CN105948003A - 废氦气纯化回收系统及其控制方法 - Google Patents
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Abstract
本发明涉及氦气提纯技术领域，特别涉及一种废氦气纯化回收系统，包括与检漏配气系统中高压氦气罐相连的集气罐，集气罐排出的气体经过减压阀PV与氦气分离单元相连，高压氦气罐和减压阀PV之间的管路上设置有阀门第一过滤单元，第一过滤单元用于过滤待提纯气体中的杂质，氦气分离单元用于对氦气进行提纯后输出；还公开了其控制方法。通过设置专用的油水过滤系统，针对空调检漏废氦气中的油水以及粉尘颗粒等杂质成分进行有效的滤除，减少氦气分离单元中膜分离过程中的负荷和污染，延长氦气分离单元的使用寿命。
Description
技术领域
本发明涉及氦气提纯技术领域，特别涉及一种废氦气纯化回收系统及其控制方法。
背景技术
氦气作为国防军工和高科技产业发展的稀缺性战略资源，其泛应用于制冷、半导体、核反应堆、医疗、金属制造、管道检漏、深海潜水以及超高真空技术等方向，同时，氦资源对于科研来说意义重大。氦气的含量低，提取难度大，成本高，目前主要依靠从天然气中提取。而我国现有的天然气中氦气含量仅为0.2％，属贫氦国家，我国不得不依靠从美国、欧洲和中东大量进口所需的氦。同时随着我国国防工业技术的发展，氦气的需求越来越大，一旦在非常时期氦气难以进口，必将在大范围内影响我国的国防安全和经济发展。因此，对于提高氦气生产的经济性以及保障国家国防安全等方面来说，废氦气的回收提纯以及再利用具有重大的意义。
现有技术中，比较成熟的氦气提纯技术主要有低温法、高压低温冷凝吸附法、膜分离法。低温法采用低温制冷机或液氮制冷剂冷冻分离其中的氮气和氧气等杂质以获得较高纯度氦气，纯度可以达到99.9995％，其缺点是分离过程需要不断提供冷源，能耗比较高，且设备的体积相对较大。高压低温冷凝吸附法原理是在高压(10～20MPa)、低温(77K)下先进行冷凝，分离出其中的液态空气，然后再通过低温吸附剂除去剩余杂质，其缺点是分离过程要在高压的条件下完成，纯化量较少的时候消耗相对较大。膜分离法是利用某些膜对某些气体组分具有选择性渗透和扩散的特性，来分离和纯化气体，它是以膜两侧气体的分压差为推动力，通过溶解、扩散、渗透、脱附等步骤，产生组份间传递速率的差异来实现分离的，与传统的低温法、高压低温冷凝吸附法相比，由于在常温下操作，它具有能耗低、便于操作等特点，但是采用膜分离法的氦气提纯技术并不成熟。
中国发明专利《在线纯化和循环空调检漏废氦气的设备》(公开号：104003361A；公开日：2014年8月27日)中提供了一种在线纯化和循环空调检漏废氦气的设备，该设备包括依次连接的废氦气回收单元、纯化单元、循环供气单元。纯化单元中设有吸附纯化器与膜分离纯化器，其结构为吸附纯化器的出口通过气体管路连通至膜分离纯化器的进口。但这种纯化结构存在的技术问题：废氦气在使用膜分离提纯之前需要进行预处理，去除油水以及粉尘颗粒等给膜带来污染的物质。而使用常规的吸附纯化器，并不能针对空调检漏废氦气中的油水以及粉尘颗粒等杂质成分作出有效去除，对膜的负荷和污染较大。
发明内容
本发明的首要目的在于提供一种废氦气纯化回收系统，能够有效的对空调检漏的废氦气进行提纯。
为实现以上目的，本发明采用的技术方案为：一种废氦气纯化回收系统，包括与检漏配气系统中高压氦气罐相连的集气罐，集气罐排出的气体经过减压阀PV与氦气分离单元相连，高压氦气罐和减压阀PV之间的管路上设置有阀门第一过滤单元，第一过滤单元用于过滤待提纯气体中的杂质，氦气分离单元用于对氦气进行提纯后输出。
进一步地，所述的氦气分离单元输出的纯化后的氦气经过压缩泵加压后输送至检漏配气系统中的低压氦气罐中，氦气分离单元和低压氦气罐之间的管路上设置有阀门和第二过滤单元，第二过滤单元用于避免低压氦气罐中的杂质对本系统造成污染。
进一步地，所述的高压氦气罐通过阀门与集气罐相连，集气罐通过阀门与第一过滤单元相连，第一过滤单元依次通过冷干机、减压阀PV与氦气分离单元相连，氦气分离单元通过阀门与压缩泵相连，压缩泵通过第二过滤单元、阀门后与低压氦气罐相连。
进一步地，所述的高压氦气罐依次通过手动阀V1、电磁阀EV1与集气罐相连，集气罐上设置有用于监测集气罐内气体压力的压力表P1和用于排除油水的手动阀V2，集气罐和第一过滤单元之间的管路上设置有电磁阀EV2，氦气分离单元上设置有用于排放纯化后废气的手动阀V3，氦气分离单元和压缩泵之间的管路上设置有电磁阀EV3，压缩泵依次通过压力传感器P2、流量计、第二过滤单元、手动阀V4与低压氦气罐相连，手动阀V1、V4以及电磁阀EV1、EV2、EV3均用于控制管路通断。
进一步地，所述的第一过滤单元由多个单油水过滤器依次串联而成且多个单油水过滤器中的填料相异，第二过滤单元为单油水过滤器；单油水过滤器包括第一壳体，第一壳体呈桶状且其开口朝下设置，第一壳体的开口位置处设置有与其相适配的第一端盖，第一端盖和第一壳体围合而成的第一空腔中填充有填料，第一壳体靠近开口一侧的周壁上设置有进气口，第一壳体的顶部设置有出气口，第一端盖上开设有杂质排放口，第一空腔的底部设置有挡板用于阻挡填料且允许油水进入到杂质排放口中。
进一步地，包括两个第一过滤单元，高压氦气罐依次通过阀门、第一过滤单元与集气罐相连，集气罐依次通过另一个第一过滤单元、阀门后与冷干机相连，冷干机通过减压阀PV与氦气分离单元相连，氦气分离单元经过压缩泵、第二过滤单元、阀门后与低压氦气罐相连。
进一步地，所述的高压氦气罐依次通过手动阀V1、电磁阀EV1后与第一过滤单元相连，集气罐上设置有用于监测集气罐内气体压力的压力表P1和用于排除油水的手动阀V2，另一个第一过滤单元通过电磁阀EV2与冷干机相连，氦气分离单元上设置有用于排放纯化后废气的手动阀V3，压缩泵依次通过流量计、压力传感器P2、电磁阀EV3、手动阀V4与低压氦气罐相连，手动阀V1、V4以及电磁阀EV1、EV2、EV3均用于控制管路通断。
进一步地，所述的两个第一过滤单元和第二过滤单元均为双油水过滤器，双油水过滤器包括第二壳体以及套设在第二壳体内外侧的第三壳体，所述第二壳体的内部形成第二空腔，第二壳体和第三壳体之间形成第三空腔，第三壳体上部开设有进气口连通第三空腔且开设有出气口连通第二空腔，第三壳体下部的第二端盖上开设有杂质排放口，第二空腔靠近第二端盖的一侧与杂质排放口连通，第三空腔靠近第二端盖的一侧与杂质排放口连通。
进一步地，所述的氦气分离单元包括膜组件以及套设在膜组件外侧的外壳，膜组件上设置有用于导入气体的进气口、用于排出纯化后气体的出气口以及用于排放废气的排气口，外壳上设置有进气口、出气口和排气口，外壳上的出气口、排气口分别与膜组件的出气口、排气口相连通。
与现有技术相比，本发明存在以下技术效果：通过设置专用的油水过滤系统，针对空调检漏废氦气中的油水以及粉尘颗粒等杂质成分进行有效的滤除，减少氦气分离单元中膜分离过程中的负荷和污染，延长氦气分离单元的使用寿命。
本发明的另一个目的在于提供一种废氦气纯化回收控制方法，能够实现废氦气的自动回收、纯化以及循环利用。
为实现以上目的，本发明采用的技术方案为：一种废氦气纯化回收控制方法，包括如下步骤：(A)检漏配气系统中高压氦气罐中的气体由电磁阀和/或手动阀自动和/或手动排放至集气罐中，电磁阀和/或手动阀根据高压氦气罐中氦气的纯度打开或关闭；(B)检测集气罐中的气体压力，达到设定压力值后执行下一步；(C)从集气罐中排出的气体经过过滤单元过滤去除杂质；(D)经过减压阀减压后氦气分离单元对过滤后的气体进行膜分得到纯化后的氦气；(E)对纯化后的氦气进行增压并经过过滤后输出至检漏配气系统中的低压氦气罐。
与现有技术相比，本发明存在以下技术效果：通过对工作过程中各单元的或管路中的气体压力进行监控以及通过对阀门的开闭进行控制，实现废氦气的自动回收，无需人工参与，大幅降低人力成本，同时，自动化的控制过程保证了系统运行的稳定性，使得纯化效果更佳。
附图说明
图1是本发明实施例一的结构示意图；
图2是本发明实施例二的结构示意图；
图3是单油水过滤器的结构示意图；
图4是双油水过滤器的结构示意图；
图5是多个单油水过滤器的结构示意图；
图6是氦气分离单元的结构示意图。
具体实施方式
下面结合图1至图6，对本发明做进一步详细叙述。
参阅图1、图2，一种废氦气纯化回收系统，包括与检漏配气系统中高压氦气罐11相连的集气罐20，集气罐20排出的气体经过减压阀PV与氦气分离单元50相连，高压氦气罐11和减压阀PV之间的管路上设置有阀门和第一过滤单元31，第一过滤单元31用于过滤待提纯气体中的杂质，这里的杂质一般包括油、水、粉尘颗粒等，氦气分离单元50用于对氦气进行提纯后输出。通过设置专用的油水过滤系统，针对空调检漏废氦气中的油水以及粉尘颗粒等杂质成分进行有效的滤除，减少氦气分离单元中膜分离过程中的负荷和污染，延长氦气分离单元的使用寿命。在使用时，第一过滤单元31一定要布置在氦气分离单元50的前面，保证进入到氦气分离单元50中气体的杂质在要求的范围内。这里的氦气分离单元50采用的是膜分离法，其内部的材料昂贵且容易损坏，因此这里设置有减压阀PV，避免高气压对氦气分离单元50中造成损害。被氦气分离单元50纯化后的氦气可以收集起来，也可以重复利用，下面的实施例中采用的就是循环利用。
优选地，所述的氦气分离单元50输出的纯化后的氦气经过压缩泵60加压后输送至检漏配气系统中的低压氦气罐12中，氦气分离单元50和低压氦气罐12之间的管路上设置有阀门和第二过滤单元32。由于气体进入氦气分离单元50之前进行了降压，故被纯化后的氦气压力较小，因此这里设置了压缩泵60对气体加压方便输送至低压氦气罐12。纯化后的氦气进入低压氦气罐12中之后供空调使用，如果纯化后的气体量和纯度未达到使用标准，可与高纯氦混合后再供给空调使用。循环利用的好处有很多，一方面无需对纯化后的氦气进行存储、运输，另一方面能够直接返回至原有的工序中弥补氦气的消耗。某一线空调品牌平均每月采购15000Nm3用于两器检漏消耗，如果将原本排空的纯度为70％～80％的废氦气通过纯化设备实现在线提纯循环使用，可回收约9000Nm3的氦气，采购废氦气这一项成本每月可降低至原来的五分之二，这将为生产企业节约大量的采购成本。
对于大部分低压氦气罐12来说，由于罐体上预留的接头不多，从压缩泵60返回的管道可能会接在低压氦气罐12的罐底，这样就有可能造成低压氦气罐12中的杂质发生倒流，污染本系统，因此这里在压缩泵60和低压氦气罐12之间还设置有第二过滤单元32用于避免低压氦气罐12中的杂质对本系统造成污染。
根据待纯化气体特性的不同，本发明提供了两种具体的实施方式。
参阅图1，实施例一，所述的高压氦气罐11通过阀门与集气罐20相连，集气罐20通过阀门与第一过滤单元31相连，第一过滤单元31依次通过冷干机40、减压阀PV与氦气分离单元50相连，氦气分离单元50通过阀门与压缩泵60相连，压缩泵60通过第二过滤单元32、阀门后与低压氦气罐12相连。这里的第一过滤单元31设置在集气罐20的后方，主要是避免杂质进入到氦气分离单元50中。
优选地，所述的高压氦气罐11依次通过手动阀V1、电磁阀EV1与集气罐20相连，设置手动阀V1，可以人工对系统进行开闭，使用电磁阀EV1后，手动阀V1处于常开状态，紧急情况下使用手动阀V1对系统进行控制。集气罐20上设置有用于监测集气罐20内气体压力的压力表P1和用于排除油水的手动阀V2，集气罐20和第一过滤单元31之间的管路上设置有电磁阀EV2，氦气分离单元50上设置有用于排放纯化后废气的手动阀V3，氦气分离单元50和压缩泵60之间的管路上设置有电磁阀EV3，压缩泵60依次通过压力传感器P2、流量计70、第二过滤单元32、手动阀V4与低压氦气罐12相连，压力传感器P2主要用于监测管路上的压力以及控制电磁阀EV2的开启或关闭，流量计70用于统计纯化氦气的总量，手动阀V1、V4以及电磁阀EV1、EV2、EV3均用于控制管路通断。实施例一中的手动阀、电磁阀、流量计70、压力表或压力传感器的布置方式只是提供一种参考，操作人员可以根据自己的需要监测的数据、需要控制的管路、需要监测的流量进行设定相应的零部件。
优选地，为了保证第一过滤单元31的过滤效果，所述的第一过滤单元31由多个单油水过滤器依次串联而成且多个单油水过滤器中的填料相异，这样才能保证过滤杂质的不同。第二过滤单元32主要是为了防止系统被污染，其可以简单的过滤效果即可，这里的第二过滤单元32为单油水过滤器。单油水过滤器如图3所示，多个单油水过滤器如图5所示，单油水过滤器包括第一壳体311，第一壳体311呈桶状且其开口朝下设置，第一壳体311的开口位置处设置有与其相适配的第一端盖312，第一端盖312和第一壳体311围合而成的第一空腔313中填充有填料，第一壳体311靠近开口一侧的周壁上设置有进气口，第一壳体311的顶部设置有出气口，第一端盖312上开设有杂质排放口，第一空腔313的底部设置有挡板314用于阻挡填料且允许油水进入到杂质排放口中。
具体地，所述第一壳体311开口处向外侧设置有翻边，第一端盖312靠近边缘处设置有环形凸起，翻边与环形凸起相抵靠且两者之间通过螺栓或螺丝紧固。所述挡板314为圆形板状，挡板314上开设有多个孔洞，孔洞的孔径大小能够满足阻挡填料且允许杂质通过。所述挡板314的直径与环形凸起的内径相吻合，环形凸起内侧设置有凸块用于支撑所述挡板314；环形凸起和翻边之间设置有密封圈。所述挡板314的直径与环形凸起的外径相吻合，挡板314位于翻边和环形凸起的中间且三者通过螺栓或螺丝紧固在一起；环形凸起与挡板314之间以及翻边与挡板314之间均设置有密封圈。所述第一端盖312朝向第一壳体311一侧板面呈圆锥状，圆锥状的锥头朝向远离第一壳体311的一侧，杂质排放口设置在锥头位置处。第一壳体311和第一端盖312均由不锈钢材料制成。
实施例一中的第一过滤单元31由三个单油水分离器构成，第一个单油水分离器的出气口连通第二个单油水分离器的进气口，第二个单油水分离器的出气口连通第三个单油水分离器的进气口。
参阅图2，实施例二，包括两个第一过滤单元31，高压氦气罐11依次通过阀门、第一过滤单元31与集气罐20相连，集气罐20依次通过另一个第一过滤单元31、阀门后与冷干机40相连，冷干机40通过减压阀PV与氦气分离单元50相连，氦气分离单元50经过压缩泵60、第二过滤单元32、阀门后与低压氦气罐12相连。将其中第一过滤单元31设置在集气罐20的前面，可以减少集气罐20的污染，能在一定程度上保证集气罐20的洁净度。
优选地，所述的高压氦气罐11依次通过手动阀V1、电磁阀EV1后与第一过滤单元31相连，集气罐20上设置有用于监测集气罐20内气体压力的压力表P1和用于排除油水的手动阀V2，另一个第一过滤单元31通过电磁阀EV2与冷干机40相连，氦气分离单元50上设置有用于排放纯化后废气的手动阀V3，压缩泵60依次通过流量计70、压力传感器P2、电磁阀EV3、手动阀V4与低压氦气罐12相连，手动阀V1、V4以及电磁阀EV1、EV2、EV3均用于控制管路通断。这些手动阀、电磁阀、压力表、压力传感器以及流量计70的设置与实施例一中的相同，这里就不再赘述。
优选地，所述的两个第一过滤单元31和第二过滤单元32均为双油水过滤器，当然，这里的第二过滤单元32也可以为单油水过滤器。双油水过滤器如图4所示，其包括第二壳体331以及套设在第二壳体331外侧的第三壳体332，所述第二壳体331的内部形成第二空腔333，第二壳体331和第三壳体332之间形成第三空腔334，第三壳体332上部开设有进气口连通第三空腔334且开设有出气口连通第二空腔333，第三壳体332下部的第二端盖335上开设有杂质排放口，第二空腔333靠近第二端盖335的一侧与杂质排放口连通，第三空腔334靠近第二端盖335的一侧与杂质排放口连通。双油水过滤器在本公司同日申请的实用新型专利《油水过滤器》中已经详细的进行了阐述，包括其结构、工作原理，这里就不再详细描述。
参阅图6，作为本发明的优选方案，所述的氦气分离单元50包括膜组件51以及套设在膜组件51外侧的外壳52，膜组件51上设置有用于导入气体的进气口、用于排出纯化后气体的出气口以及用于排放废气的排气口，外壳52上设置有进气口、出气口和排气口，外壳52上的出气口、排气口分别与膜组件51的出气口、排气口相连通。氦气分离单元50在本公司同日申请的专利《纯化气体膜分离装置》中已经详细记载，这里就不再赘述。
本发明中还公开了一种废氦气纯化回收控制方法，包括如下步骤：(A)检漏配气系统中高压氦气罐11中的气体由电磁阀和/或手动阀自动和/或手动排放至集气罐20中，电磁阀和/或手动阀根据高压氦气罐11中氦气的纯度打开或关闭；(B)检测集气罐20中的气体压力，达到设定压力值后执行下一步；(C)从集气罐20中排出的气体经过过滤单元过滤去除杂质；(D)经过减压阀减压后氦气分离单元50对过滤后的气体进行膜分得到纯化后的氦气；(E)对纯化后的氦气进行增压并经过过滤后输出至检漏配气系统中的低压氦气罐12。通过对工作过程中各单元的或管路中的气体压力进行监控以及通过对阀门的开闭进行控制，实现废氦气的自动回收，无需人工参与，大幅降低人力成本，同时，自动化的控制过程保证了系统运行的稳定性，使得纯化效果更佳。
Claims (10)
1.一种废氦气纯化回收系统，其特征在于：包括与检漏配气系统中高压氦气罐(11)相连的集气罐(20)，集气罐(20)排出的气体经过减压阀PV与氦气分离单元(50)相连，高压氦气罐(11)和减压阀PV之间的管路上设置有阀门和第一过滤单元(31)，第一过滤单元(31)用于过滤待提纯气体中的杂质，氦气分离单元(50)用于对氦气进行提纯后输出。
2.如权利要求1所述的废氦气纯化回收系统，其特征在于：所述的氦气分离单元(50)输出的纯化后的氦气经过压缩泵(60)加压后输送至检漏配气系统中的低压氦气罐(12)中，氦气分离单元(50)和低压氦气罐(12)之间的管路上设置有阀门和第二过滤单元(32)，第二过滤单元(32)用于避免低压氦气罐(12)中的杂质对本系统造成污染。
3.如权利要求2所述的废氦气纯化回收系统，其特征在于：所述的高压氦气罐(11)通过阀门与集气罐(20)相连，集气罐(20)通过阀门与第一过滤单元(31)相连，第一过滤单元(31)依次通过冷干机(40)、减压阀PV与氦气分离单元(50)相连，氦气分离单元(50)通过阀门与压缩泵(60)相连，压缩泵(60)通过第二过滤单元(32)、阀门后与低压氦气罐(12)相连。
4.如权利要求3所述的废氦气纯化回收系统，其特征在于：所述的高压氦气罐(11)依次通过手动阀V1、电磁阀EV1与集气罐(20)相连，集气罐(20)上设置有用于监测集气罐(20)内气体压力的压力表P1和用于排除油水的手动阀V2，集气罐(20)和第一过滤单元(31)之间的管路上设置有电磁阀EV2，氦气分离单元(50)上设置有用于排放纯化后废气的手动阀V3，氦气分离单元(50)和压缩泵(60)之间的管路上设置有电磁阀EV3，压缩泵(60)依次通过压力传感器P2、流量计(70)、第二过滤单元(32)、手动阀V4与低压氦气罐(12)相连，手动阀V1、V4以及电磁阀EV1、EV2、EV3均用于控制管路通断。
5.如权利要求4所述的废氦气纯化回收系统，其特征在于：所述的第一过滤单元(31)由多个单油水过滤器依次串联而成且多个单油水过滤器中的填料相异，第二过滤单元(32)为单油水过滤器；单油水过滤器包括第一壳体(311)，第一壳体(311)呈桶状且其开口朝下设置，第一壳体(311)的开口位置处设置有与其相适配的第一端盖(312)，第一端盖(312)和第一壳体(311)围合而成的第一空腔(313)中填充有填料，第一壳体(311)靠近开口一侧的周壁上设置有进气口，第一壳体(311)的顶部设置有出气口，第一端盖(312)上开设有杂质排放口，第一空腔(313)的底部设置有挡板(314)用于阻挡填料且允许油水进入到杂质排放口中。
6.如权利要求2所述的废氦气纯化回收系统，其特征在于：包括两个第一过滤单元(31)，高压氦气罐(11)依次通过阀门、第一过滤单元(31)与集气罐(20)相连，集气罐(20)依次通过另一个第一过滤单元(31)、阀门后与冷干机(40)相连，冷干机(40)通过减压阀PV与氦气分离单元(50)相连，氦气分离单元(50)经过压缩泵(60)、第二过滤单元(32)、阀门后与低压氦气罐(12)相连。
7.如权利要求6所述的废氦气纯化回收系统，其特征在于：所述的高压氦气罐(11)依次通过手动阀V1、电磁阀EV1后与第一过滤单元(31)相连，集气罐(20)上设置有用于监测集气罐(20)内气体压力的压力表P1和用于排除油水的手动阀V2，另一个第一过滤单元(31)通过电磁阀EV2与冷干机(40)相连，氦气分离单元(50)上设置有用于排放纯化后废气的手动阀V3，压缩泵(60)依次通过流量计(70)、压力传感器P2、第二过滤单元(32)、电磁阀EV3、手动阀V4与低压氦气罐(12)相连，手动阀V1、V4以及电磁阀EV1、EV2、EV3均用于控制管路通断。
8.如权利要求7所述的废氦气纯化回收系统，其特征在于：所述的两个第一过滤单元(31)和第二过滤单元(32)均为双油水过滤器，双油水过滤器包括第二壳体(331)以及套设在第二壳体(331)外侧的第三壳体(332)，所述第二壳体(331)的内部形成第二空腔(333)，第二壳体(331)和第三壳体(332)之间形成第三空腔(334)，第三壳体(332)上部开设有进气口连通第三空腔(334)且开设有出气口连通第二空腔(333)，第三壳体(332)下部的第二端盖(335)上开设有杂质排放口，第二空腔(333)靠近第二端盖(335)的一侧与杂质排放口连通，第三空腔(334)靠近第二端盖(335)的一侧与杂质排放口连通。
9.如权利要求1-8任一项所述的废氦气纯化回收系统，其特征在于：所述的氦气分离单元(50)包括膜组件(51)以及套设在膜组件(51)外侧的外壳(52)，膜组件(51)上设置有用于导入气体的进气口、用于排出纯化后气体的出气口以及用于排放废气的排气口，外壳(52)上设置有进气口、出气口和排气口，外壳(52)上的出气口、排气口分别与膜组件(51)的出气口、排气口相连通。
10.一种废氦气纯化回收控制方法，包括如下步骤：
(A)检漏配气系统中高压氦气罐(11)中的气体由电磁阀和/或手动阀自动和/或手动排放至集气罐(20)中，电磁阀和/或手动阀根据高压氦气罐(11)中氦气的纯度打开或关闭；
(B)检测集气罐(20)中的气体压力，达到设定压力值后执行下一步；
(C)从集气罐(20)中排出的气体经过过滤单元过滤去除杂质；
(D)经过减压阀减压后氦气分离单元(50)对过滤后的气体进行膜分得到纯化后的氦气；
(E)对纯化后的氦气进行增压并经过过滤后输出至检漏配气系统中的低压氦气罐(12)。
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