CN106053541A - 一种环形加热器的Al2O3‑AlN陶瓷微热板气体传感器 - Google Patents
一种环形加热器的Al2O3‑AlN陶瓷微热板气体传感器 Download PDFInfo
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Abstract
一种环形加热器的Al2O3‑AlN陶瓷微热板气体传感器,包括:衬底、导热介质层、加热器电极、信号电极、焊盘、热隔离通孔、敏感膜。传感器中心加热区采用环形加热器设计,环形加热器周围采用环形热隔离通孔设计,从而减小热传导损耗。传感器衬底采用Al2O3陶瓷基片,通过磁控溅射在Al2O3陶瓷基片表面形成AlN导热介质膜,在AlN介质膜上通过柔性机械光刻剥离工艺实现Pt膜加热电极和信号电极制备,通过激光微加工工艺实现热隔离通孔的刻蚀。本发明通过环形加热器和半环形热隔离通孔设计,解决了微热板气体传感器热损耗高问题。同时,通过高热导率AlN导热介质膜设计,降低了微热板加热区热梯度效应,提高热平衡响应速率。本发明传感器可兼容多种半导体敏感膜,实现多种有毒有害气体检测功能,对现代传感器智能终端微型化、低功耗、智能化发展具有重要意义。
Description
技术领域
本发明涉及一种环形加热器的Al2O3-AlN陶瓷微热板气体传感器。
背景技术
目前,现有的硅衬底结构微热板气体传感器具有工艺程序复杂、敏感膜兼容性差和高温热稳定性不理想等缺点,制约了微结构气体传感器的发展和应用。
发明内容
为了克服现有微热板传感器膜兼容性和热稳定性不足,本发明提供一种环形加热器的Al2O3-AlN陶瓷微热式气体传感器。该传感器结构设计包括:衬底1、导热介质层2、加热器电极3、信号电极4、焊盘5、热隔离通孔6、敏感膜7。传感器衬底1表面形成导热介质层2;传感器的中心加热器电极3为环形结构;在加热器电极3内部是信号电极4,信号电极4为梳状对称结构;加热器电极3外围是热隔离通孔6,热隔离通孔6为半环状结构。传感器四个角为焊盘5,分别与加热器电极3和信号电极4连接;敏感膜7在传感器中心的信号电极4之间。
所述衬底1为Al2O3陶瓷基片。
所述导热介质层2为AlN陶瓷薄膜。
所述加热器电极3为Pt膜。
所述信号电极4为Pt膜。
所述焊盘5为Pt膜。
所述敏感膜7为半导体氧化物敏感材料,敏感材料成分根据检测目标气体类型而定。
本发明所采用的工艺制备方法是:一、清洗Al2O3陶瓷基片;二、利用磁控溅射工艺,在Al2O3陶瓷基片表面镀一层AlN陶瓷薄膜;三、在镀有AlN陶瓷薄膜的Al2O3陶瓷基片表面通过柔性机械光刻剥离工艺制备Pt膜加热器电极、信号电极及与其相连焊盘;四、通过激光刻蚀工艺在加热器电极外围刻蚀热隔离通孔;五、利用半导体敏感材料成膜技术在信号电极中心形成敏感膜。
所述的Al2O3陶瓷基片厚度0.2mm。
所述的AlN陶瓷薄膜厚度为10μm。
所述的Pt膜厚度为500nm。
所述的热隔离通孔的孔深0.210μm。
所述的加热电极3与信号电极4和焊盘5厚度一致。
具体实施工艺步骤
步骤一:选用Al2O3陶瓷基片为衬底,将Al2O3陶瓷基片浸入在丙酮溶液中,并采用在50kHz频率的超声波对其进行清洗10~15min后,取出Al2O3陶瓷基片再浸入酒精溶液中,在30kHz频率下进行超声波清洗10~15min,再取出Al2O3陶瓷基片在120℃干燥箱中进行烘干,获得烘干后的Al2O3陶瓷基片;
步骤二:利用步骤一中烘干后的Al2O3陶瓷基片,放入磁控溅射镀膜机中,在真空条件下通入一定比例氩气和氮气,进行磁控溅射镀膜,获得镀有氮化铝(AlN)薄膜的Al2O3陶瓷基片衬底;
步骤三:对步骤二中获得镀有氮化铝薄膜的Al2O3陶瓷基片,进行正性光刻胶匀胶工艺,并在100-120℃进行10-15min烘烤处理,在镀有氮化铝薄膜的Al2O3陶瓷基片上形成一层光刻胶;
步骤四:对步骤三中涂有光刻胶的Al2O3陶瓷基片,以带有传感器图形的掩模版为制版模具对涂有光刻胶的Al2O3陶瓷基片进行光刻,并放入正性胶显影液中显影,直至图案清晰,取出并用去离子水冲洗掉显影液,放入90℃干燥箱中烘烤10-15min,获得带有光刻胶传感器图案的Al2O3陶瓷基片;
步骤五:将步骤四中带有光刻胶传感器图案的Al2O3陶瓷基片放入磁控溅射镀膜机中,用铂金靶材作为溅射靶材,进行磁控溅射镀膜,形成带有铂膜的Al2O3陶瓷基片;
步骤六:将步骤五中带有铂膜的Al2O3陶瓷基片放入丙酮溶液中浸泡,溶解光刻胶,同时对带有铂膜的Al2O3陶瓷基片在30kHz频率下进行超声30s处理加速溶解光刻胶,取出后采用柔性机械光刻剥离法剥离掉不需要的铂金属膜,获得Al2O3陶瓷基片上与掩膜版图案相反的铂金属传感器电极结构;
步骤七:将步骤六中带有铂膜传感器电极结构的Al2O3陶瓷基片,利用激光划片机在Al2O3陶瓷基片铂膜加热器电极外围进行激光刻蚀,刻蚀形成两个环状热隔离通孔;
步骤八:将步骤七中带有刻蚀热隔离通孔的Al2O3陶瓷基片放入800℃高温炉中退火处理2h,获得热隔离结构和环形加热器的Al2O3-AlN陶瓷微热板气体传感器芯片;
步骤九:将步骤八中Al2O3-AlN陶瓷微热板气体传感器芯片,通过半导体敏感材料成膜工艺,在芯片中心的梳状信号电极间形成敏感膜,获得一种环形加热器的Al2O3-AlN陶瓷微热板气体传感器。
附图说明
图1是本发明一种环形加热器的Al2O3-AlN陶瓷微热板气体传感器的平面结构图。
图2是图1中A-B两点截面结构图。
图3是图1中加热器电极结构图。
图4是图1中信号电极结构图。
图1和图2中,1- 衬底,2- 导热介质层,3-加热器电极,4-信号电极,5-焊盘,6-热隔离通孔,7- 敏感膜。
具体实施方式
具体实施方式一、结合图1和图2说明本实施方式,本实施方式所述一种环形加热器的Al2O3-AlN陶瓷微热板气体传感器,该传感器结构包括:衬底1、导热介质层2、加热器电极3、信号电极4、焊盘5、热隔离通孔6、敏感膜7。传感器衬底1表面形成导热介质层2;传感器的中心加热器电极3为环形结构;在加热器电极3内部是信号电极4,信号电极4为梳状对称结构;加热器电极3外围是热隔离通孔6,热隔离通孔6为半环状结构。传感器四个角为焊盘5,分别与加热器电极3和信号电极4连接;敏感膜7在传感器中心的信号电极4之间。
本实施方式中所述热隔离通孔,有效的降低了传感器热传导功耗损失,提高了温度效率。
本实施方式中所述衬底1为Al2O3陶瓷基片。
本实施方式中所述导热介质层2为AlN陶瓷薄膜。
本实施方式中所述加热器电极3、信号电极4、焊盘5均为Pt膜。
本实施方式中所述敏感膜7指半导体敏感材料所成的膜。
具体实施方式二、结合图1、图2、图3和图4说明本实施方式,本实施方式所述一种环形加热器的Al2O3-AlN陶瓷微热板气体传感器,具体实施工艺步骤为:
步骤一:选用Al2O3陶瓷基片为衬底,将Al2O3陶瓷基片浸入在丙酮溶液中,并采用在50kHz频率的超声波对其进行清洗10~15min后,取出Al2O3陶瓷基片再浸入酒精溶液中,在30kHz频率下进行超声波清洗10~15min,再取出Al2O3陶瓷基片在120℃干燥箱中进行烘干,获得烘干后的Al2O3陶瓷基片;
步骤二:利用步骤一中烘干后的Al2O3陶瓷基片,放入磁控溅射镀膜机中,在真空条件下通入一定比例氩气和氮气,进行磁控溅射镀膜,获得镀有氮化铝(AlN)薄膜的Al2O3陶瓷基片衬底;
步骤三:对步骤二中获得镀有氮化铝薄膜的Al2O3陶瓷基片,进行正性光刻胶匀胶工艺,并在100-120℃进行10-15min烘烤处理,在镀有氮化铝薄膜的Al2O3陶瓷基片上形成一层光刻胶;
步骤四:对步骤三中涂有光刻胶的Al2O3陶瓷基片,以带有传感器图形的掩模版为制版模具对涂有光刻胶的Al2O3陶瓷基片进行光刻,并放入正性胶显影液中显影,直至图案清晰,取出并用去离子水冲洗掉显影液,放入90℃干燥箱中烘烤10-15min,获得带有光刻胶传感器图案的Al2O3陶瓷基片;
步骤五:将步骤四中带有光刻胶传感器图案的Al2O3陶瓷基片放入磁控溅射镀膜机中,用铂金(Pt)靶材作为溅射靶材,进行磁控溅射镀膜,形成带有铂膜的Al2O3陶瓷基片;
步骤六:将步骤五中带有铂膜的Al2O3陶瓷基片放入丙酮溶液中浸泡,溶解光刻胶,同时对带有铂膜的Al2O3陶瓷基片在30kHz频率下进行超声30s处理加速溶解光刻胶,取出后采用柔性机械光刻剥离法剥离掉不需要的铂金属膜,获得Al2O3陶瓷基片上与掩膜版图案相反的铂金属传感器电极结构;
步骤七:将步骤六中带有铂膜传感器电极结构的Al2O3陶瓷基片,利用激光划片机在Al2O3陶瓷基片铂膜加热器电极外围进行激光刻蚀,刻蚀形成两个环状热隔离通孔;
步骤八:将步骤七中带有刻蚀热隔离通孔的Al2O3陶瓷基片放入800℃高温炉中退火处理2h,获得热隔离结构和环形加热器的Al2O3-AlN陶瓷微热板气体传感器芯片;
步骤九:将步骤八中Al2O3-AlN陶瓷微热板气体传感器芯片,通过半导体敏感材料成膜工艺,在芯片中心的梳状信号电极间形成敏感膜,获得一种环形加热器的Al2O3-AlN陶瓷微热板气体传感器。
本实施方式中所述步骤一中衬底Al2O3陶瓷基片厚度0.2mm。
本实施方式中所述步骤二中AlN陶瓷薄膜厚度为10μm。
本实施方式中所述步骤五中Pt膜厚度为500nm。
本实施方式中所述步骤七中热隔离通孔的孔深0.210μm。
Claims (6)
1.一种环形加热器的Al2O3-AlN陶瓷微热板气体传感器,其特征在于包括:衬底1、导热介质层2、加热器电极3、信号电极4、焊盘5、热隔离通孔6、敏感膜7;
传感器衬底1表面形成导热介质层2;传感器的中心加热器电极3为环形结构;在加热器电极3内部是信号电极4,信号电极4为梳状对称结构;加热器电极3外围是热隔离通孔6,热隔离通孔6为半环状结构;传感器四个角为焊盘5,分别与加热器电极3和信号电极4连接;敏感膜7在传感器中心的信号电极4之间。
2.根据权利要求1 所述的一种环形加热器的Al2O3-AlN陶瓷微热板气体传感器,其特征在于:所述的导热介质层2材料为磁控溅射镀膜形成氮化铝(AlN)薄层,AlN层在Al2O3衬底表面,厚度远小于Al2O3衬底,目的是提高加热区热响应速率,降低热梯度效应。
3.根据权利要求1所述的一种环形加热器的Al2O3-AlN陶瓷微热板气体传感器,其特征在于:所述的加热器电极3为环形结构,加热器电极材料为铂膜(Pt膜),通过柔性机械光刻剥离工艺实现。
4.根据权利要求1所述的一种环形加热器的Al2O3-AlN陶瓷微热板气体传感器,其特征在于:所述的信号电极4为对称梳状结构,信号电极材料为Pt膜;
信号电极4外部由环状加热器电极3包围,所述信号电极是通过柔性机械光刻剥离工艺实现。
5.根据权利要求1所述的一种环形加热器的Al2O3-AlN陶瓷微热板气体传感器,其特征在于:所述的焊盘5,焊盘表面为矩形,厚度与所连接的加热区电极和信号电极厚度一致,焊盘材料为Pt膜,焊盘作用为焊接引线,便于封装。
6.根据权利要求1所述的一种环形加热器的Al2O3-AlN陶瓷微热板气体传感器,其特征是,所述的热隔离通孔6,热隔离通孔在加热器电极外围,为半环状结构,通过激光刻蚀工艺实现,孔深为Al2O3和AlN层的厚度。
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