CN106129219A - 一种增强光取出效率的led芯片结构 - Google Patents

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Abstract

本发明公开了一种增强光取出效率的LED芯片结构,包括衬底、N‑GaN层、有源层、P‑GaN层、低折射率填充料、P电极和N电极,衬底上依次形成N‑GaN层、有源层和P‑GaN层,有源层和P‑GaN层经蚀刻形成台阶沟道裸露出部分N‑GaN层,台阶沟道内填充低折射率填充料,裸露出的部分N‑GaN层和N电极连接,P型层和P电极连接。本发明大大增加了LED芯片侧向光的正向取出效率,增加了LED芯片的正向光强度。

Description

一种增强光取出效率的LED芯片结构
技术领域
本发明涉及LED技术领域,特别涉及一种增强光取出效率的LED芯片结构。
背景技术
LED的结构通常包括依次设置的衬底、N-GaN层、有源区和P-GaN层,通过刻蚀LED芯片形成台阶,将N-GaN层裸露出来,在N-GaN层上形成N电极,在P-GaN层上形成透明导电层,透明导电层上形成P电极。该传统结构由于蚀刻台阶处的内外折射率相差过大,GaN的折射率在2.3左右,而空气的折射率为1,因此台阶面处的侧向光将在GaN的界面处形成全反射,而使侧向光无法射出,导致侧向光的取出效率偏低。
另外LED芯片属于五面发光芯片,为了达到部分正向光强大的特殊需求,在芯片段常用的方法是在芯片侧壁增加反射金属。增加反射金属的方法会导致出射光反射回芯片内部,在芯片四个侧壁之间来回反射,最终光被转化成热量。
鉴于此,本发明人为此研制出一种增强光取出效率的LED芯片结构,有效的解决了上述问题,本案由此产生。
发明内容
本发明提供的一种增强光取出效率的LED芯片结构,大大增加了LED芯片侧向光的正向取出效率,增加了LED芯片的正向光强度。
为了实现上述目的,本发明的技术方案如下:
一种增强光取出效率的LED芯片结构,包括衬底、N-GaN层、有源层、P-GaN层、低折射率填充料、P电极和N电极,衬底上依次形成N-GaN层、有源层和P-GaN层,有源层和P-GaN层经蚀刻形成台阶沟道裸露出部分N-GaN层,台阶沟道内填充低折射率填充料,裸露出的部分N-GaN层和N电极连接,P型层和P电极连接。
所述低折射率填充料的折色率为1.6-1.8。
所述低折射率填充料的材质为氮化硅或氧化铝。
所述台阶沟道壁和低折射率填充料之间还形成一层折射率介于GaN和低折射率填充料之间的绝缘层。
所述绝缘层的折射率为1.9-2.0。
所述绝缘层的材质为HfO2、ZrO2的一种或两种叠层。
所述N电极和低折射率填充料接触的上表面使用反射金属。
所述P-GaN层形成有透明导电层。
所述P电极和N电极之间形成钝化层。
所述钝化层材料使用二氧化硅。
采用上述方案后,本发明由于在台阶沟道内填充低折射率填充料,使台阶面处部分侧向光能够先进入低折射率填充料,再从低折射率填充料穿过LED芯片上层后进入空气,避免了台阶面处的GaN和空气直接接触而发生全反射的情况,从而增加侧向光的取出效率。由于使得部分原本侧向出射光线能够从LED芯片的正向射出,从而增加了LED芯片的正向光强度,以满足部分需较强轴向光的芯片要求,比如背光LED芯片。
附图说明
图1是本实施例LED芯片的结构剖视图;
图2是本实施例的光路示意图。
标号说明
衬底1,N-GaN层2,有源层3,P-GaN层4,低折射率填充料5,P电极6,台阶沟道7,绝缘层8,N电极9,透明导电层10,钝化层11。
具体实施方式
为了进一步解释本发明的技术方案,下面通过具体实施例来对本发明进行详细阐述。
如图1-2所示,是本发明揭示的一种增强光取出效率的LED芯片结构,包括衬底1、N-GaN层2、有源层3、P-GaN层4、低折射率填充料5、P电极6和N电极9。衬底1上依次形成N-GaN层2、有源层3和P-GaN层4。
有源层3和P-GaN层4经蚀刻形成台阶沟道7,从而裸露出部分N-GaN层2。该裸露出的部分N-GaN层2和N电极9连接,P-GaN层4和P电极6连接。
台阶沟道7内填充低折射率填充料5。低折射率填充料5的折色率(图中标号为n3)为1.6-1.8,材质优选为氮化硅或氧化铝。
台阶沟道7的侧壁和低折射率填充料5之间还形成一层折射率介于GaN和低折射率填充料5之间的绝缘层8。绝缘层8的折射率(图中标号为n2)为1.9-2.0,材质优选为HfO2
P-GaN层4上还形成有透明导电层10。P电极6和N电极之间形成钝化层11,材料优选为折射率比低折射率填充料5更低的二氧化硅。
其中GaN的折射率(图中标号为n1)为2.3左右,即n1>n2>n3。结合图2所示,本实施例台阶沟道7的侧壁发出的光依次经过绝缘层8和低折射率填充料5后从LED芯片钝化层11射出,避免了较大折射率差而发生全反射的情况,从而大大增加了侧向光的取出效率。
进一步,N电极9和低折射率填充料5接触的上表面使用反射金属。如图2所示,该N电极9将射向其的光线反射后,经过低折射率填充料5和绝缘层8组成的类似突变折射率光纤机构传导,从LED芯片的正向射出,从而进一步增加LED芯片的正向光强度。
本实施例的光通过多次折射后,使得部分原本侧向出射的光线能够从LED芯片的正向射出,从而增加了LED芯片的正向光强度,可以满足部分需较强轴向光的芯片要求,比如背光LED芯片。
以上仅为本发明的较佳实施例,并非对本发明的保护范围的限定。凡依本案的设计思路所做的等同变化,均落入本案的保护范围。

Claims (10)

1.一种增强光取出效率的LED芯片结构,其特征在于:包括衬底、N-GaN层、有源层、P-GaN层、低折射率填充料、P电极和N电极,衬底上依次形成N-GaN层、有源层和P-GaN层,有源层和P-GaN层经蚀刻形成台阶沟道裸露出部分N-GaN层,台阶沟道内填充低折射率填充料,裸露出的部分N-GaN层和N电极连接,P型层和P电极连接。
2.如权利要求1所述的一种增强光取出效率的LED芯片结构,其特征在于:所述低折射率填充料的折色率为1.6-1.8。
3.如权利要求1所述的一种增强光取出效率的LED芯片结构,其特征在于:所述低折射率填充料的材质为氮化硅或氧化铝。
4.如权利要求1所述的一种增强光取出效率的LED芯片结构,其特征在于:所述台阶沟道壁和低折射率填充料之间还形成一层折射率介于GaN和低折射率填充料之间的绝缘层。
5.如权利要求4所述的一种增强光取出效率的LED芯片结构,其特征在于:所述绝缘层的折射率为1.9-2.0。
6.如权利要求4所述的一种增强光取出效率的LED芯片结构,其特征在于:所述绝缘层的材质为HfO2、ZrO2的一种或两种叠层。
7.如权利要求1所述的一种增强光取出效率的LED芯片结构,其特征在于:所述N电极和低折射率填充料接触的上表面使用反射金属。
8.如权利要求1所述的一种增强光取出效率的LED芯片结构,其特征在于:所述P-GaN层形成有透明导电层。
9.如权利要求1所述的一种增强光取出效率的LED芯片结构,其特征在于:所述P电极和N电极之间形成钝化层。
10.如权利要求9所述的一种增强光取出效率的LED芯片结构,其特征在于:所述钝化层材料使用二氧化硅。
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN107393428A (zh) * 2017-05-04 2017-11-24 财团法人交大思源基金会 无电极遮光的发光二极管显示器的结构及其工艺

Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN1812117A (zh) * 2004-12-02 2006-08-02 三星电机株式会社 半导体发光器件及其制造方法
CN101882659A (zh) * 2010-06-28 2010-11-10 亚威朗光电(中国)有限公司 发光二极管芯片以及发光二极管芯片的制作方法
US20120257170A1 (en) * 2011-04-06 2012-10-11 Seiko Epson Corporation Light-emitting device and projector

Patent Citations (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN1812117A (zh) * 2004-12-02 2006-08-02 三星电机株式会社 半导体发光器件及其制造方法
CN101882659A (zh) * 2010-06-28 2010-11-10 亚威朗光电(中国)有限公司 发光二极管芯片以及发光二极管芯片的制作方法
US20120257170A1 (en) * 2011-04-06 2012-10-11 Seiko Epson Corporation Light-emitting device and projector

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN107393428A (zh) * 2017-05-04 2017-11-24 财团法人交大思源基金会 无电极遮光的发光二极管显示器的结构及其工艺
US10535708B2 (en) 2017-05-04 2020-01-14 National Chiao Tung University Electrodeless light-emitting diode display and method for fabricating the same
US10553640B2 (en) 2017-05-04 2020-02-04 National Chiao Tung University Electrodeless light-emitting diode display and method for fabricating the same
CN107393428B (zh) * 2017-05-04 2020-04-28 财团法人交大思源基金会 无电极遮光的发光二极管显示器的结构及其工艺

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