过所述吸盘管路14与真空泵13连接，那么在启动真空泵13的抽气阀门后，真空泵13可以按照预设的抽气速率持续抽取上吸盘11与待镀膜基板10的上表面之间的空气，和/或可以按照预设的抽气速率持续抽取下吸盘12与待镀膜基板10的下表面之间的空气，直至上吸盘11与下吸盘12能紧密吸附在待镀膜基板10表面。

需要说明的是，真空泵13在抽取上吸盘11与待镀膜基板10的上表面之间的空气时，同步抽取下吸盘12与待镀膜基板10的下表面之间的空气；真空泵13抽取上吸盘11与待镀膜基板10的上表面之间的空气的操作，与真空泵13抽取下吸盘12与待镀膜基板10的下表面之间的空气的操作也可以分开执行，这里不做具体限定。

优选地，所述摩擦力测量装置还包含真空度显示器16，其中：

所述真空度显示器16，用于显示真空泵13抽取上吸盘11与待镀膜基板10的上表面之间空气时上吸盘11与待镀膜基板10的上表面之间的真空度数值，以及真空泵13抽取下吸盘12与待镀膜基板10的下表面之间空气时下吸盘12与待镀膜基板10的下表面之间的真空度数值。

具体地，所述真空度显示器16，用于在所述真空泵13抽取所述上吸盘11与所述待镀膜基板10的上表面之间空气时显示所述上吸盘11与所述待镀膜基板10的上表面之间的真空度数值，以及在所述真空泵13抽取所述下吸盘12与所述待镀膜基板10的下表面之间空气时显示所述下吸盘12与所述待镀膜基板10的下表面之间的真空度数值。

当真空度显示器16显示的真空度数值不发生变化时，说明上吸盘11与待镀膜基板10的上表面之间的吸附力达到最大，以及下吸盘12与待镀膜基板10的下表面之间的吸附力达到最大；当真空度显示器16显示的真空度数值发生变化(例如数值下降)时，说明上吸盘11对待镀膜基板10的上表面的吸附力下降，和/或下吸盘12对待镀膜基板10的下表面的吸附力下降，可以确定上吸盘11与待镀膜基板10的上表面之间发生了相对滑动，和/或下吸盘12与待镀膜基板10的下表面之间发生了相对滑动，此时，需要再次启动真空泵13或者提高真空泵13的抽气速率，使上吸盘11和下吸盘12对待镀膜基板10的吸附力增加。

需要说明的是，真空显示器16中既可以显示上吸盘11与待镀膜基板10的上表面之间的真空度数值，这里称之为第一真空度数值；又可以显示下吸盘12与待镀膜基板10的下表面之间的真空度数值，这里称之为第二真空度数值。若第一真空度数值发生变化，则可以确定上吸盘11对待镀膜基板10的上表面的吸附力下降；若第二真空度数值发生变化，则可以确定下吸盘12对待镀膜基板10的下表面的吸附力下降。

所述吸盘管路14，用于将真空泵13抽取的上吸盘11与待镀膜基板10的上表面之间的空气，以及下吸盘12与待镀膜基板10的下表面之间的空气导出。

具体地，本发明实施例中所记载的吸盘管路14可以作为导气通道，实现上吸盘11、下吸盘12与真空泵13之间的连接。

所述推拉力计15，用于在所述上吸盘11与所述待镀膜基板10的上表面之间的空气以及所述下吸盘12与所述待镀膜基板10下表面之间的空气被排净时，在外力作用下对所述待镀膜基板10施加推力或拉力，测量所述待镀膜基板10与机械臂之间的摩擦力数值大小。

具体地，通过上吸盘11和下吸盘12对待镀膜基板10的吸附作用，推拉力计15在受到外力作用时，将所受外力传递至待镀膜基板10。改变外力的大小，直至机械臂与待镀膜基板10之间发生相对滑动，此时所施加的外力大小即为需要测量的待镀膜基板10和机械臂之间的最大静摩擦力。

所述摩擦力测量设备还包括：摩擦力显示器17，其中：

所述摩擦力显示器17，用于显示推拉力计15所测量得到的摩擦力数值。

具体地，推拉力计15在受到外力作用时，通过上吸盘11和下吸盘12对待镀膜基板10的吸附作用，将所受外力传递至待镀膜基板10。改变外力的大小，直至机械臂与待镀膜基板10之间发生相对滑动，此时摩擦力显示器17上显示的数值即为需要测量的待镀膜基板10与机械臂之间的最大静摩擦力大小。

优选地，本发明实施例中所记载的真空泵13与推拉力计15可以组成一个整体，如图2(b)所示。

优选地，本发明实施例中所记载的真空度显示器16与摩擦力显示器17可以为同一个显示器，显示器上既能够显示真空度数值又能够显示摩擦力数值。

通过本发明实施例中所记载的摩擦力测量装置，该测量装置包括上吸盘、下吸盘、真空泵和推拉力计，所述上吸盘，用于吸附待镀膜基板的上表面；所述下吸盘，用于吸附所述待镀膜基板的下表面；所述真空泵，用于排净所述上吸盘与所述待镀膜基板的上表面之间的空气以及所述下吸盘与所述待镀膜基板的下表面之间的空气；所述推拉力计，用于在所述上吸盘与所述待镀膜基板的上表面之间的空气以及所述下吸盘与所述待镀膜基板的下表面之间的空气被排净时，在外力作用下对所述待镀膜基板施加推力或拉力，测量所述待镀膜基板与机械臂之间的摩擦力数值大小。这样，通过摩擦力测量装置既能够准确地得到待镀膜基板与机械臂之间的摩擦力大小，又能够保证待镀膜基板在测量过程中不受到污染，进而有效保证在测量待镀膜基板与机械臂之间的摩擦力时待镀膜基板不被损坏。

图3为本发明实施例提供的一种摩擦力测量方法的流程图示意图，所述方法可以如下所示。

步骤301：将上、下吸盘吸附在待镀膜基板表面。

在步骤301中，当将上吸盘、下吸盘吸附在待镀膜基板的表面后，可以通过真空泵排净所述上吸盘与所述待镀膜基板的上表面之间的空气以及所述下吸盘与所述待镀膜基板的下表面之间的空气。

具体地，通过真空泵抽取上吸盘与待镀膜基板的上表面之间的空气、以及下吸盘与待镀膜基板的下表面之间的空气，使得上、下吸盘能够紧密吸附在待镀膜基板表面。

其中，真空泵与上、下吸盘由吸盘管路连接。

具体地，大气环境下，在启动真空泵的抽气阀门后，真空泵将按照预设的抽气速率抽取的上吸盘与待镀膜基板的上表面之间的空气和下吸盘与待镀膜基板的下表面之间的空气，吸盘管路作为导气通道，将抽取得到的空气导出，直至上吸盘与待镀膜基板的上表面之间的空气以及下吸盘与待镀膜基板的下表面之间的空气被排净，使得上、下吸盘能紧密吸附在待镀膜基板表面。此时，真空度显示器上能够显示当前上吸盘与待镀膜基板表面之间的真空度数值、当前下吸盘与待镀膜基板表面之间的真空度数值。

需要说明的是，由于真空泵自身的结构、摩擦力测量装置中真空泵和吸盘管路的连接方式、以及吸盘管路与上吸盘、下吸盘的连接方式等因素，当上吸盘、下吸盘吸附于待镀膜基板表面之后，真空泵依旧需要按照预定的抽气速率持续抽取上吸盘、下吸盘与待镀膜基板表面间的空气，以确保真空度显示器上显示的真空度数值不发生变化。

步骤302：向推拉力计施加外力。

在步骤302中，在所述上吸盘与所述待镀膜基板的上表面之间的空气以及所述下吸盘与所述待镀膜基板的下表面之间的空气被排净时，向推拉力计施加外力，通过力的传递性，将所受到的外力传递至待镀膜基板，进而对待镀膜基板施加外力。

其中，外力的方向与测量的摩擦力方向相反。

需要说明的是，在外力作用于推拉力计的过程中，需要对真空度显示器上显示的真空度数值持续监测。如果真空度数值发生变化(如数值下降)，说明上吸盘对待镀膜基板的上表面的吸附力下降，和/或下吸盘对待镀膜基板的下表面的吸附力下降，可以确定上吸盘与待镀膜基板的上表面之间发生了相对滑动，和/或下吸盘与待镀膜基板的下表面之间发生了相对滑动。由于上、下吸盘的表面粗糙，在上吸盘与待镀膜基板，和/或下吸盘与待镀膜基板发生相对滑动时必然对待镀膜基板有所损伤。通过提高真空泵的抽气速率来增大上、下吸盘对待镀膜基板的吸附力，能够有效避免上吸盘与待镀膜基板，和/或下吸盘与待镀膜基板发生相对滑动，减少上、下吸盘对待镀膜基板表面的损伤。

步骤303：推拉力计在外力作用下测量所述待镀膜基板与机械臂之间的摩擦力数值大小。

在步骤303中，推拉力计在外力作用下使待镀膜基板与机械臂间的相对位置发生变化，进而能够测量得到待镀膜基板与机械臂之间的最大静摩擦力。

具体地，在测量最大静摩擦力之前，首先，确定机械臂和待镀膜基板的位置。其次，按照步骤302中保持上、下吸盘与待镀膜基板表面间的真空度数值不变的前提下，不断改变外力的大小，在外力发生变化时确定待镀膜基板与机械臂的第一相对位置，此时比较第一相对位置与施加外力之前待镀膜基板与机械臂的第二相对位置，确定待镀膜基板与机械臂之间是否发生相对滑动。

若第一相对位置与第二相对位置不同，则确定待镀膜基板与机械臂之间发生相对滑动，那么此时摩擦力显示器上显示的数值大小即为要测量的待镀膜基板与机械臂之间的最大静摩擦力大小。

若第一相对位置与第二相对位置相同，则确定待镀膜基板与机械臂之间尚未发生相对滑动。

可选地，在保证机械臂的位置在测量前后都不发生变化的前提下，通过增加外力，使待镀膜基板相对于机械臂的位置发生变化，进而测量得到待镀膜基板与机械臂之间的最大静摩擦力。

具体地，在测量最大静摩擦力之前，首先，标定待镀膜基板的位置，其次，按照步骤302中保持上、下吸盘与待镀膜基板表面间的真空度数值不变的前提下，不断改变外力的大小，当确定待镀膜基板的当前位置与标定的待镀膜基板的位置发生变化时，确定待镀膜基板与机械臂之间发生相对滑动，那么此时摩擦力显示器上显示的数值大小即为要测量的待镀膜基板与机械臂之间的最大静摩擦力大小。

需要说明的是，测量待镀膜基板与机械臂之间最大静摩擦力一般在大气环境下进行，测得的最大静摩擦力数值要比在真空环境下的测得的最大静摩擦力数值大。

由于通过机械臂运送待镀膜基板通常在真空环境下完成，在大气环境下测量得到待镀膜基板与机械臂之间的最大静摩擦力之后，需要进一步考虑在真空环境下待镀膜基板的旋转速率大小、以及机械臂与待镀膜基板间的接触面积等因素，进而判断在大气环境下测量得到待镀膜基板与机械臂之间的最大静摩擦力是否满足在真空环境下机械臂运送待镀膜基板的要求，以保证在真空环境中运送待镀膜基板的安全以及保证待镀膜基板不被损坏。

本发明实施例中提供了一种摩擦力的测量方法，通过摩擦力测量装置既能够准确地得到待镀膜基板与机械臂之间的摩擦力大小，又能够保证待镀膜基板在测量过程中不受到污染，进而有效保证在测量待镀膜基板与机械臂之间的摩擦力时待镀膜基板不被损坏。

本领域的技术人员应明白，本发明的实施例可提供为方法、装置(设备)、或计算机程序产品。因此，本发明可采用完全硬件实施例、完全软件实施例、或结合软件和硬件方面的实施例的形式。而且，本发明可采用在一个或多个其中包含有计算机可用程序代码的计算机可用存储介质(包括但不限于磁盘存储器、CD-ROM、光学存储器等)上实施的计算机程序产品的形式。

本发明是参照根据本发明实施例的方法、装置(设备)和计算机程序产品的流程图和/或方框图来描述的。应理解可由计算机程序指令实现流程图和/或方框图中的每一流程和/或方框、以及流程图和/或方框图中的流程和/或方框的结合。可提供这些计算机程序指令到通用计算机、专用计算机、嵌入式处理机或其他可编程数据处理设备的处理器以产生一个机器，使得通过计算机或其他可编程数据处理设备的处理器执行的指令产生用于实现在流程图一个流程或多个流程和/或方框图一个方框或多个方框中指定的功能的装置。

这些计算机程序指令也可存储在能引导计算机或其他可编程数据处理设备以特定方式工作的计算机可读存储器中，使得存储在该计算机可读存储器中的指令产生包括指令装置的制造品，该指令装置实现在流程图一个流程或多个流程和/或方框图一个方框或多个方框中指定的功能。

这些计算机程序指令也可装载到计算机或其他可编程数据处理设备上，使得在计算机或其他可编程设备上执行一系列操作步骤以产生计算机实现的处理，从而在计算机或其他可编程设备上执行的指令提供用于实现在流程图一个流程或多个流程和/或方框图一个方框或多个方框中指定的功能的步骤。

尽管已描述了本发明的优选实施例，但本领域内的技术人员一旦得知了基本创造性概念，则可对这些实施例作出另外的变更和修改。所以，所附权利要求意欲解释为包括优选实施例以及落入本发明范围的所有变更和修改。

显然，本领域的技术人员可以对本发明进行各种改动和变型而不脱离本发明的范围。这样，倘若本发明的这些修改和变型属于本发明权利要求及其等同技术的范围之内，则本发明也意图包含这些改动和变型在内。

Claims (10)

1.一种摩擦力测量装置，其特征在于，包括：上吸盘、下吸盘、真空泵和推拉力计，其中：

所述上吸盘，用于吸附待镀膜基板的上表面；

所述下吸盘，用于吸附所述待镀膜基板的下表面；

所述真空泵，用于排净所述上吸盘与所述待镀膜基板的上表面之间的空气以及所述下吸盘与所述待镀膜基板的下表面之间的空气；

所述推拉力计，用于在所述上吸盘与所述待镀膜基板的上表面之间的空气以及所述下吸盘与待镀膜基板的下表面之间的空气被排净时，在外力作用下对所述待镀膜基板施加推力或拉力，测量所述待镀膜基板与机械臂之间的摩擦力数值大小。

2.如权利要求1所述的摩擦力测量装置，其特征在于，所述测量装置还包括：吸盘管路，其中：

所述吸盘管路，用于将所述真空泵抽取的所述上吸盘与所述待镀膜基板的上表面之间的空气导出，以及将所述真空泵抽取的所述下吸盘与所述待镀膜基板的下表面之间的空气导出。

3.如权利要求1所述的摩擦力测量装置，其特征在于，

所述上吸盘与所述下吸盘分别在距离所述待镀膜基板边缘10～20厘米的位置吸附所述待镀膜基板。

4.如权利要求1所述的摩擦力测量装置，其特征在于，

所述真空泵，具体用于抽取所述上吸盘与所述待镀膜基板的上表面之间的空气，以及抽取所述下吸盘与所述待镀膜基板的下表面之间的空气。

5.如权利要求1所述的摩擦力测量装置，其特征在于，所述测量装置还包括：真空度显示器，其中：

所述真空度显示器，用于在所述真空泵抽取所述上吸盘与所述待镀膜基板的上表面之间的空气时显示所述上吸盘与所述待镀膜基板的上表面之间的真空度数值，以及在所述真空泵抽取所述下吸盘与所述待镀膜基板的下表面之间的空气时显示所述下吸盘与所述待镀膜基板的下表面之间的真空度数值。

6.如权利要求1所述的摩擦力测量装置，其特征在于，所述测量装置还包括：摩擦力显示器，其中：

所述摩擦力显示器，用于显示所述推拉力计所测量得到的摩擦力数值。

7.一种摩擦力测量方法，其特征在于，包括：

分别将上吸盘、下吸盘吸附在待镀膜基板的表面；

通过真空泵排净所述上吸盘与所述待镀膜基板的上表面之间的空气以及所述下吸盘与所述待镀膜基板的下表面之间的空气；

在所述上吸盘与所述待镀膜基板的上表面之间的空气以及所述下吸盘与所述待镀膜基板的下表面之间的空气被排净时，推拉力计在外力作用下对所述待镀膜基板施加推力或拉力，测量所述待镀膜基板与机械臂之间的摩擦力数值大小。

8.如权利要求7所述的摩擦力测量方法，其特征在于，

通过所述真空泵排净所述上吸盘与所述待镀膜基板的上表面之间的空气以及所述下吸盘与所述待镀膜基板的下表面之间的空气，包括：

通过所述真空泵抽取所述上吸盘与所述待镀膜基板的上表面之间的空气，以及抽取所述下吸盘与所述待镀膜基板的下表面之间的空气；

利用吸盘管路将所述真空泵抽取的所述上吸盘与所述待镀膜基板的上表面之间的空气导出，以及将所述真空泵抽取的所述下吸盘与所述待镀膜基板的下表面之间的空气导出。

9.如权利要求7所述的摩擦力测量方法，其特征在于，所述方法还包括：

在所述真空泵抽取所述上吸盘与所述待镀膜基板的上表面之间空气时，在真空显示器中显示所述上吸盘与所述待镀膜基板的上表面之间的真空度数值，以及在所述真空泵抽取所述下吸盘与所述待镀膜基板的下表面之间空气时，在所述真空显示器中显示所述下吸盘与所述待镀膜基板的下表面之间的真空度数值。

10.如权利要求7所述的摩擦力测量方法，其特征在于，所述方法还包括：

当所述推拉力计在外力作用下对所述待镀膜基板施加推力或拉力，测量所述待镀膜基板与所述机械臂之间的摩擦力数值大小时，在摩擦力显示器中显示所述推拉力计所测量得到的摩擦力数值。