CN106104366B - 光波导元件模块 - Google Patents

光波导元件模块 Download PDF

Info

Publication number
CN106104366B
CN106104366B CN201580015902.5A CN201580015902A CN106104366B CN 106104366 B CN106104366 B CN 106104366B CN 201580015902 A CN201580015902 A CN 201580015902A CN 106104366 B CN106104366 B CN 106104366B
Authority
CN
China
Prior art keywords
shape
optical waveguide
electrode
waveguide element
end portion
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
CN201580015902.5A
Other languages
English (en)
Other versions
CN106104366A (zh
Inventor
加藤圭
宫崎德一
细川洋一
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Sumitomo Osaka Cement Co Ltd
Original Assignee
Sumitomo Osaka Cement Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Sumitomo Osaka Cement Co Ltd filed Critical Sumitomo Osaka Cement Co Ltd
Publication of CN106104366A publication Critical patent/CN106104366A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN106104366B publication Critical patent/CN106104366B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/03—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on ceramics or electro-optical crystals, e.g. exhibiting Pockels effect or Kerr effect
    • G02F1/035—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on ceramics or electro-optical crystals, e.g. exhibiting Pockels effect or Kerr effect in an optical waveguide structure
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/03—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on ceramics or electro-optical crystals, e.g. exhibiting Pockels effect or Kerr effect
    • G02F1/0305—Constructional arrangements
    • G02F1/0316—Electrodes
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/03—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on ceramics or electro-optical crystals, e.g. exhibiting Pockels effect or Kerr effect
    • G02F1/035—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on ceramics or electro-optical crystals, e.g. exhibiting Pockels effect or Kerr effect in an optical waveguide structure
    • G02F1/0356—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on ceramics or electro-optical crystals, e.g. exhibiting Pockels effect or Kerr effect in an optical waveguide structure controlled by a high-frequency electromagnetic wave component in an electric waveguide structure
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02F—OPTICAL DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF LIGHT BY MODIFICATION OF THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIA OF THE ELEMENTS INVOLVED THEREIN; NON-LINEAR OPTICS; FREQUENCY-CHANGING OF LIGHT; OPTICAL LOGIC ELEMENTS; OPTICAL ANALOGUE/DIGITAL CONVERTERS
    • G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
    • G02F1/01—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour 
    • G02F1/21—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  by interference
    • G02F1/225—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  by interference in an optical waveguide structure
    • G02F1/2255—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  by interference in an optical waveguide structure controlled by a high-frequency electromagnetic component in an electric waveguide structure

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Nonlinear Science (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Ceramic Engineering (AREA)
  • Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
  • Electromagnetism (AREA)
  • Optical Modulation, Optical Deflection, Nonlinear Optics, Optical Demodulation, Optical Logic Elements (AREA)

Abstract

本发明的目的在于提供一种光波导元件模块，其不使用利用了长线的引线接合，减少光波导元件与连接基板即中继基板或终端基板的电连接的非连续性，防止电特性劣化。光波导元件模块的特征在于，俯视观察时，接地电极的信号电极侧的边缘的形状L设定为位于被夹在形状L1与形状L2这两个形状(L1、L2)的范围内，所述形状L1为从坐标x1的输入端部或输出端部直线连接至成为坐标x2的接地电极的间隔W2的位置的形状，所述形状L2为从该输入端部或该输出端部至成为该接地电极的间隔W2的位置的控制电极即信号电极与接地电极的阻抗变化以恒定或连续变化的方式构成的该边缘的形状，并且，连接光波导元件与连接基板的接地用配线中，连接于该控制电极的该接地用配线的间隔大于该接地电极的间隔W1。

Description

光波导元件模块
技术领域
本发明涉及一种光波导元件模块，尤其涉及一种将光波导元件及连接基板容纳于壳体内的光波导元件模块。
背景技术
光测量技术领域或光通信技术领域中，常用在对光调制器或光开关等具有电光效应的基板上形成有光波导的光波导元件。这些光波导元件通常容纳于密封的壳体内，构成光波导元件模块。
如图1所示，光波导元件模块的壳体内容纳有用于将来自外部的输入信号电连接于光波导元件的控制电极(信号电极及接地电极)的中继基板或电连接于光波导元件的控制电极的输出侧且用于终止传播的电信号或将传播的电信号导出至壳体外的终端基板(参考专利文献1)。本说明书中，将中继基板及终端基板统称为连接基板。
光波导元件的控制电极的输入输出端部处，例如，如图1所示，夹着信号电极形成有接地电极。并且，控制电极也同样地，在连接基板上也夹着信号线路形成有接地线路。并且，通过金线等线与控制电极的输入输出端部的信号电极和接地电极、以及连接基板的信号线路和接地线路分别电连接(引线接合)。
并且，光通信技术领域中常用这种光波导元件模块(例如，光调制器)，但用于对光波导元件模块输入电信号的电缆(同轴电缆)通常设计为阻抗50Ω，因此与电缆(同轴电缆)直接或间接电连接的光波导元件的信号电极及连接基板的信号线路中，为了防止阻抗不匹配导致的电特性的劣化，优选设计为阻抗50Ω。
并且，具有电光效应的光波导元件上设有长度为几mm至几cm左右的调制部，但对光波导的宽度为几μm且导波间隔为几十至几百μm左右的光波导进行有效的调制，因此，调制部处的信号电极的宽度为几μm至几十μm变得非常细。而且，从光波导元件的控制电极的输入输出端部至调制部为止的距离较短，因此从控制电极的输入输出端部至调制部为止的信号电极的宽度也与调制部同样地变细。但是，若与连接基板电连接的信号电极的宽度为几μm～几十μm，则无法进行引线接合(线直径为几十μm，接合数量为2～3根)，因此控制电极的输入输出端部上设有例如宽度100μm以上、长度100μm以上的接合区域。因此，在(包括接合区域)控制电极的输入输出端部产生信号电极及接地电极(GND)的宽度急剧变化的区域。这种信号电极及接地电极(GND)的宽度的急剧变化成为产生电连接的非连续性的原因，且公开了引发光波导元件模块的电特性劣化的情况。
如图2所示，以往技术(参考专利文献2)中公开了通过金线等线电连接(引线接合)光波导元件上的接地电极宽度W1急剧变化的区域A与连接基板上的接地线路的端部B，抑制由于信号电极及接地电极(GND)的宽度急剧变化而产生的电连接的非连续性，防止光波导元件模块的电特性劣化。
但是，如以往技术的引线接合，由于操作人员的技能而接合形状(线弧高度、配线长度等)或接合位置产生偏差，因此电连接的非连续性的抑制效果不稳定，其结果有时对于光波导元件模块无法得到所希望的电特性。尤其，连接接地电极与接地线路之间的线变长，因此导致这种不良情况增加。
通过基于专用装置的引线接合的自动化，能够使接合形状(线弧高度、配线长度等)或接合位置的偏差稳定，但不管是手动还是自动，需要设置至少2根以上长线，引线接合的作业工作量增加。并且，有时长线因振动或冲击而偏离，基于引线接合连接的可靠性的光波导元件模块的电特性劣化也作为课题而被举出。
以往技术文献
专利文献
专利文献1：日本专利公开2003-233043号公报
专利文献2：日本专利第5263210号公报
发明的概要
发明要解决的技术课题
本发明欲解决的课题在于提供一种光波导元件模块，其能够解决上述问题，不使用利用了长线的引线接合，减少光波导元件与连接基板(中继基板或终端基板)的电连接的非连续性，防止电特性的劣化。
用于解决技术课题的手段
为了解决上述课題，本发明的光波导元件模块具有以下技术特征。
(1)光波导元件模块具备：光波导元件，具备具有电光效应的基板、形成于该基板的光波导及用于控制在该光波导传播的光波的控制电极；及连接基板，设置于该光波导元件的外部且具有与该控制电极电连接的配线，将该光波导元件及该连接基板容纳于壳体内，所述光波导元件模块的特征在于，该控制电极由信号电极及夹着该信号电极配置的接地电极构成，该连接基板设有信号线路及夹着该信号线路配置的接地线路，该控制电极中，从输入端部或输出端部远离的部分的该接地电极的间隔W2比该输入端部或该输出端部处的该接地电极的间隔W1窄，俯视观察时，该接地电极的该信号电极侧的边缘的形状设定为位于被夹在形状L1与形状L2这两个形状(L1、L2)的范围内，所述形状L1为从该输入端部或该输出端部直线连接至成为该接地电极的间隔W2的位置的形状，所述形状L2为从该输入端部或该输出端部至成为该接地电极的间隔W2的位置的该控制电极的阻抗变化以恒定或连续变化的方式构成的该边缘的形状，连接该光波导元件与该连接基板的接地用配线中，连接于该控制电极的该接地用配线的间隔大于该间隔W1。
(2)上述(1)中记载的光波导元件模块，其特征在于，所述的该接地电极的该信号电极侧的边缘的形状设定为与该形状L1相同。
(3)上述(1)中记载的光波导元件模块，其特征在于，所述的该接地电极的该信号电极侧的边缘的形状为由多个直线构成的多边形。
(4)上述(1)中记载的光波导元件模块，其特征在于，所述的该接地电极的该信号电极侧的边缘的形状由具有单个或多个曲率的曲线构成。
(5)上述(1)至(4)中任一项中记载的光波导元件模块，其特征在于，俯视观察时，该信号电极的两侧的边缘的形状设定为从该输入端部或该输出端部直线连接至成为该接地电极的间隔W2的位置的形状。
发明效果
如本发明所述，光波导元件模块具备：光波导元件，具备具有电光效应的基板、形成于该基板的光波导及用于控制在该光波导传播的光波的控制电极；及连接基板，设置于该光波导元件的外部且具有与该控制电极电连接的配线，将该光波导元件及该连接基板容纳于壳体内，所述光波导元件模块的特征在于，该控制电极由信号电极及夹着该信号电极配置的接地电极构成，该连接基板设有信号线路及夹着该信号线路配置的接地线路，该控制电极中，从输入端部或输出端部远离的部分的该接地电极的间隔W2比该输入端部或该输出端部处的该接地电极的间隔W1窄，俯视观察时，该接地电极的该信号电极侧的边缘的形状设定为位于被夹在形状L1与形状L2这两个形状(L1、L2)的范围内，所述形状L1为从该输入端部或该输出端部直线连接至成为该接地电极的间隔W2的位置的形状，所述形状L2为从该输入端部或该输出端部至成为该接地电极的间隔W2的位置的控制电极的阻抗变化以恒定或连续变化的方式构成的该边缘的形状，连接该光波导元件与该连接基板的接地用配线中，连接于该控制电极的该接地用配线的间隔大于该间隔W1，因此无需使用长线，而且，在接地电极传播的微波信号比接地电极的形状L2更靠近信号电极传播，因此，能够减少光波导元件与连接基板的电连接的非连续性，防止电特性的劣化。
附图说明
图1是说明光波导元件模块的结构的概要的图。
图2是说明专利文献2公开的光波导元件与连接基板的连接状况的图。
图3是说明本发明的光波导元件模块中使用的光波导元件与连接基板的配线状况的图。
图4是本发明的光波导元件模块的一实施例，是以将接地电极的间隔从W1至成为W2为止的间隔设定为直线形状的例来说明接地电极的信号电极侧的边缘的形状的图。
图5是本发明的光波导元件模块的一实施例，是说明将接地电极的信号电极侧的边缘的形状，接地电极的间隔从W1至成为W2为止的间隔设定为多边形的例的图。
图6是本发明的光波导元件模块的一实施例，是说明将引线接合区域形成为锥形的例的图。
具体实施方式
以下，利用优选例对本发明的光波导元件模块进行详细说明。
如图3所示，本发明的光波导元件模块具备：光波导元件，具备具有电光效应的基板、形成于该基板的光波导及用于控制在该光波导传播的光波的控制电极；及连接基板，设置于该光波导元件的外部且具有与该控制电极电连接的配线，将该光波导元件及该连接基板容纳于壳体内，所述光波导元件模块的特征在于，该控制电极由信号电极及夹着该信号电极配置的接地电极构成，该连接基板设有信号线路及夹着该信号线路配置的接地线路，该控制电极中，从输入端部或输出端部远离的部分的该接地电极的间隔W2比该输入端部或该输出端部处的该接地电极的间隔W1窄，俯视观察时，该接地电极的该信号电极侧的边缘的形状设定为位于被夹在形状L1与形状L2这两个形状(L1、L2)的范围内，所述形状L1为从该输入端部或该输出端部直线连接至成为该接地电极的间隔W2的位置的形状，所述形状L2为从该输入端部或该输出端部至成为该接地电极的间隔W2的位置的该控制电极的阻抗变化以恒定或连续变化的方式构成的该边缘的形状，连接该光波导元件与该连接基板的接地用配线中，连接于该控制电极的该接地用配线的间隔大于该间隔W1。
作为具有电光效应的基板，尤其能够优选利用LiNbO3、LiTaO3或PLZT(钛酸锆酸镧铅)、Si中的任一个的单晶或者、InP或GaAs等化合物半导体材料。尤其，也可以设为光调制器中常用的LiNbO3、LiTaO5。并且，在基板上形成的光波导通过例如在LiNbO3基板(LN基板)上热扩散钛(Ti)等高折射率物质而形成。并且，也可以在光波导的侧面形成槽或者将光波导部分的厚度形成为厚于其他基板部分，从而作为脊型波导。
控制电极由信号电极及接地电极构成，可以在基板表面形成Ti/Au等的底层电极图案，并通过镀金方法等而形成。另外，根据需要也可以在形成光波导后的基板表面设置电介质SiO2等缓冲层。
本发明中的“连接基板”是指对从外部输入电信号的输入端子与光波导元件的信号输入部进行连接的中继基板、或为了抑制电信号的反射，连接于光波导元件的信号电极的输出端部并利用电阻器等终止电信号的终端基板等。连接基板的基板材料使用介电常数比光波导元件的基板材料低的材料，例如使用氧化铝或半导体材料。这是因为有助于光波导元件的宽带化。
尤其，当构成光波导元件的基板的材料与连接基板的材料的介电常数不同时，控制电极的输入端部及输出端部处的信号电极的宽度与连接基板的信号线路的宽度、或控制电极的接地电极的间隔与连接基板的接地线路的间隔各自不同，因此更优选采用本发明的结构。
电连接光波导元件与连接基板的配线可以利用金等导电性的线或宽度较大的带，配线不限于1根，也可以用多根导电性的线或带来连接相同部分的附近。
本发明的特征在于，如图3所示，调整控制电极、尤其接地电极的宽度的变化W(x)(接地电极的信号电极侧的形状)。以光波导元件的控制电极(信号电极与接地电极)的输入端部或输出端部所在的基板的一侧面为基准，设定基板的内部方向(x轴方向)。图3是从上方俯视光波导元件及连接基板的图。
控制电极的输入端部及输出端部位于x轴坐标为x1的点上。信号电极的一部分可从接地电极位于内部(x轴所示的下方向)。当然，也可以相反。坐标x1中，接地电极的间隔由W1表示。并且，x轴坐标为x2的点为控制电极(信号电极)的布置开始点，通常，该位置的阻抗设定为所希望的值，例如50Ω(与外部的电缆的阻抗相同)。坐标x2中，接地电极的间隔由W2表示。
以往，从x1的点至x2的点之间，如图2或图3的形状L2，以阻抗与信号电极的形状的变化对应地恒定或连续变化(表示连续减少或连续增加中的任一个变化。)方式确定了接地电极的信号电极侧的形状。
然而，该状态下，若不使用长线，如图3所示在坐标x1的附近进行接地用的引线接合，则接地电极中的微波信号只能沿形状L2传播，成为迂回的传播。因此，产生电信号的损失及劣化，成为使光波导元件的电特性劣化的原因。
为了抑制这种迂回的传播，设为将坐标x1与坐标x2之间直线连接的形状L1，将微波信号的传播距离设定为最小。本发明的光波导元件模块中，将从坐标x1至x2之间的接地电极的边缘形状L设定为位于被夹在2个形状(L1、L2)的范围内。另外，本发明中，排除了形状L与形状L2一致的情况。
边缘的形状L随着从形状L1接近形状L2而成为电场分布容易急剧变化的接地电极图案，因此也可以以尽可能接近形状L1的方式构成接地电极图案。
在从坐标x1至x2之间，将接地电极的边缘的形状L如图3所示设定时，阻抗急剧变化。例如，随着从坐标x1朝向x2，示出阻抗減少之后增加等变化。这种阻抗变化成为阻抗不匹配的原因，担心容易产生微波信号的反射。然而，通过本发明人等的研究、调查发现阻抗不匹配的区域为从坐标x1至x2的几十μm～几百μm的长度，这比使用频率范围的波长(几mm至几cm)小很多，几乎不会产生阻抗不匹配导致的电特性的劣化。
作为接地电极的边缘的形状L的具体例，如图3所示，能够以具有单个或多个曲率的曲线构成，但并不限定于此。为了与图4所示的形状L1一致，也可以将从光波导元件的端部x1至电极布置开始点x2之间通过直线性的接地电极图案形成。
另外，如图5所示，也可以将边缘的形状L设定为由多个直线构成的多边形，以使在宽度W3或W4的位置有弯曲。
并且，图3～图5中，将引线接合区域的电极图案设为正方形(或长方形)，但只要能够确保引线接合所需的面积，则无需为这些形状。如图6所示，也可以将信号电极的引线接合区域的形状设为将从坐标x1的输入端部或输出端部至坐标x2的接地电极的间隔成为W2的位置直线连接的形状(锥形)。此时，将接地电极的边缘的形状如L3设定，通过采用信号电极及接地电极(GND)各自的宽度逐渐变化的结构，抑制因电场分布的急剧变化产生的电连接的非连续性，不易产生光波导元件模块的电特性劣化。
本发明的一方式中，通过设为接地电极宽度W(x)从光波导元件的电极端部x1朝向电极布置开始点x2逐渐变化的接地电极图案，抑制因电场分布的急剧变化产生的电连接的不匹配，防止了光波导元件模块的电特性的劣化。接地电极(GND)能够与形成于光波导元件上的其他电极图案同时形成，因此作业工序不会复杂化。而且，无需使用专利文献2那样的长线，能够减少基于引线接合的作业工作量。
并且，控制电极通过利用图案精度较高的光刻技术形成，因此接地电极宽度W(x)的偏差较小，能够得到与引线接合的精度相比稳定的接地电极图案，其结果，能够稳定地得到所希望的电特性。而且，利用光刻技术形成的底层电极(膜)与基板的粘附性非常高，不用担心如引线接合那样偏离，因此能够提供可靠性较高的光波导元件模块。
产业上的可利用性
如以上说明，根据本发明能够提供一种光波导元件模块，其不使用利用了长线的引线接合，减少光波导元件与连接基板(中继基板或终端基板)的电连接的非连续性，防止了电特性的劣化。

Claims (5)

1.一种光波导元件模块，其具备：光波导元件，具备具有电光效应的基板、形成于该基板的光波导及用于控制在该光波导传播的光波的控制电极；及连接基板，设置于该光波导元件的外部且具有与该控制电极电连接的配线，将该光波导元件及该连接基板容纳于壳体内，所述光波导元件模块的特征在于，
该控制电极由信号电极及夹着该信号电极配置的接地电极构成，
该连接基板设有信号线路及夹着该信号线路配置的接地线路，
该控制电极中，从输入端部或输出端部远离的部分的该接地电极的间隔W2比该输入端部或该输出端部处的该接地电极的间隔W1窄，
该信号电极在该输入端部或该输出端部具有矩形状的键合区域，并在所述键合区域的远离该输入端部或该输出端部的一侧具有锥形部，
设该接地电极的间隔成为W1的位置为第一位置，设该接地电极的间隔成为W2的位置为第二位置，设所述矩形状的键合区域与所述锥形部之间的位置为第三位置，
俯视观察时，该接地电极的该信号电极侧的边缘的形状设定为位于被夹在形状L1与形状L2这两个形状(L1、L2)的范围内，且不与该边缘的形状L2相同，所述形状L1为从所述第一位置直线连接至所述第二位置的形状，所述形状L2为以从所述第一位置至所述第二位置之间该控制电极的阻抗恒定的方式构成的该边缘的形状，或者所述形状L2为以从所述第一位置至所述第三位置之间该控制电极的阻抗恒定、且从所述第三位置至所述第二位置之间该控制电极的阻抗连续变化的方式构成的该边缘的形状，
该接地电极的该信号电极侧的边缘的形状设定为，从所述第一位置至所述第三位置之间该控制电极的阻抗减少，且从所述第三位置至所述第二位置之间该控制电极的阻抗增加，
连接该光波导元件与该连接基板的接地用配线与该输入端部或该输出端部的附近的该接地电极连接，与该接地电极连接的该接地用配线的间隔大于该间隔W1。
2.根据权利要求1所述的光波导元件模块，其特征在于，
所述的该接地电极的该信号电极侧的边缘的形状设定为与该形状L1相同。
3.根据权利要求1所述的光波导元件模块，其特征在于，
所述的该接地电极的该信号电极侧的边缘的形状为由多个直线构成的多边形。
4.根据权利要求1所述的光波导元件模块，其特征在于，
所述的该接地电极的该信号电极侧的边缘的形状由具有单个或多个曲率的曲线构成。
5.根据权利要求1至4中任一项所述的光波导元件模块，其特征在于，
俯视观察时，该信号电极的两侧的边缘的形状设定为从该输入端部或该输出端部直线连接至成为该接地电极的间隔W2的位置的形状。
CN201580015902.5A 2014-03-28 2015-03-27 光波导元件模块 Active CN106104366B (zh)

Applications Claiming Priority (3)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP2014-069087 2014-03-28
JP2014069087A JP5812142B2 (ja) 2014-03-28 2014-03-28 光導波路素子モジュール
PCT/JP2015/059667 WO2015147275A1 (ja) 2014-03-28 2015-03-27 光導波路素子モジュール

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN106104366A CN106104366A (zh) 2016-11-09
CN106104366B true CN106104366B (zh) 2019-12-06

Family

ID=54195779

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201580015902.5A Active CN106104366B (zh) 2014-03-28 2015-03-27 光波导元件模块

Country Status (4)

Country Link
US (1) US10025121B2 (zh)
JP (1) JP5812142B2 (zh)
CN (1) CN106104366B (zh)
WO (1) WO2015147275A1 (zh)

Families Citing this family (8)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP5835392B2 (ja) * 2014-03-31 2015-12-24 住友大阪セメント株式会社 光導波路素子モジュール
JP6922473B2 (ja) * 2017-06-27 2021-08-18 住友大阪セメント株式会社 光変調器
JP7013942B2 (ja) * 2018-02-28 2022-02-01 住友大阪セメント株式会社 光変調器、及び光伝送装置
JP7059749B2 (ja) * 2018-03-28 2022-04-26 住友大阪セメント株式会社 光導波路素子モジュール
JP7037116B2 (ja) 2018-03-30 2022-03-16 住友大阪セメント株式会社 光変調器
JP7263966B2 (ja) * 2019-08-02 2023-04-25 富士通オプティカルコンポーネンツ株式会社 光デバイス
WO2021146382A1 (en) * 2020-01-16 2021-07-22 Lightmatter, Inc. Pin sharing for photonic processors
CN113625476B (zh) * 2020-05-07 2024-06-18 华为技术有限公司 电光调制器、电光调制电路以及光通信设备

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN1432846A (zh) * 2001-06-28 2003-07-30 康宁Oti股份公司 共平面集成的光波导光电调制器
CN102207637A (zh) * 2010-03-29 2011-10-05 住友大阪水泥股份有限公司 光波导元件模块

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH06209293A (ja) * 1992-07-31 1994-07-26 American Teleph & Telegr Co <Att> 光伝送システムにおける変調装置
US6192167B1 (en) * 1998-07-24 2001-02-20 Uniphase Telecommunications Products Differential drive optical modulator
US6760493B2 (en) 2001-06-28 2004-07-06 Avanex Corporation Coplanar integrated optical waveguide electro-optical modulator
JP4027109B2 (ja) * 2002-02-08 2007-12-26 富士通株式会社 電気光学効果により光位相を変化させる素子を搭載した光モジュール
JP5171808B2 (ja) * 2007-03-06 2013-03-27 日本碍子株式会社 光位相変調器

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN1432846A (zh) * 2001-06-28 2003-07-30 康宁Oti股份公司 共平面集成的光波导光电调制器
CN102207637A (zh) * 2010-03-29 2011-10-05 住友大阪水泥股份有限公司 光波导元件模块

Also Published As

Publication number Publication date
CN106104366A (zh) 2016-11-09
US20170139240A1 (en) 2017-05-18
JP2015191137A (ja) 2015-11-02
JP5812142B2 (ja) 2015-11-11
WO2015147275A1 (ja) 2015-10-01
US10025121B2 (en) 2018-07-17

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN106104366B (zh) 光波导元件模块
US9366825B2 (en) Optical waveguide device module
US8644647B2 (en) Optical control device
US10162201B2 (en) Optical modulator
US10481464B2 (en) Optical modulator with wirings of equal length
US10126573B2 (en) Optical-waveguide-element module
JP5494704B2 (ja) 光導波路素子モジュール
CN110573941B (zh) 光调制元件
US8526768B2 (en) Light control device
JP6459245B2 (ja) 光変調器
US10514561B2 (en) Optical modulator
US10890788B2 (en) Optical waveguide device module
EP4283388A1 (en) A travelling wave electro-optic modulator

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant