CN106124134B - 光学窗口组件漏率检测装置及检测方法 - Google Patents

光学窗口组件漏率检测装置及检测方法 Download PDF

Info

Publication number
CN106124134B
CN106124134B CN201610595828.5A CN201610595828A CN106124134B CN 106124134 B CN106124134 B CN 106124134B CN 201610595828 A CN201610595828 A CN 201610595828A CN 106124134 B CN106124134 B CN 106124134B
Authority
CN
China
Prior art keywords
optical window
window component
helium
leak
referance
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
CN201610595828.5A
Other languages
English (en)
Other versions
CN106124134A (zh
Inventor
徐明林
徐振
徐伟
解鹏
王天聪
曲宏松
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Changchun Institute of Optics Fine Mechanics and Physics of CAS
Original Assignee
Changchun Institute of Optics Fine Mechanics and Physics of CAS
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Changchun Institute of Optics Fine Mechanics and Physics of CAS filed Critical Changchun Institute of Optics Fine Mechanics and Physics of CAS
Priority to CN201610595828.5A priority Critical patent/CN106124134B/zh
Publication of CN106124134A publication Critical patent/CN106124134A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN106124134B publication Critical patent/CN106124134B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01M—TESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • G01M3/00—Investigating fluid-tightness of structures
    • G01M3/02—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum
    • G01M3/04—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point
    • G01M3/20—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point using special tracer materials, e.g. dye, fluorescent material, radioactive material
    • G01M3/202—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point using special tracer materials, e.g. dye, fluorescent material, radioactive material using mass spectrometer detection systems

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Examining Or Testing Airtightness (AREA)

Abstract

光学窗口组件漏率检测装置及检测方法，涉及光学窗口组件检测技术领域，解决现有光学窗口组件漏率检测技术耗时费力且无法确定光学窗口组件自身漏率等问题，包括氦质谱检漏仪、第一快接法兰、手动真空挡板阀、波纹管、He气注射喷枪、底座、密闭容器和He标准漏孔；光学窗口组件与底座连接并置于密闭容器内，且光学窗口组件与底座之间设置有O型密封圈；氦质谱检漏仪的出口处设置手动真空挡板阀；波纹管的两端分别通过第一快接法兰与手动真空挡板阀和底座连接，He标准漏孔通过第二快接法兰与底座连接，He标准漏孔设置有球阀，用于控制He标准漏孔的开放与关闭，He气注射枪向密闭容器内注射氦气。本装置结构简单、操作方便。

Description

光学窗口组件漏率检测装置及检测方法
技术领域
本发明涉及光学窗口组件检测技术领域，具体涉及一种光学窗口组件漏率检测装置。
背景技术
光学窗口组件是空间环境模拟系统中的重要组成部件，它的密封性直接决定了空间环境模拟系统的性能，因此光学窗口组件装配完成后有必要对其进行漏率检测。
目前，空间环境模拟系统的光学窗口组件漏率检测往往采用直接与空间环境模拟系统装配进行整体检测的方法，这种方法具有如下缺点：
(1)光学窗口组件漏率检测需要耗费较大的人力和时间；
(2)光学窗口组件自身的漏率无法确定。
目前已有公开文献并没有光学窗口组件检漏的技术，因此，有必要研制一种新型的光学窗口组件漏率检测装置。
发明内容
本发明为解决现有光学窗口组件漏率检测技术耗时费力且无法确定光学窗口组件自身漏率等问题，提供一种光学窗口组件漏率检测装置。
光学窗口组件漏率检测装置，包括氦质谱检漏仪、第一快接法兰、手动真空挡板阀、波纹管、He气注射喷枪、底座、密闭容器和He标准漏孔；光学窗口组件与底座连接并置于密闭容器内，且所述光学窗口组件与底座之间设置有O型密封圈；所述氦质谱检漏仪的出口处设置手动真空挡板阀；所述手动真空挡板阀通过第一快接法兰与波纹管的一端连接，所述波纹管的另一端通过第一快接法兰与底座连接，所述He标准漏孔通过第二快接法兰与底座连接，所述He标准漏孔设置有球阀，用于控制He标准漏孔的开放与关闭；He气注射枪用于向密闭容器内注射氦气。
本发明的有益效果：
一、本发明所述的光学窗口组件漏率检测装置结构简单、操作方便，大大缩短了检测时间，减少了检测所需耗费的人力。
二、本发明所述的光学窗口组件漏率检测装置由于脱离了空间环境模拟系统，可以检测出光学窗口组件自身的漏率。
三、本发明所述的光学窗口组件漏率检测装置由于采用了密闭容器，可以有效避免外界环境对检测结果的干扰。
附图说明
图1为本发明所述的光学窗口组件检测装置结构组成示意图。
图中：1、氦质谱检漏仪，2、手动真空挡板阀，3、第一快接法兰，4、波纹管，5、He气注射喷枪，6、光学窗口组件，7、底座，8、密闭容器，9、He标准漏孔，10、第二快接法兰。
具体实施方式
具体实施方式一、结合图1说明本实施方式，光学窗口组件漏率检测装置，包括氦质谱检漏仪1、第一快接法兰3、手动真空挡板阀2、第二快接法兰10、波纹管4、He气注射喷枪5、光学窗口组件6、底座7、密闭容器8和He标准漏孔9；所述的光学窗口组件6与底座7通过连接螺钉相连，二者之间设置有O型密封圈；所述的氦质谱检漏仪出口处设有手动真空挡板阀2；手动真空挡板阀2通过第一快接法兰3与波纹管4的一端连接，所述波纹管4的另一端通过第一快接法兰3与底座7相连，所述的He标准漏孔9通过第二快接法兰10与底座7直接连接，该He标准漏孔9设有球阀，可以控制He标准漏孔的开放与关闭；上述组件连接安装完成后置于密闭容器8内，He气注射枪5用于向密闭容器8内注射氦气。
具体实施方式二、本实施方式为具体实施方式一所述的光学窗口组件漏率检测装置的检测方法，该方法具体由以下步骤实现：
漏率检测时，启动氦质谱检漏仪1，氦质谱检漏仪进入自检状态，待自检结束后记录氦质谱检漏仪示数，记为I0。
打开He标准漏孔9球阀，He标准漏孔逐渐向光学窗口组件充入He气，待稳定后读出氦质谱检漏仪示数，记为Is。
关闭He标准漏孔9球阀，采用He气注射喷枪5向密闭容器8内喷射氦气，待稳定后读出氦质谱检漏仪示数，记为I。喷射氦气时压力一般控制为1～3个标准大气压，喷枪嘴与被检光学窗口组件的距离应小于6mm，喷枪的扫描速度一般小于8mm/s。
各项指标测试结束后，按如下公式进行光学窗口组件漏率计算：
Q＝(I-I0)QS/(IS-I0)D
式中：
Q—被检光学窗口组件漏率；
Qs—标准漏孔的漏率标定值；
I—喷射氦气稳定后，氦质谱检漏仪的示数；
I0—自检结束后，氦质谱检漏仪的示数；
IS—标准漏孔打开稳定后，氦质谱检漏仪的示数；
D—密闭容器内氦气的浓度，计算时近似按50％处理。
以上为本发明的具体实施方式，但绝非对本发明的限制，任何在本发明保护范围内做的改进或等效替换均属于本发明的保护范围。

Claims (6)

1.光学窗口组件漏率检测装置，包括氦质谱检漏仪(1)、第一快接法兰(3)、手动真空挡板阀(2)、波纹管(4)、He气注射喷枪(5)、底座(7)、密闭容器(8)和He标准漏孔(9)；其特征是；
光学窗口组件(6)与底座(7)连接并置于密闭容器(8)内，且所述光学窗口组件(6)与底座(7)之间设置有O型密封圈；所述氦质谱检漏仪(1)的出口处设置手动真空挡板阀(2)；所述手动真空挡板阀(2)通过第一快接法兰(3)与波纹管(4)的一端连接，所述波纹管(4)的另一端通过第一快接法兰(3)与底座(7)连接，所述He标准漏孔(9)通过第二快接法兰(10)与底座(7)连接，所述He标准漏孔(9)设置有球阀，用于控制He标准漏孔(9)的开放与关闭；He气注射枪(5)用于向密闭容器(8)内注射氦气；
所述光学窗口组件漏率检测装置的检测方法，该方法由以下步骤实现：
步骤一、启动氦质谱检漏仪(1)，氦质谱检漏仪(1)进入自检状态，待自检结束后记录氦质谱检漏仪(1)示数；
步骤二、打开He标准漏孔(9)的球阀，He标准漏孔(9)向光学窗口组件(6)充入He气，待稳定后读出氦质谱检漏仪(1)示数；
步骤三、关闭He标准漏孔(9)球阀，采用He气注射喷枪(5)向密闭容器(8)内喷射氦气，待稳定后读出氦质谱检漏仪(1)示数；采用下式进行光学窗口组件漏率计算：
Q＝(I-I0)QS/(IS-I0)D；
式中：Q为光学窗口组件漏率，Qs为标准漏孔的漏率标定值，I为喷射氦气稳定后，氦质谱检漏仪的示数；I0为自检结束后，氦质谱检漏仪的示数；IS为标准漏孔打开稳定后，氦质谱检漏仪的示数；D为密闭容器内氦气的浓度。
2.根据权利要求1所述的光学窗口组件漏率检测装置，其特征在于，所述He气注射喷枪(5)喷射氦气时压力控制为1～3个标准大气压。
3.根据权利要求1所述的光学窗口组件漏率检测装置，其特征在于，He气注射喷枪(5)的喷嘴与光学窗口组件(6)的距离小于6mm，He气注射喷枪(5)的扫描速度小于8mm/s。
4.根据权利要求1所述的光学窗口组件漏率检测装置的检测方法，其特征是，该方法由以下步骤实现：
步骤一、启动氦质谱检漏仪(1)，氦质谱检漏仪(1)进入自检状态，待自检结束后记录氦质谱检漏仪(1)示数；
步骤二、打开He标准漏孔(9)的球阀，He标准漏孔(9)向光学窗口组件(6)充入He气，待稳定后读出氦质谱检漏仪(1)示数；
步骤三、关闭He标准漏孔(9)球阀，采用He气注射喷枪(5)向密闭容器(8)内喷射氦气，待稳定后读出氦质谱检漏仪(1)示数；采用下式进行光学窗口组件漏率计算：
Q＝(I-I0)QS/(IS-I0)D；
式中：Q为光学窗口组件漏率，Qs为标准漏孔的漏率标定值，I为喷射氦气稳定后，氦质谱检漏仪的示数；I0为自检结束后，氦质谱检漏仪的示数；IS为标准漏孔打开稳定后，氦质谱检漏仪的示数；D为密闭容器内氦气的浓度。
5.根据权利要求4所述的光学窗口组件漏率检测方法，其特征在于，所述He气注射喷枪(5)喷射氦气时压力控制为1～3个标准大气压。
6.根据权利要求4所述的光学窗口组件漏率检测方法，其特征在于，He气注射喷枪(5)的喷嘴与光学窗口组件(6)的距离小于6mm，He气注射喷枪(5)的扫描速度小于8mm/s。
CN201610595828.5A 2016-07-27 2016-07-27 光学窗口组件漏率检测装置及检测方法 Active CN106124134B (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201610595828.5A CN106124134B (zh) 2016-07-27 2016-07-27 光学窗口组件漏率检测装置及检测方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201610595828.5A CN106124134B (zh) 2016-07-27 2016-07-27 光学窗口组件漏率检测装置及检测方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN106124134A CN106124134A (zh) 2016-11-16
CN106124134B true CN106124134B (zh) 2018-10-16

Family

ID=57290704

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201610595828.5A Active CN106124134B (zh) 2016-07-27 2016-07-27 光学窗口组件漏率检测装置及检测方法

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN106124134B (zh)

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN112504574A (zh) * 2020-10-28 2021-03-16 北京中科科仪股份有限公司 一种光阑调节装置的检测工装及检测系统
CN114563138A (zh) * 2021-12-20 2022-05-31 维爱吉(厦门)科技有限责任公司 一种检测真空玻璃焊缝漏率的装置和方法

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4557139A (en) * 1984-07-31 1985-12-10 Loomis International Inc. Leak detection method and apparatus
CN1820885A (zh) * 2006-03-24 2006-08-23 中国科学院上海技术物理研究所 低温金属杜瓦的窗架与光学窗口的真空密封焊接方法
CN103674448A (zh) * 2013-11-08 2014-03-26 北京卫星环境工程研究所 压力控制系统与航天器密封舱连接处漏率检测装置及方法
CN204177537U (zh) * 2014-09-26 2015-02-25 甘肃中核嘉华核设备制造有限公司 一种容器氦质谱检漏装置
CN104614831A (zh) * 2015-01-07 2015-05-13 北京卫星环境工程研究所 大口径真空密封光学窗口组件

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4557139A (en) * 1984-07-31 1985-12-10 Loomis International Inc. Leak detection method and apparatus
CN1820885A (zh) * 2006-03-24 2006-08-23 中国科学院上海技术物理研究所 低温金属杜瓦的窗架与光学窗口的真空密封焊接方法
CN103674448A (zh) * 2013-11-08 2014-03-26 北京卫星环境工程研究所 压力控制系统与航天器密封舱连接处漏率检测装置及方法
CN204177537U (zh) * 2014-09-26 2015-02-25 甘肃中核嘉华核设备制造有限公司 一种容器氦质谱检漏装置
CN104614831A (zh) * 2015-01-07 2015-05-13 北京卫星环境工程研究所 大口径真空密封光学窗口组件

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
大型空间环境模拟试验设备的检漏;姜永明;《真空与低温》;20160624;177-180 *

Also Published As

Publication number Publication date
CN106124134A (zh) 2016-11-16

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN105675224B (zh) 封装管壳密封性检测系统的检测方法
CN102346088B (zh) 低充氦浓度氦质谱检漏方法
CN107340101B (zh) 一种密封装置气体微泄漏检测装置及方法
CN104062153A (zh) 用于气体杂质含量分析的吹扫取样系统和吹扫取样方法
CN204177537U (zh) 一种容器氦质谱检漏装置
US7707871B2 (en) Leak detection system with controlled differential pressure
CN105651464B (zh) 用于大型航天器检漏的检漏灵敏度后标定方法
CN106124134B (zh) 光学窗口组件漏率检测装置及检测方法
US20180202889A1 (en) Method for controlling the leaktightness of sealed products and installation for the detection of leaks
CN207540734U (zh) 一种氢气质谱法检漏装置
CN103759904B (zh) 用于密封性检测的系统
CN103822761A (zh) 密封性检测装置及方法
US10935453B2 (en) Leak detection with oxygen
CN104296943A (zh) 一种真空式氦检设备及其方法
CN104006929A (zh) 基于限压-分流法的大气环境下的质谱单点检漏系统及方法
CN106768725A (zh) 一种基于恒温正压法测量复杂容器整体漏率的方法及系统
CN108369151A (zh) 测试气体入口处的压力测量
CN103335791A (zh) 一种基于定量确定最长候检时间的氦质谱细检漏方法
CN104390747A (zh) 一种接插件焊接密封性的检测方法
CN102980730A (zh) 多路气体质谱分析中无拖尾现象的气体取样测试方法
CN103513011A (zh) 一种用于变压器油中气体的自动标定装置
CN104884923A (zh) 泄漏检测器
CN104764862B (zh) 一种气体浓度现场测试方法
CN103698095A (zh) 灭火瓶密封性检测装置及其检测方法
CN102039096A (zh) 常压室温可挥发性液体动态配气系统及其配气方法

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant