CN106081627A - 一种高速气浮板及其使用方法 - Google Patents

Abstract

本发明涉及一种高速气浮板，所述高速气浮板具有三个互相独立的储气腔，所述储气腔沿纵向分布，且所述高速气浮板的上表面沿纵向具有两条泄压槽，所述两条泄压槽分别位于中间的储气腔与两侧的储气腔之间，从而将所述高速气浮板分成三个独立的气浮模块。下料时，只开启中间气浮模块进行低压供气，防止玻璃基板与高速气浮板快速分离出现的吸附现象，且保证玻璃基板不飘移；上料时，只开启中间气浮模块进行负压供气，防止玻璃基板撞击高速气浮板，且保证玻璃基板不飘移；夹持时，同时再开启两侧两个气浮模块进行供气，玻璃基板与高速气浮板可快速充分分离；检测时，通气并使得中间气浮模块压力比两侧两个气浮模块压力小，保证玻璃基板的平整度。

Description

一种高速气浮板及其使用方法

技术领域

本发明具体涉及一种高速气浮板及其使用方法，属于LCD屏检测工具领域。

背景技术

随着LCD屏、OLED屏制作工艺不断提高，玻璃基板越做越大，测量、检测设备大多采用气浮平台来保证其测量、检测精度。气浮平台一般会分为两个区域：高速气浮区域和精密气浮区域，高速气浮区域使用高速气浮板，上、下料、夹持在此区域进行，玻璃基板飘浮高度控制在+/-25um以内；精密气浮区域使用精密气浮板，测量、检测在精密气浮区域进行，玻璃基板飘浮高度控制在+/-5um以内。图1是现有技术中气浮平台的布局图，其中高速气浮板沿着玻璃基板运动方向紧密排列，保证玻璃基板平稳运动，垂直于玻璃基板运动方向间隔排列，给予上、下料机构空间；精密气浮板垂直于玻璃基板运动方向紧密排列，保证玻璃基板平整度满足高精度测量、检测要求。

图2是现有技术中高速气浮板结构主视图，可见气孔均匀分布在一块长条形的平板上，由一路气路供气。

上、下料时，气路停止向高速气浮板供气，玻璃基板落于高速气浮平台上，上、下料机构从高速气浮板间隔空间将玻璃基板放入、取出。

夹持时，气路向高速气浮板供气，玻璃基板飘浮于高速气浮平台上，夹持机构夹持住玻璃基板。

测量、检测时，气路向高速气浮板供气，玻璃基板飘浮于高速气浮平台上，玻璃基板由夹持机构牵引从高速气浮区域向精密气浮区域运动。

以上现有高速气浮板的缺点是：

1、整个表面是一个平面：

下料时，玻璃基板与高速气浮板快速分离会出现吸附现象，造成玻璃基板在下料机构上剧烈振荡导致碎片；测量、检测时，玻璃基板在高速气浮板上因压力分布不均会出现中间突起现象，影响玻璃基板在精密气浮区域的平整度。

2：所有气孔由一路气路供气：

上料时，高速气浮板供气气路关闭，玻璃基板在上料机构上振荡，撞击高速气浮板造成碎片；夹持时，高速气浮板供气气路开启，玻璃基板与高速气浮板分离不充分造成夹持不到位。

特别的，随着LCD屏、OLED屏制作工艺不断提高，玻璃基板越做越薄，刚性越来越小，变形越来越严重，现有高速气浮板缺点越发突出。

发明内容

为解决以上问题，本发明的目的是提供一种高速气浮板及其使用方法。本发明的关键点是，将高速气浮板气孔的储气腔沿纵向独立成三个，并在高速气浮板表面沿纵向开两条泄压槽，这样就将一块高速气浮板分成三个独立的气浮模块。

具体的，本发明提供一种高速气浮板，所述高速气浮板具有三个互相独立的储气腔（1），所述储气腔（1）沿纵向分布，且所述高速气浮板的上表面沿纵向具有两条泄压槽（2），所述两条泄压槽（2）分别位于中间的储气腔（1）与两侧的储气腔（1）之间，从而将所述高速气浮板分成三个独立的气浮模块。

进一步，如上所述的高速气浮板，每个所述储气腔（1）的两端具有对应的气孔。

另外，本发明还公开了一种上述的高速气浮板的使用方法，包括以下步骤：

下料时，只开启中间一个气浮模块进行低压供气，防止玻璃基板与高速气浮板快速分离出现的吸附现象，且保证玻璃基板不飘移；

上料时，只开启中间一个气浮模块进行负压供气，防止玻璃基板撞击高速气浮板，且保证玻璃基板不飘移；

夹持时，同时再开启两侧两个气浮模块进行供气，玻璃基板与高速气浮板可快速充分分离；

测量或检测时，通气并使得中间一个气浮模块压力比两侧两个气浮模块压力小，保证玻璃基板在高速气浮板上的平整度。

附图说明

图1为现有技术中气浮平台的布局图。

图2为现有技术中高速气浮板结构主视图。

图3为本发明的高速气浮板结构主视图。

图4为本发明的高速气浮板结构侧视图。

具体实施方式

下面结合附图和实施例对本发明进行详细的描述。

如图3、4所示，本发明所提供的高速气浮板，将高速气浮板气孔的储气腔（1）沿纵向独立成三个，并在高速气浮板表面沿纵向开两条泄压槽（2），这样就将一块高速气浮板分成三个独立的气浮模块。

上述高速气浮板的工作原理如下：

下料时，只开启中间一个气浮模块（B路供气）进行低压供气，解决玻璃基板与高速气浮板快速分离出现的吸附现象，且保证玻璃基板不飘移。

上料时，只开启中间一个气浮模块（B路供气）进行负压供气，防止玻璃基板撞击高速气浮板，且保证玻璃基板不飘移。

夹持时，只需再开启两侧两个气浮模块（A路供气），玻璃基板与高速气浮板可快速充分分离。

测量、检测时，中间一个气浮模块压力（B路供气）比两侧两个气浮模块（A路供气）压力小，保证玻璃基板在高速气浮板上的平整度。

高速气浮板由A、B两路气路供气，其中B路气路供气有三种压力。所利用的原理是利用A、B气路开关及压力的各种组合实现各种需求。典型的几种组合是:

A路供气气路关闭，B路低压供气气路开启；

A路供气气路关闭，B路负压供气气路开启；

A路供气气路开启，B路高压供气气路开启；

A路供气气路开启，B路低压供气气路开启；

A路供气气路开启，B路负压供气气路开启。

显然，本领域的技术人员可以对本发明进行各种改动和变型而不脱离本发明的精神和范围。这样，倘若对本发明的这些修改和变型属于本发明权利要求及其同等技术的范围之内，则本发明也意图包含这些改动和变型在内。

Claims (3)

1.一种高速气浮板，其特征在于：

所述高速气浮板具有三个互相独立的储气腔（1），所述储气腔（1）沿纵向分布，且所述高速气浮板的上表面沿纵向具有两条泄压槽（2），所述两条泄压槽（2）分别位于中间的储气腔（1）与两侧的储气腔（1）之间，从而将所述高速气浮板分成三个独立的气浮模块。

2.如权利要求1所述的高速气浮板，其特征在于：

每个所述储气腔（1）的两端具有对应的气孔。

3.一种根据权利要求1或2所述的高速气浮板的使用方法，其特征在于：

下料时，只开启中间一个气浮模块进行低压供气，防止玻璃基板与高速气浮板快速分离出现的吸附现象，且保证玻璃基板不飘移；

上料时，只开启中间一个气浮模块进行负压供气，防止玻璃基板撞击高速气浮板，且保证玻璃基板不飘移；

夹持时，同时再开启两侧两个气浮模块进行供气，玻璃基板与高速气浮板可快速充分分离；

测量或检测时，通气并使得中间一个气浮模块压力比两侧两个气浮模块压力小，保证玻璃基板在高速气浮板上的平整度。