CN106064883B - 多孔质玻璃母材的烧结方法和烧结装置 - Google Patents

多孔质玻璃母材的烧结方法和烧结装置 Download PDF

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Abstract

多孔质玻璃母材的烧结方法，使垂下的多孔质玻璃母材相对于加热炉相对移动，顺次地从一端至另一端加热所述多孔质玻璃母材来进行透明玻璃化的多孔质玻璃母材，测量所述多孔质玻璃母材的输送速度Vf和该玻璃母材的下端的移动速度Vw，对于基于比值Vw/Vf计算的所述多孔质玻璃母材的直筒部的伸长率，对于每个所述多孔质玻璃母材的输送量L，预先设定大于1的目标值αS(L)，来进行所述多孔质玻璃母材的烧结处理，控制所述加热炉的温度和所述多孔质玻璃母材的输送速度的至少一个，来对于每个所述输送量L使所述伸长率的测量值α与所述目标值αS(L)一致。

Description

多孔质玻璃母材的烧结方法和烧结装置
[技术领域]
本发明涉及多孔质玻璃母材的烧结方法和烧结装置。
[背景技术]
在通过烧结进行透明玻璃化中，提出了抑制多孔质玻璃母材的外径变动的方法(例如，参照专利文献2)。
专利文献1日本专利申请公开第2003-081642号公报
专利文献2日本专利申请公开第2005-008452号公报
[发明内容]
[发明要解决的问题]
本发明提供一种不增加工作量且直径变动小的光纤母材的制造方法。[解决问题的手段]
根据本发明的第一方式，提供一种多孔质玻璃母材的烧结方法，使垂下的多孔质玻璃母材相对于加热炉相对移动，顺次地从一端至另一端加热多孔质玻璃母材来进行透明玻璃化，测量多孔质玻璃母材的输送速度Vf和该玻璃母材的下端的移动速度Vw，对于每个多孔质玻璃母材的输送量L，将基于比值Vw/Vf计算的多孔质玻璃母材的直筒部的伸长率预先设定为大于1的目标值αS(L)，来进行多孔质玻璃母材的烧结处理，控制加热炉的温度和多孔质玻璃母材的输送速度的至少一个，来对于每个输送量L使伸长率的测量值α与目标值αS(L)一致。
根据本发明的第二方式，提供一种多孔质玻璃母材的烧结装置，使垂下的多孔质玻璃母材相对于加热炉相对移动，顺次地从一端至另一端加热多孔质玻璃母材来进行透明玻璃化，包括控制部，在多孔质玻璃母材烧结的情况下，测量多孔质玻璃母材的输送速度Vf和该玻璃母材的下端的移动速度Vw，对于每个多孔质玻璃母材的输送量L，将基于比值Vw/Vf计算的多孔质玻璃母材的直筒部的伸长率预先设定为大于1的目标值αS(L)，来进行多孔质玻璃母材的烧结处理，控制加热炉的温度和多孔质玻璃母材的输送速度的至少一个，来对于每个输送量L使伸长率的测量值α与目标值αS(L)一致。
[附图说明]
图1是玻璃旋盘10的示意图。
图2是说明通过玻璃旋盘10的多孔质玻璃母材的制造的示意图。
图3是烧结装置29的示意截面图。
图4是示出通过烧结装置29的多孔质玻璃母材18的烧结过程的视图。
图5是示出使用烧结装置29而制造的光纤母材28的视图。
图6是示出加热炉24中的炉温设定值的图表。
图7是示出多孔质玻璃母材18的伸长率目标的设定值的图表。
图8是示出多孔质玻璃母材18的输送速度的设定值的图表。
图9是示出使用其他烧结装置39而制造的光纤母材38的视图。
上述的发明内容并未列出本发明的全部特征。这些特征组的子组合也属于本发明。
[具体实施方式]
以下，通过发明的实施方式对本发明进行説明,但是以下的实施方式并不限定本发明的权利要求范围。实施方式中说明的全部特征的组合并不是发明的解决手段所必须的。
图1是可以制造作为烧结对象的多孔质玻璃母材的玻璃旋盘10的示意图。玻璃旋盘10包括一对旋转夹具14和多个燃烧器16。例如可以通过OVD法(Outside vapordeposition method)来制造多孔质玻璃母材。
一对旋转夹具14把持靶棒13中熔接在芯棒11两端的把手12，使水平保持的靶棒13旋转。多个燃烧器16安装在沿靶棒13的长度方向移动的一个燃烧器台15上，在靶棒13中芯棒11的全长上喷射火焰17。
这里，燃烧器16中添加玻璃原料，例如四氯化硅、三氯(甲基)硅烷、八甲基环四硅氧烷等，供应氧气和氢气。据此，在火焰17中，通过火焰水解反应来生成玻璃微粒。因此，通过燃烧器台15沿靶棒13进行往复运动，火焰17生成的玻璃微粒附着在旋转的靶棒13的表面。
图2是示出在玻璃旋盘10中多孔质玻璃母材18形成的状态的视图。在靶棒13上附着的玻璃微粒进行层状堆积。进一步，通过持续玻璃微粒的堆积，多孔质玻璃母材18的外径变大，因此燃烧器台15远离靶棒13，到达玻璃微粒的预定堆积量之后，停止向燃烧器16供应原料气体。
由此，形成含有堆积的玻璃微粒的多孔质玻璃母材18。例如通过电炉的烧结，将多孔质玻璃母材18进行透明玻璃化，成为拉制光纤的光纤母材。
此外，上述透明玻璃化步骤之前，可以进行从多孔质玻璃母材18中去除OH基等的杂质的脱水处理。脱水处理，例如，在含有氯气、亚硫酰氯等的脱水气体的氛围气体中，将多孔质玻璃母材18加热到1100℃左右，来进行脱水处理。
另外，多孔质玻璃母材18的制造方法不限于OVD法。例如，也可以通过VAD法(Vaporphase axial deposition method)、MCVD法(Modified chemical vapor depositionmethod)、PCVD法(plasma-enhanced chemical vapor deposition method)等方法来制造多孔质玻璃母材18。
图3是烧结多孔质玻璃母材18时可以使用的烧结装置29的示意截面图。烧结装置29包括托架20、旋转轴21、连接部件22、炉芯管23和加热炉24。
炉芯管23可以使用透明石英玻璃来形成，大小可以容纳多孔质玻璃母材18。在烧结装置29中，炉芯管23纵向配置。在烧结装置29中烧结的多孔质玻璃母材18通过旋转轴21和连接部件22连接至托架20，并且在炉芯管23内垂下。
托架20配置在炉芯管23的上方，对旋转轴21的一端进行保持并且在其垂下的状态下沿图中上下方向进行驱动。旋转轴21在图中所示的上端结合在托架20上，下端设置的连接部件22中，多孔质玻璃母材18中的图中所示上侧的把手12在炉心管23的内部被连接。据此，多孔质玻璃母材18在炉芯管23的内部以旋转轴21为转轴进行旋转，同时沿图中所示的上下方向在炉芯管23内部移动。
加热炉24包括加热器25、隔热材料26和腔室27，配置为包围炉芯管23的长度方向的一部分，具有加热器25、隔热材料26和腔室27。加热器25将产生的热量通过炉芯管23的管壁向炉芯管23的内部辐射。据此，可以加热通过炉芯管23内部的多孔质玻璃母材18。隔热材料26从远离炉芯管23的一侧包围加热器25，防止加热器25产生的热量辐射到外部。腔室27容纳加热器25和隔热材料26，并且使加热炉24一体化。
烧结装置29还包括配置在炉芯管23的图中所示侧方的相机台座35。相机台座35沿配置在炉芯管23的长度方向的滑轨36移动。相机台座35上安装有相机34。相机34透过炉芯管23的透明的炉壁，从炉芯管23的外侧连续地对炉芯管23内的光纤母材28进行拍摄来进行监视。
烧结装置29中烧结多孔质玻璃母材18时，多孔质玻璃母材18的下端可以安装锤30。据此，在多孔质玻璃母材18上施加张力，来延伸因加热而软化的多孔质玻璃母材18。在图示的示例中，锤30具有通过一对碳板31而被上下夹持的石英玻璃圆筒32。碳板31和石英玻璃圆筒32的边界中，形成可以通过相机34观察的水平标记33。而且，多孔质玻璃母材18的下端安装有锤30，因此在使多孔质玻璃母材18的下端附近进行玻璃化时，比较低的加热炉温度就能容易地达到目标伸长率。据此，可以防止炉芯管23的过大的温度上升而引起的变形。
在烧结装置29中，通过上下方向自由驱动的相机34对可以从锤30的侧面观察的标记33进行拍摄，通过图像处理，基于拍摄的图像内的标记的位置和相机34自身的位置，可以更准确地计算锤30的位置。进一步地，通过相机34对锤30进行连续地拍摄，可以计算锤30的移动速度Vw。
如已经说明的，因为锤30安装在多孔质玻璃母材18的下端，所以通过锤30的位置和移动速度Vw，可推断出炉芯管23中多孔质玻璃母材18的下端位置和移动速度。这样，烧结装置29通过相机34对安装在多孔质玻璃母材18上的锤30的标记33进行拍摄，可以可靠且准确地测量因自身透明而拍摄困难的多孔质玻璃母材18的下端位置和移动速度Vw。
此外，图示的烧结装置29中的锤30将碳板31和石英玻璃圆筒32的两种不同材料纵向叠置，通过材料的边界来形成标记33。据此，可以形成没有磨损的且通过相机34的影像视觉上容易辨认的标记33。作为形成锤30的材料，优选为兼具耐受炉芯管23内的热量的耐热性和不会受到脱水步骤使用的氯气和亚硫酰氯侵蚀的耐反应性。
具体地，可以为碳、氮化硅、氧化铝、石英玻璃等。而且，在石英玻璃材料的侧面可以进行磨砂加工。进一步地，在上述材料中，碳和氮化硅是深色材料，氧化铝和磨砂加工的石英玻璃是白色材料。因此，这种深色材料和白色材料组合来形成锤30，可以得到鲜明的边界线，并且可以形成视觉上容易辨认的标记33。
而且，标记33可以在锤30的高度方向上间隔开来设置多个。据此，即使在炉芯管23的周围存在连接部、保持部件等遮挡相机视野的物体的情况下，相机34也能识别多个标记33中的一个。进一步地，根据同样的理由，可以通过各个独自的相机34来拍摄多个标记33。
加热炉24固定在炉芯管23的高度的中间位置，具有比多孔质玻璃母材18的长度短的高度。因此，加热炉24不能对全部多孔质玻璃母材18进行一并加热。在多孔质玻璃母材18通过加热炉24的内侧时，加热炉24将多孔质玻璃母材18加热至约1500℃以上。
图4是示出通过烧结装置29的多孔质玻璃母材18的烧结过程的示意截面图。在图4中，与图3相同的部件使用相同的附图标记并且省略重复的说明。
在烧结装置29中进行烧结的情况下，通过驱动托架20，烧结的多孔质玻璃母材18在充满氦等氛围气体的炉芯管23内旋转，同时下降。据此，多孔质玻璃母材18从下端顺次被加热进行烧结，烧结后的部分成为透明玻璃化后的光纤母材28。在图示的示例中，多孔质玻璃母材18的大致下半部分成为透明玻璃化后的光纤母材28。
此外，在烧结装置29中烧结开始的时间，从多孔质玻璃母材18下端附近形成的锥状部分开始进行透明玻璃化。但是，锥状部分不成为拉制光纤时的制品。为此，在烧结装置29中，在为了玻璃化而刚开始烧结的时间内，不需要使用相机34来监视标记33。
此外，多孔质玻璃母材18的粗细成为大致一定的直筒部中，通过相机34监视在锤30上形成的标记33，来进行基于多孔质玻璃母材18下端位置的控制。因此，在加热炉24引起的加热到达多孔质玻璃母材18的直筒部之前，调整相机台座35的位置，通过相机34来识别标记33。下面将描述，通过相机34监视标记33，同时进行控制。
图5是示出通过烧结装置29的烧结处理结束后的状态的示意截面图。在图5中，与图3和图4相同的部件使用相同的附图标记并且省略重复的说明。
在图示状态的烧结装置29中，多孔质玻璃母材18成为全长被烧结的透明玻璃化后的光纤母材28。但是，在多孔质玻璃母材18上端附近形成的锥状部分不成为拉制光纤时的制品。为此，在通过烧结装置29的烧结处理的末期，不需要使用相机34来监视标记33。
图3、4和5示出的一系列烧结装置29的烧结处理中，相机台座35追随多孔质玻璃母材18下端安装的锤30，沿着滑轨36进行移动。据此，一对相机34可以连续地拍摄锤30中的碳板31和石英玻璃圆筒32的边界处形成的一对标记33。
可以通过相机台座35的上下位置和相机34视野内的标记33的高度位置来测量锤30的位置，通过对此连续地执行，可以计算出玻璃母材下端的移动速度Vw。图示的烧结装置29中，根据多孔质玻璃母材18的上端的输送速度Vf和多孔质玻璃母材18下端的移动速度Vw的比值Vw/Vf，来求取多孔质玻璃母材18的伸长率α。
而且，在烧结装置29中，为了使根据烧结的多孔质玻璃母材18而测量的伸长率α与预设的伸长率的目标值αS(L)一致，控制加热炉的温度或输送速度的至少一个。例如，测量的伸长率α小于目标时，使加热炉24的温度上升或者使根据托架20的多孔质玻璃母材18的移动速度下降。
据此，因为使多孔质玻璃母材18的温度上升而进行软化，所以伸长率α上升。这里，在芯棒11的外径一定的情况下，芯棒11部分的伸长率的目标值αS(L)可以是与输送距离L无关的一定值αS。同时使芯棒11的外径一定，使生成芯棒11时的加工变得容易，使玻璃微粒的堆积步骤简单化。
进一步地，伸长率的目标值大于1，多孔质玻璃母材18积极地伸长且玻璃化，从而可以以更高的温度使多孔质玻璃母材18透明玻璃化。因此，可以直至多孔质玻璃母材18的中心进行充分的透明化。
但是，关于多孔质玻璃母材18中不成为制品的部分，根据需要可以为不同的目标值。托架20驱动的控制方法可以使用基于PID的反馈控制、容易预设且参照偏差和调整量的表格的表格控制等。
而且，在芯棒11的外径为DT、芯棒11部分占多孔质玻璃母材18直径的直径比率为r、且多孔质玻璃母材18透明玻璃化后的目标外径为Dp的情况下，可以通过下式1所示来计算多孔质玻璃母材18的伸长率的目标值αS。
伸长率的目标值αS＝(DT/r/Dp)2
但是，芯棒11的外径DT在长度方向上有分布时，伸长率的目标值αS定义为输送距离的函数αS(L)。
这里，调整加热炉24的温度且控制多孔质玻璃母材18的伸长率α的情况下，每个多孔质玻璃母材的输送距离L来预设设定炉温度T0(L)，基于伸长率的测量值α和上述目标值αS(L)的偏差或比率来求取温度偏差ΔT，将炉温度设定为T0(L)+ΔT来进行烧结处理。设定炉温度T0(L)后，基于伸长率的测量值α和其目标值αS(L)的偏差减小或者比率接近于1，可以使温度偏差ΔT变小，并且可以提高控制稳定性。
此外，在调整加热炉24的温度且控制多孔质玻璃母材18的烧结处理时，使用相同形状的多孔质玻璃母材18的情况下，不管哪个批次，相对于输送距离L的温度变化变得基本相同。因此，按照每个多孔质玻璃母材的输送距离L来预先设置设定炉温度T0(L)，基于伸长率的测量值α和目标值αS(L)的偏差或比率来求取温度偏差ΔT，通过将炉温度设定为T0(L)+ΔT，可以适当地控制多孔质玻璃母材两端外径变化大的部分。
此外，调整输送速度且控制伸长率的情况下，按照每个多孔质玻璃母材的输送距离L来预先设置设定输送速度Vfo(L)，基于伸长率的测量值α和目标值αS(L)的偏差或比率，来求取输送速度的偏差ΔVf，可以将输送速度设置为Vf0(L)+ΔVf来进行烧结。设定输送速度Vfo(L)后，基于伸长率的测量值α和其目标值αS(L)的偏差减小，可以使输送速度偏差ΔVf变小，并且可以提高控制稳定性。
此外，在调整多孔质玻璃母材18的输送速度且控制烧结处理时，与温度的情况相同，使用相同形状的多孔质玻璃母材18的情况下，不管哪个批次，相对于输送距离L的速度变化变得基本相同。因此，按照每个多孔质玻璃母材的输送距离L来预先设置设定输送速度Vfo(L)，基于伸长率的测量值α和目标值αS(L)的偏差或比率来求取输送速度偏差ΔVf，通过将输送速度设定为Vf0(L)+ΔVf来进行烧结，也可以适当地控制多孔质玻璃母材18两端外径变化大的锥状部分。
这样，通过使测量的伸长率α与伸长率的目标值αS(L)一致来控制加热炉温度或者输送速度，可以将多孔质玻璃母材18的直筒部的外径保持为一定值。
[实施例1]
直筒部的外径在全部区域内为55mm，芯棒11的长度为2000mm,含有作为把手12的虚设部的全长为4000mm的靶棒13中，芯棒11部分占玻璃母材直径的直径比率r为r＝0.305,这样来堆积玻璃微粒，制作外径360mm的多孔质玻璃母材18。该多孔质玻璃母材18的下端安装有锤30，其通过厚度为10mm且外径为200mm的两个碳板31，夹持高度为200mm且外径为200mm的石英玻璃圆筒32。
将上述多孔质玻璃母材18设置于烧结装置29中进行烧结处理。图6是示出该烧结处理中设定的炉温度T0(L)和多孔质玻璃母材18的输送距离L(mm)的关系的图表。图7是示出该烧结处理中多孔质玻璃母材18的伸长率的目标值αS(L)和多孔质玻璃母材18的输送距离L(mm)的关系的图表，如图所示，伸长率目标值αS(L)为定值。图8是示出该烧结处理中设定的多孔质玻璃母材18的输送速度Vf0(L)和输送距离(L)的关系的图表，如图所示，输送速度Vf0(L)为定值。
使用相机34来在锤30的标记33的位置处测量玻璃母材下端位置，从而测量烧结时的多孔质玻璃母材18的伸长率α。同时，基于各个输送距离L中的目标值αS(L)的偏差，通过PID运算来计算温度偏差ΔT，将加热炉24的温度调整为T0(L)+ΔT。
多孔质玻璃母材18的直筒部中的烧结时的伸长率α和伸长率的目标值αS(L)的差异最大为0.020。而且，多孔质玻璃母材18的直筒部中玻璃母材外径分布范围为158.7～161.0mm也是良好的。多孔质玻璃母材18在直筒部的全部区域进行透明玻璃化来成为光纤母材28，不会观察到外观上的问题。
[实施例2]
直筒部的外径在全部区域内为55mm，芯棒11的长度为2000mm,含有作为把手12的虚设部的全长为4000mm的靶棒13中，芯棒11部分占玻璃母材直径18的直径比率r为r＝0.305,这样来堆积玻璃微粒，制作外径360mm的多孔质玻璃母材18。该多孔质玻璃母材18的下端安装有锤，其通过厚度为10mm且外径为200mm的两个碳板31，夹持高度为200mm且外径为200mm的石英玻璃圆筒32。
将安装有锤30的多孔质玻璃母材18设置在烧结装置29中，通过图6、图7和图8所示的设定，使输送速度Vf0(L)一定来进行烧结处理。烧结时，使用相机34来在锤30的标记33的位置处测量玻璃母材18下端位置，从而测量烧结时的伸长率α。同时，基于各输送距离L中伸长率的目标值αS(L)的偏差，通过PID运算来计算速度偏差ΔVf，将根据托架20的多孔质玻璃母材18的输送速度调整为Vf0(L)+ΔVf。
多孔质玻璃母材18的直筒部中的烧结时的伸长率α和伸长率的目标值αS(L)的差异最大为0.022。而且，多孔质玻璃母材18的直筒部中玻璃母材外径分布范围为158.8～161.3mm也是良好的。多孔质玻璃母材18在直筒部的全部区域进行透明玻璃化来成为光纤母材28，不会观察到外观上的问题。
这样，烧结装置29中，通过对应于多孔质玻璃母材18的输送量L来使炉温度或输送速度进行变化，可以使烧结多孔质玻璃母材18得到的光纤母材28的外径稳定，并且可以良好地保持透明化状态。在上述示例中，虽然通过控制加热炉24的炉温度和根据托架20的输送速度的任一个来进行控制，但是可以使二者同时变化来进行控制。
图9是示出使用不包括锤30和相机34等的其他烧结装置39不进行如上所述的根据伸长率的目标值αS(L)的偏差控制来烧结的多孔质玻璃母材18的形状的示意图。在烧结装置39中，与烧结装置29相同的部件使用相同的附图标记并且省略重复的说明。
在通过加热炉24的加热进行透明玻璃化的多孔质玻璃母材18中，根据熔化的玻璃的表面张力的收缩力在所有输送距离L的位置都保持一定。但是，部分软化或熔化的多孔质玻璃母材18上作用的重力来拉伸多孔质玻璃母材18的力取决于烧结装置29中加热炉24加热位置的下方存在的光纤母材28的重量。因此，在不控制伸长率目标值αS(L)的偏差测量的伸长率α的情况下，随着烧结装置的进行，多孔质玻璃母材18的上部变细且下部变粗。
此外，在根据烧结的透明玻璃化中，测量多孔质玻璃母材18下端的移动速度，即便在进行控制以使多孔质玻璃母材18的输送速度没有偏差的情况下，在使多孔质玻璃母材18的伸长量为0而进行控制和烧结的情况下，使玻璃母材上端附近的加热炉温度降低。为此，在使更大型的玻璃母材进行玻璃化的情况下，多孔质玻璃母材上端附近因重力的伸长较大，必须使加热温度降低。因此，如果使多孔质玻璃母材18的伸长量为0来控制温度，不能加热到使多孔质玻璃母材18的透明玻璃化充分进行的加热温度。
而且，预先测量预先玻璃化时的伸缩量的长度分布，且制作在预先长度方向上调整为其倒数倍的外径的芯棒11的情况下，必须使芯棒11的外径在长度方向上变动来进行加工，进一步地，适应于芯棒11的外径，也必须调整玻璃微粒的堆积量。为此，芯棒11加工和OVD工艺的控制变得复杂，光纤用母材的生产性降低。
以上，使用实施方式说明了本发明，但本发明的技术的范围并不受限于所述实施方式所述的范围。对本领域的技术人员而言，能够对所述实施方式施加多种变更或改良是显而易见的。根据权利要求书的记载可知，经过这样的变更或改良后的方案也包含在本发明的保护范围内。
权利要求书、说明书以及附图中所示的装置、系统、程序、以及方法中的动作、步骤、以及阶段等各处理的执行顺序并未明确表示为“之前”、“以前”，此外，应注意，在后面的处理中不利用前面的处理的输出的情况下，能够以任意的顺序来实现。有关权利要求、说明书和附图中的动作流程，为了说明上的方便，说明中使用了“首先”、“其次”等字样，但即使这样也不意味着必须按此顺序实施。
[符号说明]
10玻璃旋盘、11芯棒、12把手、13靶棒、14旋转夹具、15燃烧器台、16燃烧器、17火焰、18多孔质玻璃母材、20托架、21旋转轴、22连接部件、23炉芯管、24加热炉、25加热器、26隔热材料、27腔室、28、38光纤母材、29、39烧结装置、30锤、31碳板、32石英玻璃圆筒、33标记、34相机、35相机台座、36滑轨

Claims (6)

1.一种烧结方法，为使垂下的多孔质玻璃母材相对于加热炉相对移动，顺次地从一端至另一端加热所述多孔质玻璃母材来进行透明玻璃化的多孔质玻璃母材的烧结方法，其中,
测量所述多孔质玻璃母材的输送速度Vf和该玻璃母材的下端的移动速度Vw，
在垂下的所述多孔质玻璃母材的下端附近安装使张力作用在所述多孔质玻璃母材上的锤，通过根据追随所述多孔质玻璃母材的相机来对设置在所述锤的侧面上的标记进行拍摄而得到的图像进行图像处理，基于所述相机的位置和所述图像中所述标记的位置，计算所述多孔质玻璃母材的下端的移动速度Vw,
对于每个所述多孔质玻璃母材的输送量L，将基于比值Vw/Vf计算的所述多孔质玻璃母材的直筒部的伸长率预先设定为大于1的目标值αS(L)，来进行所述多孔质玻璃母材的烧结处理，
控制所述加热炉的温度和所述多孔质玻璃母材的输送速度的至少一个，来对于每个所述输送量L使所述伸长率的测量值α与所述目标值αS(L)一致；
对于每个所述多孔质玻璃母材的输送距离L来预先设定所述加热炉的设定温度T0(L)，进行所述多孔质玻璃母材的烧结处理，
基于所述测量值α和所述目标值αS(L)的偏差和比率的任一个来求取温度偏差ΔT，将所述加热炉的炉温度设为T0(L)+ΔT来进行烧结；
所述标记具有在所述多孔质玻璃母材的长度方向互相间隔开进行配置的多个所述标记。
2.如权利要求1所述的烧结方法，其中，
对于每个所述多孔质玻璃母材的输送距离L来预先设定所述多孔质玻璃母材的输送速度Vf0(L)，进行所述烧结处理，
基于所述测量值α和所述目标值αS(L)的偏差和比率的任一个来求取所述多孔质玻璃母材的输送速度偏差ΔVf，将输送速度设为Vf0(L)+ΔVf来进行烧结。
3.如权利要求1所述的烧结方法，其中，
所述多孔质玻璃母材具有在外周堆积玻璃微粒且长度方向上外径一定的芯棒，
将所述目标值αS(L)与所述多孔质玻璃母材的输送距离L无关地设定为大于1的一定值αS，来进行烧结处理。
4.如权利要求1所述的烧结方法，其中，所述标记包含将多个部件叠置而形成的所述锤中的所述多个部件的边界线。
5.如权利要求1所述的烧结方法，其中，使用多个所述相机来对多个所述标记分别进行拍摄。
6.一种烧结装置，为使垂下的多孔质玻璃母材相对于加热炉相对移动，顺次地从一端至另一端加热所述多孔质玻璃母材来进行透明玻璃化的多孔质玻璃母材的烧结装置，包括：
控制部，在烧结所述多孔质玻璃母材的情况下，测量所述多孔质玻璃母材的输送速度Vf和该玻璃母材下端的移动速度Vw，对于每个所述多孔质玻璃母材的输送量L，将基于比率Vw/Vf计算的所述多孔质玻璃母材的直筒部中的伸长率预先设定为大于1的目标值αS(L)，控制所述加热炉的温度和所述多孔质玻璃母材的输送速度的至少一个，使所述多孔质玻璃母材的伸长率的测量值α与所述目标值αS(L)一致；
所述玻璃母材下端的移动速度Vw通过在垂下的所述多孔质玻璃母材的下端附近安装使张力作用在所述多孔质玻璃母材上的锤，根据追随所述多孔质玻璃母材的相机来对设置在所述锤的侧面上的标记进行拍摄而得到的图像进行图像处理，基于所述相机的位置和所述图像中所述标记的位置进行计算而得到；
对于每个所述多孔质玻璃母材的输送距离L来预先设定所述加热炉的设定温度T0(L)，进行所述多孔质玻璃母材的烧结处理，
基于所述测量值α和所述目标值αS(L)的偏差和比率的任一个来求取温度偏差ΔT，将所述加热炉的炉温度设为T0(L)+ΔT来进行烧结；
所述标记具有在所述多孔质玻璃母材的长度方向互相间隔开进行配置的多个所述标记。
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