CN106098512B - 斜直平行叉门控口字尖三角顶型阴极结构的发光显示器及其制作工艺 - Google Patents

Abstract

本发明公开了一种斜直平行叉门控口字尖三角顶型阴极结构的发光显示器，包括由阴极封装板、阳极封装板和透明玻璃框所构成的真空室；在阳极封装板上有阳极传导层、制备在阳极传导层上面的荧光粉层以及与阳极传导层相连的阳极外延长线层；在阴极封装板上有斜直平行叉门控口字尖三角顶型阴极结构；位于真空室内的支撑柱和消气剂附属元件。本发明具有制作结构简单易行、发光亮度高、制作成品率高等优点。

Description

斜直平行叉门控口字尖三角顶型阴极结构的发光显示器及其 制作工艺

技术领域

本发明属于真空科学与技术领域、光电子科学与技术领域、集成电路科学与技术领域、显示技术领域、微电子科学与技术领域以及纳米科学与技术领域的相互交叉领域，涉及到平面场发射发光显示器的制作，具体涉及到碳纳米管阴极的平面场发射发光显示器的制作，特别涉及到一种斜直平行叉门控口字尖三角顶型阴极结构的发光显示器及其制作工艺。

背景技术

碳纳米管是一种新型的管状物，其直径大约为几十纳米的数量级；在足够大的外电场强度作用下，无需施加其它能量，碳纳米管就会发射出大量电子，形成特有的冷场致发射现象；故而碳纳米管也是一种性能优异的冷阴极材料。利用碳纳米管作阴极而研制的场发射发光显示器具有工作温区广、功耗低、响应速度快、图像显示质量高等特性，业已成为了众多科研人员的重点话题。在三极结构的场发射显示器中，存在有阳极、阴极和门极三个电极结构，其中门极和阴极之间的距离很近，这样利用较小的门极工作电压就能够迫使碳纳米管发射大量电子，从而极大降低了整体发光显示器的功率损耗。

但是，在目前的碳纳米管阴极的场发射发光显示器中普遍都存在着大量缺陷。第一，门极对碳纳米管层的控制能力很弱。即使施加了适当的门极工作电压，也无法保证相应的碳纳米管进行场发射电子；该门极工作电压无法形成碳纳米管电子发射所必需的电场强度。而增大门极工作电压，无疑是增大了整体发光显示器的功率损耗。因此，如何进一步降低门极工作电压就成为了科研人员必须面对的课题。第二，碳纳米管的有效发射面积太小。为了增强发光显示器的发光亮度，有更多的碳纳米管进行电子发射，这是必须的，而制作更大面积的碳纳米管阴极就成为了增加碳纳米管有效发射面积的一种保守的、良好的可行方案。第三，门极电流过大的问题也比较突出。由于门极位于碳纳米管发射电子的上方，因此对于少部分碳纳米管发射电子的截留是不可避免的。但若门极电流过大，就意味着门极所截留的场发射电子数量过多，这会极大降低发光显示器的发光亮度和发光强度。

此外，对于碳纳米管阴极的场发射发光显示器而言，制作工艺、制作材料以及制作可行性也都是要考虑的问题。在确保门极对碳纳米管进行良好控制作用的前提下，降低制作工艺难度、减少制作成本也是不可或缺的。这些问题都需要进一步的加以研究和解决。

发明内容

发明目的：本发明的目的在于克服上述发光显示器中存在的缺陷和不足而提供一种制作过程稳定可靠的、制作成本低廉的、制作结构简单易行的、发光亮度高的、制作成品率高的斜直平行叉门控口字尖三角顶型阴极结构的发光显示器的显示器制作及其制作工艺。

技术方案：本发明的斜直平行叉门控口字尖三角顶型阴极结构的发光显示器，包括由阴极封装板、阳极封装板和透明玻璃框所构成的真空室，以及位于真空室内的支撑柱和消气剂附属元件；在阳极封装板上有阳极传导层、荧光粉层和阳极外延长线层，所述荧光粉层制备在阳极传导层上面，所述阳极外延长线层与阳极传导层相连；在阴极封装板上有斜直平行叉门控口字尖三角顶型阴极结构。

具体地，所述斜直平行叉门控口字尖三角顶型阴极结构的衬底为阴极封装板；所述阴极封装板上的印刷的银浆层形成阴极外延长线层；阴极外延长线层上的印刷的绝缘浆料层形成口字形的阴极基底一层，其上、下表面均为平面；口字形内侧壁面上的印刷的银浆层形成阴极连接线层，所述阴极连接线层和阴极外延长线层相互连通，阴极基底一层上表面的印刷的绝缘浆料层形成阴极基底二层；阴极基底二层呈现环形的尖三角顶型形状，尖三角顶型阴极基底二层的尖角向上，其下表面是与阴极基底一层的上表面相接的平面；阴极基底二层上的刻蚀的金属层形成阴极传导层，阴极传导层覆盖尖三角顶型阴极基底二层的两个侧面；阴极传导层和阴极连接线层是相互连通的；阴极封装板上的印刷的绝缘浆料层形成门极基底层；门极基底层的下表面为平面；门极基底层中存在矩形孔，矩形孔中暴露出阴极传导层、阴极基底二层和阴极基底一层；门极基底层的内侧壁为垂直于阴极封装板的方筒面；门极基底层的上表面是向矩形孔倾斜的坡面；门极基底层的上表面的最低点与阴极基底一层的顶部平齐；门极基底层的上表面上的印刷的银浆层形成门极电极一层；门极电极一层覆盖门极基底层的上表面，其前端截止于门极基底层矩形孔的边缘处；门极电极一层上的印刷的绝缘浆料层形成门极分离层；门极分离层上的印刷的银浆层形成门极电极二层和门极电极三层；门极电极二层位于门极分离层上靠近矩形孔部分，门极电极二层与门极电极一层相平行，且门极电极二层前端部分截止于门极基底层矩形孔的边缘处；门极电极二层前端的最低点与阴极基底二层的尖角高度相同；门极电极一层、门极电极二层和门极电极三层是相互连通的；门极电极二层和门极电极三层上印刷的绝缘浆料层形成门极覆盖层；碳纳米管层制备在阴极传导层上。

具体地，所述阴极封装板的材料为硼硅玻璃或钠钙玻璃。所述斜直平行叉门控口字尖三角顶型阴极结构的固定位置为阴极封装板；阴极传导层为金属银、钼、铬、镍、锡或钴。

本发明同时提出上述斜直平行叉门控口字尖三角顶型阴极结构的发光显示器的制作工艺，步骤如下：

1)阴极封装板的制作：对平面钠钙玻璃进行划割，形成阴极封装板；

2)阴极外延长线层的制作：在阴极封装板上印刷银浆，经烘烤、烧结工艺后形成阴极外延长线层；

3)阴极基底一层的制作：在阴极外延长线层上印刷绝缘浆料，经烘烤、烧结工艺后形成阴极基底一层；

4)阴极连接线层的制作：在阴极基底一层的内侧壁面上印刷银浆，经烘烤、烧结工艺后形成阴极连接线层；

5)阴极基底二层的制作：在阴极基底一层上印刷绝缘浆料，经烘烤、烧结工艺后形成阴极基底二层；

6)阴极传导层的制作：在阴极基底二层上制备出一个金属镍层，刻蚀后形成阴极传导层；

7)门极基底层的制作：在阴极封装板上印刷绝缘浆料，经烘烤、烧结工艺后形成门极基底层；

8)门极电极一层的制作：在门极基底层上印刷银浆，经烘烤、烧结工艺后形成门极电极一层；

9)门极分离层的制作：在门极电极一层上印刷绝缘浆料，经烘烤、烧结工艺后形成门极分离层；

10)门极电极二层和门极电极三层的制作：在门极分离层上印刷银浆，经烘烤、烧结工艺后形成门极电极二层和门极电极三层；

11)门极覆盖层的制作：在门极电极二层和门极电极三层上印刷绝缘浆料，经烘烤、烧结工艺后形成门极覆盖层；

12)斜直平行叉门控口字尖三角顶型阴极结构的清洁：对斜直平行叉门控口字尖三角顶型阴极结构的表面进行清洁处理，除掉杂质和灰尘；

13)碳纳米管层的制作：将碳纳米管印刷在阴极导电层上，形成碳纳米管层；

14)碳纳米管层的处理：对碳纳米管层进行后处理，改善其场发射特性。

15)阳极封装板的制作：对平面钠钙玻璃进行划割，形成阳极封装板；

16)阳极传导层的制作：对覆盖于阳极封装板表面的锡铟氧化物膜层进行刻蚀，形成阳极传导层；

17)阳极外延长线层的制作：在阳极封装板上印刷银浆，经烘烤、烧结工艺后形成阳极外延长线层；

18)荧光粉层的制作：在阳极传导层上印刷荧光粉，经烘烤工艺后形成荧光粉层；

19)显示器器件装配：将消气剂安装于阳极封装板的非显示区域；然后，将阳极封装板、阴极封装板、透明玻璃框和支撑柱装配到一起，用夹子固定；

20)显示器器件封装：对已装配的显示器器件进行封装工艺形成成品件。

所述步骤17具体为：在阳极封装板上的非显示区域印刷银浆，经过烘烤之后，最高烘烤温度：180ºC，最高烘烤温度保持时间：8分钟，放置在烧结炉中进行烧结，最高烧结温度：525ºC，最高烧结温度保持时间：8分钟。

所述步骤18具体为：在阳极封装板上的阳极传导层上印刷荧光粉，然后放置在烘箱中进行烘烤，最高烘烤温度为120ºC，最高烘烤温度保持时间：10分钟。

所述步骤20具体为：将显示器器件放入烘箱中进行烘烤；放入烧结炉中进行烧结；在排气台上进行器件排气、封离；在烤消机上对消气剂进行烤消，最后加装管脚形成成品件。

有益效果：本发明具有如下的积极效果：

首先，在所述的斜直平行叉门控口字尖三角顶型阴极结构中，碳纳米管制备在了阴极基底二层上面的阴极传导层上。一方面，在斜直平行叉门控口字尖三角顶型阴极结构中，阴极基底一层制作成了“口”字型形状，同时阴极基底二层制作成了环形尖三角顶型形状，这样就极大增加了碳纳米管层的面积，也就能够让更多的碳纳米管进行场发射电子，这对进一步增强发光显示器的发光亮度无疑是有益的；另一方面，环形尖三角顶型形状的阴极基底二层，使得尖三角顶附近的电场强度更加集中，也就更容易迫使碳纳米管发射出大量电子，充分利用了“边缘电场效应”现象，这对于进一步降低门极的工作电压、从而减小发光显示器的功率损耗是十分有利的。

其次，在所述的斜直平行叉门控口字尖三角顶型阴极结构中，制作了门极电极一层和门极电极二层。由于门极三层的存在，使得门极工作电压能够同时传送到门极电极一层和门极电极二层。当施加适当门极工作电压后，就会迫使碳纳米管发射出大量电子，形成场发射电子现象。鉴于门极电极一层和门极电极二层是相互平行的，也就是说，适当的门极工作电压施加以后，就能够让阴极基底二层侧面上更多的碳纳米管同时发射电子，这显然有助于进一步增大发光显示器的阳极工作电流。

第三，在所述的斜直平行叉门控口字尖三角顶型阴极结构中，门极电极一层和门极电极二层均被制作了碳纳米管层的旁侧。一方面有助于进一步缩减阴极-门极的有效距离，从而降低门极的工作电压，减小发光显示器的无用功率损耗。另一方面门极电极一层和门极电极二层均不会对碳纳米管场发射的电子造成过多的截留，这对于减小门极工作电流是有好处的。

此外，在所述的斜直平行叉门控口字尖三角顶型阴极结构中，并没有采用特殊的制作材料，也没有采用特殊的制作工艺，且整体发光显示器的制作工艺简单易行，这能够进一步降低整体发光显示器的制作成本。

除了上面所述的本发明解决的技术问题、构成技术方案的技术特征以及由这些技术方案的技术特征所带来的优点外，本发明的斜直平行叉门控口字尖三角顶型阴极结构的发光显示器所能解决的其他技术问题、技术方案中包含的其他技术特征以及这些技术特征带来的优点，将结合附图做出进一步详细的说明。

附图说明

图1给出了斜直平行叉门控口字尖三角顶型阴极结构的纵向结构示意图；

图2给出了斜直平行叉门控口字尖三角顶型阴极结构的横向结构示意图；

图3给出了一种斜直平行叉门控口字尖三角顶型阴极结构的发光显示器的结构示意图；

图中：阴极封装板1、阴极外延长线层2、阴极基底一层3、阴极连接线层4、阴极基底二层5、阴极传导层6、门极基底层7、门极电极一层8、门极分离层9、门极电极二层10、门极电极三层11、门极覆盖层12、碳纳米管层13、阳极封装板14、阳极传导层15、阳极外延长线层16、荧光粉层17、消气剂18、透明玻璃框19、支撑柱20。

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本发明进行进一步说明，但本发明并不局限于本实施例。

本实施的斜直平行叉门控口字尖三角顶型阴极结构的发光显示器如图1、图2和图3所示，包括由阴极封装板1、阳极封装板14和透明玻璃框19所构成的真空室；在阳极封装板14上有阳极传导层15、制备在阳极传导层15上面的荧光粉层17以及与阳极传导层15相连的阳极外延长线层16；在阴极封装板1上有斜直平行叉门控口字尖三角顶型阴极结构；位于真空室内的支撑柱20和消气剂18附属元件。

其中，斜直平行叉门控口字尖三角顶型阴极结构包括阴极封装板1、阴极外延长线层2、阴极基底一层3、阴极连接线层4、阴极基底二层5、阴极传导层6、门极基底层7、门极电极一层8、门极分离层9、门极电极二层10、门极电极三层11、门极覆盖层12和碳纳米管层13。

斜直平行叉门控口字尖三角顶型阴极结构的衬底材料为玻璃，可以为硼硅玻璃、钠钙玻璃，也就是阴极封装板1；阴极封装板1上的印刷的银浆层形成阴极外延长线层2；阴极外延长线层2上的印刷的绝缘浆料层形成阴极基底一层3；阴极基底一层3呈现“口”字型形状，其上、下表面均为平面；阴极基底一层3内侧壁面上的印刷的银浆层形成阴极连接线层4；阴极连接线层4和阴极外延长线层2是相互连通的；阴极基底一层3上的印刷的绝缘浆料层形成阴极基底二层5；阴极基底二层5呈现环形的尖三角顶型形状，尖三角顶型阴极基底二层5的尖角向上，其下表面为平面，位于阴极基底一层3的上表面上；阴极基底二层5上的刻蚀的金属层形成阴极传导层6，阴极传导层6覆盖尖三角顶型阴极基底二层5的两个侧面；阴极传导层6和阴极连接线层4是相互连通的；阴极封装板1上的印刷的绝缘浆料层形成门极基底层7；门极基底层7的下表面为平面；门极基底层7中存在矩形孔，矩形孔中暴露出阴极传导层6、阴极基底二层5、阴极基底一层3；门极基底层7的内侧壁为垂直于阴极封装板1的方筒面；门极基底层7的上表面为靠近矩形孔边缘部分低、远离矩形孔边缘部分高的倾斜坡面；门极基底层7的上表面的最低高度与阴极基底一层3的高度相同；门极基底层7的上表面上的印刷的银浆层形成门极电极一层8；门极电极一层8覆盖门极基底层7的上表面，其前端截止于门极基底层7矩形孔的边缘处，不向门极基底层7矩形孔内突出；门极电极一层8上的印刷的绝缘浆料层形成门极分离层9；门极分离层9上的印刷的银浆层形成门极电极二层10和门极电极三层11；门极电极二层10位于门极分离层9上靠近矩形孔部分，门极电极二层10与门极电极一层8相平行，且门极电极二层10前端部分截止于门极基底层7矩形孔的边缘处，不向门极基底层7矩形孔内突出；门极电极二层10前端的最低高度与阴极基底二层5的尖角高度相同；门极电极一层8、门极电极二层10和门极电极三层11是相互连通的；门极电极二层10和门极电极三层11上印刷的绝缘浆料层形成门极覆盖层12；碳纳米管层13制备在阴极传导层6上。

所述的斜直平行叉门控口字尖三角顶型阴极结构的固定位置为阴极封装板1；阴极传导层6可以为金属银、钼、铬、镍、锡、钴。

所述的斜直平行叉门控口字尖三角顶型阴极结构的发光显示器的制作工艺，其制作工艺如下：

1)阴极封装板1的制作：对平面钠钙玻璃进行划割，形成阴极封装板1；

2)阴极外延长线层2的制作：在阴极封装板1上印刷银浆，经烘烤、烧结工艺后形成阴极外延长线层2；

3)阴极基底一层3的制作：在阴极外延长线层2上印刷绝缘浆料，经烘烤、烧结工艺后形成阴极基底一层3；

4)阴极连接线层4的制作：在阴极基底一层3的内侧壁面上印刷银浆，经烘烤、烧结工艺后形成阴极连接线层；

5)阴极基底二层5的制作：在阴极基底一层3上印刷绝缘浆料，经烘烤、烧结工艺后形成阴极基底二层5；

6)阴极传导层6的制作：在阴极基底二层5上制备出一个金属镍层，刻蚀后形成阴极传导层6；

7)门极基底层7的制作：在阴极封装板1上印刷绝缘浆料，经烘烤、烧结工艺后形成门极基底层7；

8)门极电极一层8的制作：在门极基底层7上印刷银浆，经烘烤、烧结工艺后形成门极电极一层8；

9)门极分离层9的制作：在门极电极一层8上印刷绝缘浆料，经烘烤、烧结工艺后形成门极分离层9；

10)门极电极二层10和门极电极三层11的制作：在门极分离层9上印刷银浆，经烘烤、烧结工艺后形成门极电极二层10和门极电极三层11；

11)门极覆盖层12的制作：在门极电极二层10和门极电极三层11上印刷绝缘浆料，经烘烤、烧结工艺后形成门极覆盖层12；

12)斜直平行叉门控口字尖三角顶型阴极结构的清洁：对斜直平行叉门控口字尖三角顶型阴极结构的表面进行清洁处理，除掉杂质和灰尘；

13)碳纳米管层13的制作：将碳纳米管印刷在阴极导电层上，形成碳纳米管层13；

14)碳纳米管层13的处理：对碳纳米管层13进行后处理，改善其场发射特性。

15)阳极封装板14的制作：对平面钠钙玻璃进行划割，形成阳极封装板14；

16)阳极传导层15的制作：对覆盖于阳极封装板14表面的锡铟氧化物膜层进行刻蚀，形成阳极传导层15；

17)阳极外延长线层16的制作：在阳极封装板14上印刷银浆，经烘烤、烧结工艺后形成阳极外延长线层16，具体是在阳极封装板14上的非显示区域印刷银浆，经过烘烤(最高烘烤温度：180ºC，最高烘烤温度保持时间：8分钟)之后，放置在烧结炉中进行烧结(最高烧结温度：525ºC，最高烧结温度保持时间：8分钟)。

18)荧光粉层17的制作：在阳极传导层15上印刷荧光粉，经烘烤工艺后形成荧光粉层17；具体是在阳极封装板14上的阳极传导层15上印刷荧光粉，然后放置在烘箱中进行烘烤(最高烘烤温度为120ºC，最高烘烤温度保持时间：10分钟)。

19)显示器器件装配：将消气剂18安装于阳极封装板14的非显示区域；然后，将阳极封装板14、阴极封装板1、透明玻璃框19和支撑柱20装配到一起，用夹子固定；

20)显示器器件封装：对已装配的显示器器件进行封装工艺形成成品件，具体是将显示器器件放入烘箱中进行烘烤；放入烧结炉中进行烧结；在排气台上进行器件排气、封离；在烤消机上对消气剂18进行烤消，最后加装管脚形成成品件。

Claims (7)

1.一种斜直平行叉门控口字尖三角顶型阴极结构的发光显示器，包括由阴极封装板、阳极封装板和透明玻璃框所构成的真空室，以及位于真空室内的支撑柱和消气剂附属元件；其特征在于：在阳极封装板上有阳极传导层、荧光粉层和阳极外延长线层，所述荧光粉层制备在阳极传导层上面，所述阳极外延长线层与阳极传导层相连；在阴极封装板上有斜直平行叉门控口字尖三角顶型阴极结构；

所述斜直平行叉门控口字尖三角顶型阴极结构的衬底为阴极封装板；所述阴极封装板上的印刷的银浆层形成阴极外延长线层；阴极外延长线层上的印刷的绝缘浆料层形成口字形的阴极基底一层，其上、下表面均为平面；口字形内侧壁面上的印刷的银浆层形成阴极连接线层，所述阴极连接线层和阴极外延长线层相互连通，阴极基底一层上表面的印刷的绝缘浆料层形成阴极基底二层；阴极基底二层呈现环形的尖三角顶型形状，其尖角向上，其下表面是与阴极基底一层的上表面相接的平面；阴极基底二层上的刻蚀的金属层形成阴极传导层，阴极传导层覆盖尖三角顶型阴极基底二层的两个侧面；阴极传导层和阴极连接线层相互连通；阴极封装板上的印刷的绝缘浆料层形成门极基底层；门极基底层的下表面为平面；门极基底层中存在矩形孔，矩形孔中暴露出阴极传导层、阴极基底二层和阴极基底一层；门极基底层的内侧壁为垂直于阴极封装板的方筒面；门极基底层的上表面是向矩形孔倾斜的坡面；门极基底层的上表面的最低点与阴极基底一层的顶部平齐；门极基底层的上表面上的印刷的银浆层形成门极电极一层；门极电极一层覆盖门极基底层的上表面，其前端截止于门极基底层矩形孔的边缘处；门极电极一层上的印刷的绝缘浆料层形成门极分离层；门极分离层上的印刷的银浆层形成门极电极二层和门极电极三层；门极电极二层位于门极分离层上靠近矩形孔部分，门极电极二层与门极电极一层相平行，且门极电极二层前端部分截止于门极基底层矩形孔的边缘处；门极电极二层前端的最低点与阴极基底二层的尖角高度相同；门极电极一层、门极电极二层和门极电极三层是相互连通的；门极电极二层和门极电极三层上印刷的绝缘浆料层形成门极覆盖层；碳纳米管层制备在阴极传导层上。

2.根据权利要求1所述的斜直平行叉门控口字尖三角顶型阴极结构的发光显示器，其特征在于：所述阴极封装板的材料为硼硅玻璃或钠钙玻璃。

3.根据权利要求1所述的斜直平行叉门控口字尖三角顶型阴极结构的发光显示器，其特征在于：所述斜直平行叉门控口字尖三角顶型阴极结构的固定位置为阴极封装板；阴极传导层为金属银、钼、铬、镍、锡或钴。

4.根据权利要求1所述的斜直平行叉门控口字尖三角顶型阴极结构的发光显示器的制作工艺，其特征在于包括以下步骤：

1)阴极封装板的制作：对平面钠钙玻璃进行划割，形成阴极封装板；

2)阴极外延长线层的制作：在阴极封装板上印刷银浆，经烘烤、烧结工艺后形成阴极外延长线层；

3)阴极基底一层的制作：在阴极外延长线层上印刷绝缘浆料，经烘烤、烧结工艺后形成阴极基底一层；

4)阴极连接线层的制作：在阴极基底一层的内侧壁面上印刷银浆，经烘烤、烧结工艺后形成阴极连接线层；

5)阴极基底二层的制作：在阴极基底一层上印刷绝缘浆料，经烘烤、烧结工艺后形成阴极基底二层；

6)阴极传导层的制作：在阴极基底二层上制备出一个金属镍层，刻蚀后形成阴极传导层；

7)门极基底层的制作：在阴极封装板上印刷绝缘浆料，经烘烤、烧结工艺后形成门极基底层；

8)门极电极一层的制作：在门极基底层上印刷银浆，经烘烤、烧结工艺后形成门极电极一层；

9)门极分离层的制作：在门极电极一层上印刷绝缘浆料，经烘烤、烧结工艺后形成门极分离层；

10)门极电极二层和门极电极三层的制作：在门极分离层上印刷银浆，经烘烤、烧结工艺后形成门极电极二层和门极电极三层；

11)门极覆盖层的制作：在门极电极二层和门极电极三层上印刷绝缘浆料，经烘烤、烧结工艺后形成门极覆盖层；

12)斜直平行叉门控口字尖三角顶型阴极结构的清洁：对斜直平行叉门控口字尖三角顶型阴极结构的表面进行清洁处理，除掉杂质和灰尘；

13)碳纳米管层的制作：将碳纳米管印刷在阴极导电层上，形成碳纳米管层；

14)碳纳米管层的处理：对碳纳米管层进行后处理，改善其场发射特性；

15)阳极封装板的制作：对平面钠钙玻璃进行划割，形成阳极封装板；

16)阳极传导层的制作：对覆盖于阳极封装板表面的锡铟氧化物膜层进行刻蚀，形成阳极传导层；

17)阳极外延长线层的制作：在阳极封装板上印刷银浆，经烘烤、烧结工艺后形成阳极外延长线层；

18)荧光粉层的制作：在阳极传导层上印刷荧光粉，经烘烤工艺后形成荧光粉层；

19)显示器器件装配：将消气剂安装于阳极封装板的非显示区域；然后，将阳极封装板、阴极封装板、透明玻璃框和支撑柱装配到一起，用夹子固定；

20)显示器器件封装：对已装配的显示器器件进行封装工艺形成成品件。

5.根据权利要求4所述的斜直平行叉门控口字尖三角顶型阴极结构的发光显示器的制作工艺，其特征在于：所述步骤17中，在阳极封装板上的非显示区域印刷银浆，经过烘烤之后，最高烘烤温度：180ºC，最高烘烤温度保持时间：8分钟，放置在烧结炉中进行烧结，最高烧结温度：525ºC，最高烧结温度保持时间：8分钟。

6.根据权利要求4所述的斜直平行叉门控口字尖三角顶型阴极结构的发光显示器的制作工艺，其特征在于：所述步骤18中，在阳极封装板上的阳极传导层上印刷荧光粉，然后放置在烘箱中进行烘烤，最高烘烤温度为120ºC，最高烘烤温度保持时间：10分钟。

7.根据权利要求4所述的斜直平行叉门控口字尖三角顶型阴极结构的发光显示器的制作工艺，其特征在于：所述步骤20中，将显示器器件放入烘箱中进行烘烤；放入烧结炉中进行烧结；在排气台上进行器件排气、封离；在烤消机上对消气剂进行烤消，最后加装管脚形成成品件。