CN106129219A - 一种增强光取出效率的led芯片结构 - Google Patents
一种增强光取出效率的led芯片结构 Download PDFInfo
- Publication number
- CN106129219A CN106129219A CN201610557364.9A CN201610557364A CN106129219A CN 106129219 A CN106129219 A CN 106129219A CN 201610557364 A CN201610557364 A CN 201610557364A CN 106129219 A CN106129219 A CN 106129219A
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- led chip
- extraction efficiency
- layer
- gan layer
- light extraction
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
- 238000000605 extraction Methods 0.000 title claims abstract description 23
- 238000005728 strengthening Methods 0.000 title claims abstract description 18
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 10
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 claims abstract description 4
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 claims description 11
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N Alumina Chemical compound [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 9
- 239000000463 material Substances 0.000 claims description 9
- 238000002161 passivation Methods 0.000 claims description 7
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 6
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 5
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 5
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 claims description 5
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 claims description 3
- CJNBYAVZURUTKZ-UHFFFAOYSA-N hafnium(IV) oxide Inorganic materials O=[Hf]=O CJNBYAVZURUTKZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- 235000012239 silicon dioxide Nutrition 0.000 claims description 3
- 239000000377 silicon dioxide Substances 0.000 claims description 3
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 3
- MCMNRKCIXSYSNV-UHFFFAOYSA-N ZrO2 Inorganic materials O=[Zr]=O MCMNRKCIXSYSNV-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 2
- 238000003475 lamination Methods 0.000 claims description 2
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 230000003628 erosive effect Effects 0.000 description 1
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 1
- 238000002347 injection Methods 0.000 description 1
- 239000007924 injection Substances 0.000 description 1
- 238000004020 luminiscence type Methods 0.000 description 1
- 238000000034 method Methods 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L33/00—Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
- H01L33/48—Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by the semiconductor body packages
- H01L33/58—Optical field-shaping elements
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L33/00—Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
- H01L33/48—Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by the semiconductor body packages
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L33/00—Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
- H01L33/48—Semiconductor devices having potential barriers specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by the semiconductor body packages
- H01L33/58—Optical field-shaping elements
- H01L33/60—Reflective elements
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- Led Devices (AREA)
Abstract
本发明公开了一种增强光取出效率的LED芯片结构,包括衬底、N‑GaN层、有源层、P‑GaN层、低折射率填充料、P电极和N电极,衬底上依次形成N‑GaN层、有源层和P‑GaN层,有源层和P‑GaN层经蚀刻形成台阶沟道裸露出部分N‑GaN层,台阶沟道内填充低折射率填充料,裸露出的部分N‑GaN层和N电极连接,P型层和P电极连接。本发明大大增加了LED芯片侧向光的正向取出效率,增加了LED芯片的正向光强度。
Description
技术领域
本发明涉及LED技术领域,特别涉及一种增强光取出效率的LED芯片结构。
背景技术
LED的结构通常包括依次设置的衬底、N-GaN层、有源区和P-GaN层,通过刻蚀LED芯片形成台阶,将N-GaN层裸露出来,在N-GaN层上形成N电极,在P-GaN层上形成透明导电层,透明导电层上形成P电极。该传统结构由于蚀刻台阶处的内外折射率相差过大,GaN的折射率在2.3左右,而空气的折射率为1,因此台阶面处的侧向光将在GaN的界面处形成全反射,而使侧向光无法射出,导致侧向光的取出效率偏低。
另外LED芯片属于五面发光芯片,为了达到部分正向光强大的特殊需求,在芯片段常用的方法是在芯片侧壁增加反射金属。增加反射金属的方法会导致出射光反射回芯片内部,在芯片四个侧壁之间来回反射,最终光被转化成热量。
鉴于此,本发明人为此研制出一种增强光取出效率的LED芯片结构,有效的解决了上述问题,本案由此产生。
发明内容
本发明提供的一种增强光取出效率的LED芯片结构,大大增加了LED芯片侧向光的正向取出效率,增加了LED芯片的正向光强度。
为了实现上述目的,本发明的技术方案如下:
一种增强光取出效率的LED芯片结构,包括衬底、N-GaN层、有源层、P-GaN层、低折射率填充料、P电极和N电极,衬底上依次形成N-GaN层、有源层和P-GaN层,有源层和P-GaN层经蚀刻形成台阶沟道裸露出部分N-GaN层,台阶沟道内填充低折射率填充料,裸露出的部分N-GaN层和N电极连接,P型层和P电极连接。
所述低折射率填充料的折色率为1.6-1.8。
所述低折射率填充料的材质为氮化硅或氧化铝。
所述台阶沟道壁和低折射率填充料之间还形成一层折射率介于GaN和低折射率填充料之间的绝缘层。
所述绝缘层的折射率为1.9-2.0。
所述绝缘层的材质为HfO2、ZrO2的一种或两种叠层。
所述N电极和低折射率填充料接触的上表面使用反射金属。
所述P-GaN层形成有透明导电层。
所述P电极和N电极之间形成钝化层。
所述钝化层材料使用二氧化硅。
采用上述方案后,本发明由于在台阶沟道内填充低折射率填充料,使台阶面处部分侧向光能够先进入低折射率填充料,再从低折射率填充料穿过LED芯片上层后进入空气,避免了台阶面处的GaN和空气直接接触而发生全反射的情况,从而增加侧向光的取出效率。由于使得部分原本侧向出射光线能够从LED芯片的正向射出,从而增加了LED芯片的正向光强度,以满足部分需较强轴向光的芯片要求,比如背光LED芯片。
附图说明
图1是本实施例LED芯片的结构剖视图;
图2是本实施例的光路示意图。
标号说明
衬底1,N-GaN层2,有源层3,P-GaN层4,低折射率填充料5,P电极6,台阶沟道7,绝缘层8,N电极9,透明导电层10,钝化层11。
具体实施方式
为了进一步解释本发明的技术方案,下面通过具体实施例来对本发明进行详细阐述。
如图1-2所示,是本发明揭示的一种增强光取出效率的LED芯片结构,包括衬底1、N-GaN层2、有源层3、P-GaN层4、低折射率填充料5、P电极6和N电极9。衬底1上依次形成N-GaN层2、有源层3和P-GaN层4。
有源层3和P-GaN层4经蚀刻形成台阶沟道7,从而裸露出部分N-GaN层2。该裸露出的部分N-GaN层2和N电极9连接,P-GaN层4和P电极6连接。
台阶沟道7内填充低折射率填充料5。低折射率填充料5的折色率(图中标号为n3)为1.6-1.8,材质优选为氮化硅或氧化铝。
台阶沟道7的侧壁和低折射率填充料5之间还形成一层折射率介于GaN和低折射率填充料5之间的绝缘层8。绝缘层8的折射率(图中标号为n2)为1.9-2.0,材质优选为HfO2。
P-GaN层4上还形成有透明导电层10。P电极6和N电极之间形成钝化层11,材料优选为折射率比低折射率填充料5更低的二氧化硅。
其中GaN的折射率(图中标号为n1)为2.3左右,即n1>n2>n3。结合图2所示,本实施例台阶沟道7的侧壁发出的光依次经过绝缘层8和低折射率填充料5后从LED芯片钝化层11射出,避免了较大折射率差而发生全反射的情况,从而大大增加了侧向光的取出效率。
进一步,N电极9和低折射率填充料5接触的上表面使用反射金属。如图2所示,该N电极9将射向其的光线反射后,经过低折射率填充料5和绝缘层8组成的类似突变折射率光纤机构传导,从LED芯片的正向射出,从而进一步增加LED芯片的正向光强度。
本实施例的光通过多次折射后,使得部分原本侧向出射的光线能够从LED芯片的正向射出,从而增加了LED芯片的正向光强度,可以满足部分需较强轴向光的芯片要求,比如背光LED芯片。
以上仅为本发明的较佳实施例,并非对本发明的保护范围的限定。凡依本案的设计思路所做的等同变化,均落入本案的保护范围。
Claims (10)
1.一种增强光取出效率的LED芯片结构,其特征在于:包括衬底、N-GaN层、有源层、P-GaN层、低折射率填充料、P电极和N电极,衬底上依次形成N-GaN层、有源层和P-GaN层,有源层和P-GaN层经蚀刻形成台阶沟道裸露出部分N-GaN层,台阶沟道内填充低折射率填充料,裸露出的部分N-GaN层和N电极连接,P型层和P电极连接。
2.如权利要求1所述的一种增强光取出效率的LED芯片结构,其特征在于:所述低折射率填充料的折色率为1.6-1.8。
3.如权利要求1所述的一种增强光取出效率的LED芯片结构,其特征在于:所述低折射率填充料的材质为氮化硅或氧化铝。
4.如权利要求1所述的一种增强光取出效率的LED芯片结构,其特征在于:所述台阶沟道壁和低折射率填充料之间还形成一层折射率介于GaN和低折射率填充料之间的绝缘层。
5.如权利要求4所述的一种增强光取出效率的LED芯片结构,其特征在于:所述绝缘层的折射率为1.9-2.0。
6.如权利要求4所述的一种增强光取出效率的LED芯片结构,其特征在于:所述绝缘层的材质为HfO2、ZrO2的一种或两种叠层。
7.如权利要求1所述的一种增强光取出效率的LED芯片结构,其特征在于:所述N电极和低折射率填充料接触的上表面使用反射金属。
8.如权利要求1所述的一种增强光取出效率的LED芯片结构,其特征在于:所述P-GaN层形成有透明导电层。
9.如权利要求1所述的一种增强光取出效率的LED芯片结构,其特征在于:所述P电极和N电极之间形成钝化层。
10.如权利要求9所述的一种增强光取出效率的LED芯片结构,其特征在于:所述钝化层材料使用二氧化硅。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201610557364.9A CN106129219B (zh) | 2016-07-15 | 2016-07-15 | 一种增强光取出效率的led芯片结构 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
CN201610557364.9A CN106129219B (zh) | 2016-07-15 | 2016-07-15 | 一种增强光取出效率的led芯片结构 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN106129219A true CN106129219A (zh) | 2016-11-16 |
CN106129219B CN106129219B (zh) | 2018-09-04 |
Family
ID=57283175
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN201610557364.9A Active CN106129219B (zh) | 2016-07-15 | 2016-07-15 | 一种增强光取出效率的led芯片结构 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
CN (1) | CN106129219B (zh) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN107393428A (zh) * | 2017-05-04 | 2017-11-24 | 财团法人交大思源基金会 | 无电极遮光的发光二极管显示器的结构及其工艺 |
Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN1812117A (zh) * | 2004-12-02 | 2006-08-02 | 三星电机株式会社 | 半导体发光器件及其制造方法 |
CN101882659A (zh) * | 2010-06-28 | 2010-11-10 | 亚威朗光电(中国)有限公司 | 发光二极管芯片以及发光二极管芯片的制作方法 |
US20120257170A1 (en) * | 2011-04-06 | 2012-10-11 | Seiko Epson Corporation | Light-emitting device and projector |
-
2016
- 2016-07-15 CN CN201610557364.9A patent/CN106129219B/zh active Active
Patent Citations (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN1812117A (zh) * | 2004-12-02 | 2006-08-02 | 三星电机株式会社 | 半导体发光器件及其制造方法 |
CN101882659A (zh) * | 2010-06-28 | 2010-11-10 | 亚威朗光电(中国)有限公司 | 发光二极管芯片以及发光二极管芯片的制作方法 |
US20120257170A1 (en) * | 2011-04-06 | 2012-10-11 | Seiko Epson Corporation | Light-emitting device and projector |
Cited By (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN107393428A (zh) * | 2017-05-04 | 2017-11-24 | 财团法人交大思源基金会 | 无电极遮光的发光二极管显示器的结构及其工艺 |
US10535708B2 (en) | 2017-05-04 | 2020-01-14 | National Chiao Tung University | Electrodeless light-emitting diode display and method for fabricating the same |
US10553640B2 (en) | 2017-05-04 | 2020-02-04 | National Chiao Tung University | Electrodeless light-emitting diode display and method for fabricating the same |
CN107393428B (zh) * | 2017-05-04 | 2020-04-28 | 财团法人交大思源基金会 | 无电极遮光的发光二极管显示器的结构及其工艺 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
CN106129219B (zh) | 2018-09-04 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
KR102576517B1 (ko) | 디스플레이 장치 | |
CN101636852B (zh) | 垂直发光二极管及其制造方法 | |
CN103904174B (zh) | 发光二极管芯片的制作方法 | |
CN106206912A (zh) | 发光装置、覆盖部件的制造方法及发光装置的制造方法 | |
CN102751410B (zh) | 具有阶梯式电流阻挡结构的led芯片及其制作方法 | |
CN103109383A (zh) | 光电子器件和用于制造所述光电子器件的方法 | |
JP5531575B2 (ja) | Iii族窒化物化合物半導体発光素子 | |
CN107068826A (zh) | 高光出射效率的led芯片及其制备方法 | |
CN106410020B (zh) | 半导体发光装置 | |
TW200830593A (en) | Transparent mirrorless light emitting diode | |
CN106653958A (zh) | 发光二极管及其制造方法 | |
CN109873089A (zh) | 发光二极管显示面板及其制造方法 | |
TWI467805B (zh) | 具寬視角的發光二極體及其製造方法 | |
JP2011119739A (ja) | 発光装置及びその製造方法 | |
CN111430526B (zh) | 半导体光源 | |
US11994269B2 (en) | Backlight unit | |
CN102983236B (zh) | 一种led芯片及其制作方法 | |
US20070176186A1 (en) | Light emitting device for enhancing brightness | |
CN108352423A (zh) | 半导体器件 | |
CN105390583A (zh) | 白光倒装芯片及其制备方法 | |
CN106129219A (zh) | 一种增强光取出效率的led芯片结构 | |
CN205845954U (zh) | 一种高压覆晶led芯片 | |
CN106415855B (zh) | 光电子半导体芯片及其制造方法 | |
CN106025027A (zh) | 一种led芯片结构及其制造方法 | |
CN104752452B (zh) | 一种具有立体发光结构的高压发光二极管制作方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
C06 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
C10 | Entry into substantive examination | ||
SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
GR01 | Patent grant | ||
GR01 | Patent grant |