CN106104035A - 真空排气装置 - Google Patents

Abstract

本发明目的在于使得在真空排气装置的轴承装置上不发生电腐蚀。在真空排气装置（10）的第一台座（50a）的支座部（53）上设置有收纳孔（51），将从设置于背板部（55）的粘接面（54）的台座侧粘接剂层（38）向下方移动的粘接剂从位于座面（57）的开口（58）收纳至收纳孔（51）内，而不侵入至第一轴承装置（40a）的外环42和座面（57）之间。外环（42）和座面（57）接触，外环（42）和第一台座（50a）被电连接，所以外环（42）经由第一台座（50a）被连接于泵壳（30），结果被接地。内环（43）和滚动体（45）的电位下降，所以防止在第一轴承装置（40a）的内部的电腐蚀。

Description

真空排气装置

技术领域

本发明涉及真空排气装置的技术，特别涉及不在轴承装置上发生电腐蚀的技术。

背景技术

被称作旋转泵（油封式旋转泵）的真空排气装置能够大致分为旋翼式泵、凸轮式泵、摆动活塞式泵这三种，但在任意一种方式的真空排气装置中都具有三相马达（三相电动机）和旋转或摆动的转子。

在三相马达上，借助变换器（inverter）变换为所希望的频率的三相交流电压，借助该三相交流电压，三相马达内的马达转子旋转，驱动轴旋转。

被安装于旋转轴的转子借助驱动轴的旋转来旋转或摆动，借助该转子的工作，真空排气装置从吸气口吸进真空槽内的空气，从排出口向大气中排出。

三相马达的旋转轴将两端用金属制的轴承装置能够旋转地轴承支承，但存在旋转轴的电位上升、在轴承内部发生放电的问题。

该放电被称作轴承电腐蚀，进行了多种考察，例如，在非专利文献1中，记载了下述内容：“轴承电腐蚀，如以绝缘栅双极型晶体管（IGBT） 为代表，随着被用于变换器的功率元件的高速转换化的进步，在工业领域的感应马达的变换器驱动上成为严重的问题，从1990年代后半段进行了大量的研究。所谓轴承电腐蚀是指，在轴承的内外环间产生被称作轴电压（或轴承电压）的电位差，若轴电压达到轴承的油膜的击穿电压则轴承电流（放电电流）流动。由于该放电电流，对轴承的金属表面造成损伤，轴承的声学性能恶化，进而以致轴承寿命下降的现象。作为轴承电腐蚀的对策，存在不使电流在轴承内部流动的方法、抑制成为轴承电流的原因的轴电压的方法。作为不使电流在轴承上流动的方法，提出借助绝缘轴承及陶瓷球轴承等使轴承绝缘的方法、通过设置接地电刷等使电流向轴承的外部流动的方法。借助绝缘轴承或陶瓷球轴承的方法使用相对于现行的轴承的材料即铁（轴承钢）非常高价的陶瓷材料，所以轴承的成本大幅提高。借助接地电刷的设置的方法需要在马达的外部设置零件，其零件费用也是必需的。作为抑制轴电压的方法，以下方法被提出：借助电磁干扰滤波器的设置等来抑制作为轴电压的产生原因的共模电压的方法、在定子和转子之间或在绕组的线圈端部和转子之间设置静电屏蔽来抑制轴电压的方法。将定子和转子之间静电屏蔽的方法、及将绕组的线圈端部和转子之间静电屏蔽的方法需要在马达内部的狭窄空间中插入屏蔽板，所以马达结构特殊，且需要将马达形状设置成较大。设置电磁干扰滤波器的方法需要在马达的外部设置零件，其零件费用也是必需的。”

但是，使导电性的电刷接触于旋转轴，由此将旋转轴连接于接地电位，使在轴承装置上产生的电压变小，防止放电的产生，为此使用高价的电刷，所以成本提高。

另一方面，使轴承装置和旋转轴从其他的导电性的部件绝缘，使旋转轴电悬浮，由此不产生轴承装置的放电，即使如此，若借助变换器生成高频的三相交流电压，则由于三相马达内部的寄生电容成分和寄生电感成分等，旋转轴的电位上升，发生轴承电腐蚀。

专利文献1：日本特开2005-198374号公报。

非专利文献1：大阪府立大学博士论文，大阪府立大学学术信息库，《关于脉宽调制变换器驱动的无电刷直流马达的轴承电腐蚀的研究》（「ＰＷＭインバータ駆動ブラシレスDCモータのベアリング電食に関する研究」），2013年1月，前谷达男。

发明内容

本发明是为了解决上述现有技术的不利情况而作出的，其目的是提供没有轴承电腐蚀的真空排气装置。

在本发明中通过形成收纳孔来防止电腐蚀，不追加新的零件。

用于解决上述问题的本发明……（由于与权利要求书中记载的内容相同所以在此省略。）

旋转轴的电位降低，所以能够防止电腐蚀。

收纳孔能够在金属制的第一台座上通过挖削（掘削）来形成，所以成本不会提高。

附图说明

图1表示作为本发明的真空泵的一例的旋转泵的外观。

图2是说明内部构造的附图。

图3（a）是轴承装置的内部俯视图，（b）是其A-A线剖视图。

图4（a）表示第一安装环，（b）表示第一台座和第一轴承装置，（c）表示第一安装装置。

图5是第一台座和第一轴承装置的一例的局部放大图。

图6是第一安装装置的一例的局部放大图。

图7是第一台座和第一轴承装置的其他例的局部放大图。

图8是第一安装装置的其他例的局部放大图。

图9是不具有收纳孔的台座和第一轴承装置的局部放大图。

图10是不具有收纳孔的第一安装装置的局部放大图。

图11（a）是用于说明泵主体的工作的图（吸进时），（b）是用于说明泵主体的工作的图（移动时）。

图12（c）是用于说明泵主体的工作的图（压缩时），（d）是用于说明泵主体的工作的图（排出时）。

图13（a）是拍摄发生电腐蚀的第一轴承装置的内部的照片，（b）是拍摄在驱动轴上接触有被接地的电刷的第一轴承装置的内部的照片，（c）是拍摄本发明的第一轴承装置的内部的照片。

图14是借助配线将泵壳电连接于基板的真空排气装置。

图15（a）、（b）表示比较例1、2的轴电压的波形，（c）~（e）表示实施例1~3的轴电压的波形。

图16（f）~（i）表示实施例4~7的轴电压的波形。

具体实施方式

＜真空排气装置＞

图1的附图标记10表示作为本发明的真空排气装置的一例的旋转泵，图2表示其内部。

该真空排气装置10具有马达部17、泵部18、基板19（载置板）。

马达部17是三相马达，具有导电性的马达壳20。在马达壳20的内部，配置有使驱动轴25旋转的马达主体21，所述马达主体21包括马达部17中的马达转子21₁和马达定子21₂等零件。

在马达壳20的外部配置有电源装置28。在电源装置28的内部配置有变换器，被输入至电源装置28的三相交流电压借助变换器变换为所希望的频率，被供给于马达主体21内部的马达定子。在马达定子的内部配置有马达转子，借助频率已被控制的交流电压，马达转子以所希望的速度旋转，驱动轴25借助该马达转子的旋转绕驱动轴25的中心轴线旋转。

泵部18具有导电性的泵壳30，泵壳30被固定于在地板面上配置的基板19。在泵壳30的内部配置有泵主体31。泵主体31被旋转轴26贯通。

在马达壳20上，在互相分开的位置上配置有第一、第二安装装置32a、32b，被固定于马达壳20。第一、第二安装装置32a、32b分别具有第一、第二安装环33a、33b，在第一安装装置32a的第一安装环33a上装配有第一轴承装置40a，在第二安装装置32b的第二安装环33b上装配有第二轴承装置40b。

在图3（a）中表示第一、第二轴承装置40a、40b的俯视图，在同图的（b）中表示其A-A线剖视图。

在第一、第二轴承装置40a、40b上使用一般的构造的球轴承装置，外形呈环状，在环状的外环42和比外环42直径小的环状内环43之间的间隙即轨道44上，配置有多个滚动体（滚珠）45。滚动体45在位于外环42和内环43之间的状态下能够滚动地移动，结果，在外环42或内环43的某一个静止的状态下，另一个能够旋转。另外，省略被用于球轴承装置的保持器（定位器）。外环42、内环43、滚动体45由金属构成。

驱动轴25的一端被插入至第一轴承装置40a的内环43的插通孔47，驱动轴25的另一端被插入至第二轴承装置40b的插通孔47，驱动轴25被固定于第一、第二轴承装置40a、40b的内环43。

在该状态下，驱动轴25被第一、第二轴承装置40a、40b轴承支承，即，通过滚动体45滚动移动，在外环42静止的状态下内环43和驱动轴25能够旋转。

被马达转子旋转的驱动轴25从导电性的马达壳20向外侧突出，经由联轴装置36a、36b被连接于旋转轴26。驱动轴25与旋转轴26也可以构成为一根轴。但是，驱动轴25的部分和旋转轴26的部分不被电连接。

驱动轴25和旋转轴26连接成驱动轴25的中心轴线和旋转轴26的中心轴线一致，若驱动轴25绕中心轴线旋转，则旋转轴26绕该中心轴线与内环43一起旋转。

在旋转轴26的位于泵主体31的内部的部分上，设置有借助旋转轴26的旋转来旋转或摆动的转子。图11（a）、（b）、图12（c）、（d）的附图标记27示出了转子。

这里，图11（a）、（b）、图12（c）、（d）是用于说明泵主体31的真空排气工作的示意性的附图，在该例中，转子27被固定于被插通于容器60的旋转轴26的位于容器60的内部空间61的部分。

在转子27上设置有第一、第二叶片（vane）槽68₁、68₂，在第一、第二叶片槽68₁、68₂的底面上，经由弹簧部件设有第一、第二叶片28₁、28₂，借助弹簧部件的伸缩，第一、第二叶片28₁、28₂能够在第一、第二叶片槽68₁、68₂中出入。

弹簧部件在第一、第二叶片28₁、28₂进入至第一、第二叶片槽68₁、68₂的内部时被压缩，在伸展时，第一、第二叶片28₁、28₂从第一、第二叶片槽68₁、68₂的内部出来。

＜真空排气工作＞

在图11、图12的（a）~（d）上，转子27沿顺时针方向旋转，首先，转子27在第一叶片28₁接触至容器60的内壁面的同时，首先向内部空间61内的连接于吸气口34的部分的容积扩大的方向旋转移动（图11（a））。

在吸气口34上连接有吸气管14（图2）的一端，吸气管14的另一端被连接于真空槽等真空排气对象的真空排气口，若内部空间61的连接于吸气口34的部分的容积扩大，则真空槽等的内部的气体被从吸气口34吸进。附图标记66表示被吸进至泵主体31的气体，真空槽等被真空排气。

吸进的气体66借助转子27的旋转移动处于被第一、第二叶片28₁、28₂密封的状态，随着转子27的旋转移动在容器60的内部旋转移动（图11（b）），接着，若进一步使转子27旋转移动，则在第一叶片28₁通过设置有排气口35的部位时，吸进的气体被第二叶片28₂和将排气口35闭塞的排气阀68闭塞，如转子27进一步旋转移动，则吸进的气体66被压缩（图12（c））。

排气阀68构成为在被压缩的气体66的压力比既定压力低的期间维持闭塞的状态，若压缩增强，被压缩的气体的压力超过既定压力，则排气阀68呈打开状态。

排气口35被连接于排气管15（图2），当排气口35打开时，内部空间61经由排气口35连接于排气管15。吸气口34被连接于吸气管14，被压缩的气体66从排气口35通过排气管15被排出至大气等（图12（d））。

这样，三相交流电压被供给至马达部17，转子27旋转，由此在泵主体31中重复进行吸气和排气，连接于吸气口34的真空槽等的气体被排出。

以上对真空排气装置10的泵主体31是盖德式的旋转泵的情况进行了说明，但本发明的真空排气装置10不限于盖德式的泵主体31，包括具有泵主体31、驱动轴25、马达部17、第一、第二轴承装置40a、40b的真空排气装置，所述泵主体31借助旋转轴26的旋转重复进行吸气和排气，所述驱动轴25使该旋转轴26旋转，所述马达部17使驱动轴25旋转，所述第一、第二轴承装置40a、40b将驱动轴25轴承支承。

＜轴承构造＞

对本发明的真空排气装置10的轴承的构造进行说明。

图4（a）是未安装有第一轴承装置40a的状态的第一安装装置32a。

在第一安装装置32a的第一安装环33a上分别固定有第一台座50a。

贯通孔48位于第一安装环33a的中央，第一台座50a被配置于贯通孔48的内部，被分别安装于第一安装环33a。

对其安装顺序进行说明，首先，第一台座50a分别具有支座部53和背板部55。第一台座50a是金属制的，支座部53和背板部55是金属一体地成形的。

支座部53和背板部55是圆环形，配置成外周和内周分别相对于圆环形的中心轴线平行。

背板部55的内径的大小比支座部53的内径大，比支座部53的外径小，支座部53和背板部55配置成使中心轴线一致，背板部55的下端位于支座部53的上端且与支座部53的上端的紧密接触。这里，支座部53的外径和背板部55的外径是相等的值。

为了将第一台座50a配置在贯通孔48内，第一台座50a的外径设为第一安装环33a的内径以下的大小。

背板部55位于第一安装环33a的内侧，第一安装环33a包围背板部55，背板部55包围包括背板部55的中央位置的空间。

若将背板部55包围的空间称作装配空间56，则在背板部55的一端侧，在装配空间56的下方位置上，支座部53朝向装配空间56的中心轴线方向突出，装配空间56的另一端侧敞开。

第一台座50a内的背板部55的外周被固定于第一安装环33a的内周。

若将背板部55的内周侧面称作粘接面54，则粘接面54在第一安装装置32a水平时呈铅直状态，在该铅直状态下露出至贯通孔48内，粘接面54包围的装配空间56的大小与背板部55的内径相等。

第一轴承装置40a的外径设为第一台座50a的背板部55的内径以下的大小。因此，第一轴承装置40a能够从装配空间56的与支座部53所处的一端相反的一侧的一端插入至装配空间56内。

支座部53具有露出至装配空间56的座面57。座面57配置成与粘接面54垂直，被插入至装配空间56的第一轴承装置40a在装配空间56内朝支座部53移动，能够抵接于座面57。

另外，被插入至第二安装环33b内的第二轴承装置40b，代替第一台座50a，具有弹簧71和第二台座50b，第二台座50b被配置于第二轴承装置40b和马达壳20的壁面之间。借助弹簧71的作用力，第二轴承装置40b被向马达主体21推压，被固定于固定部件。这里，马达壳20作为固定部件将第二轴承装置40b固定，但固定部件不限于马达壳20。第二轴承装置40b的其他结构与第一轴承装置40a相同，将驱动轴25轴支承。

＜第一轴承装置40a的装配＞

该真空排气装置10的第一、第二轴承装置40a、40b中的马达部17的输出轴侧的第一轴承装置40a使用粘接剂被安装于第一台座50a，马达部17的相反侧的第二轴承装置40b使用粘接剂和弹簧71被安装于第二台座50b。

另一方面，对在第一安装装置32a上安装第一轴承装置40a的顺序进行说明，首先，在第一轴承装置40a的外周侧面49（这里是外环42的外周侧面49）和第一台座50a的粘接面54上涂覆或粘贴粘接剂，形成粘接剂层，以座面57朝上的方式将第一安装装置32a水平配置。

图4（b）、（c）的单点划线表示的部件是驱动轴25。参照图4（b），表示在第一安装装置32a的装配空间56的上方配置有插通有驱动轴25的第一轴承装置40a的状态，附图标记37表示在第一轴承装置40a的外周侧面49上设置的轴承侧粘接剂层，附图标记38表示在第一台座50a的粘接面54上设置的台座侧粘接剂层。

图5是图4（b）的局部放大图，放大表示第一台座50a的一部分和第一轴承装置40a的一部分。在图5~10中省略驱动轴25。

第一轴承装置40a的外径和装配空间56的外径的差比将轴承侧粘接剂层37的厚度和台座侧粘接剂层38的厚度加在一起的厚度小。

若在将第一轴承装置40a和第一台座50a设置成互相平行的状态下，使第一轴承装置40a相对于第一台座50a相对地接近，则轴承侧粘接剂层37的下端接触至台座侧粘接剂层38的上端，若使第一轴承装置40a进一步向第一台座50a所处的方向移动，则在轴承侧粘接剂层37上施加朝上方的力，在台座侧粘接剂层38上施加朝下方的力，借助该力，台座侧粘接剂层38的表面部分向下方移动。

借助支座部53的挖削，在支座部53上，在座面57上形成有具有开口58的收纳孔51。收纳孔51的开口58被配置于接近粘接面54的部位，若第一轴承装置40a在装配空间56内朝下方移动，则伴随该移动，台座侧粘接剂层38的表面部分沿粘接面54向下方移动，如图4（c）和作为其局部的放大图的图6所示，被移动的部分从开口58进入至收纳孔51的内部，在座面57上未附着粘接剂，第一轴承装置40a落位于座面57上。

轴承侧粘接剂层37的粘接剂和台座侧粘接剂层38的粘接剂不位于座面57和底面41之间，第一轴承装置40a的外环42的底面41和第一台座50a的支座部53的座面57接触，外环42和支座部53之间电连接。

即在外环42和支座部53之间能够保证电阻为零。

外环42的底面41的边缘被修圆，形成曲面部46，外环42的外周侧面49和底面41之间借助曲面部46连接。

在使第一轴承装置40a落位于第一台座50a时，曲面部46从座面57和粘接面54离开，形成由曲面部46、座面57、粘接面54围成的间隙59。收纳孔51的开口58被配置于沿着粘接面54的位置，露出至该间隙59。

因此，沿粘接面54向下方移动的粘接剂即使在从收纳孔51溢出的情况下，也不侵入至座面57和底面41之间。

另一方面，在第一轴承装置40a落位于座面57的状态下，轴承侧粘接剂层37和台座侧粘接剂层38紧密接触成为一体，在粘接面54和外周侧面49之间存在轴承侧粘接剂层37的粘接剂的至少一部分和台座侧粘接剂层38的粘接剂的至少一部分，外周侧面49借助存在于粘接面54和外周侧面49之间的粘接剂被粘接于粘接面54。附图标记39表示成为一体的粘接剂。

另外，若预先将收纳孔51的容积设成比将轴承侧粘接剂层37和台座侧粘接剂层38加在一起的体积大，则被收纳于收纳孔51的部分的粘接剂的上部切实地位于比座面57靠下方的位置，因此是优选地的。

第一轴承装置40a的底面41的与座面57接触的部分是外环42的底面41，伴随驱动轴25的旋转进行旋转的内环43的底面41不接触至座面57。

马达壳20由金属构成，支座部53被电连接于马达壳20。马达壳20与泵壳30、基板19电连接，基板19被连接于接地电位。

因此，支座部53经由马达壳20、泵壳30、基板19连接于接地电位。

泵壳30和马达壳20被电连接，马达部17被经由马达壳20、泵壳30、基板19接地。

支座部53经由马达壳20、泵壳30与基板19连接于接地电位，所以会有从支座部53至接地电位的电阻值较大的情况。该情况下也有支座部53的电位上升的情况。

在本例中，将吸气管14由金属构成，将泵壳30和吸气管14电连接，将吸气管14连接于接地电位。该情况下，支座部53经由泵壳30和吸气管14被电连接于接地电位，从支座部53至接地电位的电阻值减少，所以支座部53的电位不上升。

可以将支座部53借助电线连接于接地电位，也可以将泵壳30借助电线连接于接地电位。

另外，内环43与驱动轴25接触，与驱动轴25电连接，内环43和外环42之间经由内环43和外环42之间的电容成分被交流电电连接。

若借助马达部17内的变换器生成的高频的交流电压借助分布于马达部17内的寄生电容成分和寄生电感成分被施加至驱动轴25，则在内环43上产生与接地电位不同的轴电压。

在本发明中，在座面57和外环42之间不形成粘接剂层，外环42接触于被连接至接地电位的支座部53的座面57，外环42被连接于接地电位。

内环43和外环42之间借助寄生电容成分交流地接接，外环42被连接于接地电位，所以即使借助马达部17运转时的轴电压向驱动轴25施加轴电压，在内环43和外环42之间也有电流流动。因此，内环43的电位不上升，内环43和外环42之间不发生放电。

图9是用于说明在作为比较例的真空排气装置110的未形成收纳孔的台座150上安装第一轴承装置40a时的状态的附图，在图9的真空排气装置110的部件上，除了台座150以外，附加与图5的真空排气装置10的对应的部件相同的附图标记，省略部件的说明。

在该真空排气装置110中，在将第一安装装置32a插入至台座150的粘接面54包围的装配空间56来使其落位于座面57的期间，若台座侧粘接剂层38的粘接剂向下方移动，则由于未形成收纳孔，所以粘接剂载于座面57上（图10）。

在底面41接触于座面57之前，粘接剂侵入至底面41的正下方的座面57，底面41变得无法接触于座面57。

用于各粘接剂层37、38的粘接剂出于可靠性和粘接力这点的考虑，使用绝缘性的有机化合物，若粘接剂位于底面41和座面57之间，则外环42和支座部53不接触，不被电连接，所以外环42被置于悬浮电位。

该情况下，驱动轴25的轴电压不能下降，若轴电压上升，则内环43和外环42之间的电位差变大，内环43和外环42之间发生放电。即，在第一轴承装置40a内发生电腐蚀。

在本发明中，第一轴承装置40a的轴电压不上升，在第一轴承装置40a的内部不发生电腐蚀。

＜电腐蚀的照片＞

图13（a）是拍摄发生了电腐蚀的第一轴承装置的内部的照片，同图（b）是拍摄将接触有被连接于接地电位的电刷的驱动轴25轴支承的第一轴承装置的内部的照片，同图（c）是拍摄本发明的第一轴承装置40a的内部的照片。

若将同图（a）的照片和同图（b）、（c）的照片比较，则可知在同图（b）、（c）中，不发生电腐蚀。

＜轴电压的测量结果＞

接着，将向接地电位的电连接方法改变，测量驱动轴25相对于接地电位的电压。将测量结果记载于下述表1的“轴电压Ｖ”栏中。

【表1】

表1 接地方法的不同和轴电压的不同

在实施例7中，将马达壳电连接于基板。

吸气管14由塑料（聚苯硫醚）构成，即使在不将基板19连接于接地电位的情况下，只要设置收纳孔51，轴电压就下降至17.12Ｖ（实施例1）。若从该实施例1的状态进而将基板19连接于接地电位，则进一步下降至15.10Ｖ（实施例2）。另一方面，若从实施例1的状态将吸气管14由电镀的黄铜构成并将其连接于接地电位，则下降至15.21Ｖ（实施例3）。若将基板19和吸气管14连接于接地电位，则下降至14.37Ｖ（实施例4）。

使吸气管14由304不锈钢构成的情况与由被电镀的黄铜构成的情况相比，轴电位低（实施例5~7）。

图14表示借助配线12将泵壳30电连接于基板19的真空排气装置11，相当于表1的实施例7的结构。

将比较例1、2和实施例1~7的轴电压的波形在图15（a）~（e）、图16（f）~（i）中表示。在表1中记载的轴电压的栏的值是将各波形的最大值读取来记载的。

＜其他例＞

在图7的第一台座50a的支座部53上，开口58位于座面57上，底面形成有位于比开口58的正下方的位置靠外侧的背板部55的下方的收纳孔52。

在该第一台座50a上，也在将第一轴承装置40a插入至装配空间56的期间，向下方移动的粘接剂从开口58进入至收纳孔52的内部，粘接剂不位于座面57和底面41之间，外环42和第一台座50a接触来被电连接，第一轴承装置40a构成为，粘接面54和外周侧面49借助位于其间的粘接剂来被互相固定（图8）。

此外，在上述例子中，将接近马达主体21的第一轴承装置40a用粘接剂固定于第一台座50a，但本发明还包括下述真空排气装置：在第二台座50b的支座部53上形成收纳孔，在使第二轴承装置40b落位于座面57来固定时，向下方移动的粘接剂进入至收纳孔的内部。

另外，在上述例子中，收纳孔51、52和其开口58是环状的，但也可以将具有不是环状的开口58的收纳孔51、52沿粘接面54配置一个或多个。

附图标记说明

10、11、110真空排气装置；20马达壳；21马达主体；25驱动轴；26旋转轴；27转子；30泵壳；32a第一安装装置；32b第二安装装置；34吸气口；35排气口；40a第一轴承装置；40b第二轴承装置；42外环；43内环；50a第一台座；50b第二台座；51、52收纳孔；53支座部；54粘接面；55背板部；57座面；58开口。

Claims (8)

1.一种真空排气装置，具有旋转轴、泵主体、驱动轴、马达部、第一台座、第二台座、第一轴承装置、第二轴承装置，

前述泵主体被前述旋转轴贯通，

前述驱动轴连接于前述旋转轴，

前述马达部使前述驱动轴旋转或摆动，

前述第一台座、第二台座被固定于前述马达部具有的固定部，

前述第一轴承装置、第二轴承装置分别被安装于前述第一台座、第二台座，分别将前述驱动轴的一端和另一端轴承支承，

前述旋转轴借助前述马达部旋转或摆动时，位于前述泵主体的内部的被安装于前述旋转轴的转子旋转或摆动，从设置于前述泵主体的吸气口将气体吸进来压缩，将被压缩了的前述气体从设置于前述泵主体的排气口向前述泵主体的外部排出，其特征在于，

前述第一轴承装置具有外环和被配置于前述外环的内侧的内环，前述外环和前述内环构成为接触于相同的滚动体，能够相对旋转，

前述第一台座具有支座部和被设置于前述支座部上的环状的背板部，

在前述支座部上设置有收纳孔，从前述第一轴承装置向前述背板部包围的装配空间的插入开始，到落位于前述第一台座的前述支座部且在前述背板部的内周面即粘接面和前述外环的外周侧面借助粘接剂被粘接之前的期间，沿着前述粘接面向前述支座部侧移动的粘接剂被收纳至前述收纳孔，

前述支座部的表面即座面和前述外环的底面接触，前述外环经由前述第一台座被连接于接地电位。

2.如权利要求1所述的一种真空排气装置，其特征在于，

前述收纳孔形成为环状。

3.如权利要求1所述的一种真空排气装置，其特征在于，

前述收纳孔设置成多个。

4.如权利要求1所述的一种真空排气装置，其特征在于，

前述外环被电连接于接地电位。

5.如权利要求1至4中任一项所述的一种真空排气装置，其特征在于，

前述收纳孔的开口沿前述粘接面设置。

6.如权利要求1至4中任一项所述的一种真空排气装置，其特征在于，

在前述外环上设有将前述外环的前述底面和前述外周侧面连接的曲面部，

前述收纳孔的开口位于由前述曲面部、前述座面和前述粘接面包围的间隙。

7.如权利要求5所述的一种真空排气装置，其特征在于，

在前述外环上设置有将前述外环的前述底面和前述外周侧面连接的曲面部，

前述收纳孔的开口位于由前述曲面部、前述座面和前述粘接面包围的间隙。

8.如权利要求1至7中任一项所述的一种真空排气装置，其特征在于，

前述马达部具有的马达壳被设为前述固定部。