CN105938107B - 一种自动光学检测聚焦定位方法 - Google Patents

一种自动光学检测聚焦定位方法 Download PDF

Info

Publication number
CN105938107B
CN105938107B CN201610481569.3A CN201610481569A CN105938107B CN 105938107 B CN105938107 B CN 105938107B CN 201610481569 A CN201610481569 A CN 201610481569A CN 105938107 B CN105938107 B CN 105938107B
Authority
CN
China
Prior art keywords
glass substrate
focal length
standard film
positioning
reflectivity
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Active
Application number
CN201610481569.3A
Other languages
English (en)
Other versions
CN105938107A (zh
Inventor
胡婷平
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Kunshan Guoxian Photoelectric Co Ltd
Original Assignee
Kunshan Guoxian Photoelectric Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Kunshan Guoxian Photoelectric Co Ltd filed Critical Kunshan Guoxian Photoelectric Co Ltd
Priority to CN201610481569.3A priority Critical patent/CN105938107B/zh
Publication of CN105938107A publication Critical patent/CN105938107A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN105938107B publication Critical patent/CN105938107B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/8806—Specially adapted optical and illumination features
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84—Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88—Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/8806—Specially adapted optical and illumination features
    • G01N2021/8809—Adjustment for highlighting flaws

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Analytical Chemistry (AREA)
  • Biochemistry (AREA)
  • General Health & Medical Sciences (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Immunology (AREA)
  • Pathology (AREA)
  • Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
  • Automatic Focus Adjustment (AREA)
  • Length Measuring Devices By Optical Means (AREA)

Abstract

本申请公开了一种玻璃基板的自动光学检测聚焦定位方法，包括：在玻璃基板下表面设置标准片，所述标准片反射率大于所述玻璃基板反射率；使用自动光学检测设备聚焦定位至标准片，获得第一焦距，所述第一焦距为自动光学检测设备聚焦定位至标准片时的焦距；依据所述第一焦距，调整所述自动光学检测设备聚焦定位至第二焦距；其中，所述第二焦距为第一焦距减去修正值。通过使用本申请中公开的方法，可以避免自动光学检测仪器聚焦到玻璃基板下表面或无法聚焦的情况，从而提高了自动光学检测仪器的工作范围。

Description

一种自动光学检测聚焦定位方法
技术领域
本申请涉及光学检测领域，尤其涉及一种玻璃基板的自动光学检测聚焦定位方法。
背景技术
随着人们生活水平的提高，平板显示器在生活中也变得越来越常见。玻璃基板是平板显示器的关键基础材料之一，其质量直接影响到平板显示的显示效果。
玻璃基板上表面的缺陷是玻璃基板常见的质量问题，为了找出缺陷，常用的设备有自动光学检测(Automatic Optic Inspection，简称AOI)设备，这类设备在工作时需要对待检测区域，也就是玻璃基板上表面，进行聚焦，以获取缺陷图像，并进一步对缺陷图像进行分析以找到缺陷。这种聚焦的焦距一般是自动光学检测设备上的自动聚焦传感器根据反射光，自动确定的。
然而，当所检测的玻璃基板为素基板或其他上表面反射率低、透射率高的基板的情况下，由于缺乏反射光，自动聚焦的功能往往会失效。这时，由于玻璃基板下表面也有反射光，自动聚焦有可能聚焦至下表面，从而无法检测出上表面的缺陷；或者由于上表面下表面反射光都很微弱，AOI设备无法获得足够的反射光，从而无法聚焦，也无法检测出缺陷。
发明内容
有鉴于此，本发明提供了一种玻璃基板的自动光学检测聚焦定位方法，其能够将自动光学检测仪器准确的聚焦定位在玻璃基板的上表面，从而可以准确的检测出玻璃基板上表面的缺陷。
本申请实施例提供一种玻璃基板的自动光学检测聚焦定位方法，其特征在于，该方法包括：
在玻璃基板下表面设置标准片，所述标准片反射率大于所述玻璃基板反射率；
使用自动光学检测设备聚焦定位至标准片，获得第一焦距，所述第一焦距为自动光学检测设备聚焦定位至标准片时的焦距；
依据所述第一焦距，调整所述自动光学检测设备聚焦定位至第二焦距；其中，所述第二焦距为第一焦距减去修正值。
本申请实施例还提供一种玻璃基板的自动光学检测聚焦定位方法，其特征在于，所述玻璃基板为素基板。
本申请实施例还提供一种玻璃基板的自动光学检测聚焦定位方法，其特征在于，所述玻璃基板上表面反射率低于0.2。
本申请实施例还提供一种玻璃基板的自动光学检测聚焦定位方法，其特征在于，所述标准片反射率高于0.4。
本申请实施例还提供一种玻璃基板的自动光学检测聚焦定位方法，其特征在于，所述聚焦定位为成像聚焦定位。
本申请实施例还提供一种玻璃基板的自动光学检测聚焦定位方法，其特征在于，所述修正值为所述玻璃基板的厚度。
本申请实施例采用的上述至少一个技术方案能够达到以下有益效果：
通过在玻璃基板下表面设置高反射率的标准片，确保自动光学检测设备可以聚焦至玻璃基板下表面，将此时的焦距减去玻璃基板厚度，就可以聚焦至玻璃基板上表面，从而避免了因上表面反射光太弱无法聚焦至上表面的情况。
附图说明
此处所说明的附图用来提供对本申请的进一步理解，构成本申请的一部分，本申请的示意性实施例及其说明用于解释本申请，并不构成对本申请的不当限定。在附图中：
图1为自动聚焦传感器正常工作示意图；
图2为自动聚焦传感器聚焦至玻璃基板下表面示意图；
图3为调整自动聚焦传感器聚焦至玻璃基板上表面流程示意图；
图4为增加标准片后，自动聚焦传感器聚焦至标准片示意图。
具体实施方式
为使本申请的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本申请具体实施例及相应的附图对本申请技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施例仅是本申请一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本申请中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本申请保护的范围。
以下结合附图，详细说明本申请各实施例提供的技术方案。
当自动光学检测(Automatic Optic Inspection，简称AOI)设备正常工作时，其工作状态如图1所示。AOI设备上的自动聚焦传感器11向玻璃基板20发射定位激光，玻璃基板上表面21反射该定位激光，自动聚焦传感器接收到该定位激光的反射光，并根据该反射光将成像聚焦定位至玻璃基板上表面。这样，AOI设备就可以正常的接收到玻璃基板上表面所成的像，并对该成像进行分析，查找缺陷。
如果玻璃基板是素基板，或者是其他上表面反射率低、透射率高的玻璃基板，这时玻璃基板上表面的反射光会很微弱，AOI设备上的自动聚焦传感器接收不到足够的来自于玻璃基板上表面的反射光，从而就可能无法定位到玻璃基板上表面。一般来说，玻璃基板上表面反射率低于0.2时就会出现这个问题。这时，如果玻璃基板下表面22反射率高，AOI设备上的自动聚焦传感器接收到的反射光会主要来源于玻璃基板下表面，如图2所示。这时就会自动将成像聚焦定位至玻璃基板下表面。这时，AOI设备接收到的是玻璃基板下表面所成的像，对这一成像进行的分析也只能查找到玻璃基板下表面的缺陷，无法查找玻璃基板上表面的缺陷。而玻璃基板下表面的缺陷往往并不影响产品质量，从而一般是不需要检测的。
如果玻璃基板下表面反射率也低，这时定位激光会大部分穿透玻璃基板并且不产生多少反射光，AOI设备上的自动聚焦传感器接收不到足够的反射光，从而会无法聚焦，也无法正常成像。
为了解决上述问题，如图3所示，在玻璃基板下表面设置标准片，所述标准片反射率大于所述玻璃基板反射率(S1)；使用自动光学检测设备聚焦定位至标准片，获得第一焦距，所述第一焦距为自动光学检测设备聚焦定位至标准片时的焦距(S2)；依据所述第一焦距，调整所述自动光学检测设备聚焦定位至第二焦距；其中，所述第二焦距为第一焦距减去修正值(S3)。
本实施例中，如图4所示，在玻璃基板的下表面设置高反射率的标准片30，该标准片的反射率高于玻璃基板的反射率，从而保证有足够的来自于标准片的反射光，使得自动聚焦传感器接收到足够的来自于标准片的反射光，并成像聚焦定位至标准片，记此时的焦距为第一焦距；由于标准片是贴在玻璃基板的下表面的，此时聚焦的焦点也位于玻璃基板下表面，该焦点距离玻璃基板上表面的距离为玻璃基板的厚度；因此，将第一焦距减去玻璃基板的厚度，得到第二焦距，将第二焦距设为AOI设备成像聚焦的焦距，此时聚焦焦点就位于玻璃基板的上表面。从而，AOI设备可以正常的获得玻璃基板上表面的成像，并检查上表面的缺陷。
在本实施例中，为保证反射光的强度，标准片的反射率一般设置为高于0.4。
一般来说，玻璃基板的厚度是已知的，和设计玻璃基板时设置的厚度一致，在计算第二焦距的时候，只需要直接将第一焦距减去玻璃基板设计时的厚度即可。然而，有时标准片和玻璃基板下表面不能完全贴合，即标准片和玻璃基板上表面的距离要大于玻璃基板的厚度，从而在计算第二焦距时，需要额外的减去标准片和玻璃基板下表面的距离。这一距离可以根据经验或测量得出。
通过使用本实施例中提出的方法,可以在玻璃基板上表面反射光微弱的情况下，AOI设备仍然能将成像焦点定位在玻璃基板上表面，从而可以获得玻璃基板上表面的缺陷图像，避免了现有技术中，当玻璃基板是素基板，或者是其他上表面反射率低、透射率高的玻璃基板的情况下，AOI设备无法将成像焦点定位在玻璃基板上表面，从而也无法正确获取玻璃基板上表面所成的像的问题。

Claims (4)

1.一种玻璃基板的自动光学检测聚焦定位方法，其特征在于，该方法包括：
在玻璃基板下表面设置标准片，所述标准片反射率大于所述玻璃基板反射率；
使用自动光学检测设备聚焦定位至标准片，获得第一焦距，所述第一焦距为自动光学检测设备聚焦定位至标准片的上表面时的焦距；
依据所述第一焦距，调整所述自动光学检测设备聚焦定位至第二焦距；其中，所述第二焦距为第一焦距减去修正值；
所述标准片的反射率高于0.4；
所述修正值为所述玻璃基板的厚度。
2.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述玻璃基板为素基板。
3.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述玻璃基板上表面的反射率低于0.2。
4.如权利要求1所述的方法，其特征在于，所述聚焦定位为成像聚焦定位。
CN201610481569.3A 2016-06-27 2016-06-27 一种自动光学检测聚焦定位方法 Active CN105938107B (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201610481569.3A CN105938107B (zh) 2016-06-27 2016-06-27 一种自动光学检测聚焦定位方法

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201610481569.3A CN105938107B (zh) 2016-06-27 2016-06-27 一种自动光学检测聚焦定位方法

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN105938107A CN105938107A (zh) 2016-09-14
CN105938107B true CN105938107B (zh) 2019-06-04

Family

ID=56873336

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201610481569.3A Active CN105938107B (zh) 2016-06-27 2016-06-27 一种自动光学检测聚焦定位方法

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN105938107B (zh)

Families Citing this family (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN106996937B (zh) * 2017-06-15 2019-09-06 福州东旭光电科技有限公司 一种玻璃基板内缺陷检测方法及装置
KR102199313B1 (ko) * 2018-12-19 2021-01-06 (주) 인텍플러스 커버 글라스 검사장치

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2004125411A (ja) * 2002-09-30 2004-04-22 Toshiba Corp 試料面の高さ位置調整方法
CN202485638U (zh) * 2012-03-22 2012-10-10 京东方科技集团股份有限公司 一种膜厚测量装置
CN202631440U (zh) * 2012-06-12 2012-12-26 浙江欧威科技有限公司 用于检测pcb板的自动光学检测装置
CN103808733A (zh) * 2014-03-04 2014-05-21 致茂电子(苏州)有限公司 自动光学检测装置的对焦方法

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2004125411A (ja) * 2002-09-30 2004-04-22 Toshiba Corp 試料面の高さ位置調整方法
CN202485638U (zh) * 2012-03-22 2012-10-10 京东方科技集团股份有限公司 一种膜厚测量装置
CN202631440U (zh) * 2012-06-12 2012-12-26 浙江欧威科技有限公司 用于检测pcb板的自动光学检测装置
CN103808733A (zh) * 2014-03-04 2014-05-21 致茂电子(苏州)有限公司 自动光学检测装置的对焦方法

Also Published As

Publication number Publication date
CN105938107A (zh) 2016-09-14

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN110389021B (zh) 透镜图像产生系统及屈光能力和厚度确定与缺陷检测方法
US20070263206A1 (en) Apparatus and method for characterizing defects in a transparent substrate
US8165382B2 (en) Glazing inspection method
TW201031908A (en) Apparatus for detecting particles on a glass surface and a method thereof
CN105938107B (zh) 一种自动光学检测聚焦定位方法
KR100953204B1 (ko) 기판의 품질 검사장치 및 그 검사방법
JP5272784B2 (ja) 光学的検査方法および光学的検査装置
KR101094968B1 (ko) 휘도값을 이용한 글래스 기판 상의 이물 감지 시스템 및 그방법
JP5531883B2 (ja) 調整方法
US10016872B2 (en) Method for producing a mirror substrate blank of titanium-doped silica glass for EUV lithography, and system for determining the position of defects in a blank
CN110567920A (zh) 一种透明或半透明玻璃雾度的检测系统
JP2001124538A (ja) 物体表面の欠陥検査方法および欠陥検査装置
JP5200813B2 (ja) 測定用マークと基板エッジの距離測定方法
CN104198501B (zh) 一种定位反射表面存在缺陷的反射镜的方法
KR100942236B1 (ko) 판유리 두께의 측정오차 보정방법
KR20030060243A (ko) 평판 디스플레이 자동 검사장치
KR20220117060A (ko) 결함 검사 장치
KR20220112567A (ko) 결함 검사 장치
JP2023142887A (ja) 欠陥検査装置及び欠陥検査方法
JP2005166743A (ja) スタッドバンプ外観検査装置
KR101446757B1 (ko) 디스플레이 패널 검사장치
KR20160050958A (ko) 엣지면 검사장치 및 이를 활용한 검사방법
JP5433221B2 (ja) 線幅測定方法
JP2013213839A (ja) 簡易テレセントリックレンズ装置
JP2014160026A (ja) ガラス基板の表面状態検査装置、ガラス基板の表面状態検査方法

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant