CN112504574A - 一种光阑调节装置的检测工装及检测系统 - Google Patents

一种光阑调节装置的检测工装及检测系统 Download PDF

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Abstract

本发明涉及检测设备技术领域，具体涉及一种光阑调节装置的检测工装，包括：本体，具有第一容纳腔；连接结构，具有第二容纳腔，所述第一容纳腔与所述第二容纳腔相连通，其中，所述第一容纳腔与所述第二容纳腔适于待装配件的贯穿；调平结构，设于所述本体上，适于调节所述本体的平面度。本发明提供一种检测效率高的光阑调节装置的检测工装。本发明还提供了一种具有光阑调节装置的检测工装的检测系统。

Description

一种光阑调节装置的检测工装及检测系统
技术领域
本发明涉及检测设备技术领域，具体涉及一种光阑调节装置的检测工装及检测系统。
背景技术
光阑是指在光学系统中对光束起着限制作用的实体。它可以是透镜的边缘、框架或特别设置的带孔屏；其作用可分两方面,限制光束或限制视场(成像范围)大小。而在扫描电镜的使用过程中，光阑的作用是限制电子束的孔径角，以便得到高质量的图像照片，要达到以上效果，光阑上安装的光阑孔平面需要与电子束保持垂直关系，否则电子束经过光阑孔后会形成一个椭圆的电子束，从而引起像散，导致成像质量下降。因此光阑需要安装在光阑调节装置上，在安装完成之后，需要对安装精度进行检测，从而保证安装精度；再将光阑调节装置安装于电子光学镜筒上，需要满足一定的真空密封性，从而维持电子光学镜筒内的真空度，以便电子束正常工作。
现有技术中，在对光阑调节装置的安装精度和真空度的检测时，通常采用专门的机器进行在线检测，但此方式的准备时间较长，因此极大的降低了单位时间内的检测效率。
发明内容
因此，本发明要解决的技术问题在于克服现有技术中光阑调节装置的安装精度和真空度的检测，检测效率低的缺陷，从而提供一种检测效率高的光阑调节装置的检测工装及检测系统。
为了解决上述技术问题，本发明提供了一种光阑调节装置的检测工装，包括：
本体，具有第一容纳腔；
连接结构，具有第二容纳腔，所述第一容纳腔与所述第二容纳腔相连通，其中，所述第一容纳腔与所述第二容纳腔适于待装配件的贯穿；
调平结构，设于所述本体上，适于调节所述本体的平面度。
可选的，所述调平结构为成型在所述本体周壁上的平面。
可选的，所述连接结构包括：筒状结构，与所述本体位于同一轴线上；
连接部，设于所述筒状结构远离所述本体的一端，所述连接部的直径大于所述筒状结构的直径。
可选的，在所述连接结构与所述本体之间设有过渡部，所述过渡部为锥状结构。
可选的，还包括设于所述本体远离连接结构一端面上的定位结构，所述定位结构适于所述待装配件贯穿后的固定。
可选的，所述定位结构包括至少两个沿所述端面周向间隔设置的定位孔。
可选的，还包括限位结构，所述限位结构包括：
至少一个限位件，设于所述本体和待装配件二者其中之一上；
至少一个限位孔，设于所述本体和待装配件二者另一上，并适于所述限位件的插入，以限制所述本体相对于所述待装配件的转动。
本发明还提供了一种检测系统，包括本发明所述的光阑调节装置的检测工装。
可选的，还包括：检测平台，所述本体设于所述检测平台上，且所述调平结构平行于所述检测平台；
光阑调节装置，贯穿所述第一容纳腔和所述第二容纳腔；
千分表，适于检测所述光阑调节装置的平行度。
可选的，还包括与所述连接结构连接的质谱检漏仪，所述质谱检漏仪适于检测所述光阑调节装置的真空度。
本发明技术方案，具有如下优点：
1.本发明提供的光阑调节装置的检测工装，包括本体，具有第一容纳腔；连接结构，具有第二容纳腔，所述第一容纳腔与所述第二容纳腔相连通，其中，所述第一容纳腔与所述第二容纳腔适于待装配件的贯穿；调平结构，设于所述本体上，适于调节所述本体的平面度。
通过在本体上设有调平结构，从而便于调节该本体的平面度，在将该本体放置在检测平台上，使得本体平行于检测平台，然后再将光阑调节装置贯穿该本体和连接结构，即贯穿第一容纳腔与第二容纳腔，由于本体平行于检测平台，因此贯穿检测工装的光阑调节装置也会处于平行于本体的状态，从而保证了光阑孔的上平面与该调平结构的平行度，即保证了光阑调节装置的安装精度。同时由于连接结构的设置，在该检测工装内贯穿有光阑调节装置后，并进行安装精度的检测后，连接结构与氦质谱检测仪连接，可以对光阑的真空密封性进行检漏，从而保证光阑的真空度要求。该检测可以离线进行，即不需要专门的仪器既可以进行检测，从而提高了检测速度，进而提高了检测效率。
2.本发明提供的光阑调节装置的检测工装，所述调平结构为成型在所述本体周壁上的平面，从而便于该本体直接放置在检测平台，不需要在配合其他的调平结构即可完成该检测功能，从而提高了检测速度，进而提高了检测效率。
附图说明
为了更清楚地说明本发明具体实施方式或现有技术中的技术方案，下面将对具体实施方式或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图是本发明的一些实施方式，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。
图1为光阑调节装置的检测工装的结构示意图；
图2为图1的后视图；
图3为图1的侧视图。
附图标记说明：
1-本体；11-第一容纳腔；12-调平结构；13-端面；2-连接结构；21-第二容纳腔；22-筒状结构；23-连接部；3-过渡部；4-定位孔；5-限位孔。
具体实施方式
下面将结合附图对本发明的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
此外，下面所描述的本发明不同实施方式中所涉及的技术特征只要彼此之间未构成冲突就可以相互结合。
如图1至图3所示，本发明实施例提供的一种光阑调节装置的检测工装，包括本体1，具有第一容纳腔11；连接结构2，具有第二容纳腔21，所述第一容纳腔11与所述第二容纳腔21相连通，其中，所述第一容纳腔11与所述第二容纳腔21适于待装配件的贯穿；调平结构12，设于所述本体1上，适于调节所述本体1的平面度。
其中，待装配件为光阑调节装置，光阑安装在光阑调节装置内，光阑调节装置已经是现有技术，在此不做过多的赘述。通过在本体1上设有调平结构12，从而便于调节该本体1的平面度，在将该本体1放置在检测平台上，使得本体1平行于检测平台，然后再将光阑调节装置贯穿该本体1和连接结构2，即贯穿第一容纳腔11与第二容纳腔21，由于本体1平行于检测平台，因此贯穿检测工装的光阑调节装置也会处于平行于本体1的状态，从而保证了光阑孔的上平面与该调平结构12的平行度，即保证了光阑调节装置的安装精度。同时由于连接结构2的设置，在该检测工装内贯穿有光阑调节装置后，并进行安装精度的检测后，连接结构2与氦质谱检测仪(图中未示出)连接，可以对光阑的真空密封性进行检漏，从而保证光阑的真空度要求。该检测可以离线进行，即不需要专门的仪器既可以进行检测，从而提高了检测速度，进而提高了检测效率。
在本实施例中，所述调平结构12为成型在所述本体1周壁上的平面，从而便于该本体1直接放置在检测平台，不需要在配合其他的调平结构12即可完成该检测功能，从而提高了检测速度，进而提高了检测效率。
作为可替换的实施方式，该调平结构12还可以为V型块，V型块适用于精密轴类零部件的检测，划线，定位等用途；还可以用于检验精密轴类零部件垂直度、平行度，因此，也适用于检测该检测工装和光阑孔的上平面的平行度。
如图2和图3所示，所述连接结构2包括：与所述本体1位于同一轴线上的筒状结构22和设于所述筒状结构22远离所述本体1的一端的连接部23，所述连接部23的直径大于所述筒状结构22的直径。其中，筒状结构22与所述本体1位于同一轴线上，从而保证了光阑调节装置的插入精度。具体地，连接结构2为法兰。
还可以在所述连接结构2与所述本体1之间设有过渡部3，所述过渡部3为锥状结构，通过该过渡部3的设置，使得连接结构2内的筒状结构22的直径小于本体1的直径，从而便于与光阑调节装置的形状相适配，进而保证了光阑调节装置与本体1和连接结构2的完全匹配、和光阑调节装置的安装精度。
如图1所示，还包括设于所述本体1远离连接结构2一端面13上的定位结构，所述定位结构适于所述光阑调节装置贯穿后的固定。在本实施例中，所述定位结构包括至少两个沿所述端面13周向间隔设置的定位孔4。其中，定位孔4为螺纹孔，在光阑调节装置贯穿至本体1和连接结构2后，在利用螺栓将本体1与光阑调节装置连接成一体结构，即可以开始进行检测。在定位孔4的个数为两个时，两个定位孔4为对称设置。
作为可替换的实施方式，定位孔4的个数可以为三个，则三个定位孔4间隔设置，且均匀分布，使得光阑调节装置与本体1的端面13连接的更加紧密。具体定位孔4的个数可根据实际情况自行设定。
在实际使用的过程中，虽然螺纹孔具有固定的作用，但是对安装精度要求较高时，为了防止螺栓在螺纹孔内发生相对角度位移，因此，在该检测工装上，即本体1的端面13上还设有限位结构，其中，所述限位结构包括：至少一个限位件，设于所述本体1上；至少一个限位孔5，设于所述光阑调节装置上，限位孔5适于所述限位件的插入，以限制所述本体1相对于所述光阑调节装置的转动。在本实施例中，限位件为成型在本体1的端面13上的定位销。
作为可替换的实施方式，还可将限位孔5设置本体1上，在将限位件设置在光阑调节装置上，也可以起到了限制本体1相对于光阑调节装置的转动。
同时，本发明还提供了一种光阑调节装置的检测系统，包括所述的光阑调节装置的检测工装，还包括检测平台，所述本体1设于所述检测平台上，且所述调平结构12平行于所述检测平台，光阑调节装置，贯穿所述第一容纳腔11和所述第二容纳腔21；千分表图中未示出，适于检测所述光阑调节装置的平行度。
千分表是通过齿轮或杠杆将一般的直线位移直线运动转换成指针的旋转运动，然后在刻度盘上进行读数的长度测量仪器，主要用来检查工件的形状和位置误差。因此利用千分表可以对光阑调节装置的平行度进行检测。
还包括与所述连接结构2连接的质谱检漏仪，所述质谱检漏仪适于检测所述光阑调节装置的真空度。在本实施例中，质谱检漏仪为氦质谱检漏仪，
氦质谱检漏仪为气体工业名词术语，用氦气或者氢气作示漏气体，以气体分析仪检测氦气而进行检漏的质谱仪。氦气的本底噪声低，分子量及粘滞系数小，因而易通过漏孔并易扩散；另外，氦系惰性气体，不腐蚀设备，故常用氦作示漏气体。将氦气喷到接有气体分析仪的光阑调节装置上，若容器有漏孔，则氦质谱检漏仪即有所反应，可知漏孔所在及漏气量大小，从而可以测量氦质谱检漏仪的光阑调节装置。
具体的检测过程：首先可将本体1具有调平结构12的一侧放置在检测平台上，并调节该本体1的平面度，使得该调平结构12完全的与检测平台接触；然后再将光阑调节装置贯穿该本体1和连接结构2，即贯穿第一容纳腔11与第二容纳腔21，使得光阑调节装置与定位结构对准，并将限位件插入至限位孔5内，在利用螺栓将光阑调节装置与本体1的端面13连接成一体结构。
利用千分表对光阑进行平行度的检测，使用千分表对光阑调节装置的表面沿X方向、Y方向测量相对于调平结构12的平行度，按照安装精度要求将光阑调节装置控制在一定的误差范围内。
利用氦质谱检漏仪对光阑进行真空密封性的检测，将检测工装的连接结构2的接口处连接氦质谱检漏仪，从而可以对光阑的静态密封性及动态密封性进行检漏。在进行静态密封性检测时，不需要调节光阑调节装置的X方向、Y方向旋钮，可以直接对光阑的静态密封性进行检测；在进行动态密封性检测时，需要分别调节光阑调节装置的X方向、Y方向旋钮，在全量程调节过程中检测真空漏率，从而确认该光阑是否满足使用需求。
显然，上述实施例仅仅是为清楚地说明所作的举例，而并非对实施方式的限定。对于所属领域的普通技术人员来说，在上述说明的基础上还可以做出其它不同形式的变化或变动。这里无需也无法对所有的实施方式予以穷举。而由此所引伸出的显而易见的变化或变动仍处于本发明创造的保护范围之中。

Claims (10)

1.一种光阑调节装置的检测工装，其特征在于，包括：
本体(1)，具有第一容纳腔(11)；
连接结构(2)，具有第二容纳腔(21)，所述第一容纳腔(11)与所述第二容纳腔(21)相连通，其中，所述第一容纳腔(11)与所述第二容纳腔(21)适于待装配件的贯穿；
调平结构(12)，设于所述本体(1)上，适于调节所述本体(1)的平面度。
2.根据权利要求1所述的光阑调节装置的检测工装，其特征在于，所述调平结构(12)为成型在所述本体(1)周壁上的平面。
3.根据权利要求1所述的光阑调节装置的检测工装，其特征在于，所述连接结构(2)包括：
筒状结构(22)，与所述本体(1)位于同一轴线上；
连接部(23)，设于所述筒状结构(22)远离所述本体(1)的一端，所述连接部(23)的直径大于所述筒状结构(22)的直径。
4.根据权利要求1-3中任一项所述的光阑调节装置的检测工装，其特征在于，在所述连接结构(2)与所述本体(1)之间设有过渡部(3)，所述过渡部(3)为锥状结构。
5.根据权利要求1-4中任一项所述的光阑调节装置的检测工装，其特征在于，还包括设于所述本体(1)远离连接结构(2)一端面(13)上的定位结构，所述定位结构适于所述待装配件贯穿后的固定。
6.根据权利要求5所述的光阑调节装置的检测工装，其特征在于，所述定位结构包括至少两个沿所述端面(13)周向间隔设置的定位孔(4)。
7.根据权利要求1所述的光阑调节装置的检测工装，其特征在于，还包括限位结构，所述限位结构包括：
至少一个限位件，设于所述本体(1)和待装配件二者其中之一上；
至少一个限位孔(5)，设于所述本体(1)和待装配件二者另一上，并适于所述限位件的插入，以限制所述本体(1)相对于所述待装配件的转动。
8.一种检测系统，其特征在于，包括权利要求1-7中任一项所述的光阑调节装置的检测工装。
9.根据权利要求8所述的检测系统，其特征在于，还包括：
检测平台，所述本体(1)设于所述检测平台上，且所述调平结构(12)平行于所述检测平台；
光阑调节装置，贯穿所述第一容纳腔(11)和所述第二容纳腔(21)；
千分表，适于检测所述光阑调节装置的平行度。
10.根据权利要求9所述的检测系统，其特征在于，还包括与所述连接结构(2)连接的质谱检漏仪，所述质谱检漏仪适于检测所述光阑调节装置的真空度。
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