CN105870776A - 一种用于产生绿光的组合功能晶体及其制作方法 - Google Patents

一种用于产生绿光的组合功能晶体及其制作方法 Download PDF

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Abstract

本发明公开了一种用于产生绿光的组合功能晶体，用于绿光激光器，包括激光晶体和非线性晶体，激光晶体和非线性晶体通过紫外胶层固化粘合；激光晶体为Nd:YVO4晶体，非线性晶体为YCOB晶体、GdCOB晶体或GdYCOB晶体；激光晶体的第一端面镀有808nm增透膜、1064nm高反膜，第二端面镀有808nm高反膜，1064nm增透膜；非线性晶体的第一端面镀有1064nm增透膜、532nm高反膜，第二端面镀有1064nm高反膜、532nm增透膜：紫外胶层设置在激光晶体的第二端面和非线性晶体的第一端面之间。本发明的用于产生绿光的组合功能晶体具有温度稳定性高、光学性能好、品质一致性优和生产效率高的特点。

Description

一种用于产生绿光的组合功能晶体及其制作方法
技术领域
本发明涉及晶体加工技术领域，具体是指一种用于产生绿光的组合功能晶体及其制作方法。
背景技术
使用绿光组合功能晶体是产生低功率绿光的低成本技术途径。过去，组合晶体通常由激光晶体Nd:YVO4和非线性光学晶体KTiOPO4（KTP）组成。但由于KTP晶体具有较窄的温度容限带宽，利用Nd:YVO4+KTP所制成的绿光激光器在一定时间使用后存在位相匹配角漂移现象，导致激光器出光光功率减弱。因此在低功率绿光激光器应用领域，人们期望使用温度稳定性更高的组合晶体。为此我们公开了一种新型的绿光组合功能晶体，该组合功能晶体由激光晶体Nd:YVO4和非线性光学晶体YCOB或GdCOB或GdYCOB晶体组成，以取代当前的Nd:YVO4+KTP组合功能晶体。与已有的Nd:YVO4+KTP组合晶体相比新型的绿光组合功能晶体具有宽的温度容限带宽，长时间使用时，无相位匹配角漂移现象，出光功率可以保持稳定。YCOB和GdCOB和GdYCOB晶体的热光系数与KTP及其他通常硼酸盐非线性晶体要小一个数量级，且生长及加工方法要优于后者。
鉴于Nd:YVO4+KTP组合功能晶体的较窄的工作温度区间，尤其是在0度摄氏度及以下温度，Nd:YVO4+KTP组合功能晶体在无温控情况下无法正常工作，专利CN 104051950 A提出了一种宽温绿光激光器的设计，其核心内容为Nd:YCOB或Nd:GdCOB作为自倍频晶体输出绿光激光，并初步达到了宽温工作温度，尤其是在0度摄氏度附近可保持基本正常工作。
但是，我们注意到，除了温度稳定性以外，绿光激光器输出功率也是重要的指标，在相同的泵浦条件下（例如相同的半导体激光器工作电流）以及在相同的晶体尺寸下，相对于Nd:YVO4+KTP组合功能晶体，自倍频晶体输出绿光功率较低。
本专利中所言YCOB或GdCOB或GdYCOB晶体作为倍频晶体相对于倍频晶体KTP具有更宽的温度容限带宽；与激光晶体Nd:YVO4 胶合或光胶成新的绿光组合功能晶体,相对于KTP激光光功率输出更高，长时间使用时相位匹配角无因温度变化漂移现象。
专利CN102856786A提出了一种基于硼酸氧钙盐晶体的绿光激光器的设计。其核心内容为通过将掺钕硼酸氧钙盐晶体（Nd:YCOB;Nd:GdCOB;Nd:GdYCOB）加工成四分之一波片，用以抑制绿光激光器噪声。同样存在输出激光功率较低的问题。
背景技术
附图1为本发明所述一种用于产生绿光的组合功能晶体制做成的柱状激光器的结构示意图；
附图2为本发明所述一种用于产生绿光的组合功能晶体制做成的板条状激光器的结构示意图。
发明内容
本发明针对现有Nd:YVO4+KTP组合晶体温度稳定性差的缺点，利用YCOB，GdCOB，或GdYCOB作为倍频晶体所拥有的宽温工作特性，本发明提供一种新型的绿光组合功能晶体，使用该组合功能晶体制作的绿光激光器具有温度稳定性高的特点，长时间使用时，出光功率可以保持稳定。
本发明可以通过以下技术方案来实现：
本发明公开了一种用于产生绿光的组合功能晶体，用于绿光激光器，包括激光晶体和非线性晶体，所述激光晶体和所述非线性晶体通过紫外胶层固化粘合；所述激光晶体为Nd:YVO4晶体，所述非线性晶体为YCa4O(BO3)3晶体、GdCa4O(BO3)3晶体或GdYCOB晶体；所述激光晶体的第一端面镀有808nm增透膜、1064nm高反膜，第二端面镀有808nm高反膜，1064nm增透膜，所述高反膜的反射率>99.8%，所述增透膜的透过率>95%；所述非线性晶体的第一端面镀有1064nm增透膜、532nm高反膜，第二端面镀有1064nm高反膜、532nm增透膜，所述高反膜的反射率>99.8%，所述增透膜的透过率>95%：所述紫外胶层设置在所述激光晶体的第二端面和非线性晶体的第一端面之间。
在具体技术术语上， Nd:YVO4 为钕掺杂钒酸钇的通用简称；YCOB 为硼酸氧钙钇的通用简称，其具体化学式为YCa4O(BO3)3；GdCOB 为硼酸氧钙钆的通用简称，其具体化学式为GdCa4O(BO3)3。GdYCOB为硼酸氧钙钇钆。其具体化学式为GdxY1-xCa4O(BO3)3，其中0<x<1。
一种用于产生绿光的组合功能晶体的制作方法，包括以下步骤：
第一步、研磨抛光，对激光晶体和非线性晶体分别进行研磨，然后进行抛光和超声清洗，所述激光晶体为Nd:YVO4晶体，所述非线性晶体为YCOB 晶体、GdCOB晶体或GdYCOB晶体；
第二步、二次清洗，对完成第一步所得的激光晶体和非线性晶体进行二次清洗，然后晾干；
第三步、激光晶体镀膜，对Nd:YVO4晶体的第一端面镀808nm增透膜、1064nm高反膜，第二端面镀808nm高反膜、1064nm增透膜；
第四步、非线性晶体镀膜，对非线性晶体的第一端面镀1064nm增透膜、532nm高反膜，第二端面镀1064nm高反膜、532nm增透膜；
第五步、涂胶贴合，将紫外胶涂在激光晶体的第二端面上，并把激光晶体的第二端面与非线性晶体晶体的第一端面对齐、重合；
第六步、固化粘合，在光学比较仪上调整激光晶体和非线性晶体的相对位置，然后用紫外灯照射使紫外胶固化，实现两种晶体的牢固粘合即可得到用于产生绿光的组合功能晶体。
进一步地，所述用于产生绿光的组合功能晶体在实际使用前还经过切割成器步骤进行处理，将第六步所得的用于产生绿光的组合功能晶体按设计尺寸切割，然后对标准尺寸胶合功能晶体进行清洗、晾干。
进一步地，第一步所述研磨抛光的步骤包括：
a). 用内圆切割机或单线金刚石切割机将激光晶体和非线性晶体切割成毛坯片，切割方向垂直于通光方向，其中激光晶体为（90°，0°），厚度1mm；非线性晶体中YCa4O(BO3)3晶体为(113±1°, 36.5±1°)，厚度3mm；GdCa4O(BO3)3晶体为(113.2±1°, 47.4±1°)，厚度3mm；晶体切割方向用X射线定向仪确定；
b). 以10微米粒径的金刚石为磨料，在双面研磨机上，将切割后的毛坯片研磨平整；
c). 以0.5微米粒径的氧化铈为磨料，以软布垫为抛光垫，在双面抛光机上，将研磨后的晶体抛光。
进一步地，第一步所述超声清洗的清洗液为含丙酮的水溶液，第二步所述二次清洗的清洗液为含酒精的水溶液。
进一步地，第三步所述激光晶体镀膜和第四步所述非线性晶体镀膜采用低温冷镀的离子溅射工艺进行真空镀膜，镀膜时真空度高于5´10-6Torr，温度为20～80°C。
进一步地，第五步所述涂胶贴合胶合过程中，紫外胶的用量3-4μl/c m2，
进一步地，第六步固化粘合过程中紫外灯照射的时间为30s。
进一步地，所述切割成器处理中对用于产生绿光的组合功能晶体按设计尺寸切割包含以下工艺步骤：
A). 将以丙酮为溶剂的醋酸纤维素溶液滴在用于产生绿光的组合功能晶体的两镀膜端面上，待丙酮挥发后形成一层保护膜；
B).采用金刚石多线切割机进行切割，其中切割线为镶有金刚石颗粒的钢线。
进一步地，切割成器的过程中，采用醋酸纤维素作为保护膜对组合晶体基本的两端面进行保护。
本发明一种用于产生绿光的组合功能晶体及其制作方法，具有如下的有益效果：
第一、温度稳定性高，用于产生绿光的组合功能晶体采用激光晶体Nd:YVO4晶体在端面贴合非线性晶体YCOB晶体、GdCOB晶体或GdYCOB晶体的技术方案，使用该用于产生绿光的组合功能晶体制作的绿光激光器具有更高的温度稳定性；
第二、光学性能好，对激光晶体或非线性光学晶体加工的过程中采用双面研磨和抛光技术，可以提高晶体的平整度和平行度，并提高加工效率；
第三、品质一致性优，由于分割成器件的切割过程中采用了保护镀膜面的方案，抛弃了传统的先切割，后抛光、镀膜的方案，而是采用先抛光、镀膜，再胶合、固化，最后分割成器件的方案，可以保证产品具有比较高的一致性。
第四、生产效率高，对激光晶体或非线性光学晶体加工的过程中采用双面研磨和抛光技术提高晶体的平整度和平行度的提升有效提高加工效率。切割过程中采用金刚石多线切割机，一次切割面积可达4—6英寸，也大大提高了工作效率。
具体实施方式
为了使本技术领域的人员更好地理解本发明的技术方案，下面结合实施例及对本发明产品作进一步详细的说明。
实施例1
本发明公开了一种用于产生绿光的组合功能晶体，用于绿光激光器，具体是采用以下制作方法制作的：
用内圆切割机将Nd:YVO4（90°, 0°）晶体切割成厚度为1mm的毛坯片，将YCOB晶体(113±1°, 36.5±1°)切割成厚度为3mm的毛坯片。切割方向由X射线定向仪确定。毛坯面积可根据可用的实际晶体大小确定，可以为10mm´10mm，20mm´20mm，30mm´30mm或其它尺寸，尽量提高晶体的利用率。
然后分别将切割后的Nd:YVO4和YCOB毛坯片在双面研磨机上研磨，磨料采用粒度为10微米的金刚石粉。研磨完成后，在双面抛光机上对晶体进一步抛光，抛光垫为软布垫，抛光粉采用粒度为0.5微米的氧化铈粉。抛光后晶体基片的平面度达到l/6，平行度达到5秒，粗糙度小于1微米。
采用二次清洗法对两种激光晶体和非线性抛光片进行清洗。
将待镀膜的激光晶体和非线性晶体置于镀膜机的腔体内，启动镀膜设备，对腔体进行抽空，当真空度达到5´10-6Torr时，启动预先设定的镀膜程序，进行自动化镀膜。对Nd:YVO4晶体第一端面镀808nm增透膜，1064nm高反膜，第二端面镀808nm高反膜，1064nm增透膜。对YCOB晶体第一端面镀1064nm增透膜，532nm高反膜，第二端面镀1064nm高反膜，532nm增透膜。
将Nd:YVO4晶体放置于点胶机上，第二端面朝上，按照3-4ml/cm2的紫外胶量进行点胶，之后将YCOB晶体的第一端面朝下，与Nd:YVO4晶体的第一端面接触，两晶体做轻度相对滑动，以使紫外胶均匀分布。
将上述晶体置于光学比较仪上，调整两片晶体发射像重合，用紫外灯照射30秒以上进行固化处理。之后转入UV固化箱中进行12小时以上的深度固化。
将以丙酮为溶剂的醋酸纤维素溶液分别滴在组合晶体的两镀膜端面上，待丙酮挥发后形成一层保护膜。之后采用金刚石多线切割机将组合晶体分割成1mm´1mm的方块。
采用二次清洗技术对上述组合晶体方块进行清洗，干燥。
对组合晶体方块进行装配，用导热胶固定在铜制散热支架上，之后进行功率和光斑形状的测试，要求功率高于20mW，光斑形状为圆形。检测完成后可封装入库。
实施例2
本发明公开了一种用于产生绿光的组合功能晶体，用于绿光激光器，具体是采用以下制作方法制作的：
用内圆切割机将Nd:YVO4（90°, 0°）晶体切割成厚度为1mm的毛坯片，将GDCOB晶体(113±1°, 36.5±1°)切割成厚度为3mm的毛坯片。切割方向由X射线定向仪确定。毛坯面积可根据可用的实际晶体大小确定，可以为10mm´10mm，20mm´20mm，30mm´30mm或其它尺寸，尽量提高晶体的利用率。
然后分别将切割后的Nd:YVO4和GDCOB毛坯片在双面研磨机上研磨，磨料采用粒度为10微米的金刚石粉。研磨完成后，在双面抛光机上对晶体进一步抛光，抛光垫为软布垫，抛光粉采用粒度为0.5微米的氧化铈粉。抛光后晶体基片的平面度达到l/6，平行度达到5秒，粗糙度小于1微米。
采用二次清洗法对两种激光晶体和非线性抛光片进行清洗。
将待镀膜的激光晶体和非线性晶体置于镀膜机的腔体内，启动镀膜设备，对腔体进行抽空，当真空度达到5´10-6Torr时，启动预先设定的镀膜程序，进行自动化镀膜。对Nd:YVO4晶体第一端面镀808nm增透膜，1064nm高反膜，第二端面镀808nm高反膜，1064nm增透膜。对GDCOB晶体第一端面镀1064nm增透膜，532nm高反膜，第二端面镀1064nm高反膜，532nm增透膜。
将Nd:YVO4晶体放置于点胶机上，第二端面朝上，按照3-4μl/c m2的紫外胶量进行点胶，之后将GdCOB晶体的第一端面朝下，与Nd:YVO4晶体的第一端面接触，两晶体做轻度相对滑动，以使紫外胶均匀分布。
将上述晶体置于光学比较仪上，调整两片晶体发射像重合，用紫外灯照射30秒以上进行固化处理。之后转入UV固化箱中进行12小时以上的深度固化。
将以丙酮为溶剂的醋酸纤维素溶液分别滴在组合晶体的两镀膜端面上，待丙酮挥发后形成一层保护膜。之后采用金刚石多线切割机将组合晶体分割成1mm´1mm的方块。
采用二次清洗技术对上述组合晶体方块进行清洗，干燥。
对组合晶体方块进行装配，用导热胶固定在铜制散热支架上，之后进行功率和光斑形状的测试，要求功率高于20mW，光斑形状为圆形。检测完成后可封装入库。
实施例3
本发明公开了一种用于产生绿光的组合功能晶体，用于绿光激光器，具体是采用以下制作方法制作的：
用内圆切割机将Nd:YVO4（90°, 0°）晶体切割成厚度为1mm的毛坯片，将GDYCOB晶体(113±1°, 36.5±1°)切割成厚度为3mm的毛坯片。切割方向由X射线定向仪确定。毛坯面积可根据可用的实际晶体大小确定，可以为10mm´10mm，20mm´20mm，30mm´30mm或其它尺寸，尽量提高晶体的利用率。
然后分别将切割后的Nd:YVO4和GDYCOB毛坯片在双面研磨机上研磨，磨料采用粒度为10微米的金刚石粉。研磨完成后，在双面抛光机上对晶体进一步抛光，抛光垫为软布垫，抛光粉采用粒度为0.5微米的氧化铈粉。抛光后晶体基片的平面度达到l/6，平行度达到5秒以内，粗糙度小于1微米。
采用二次清洗法对两种激光晶体和非线性抛光片进行清洗。
将待镀膜的激光晶体和非线性晶体置于镀膜机的腔体内，启动镀膜设备，对腔体进行抽空，当真空度达到5´10-6Torr时，启动预先设定的镀膜程序，进行自动化镀膜。对Nd:YVO4晶体第一端面镀808nm增透膜，1064nm高反膜，第二端面镀808nm高反膜，1064nm增透膜。对GDYCOB晶体第一端面镀1064nm增透膜，532nm高反膜，第二端面镀1064nm高反膜，532nm增透膜。
将Nd:YVO4晶体放置于点胶机上，第二端面朝上，按照3-4μl/cm2的紫外胶量进行点胶，之后将GDYCOB晶体的第一端面朝下，与Nd:YVO4晶体的第一端面接触，两晶体做轻度相对滑动，以使紫外胶均匀分布。
将上述晶体置于光学比较仪上，调整两片晶体发射像重合，用紫外灯照射30秒以上进行固化处理。之后转入UV固化箱中进行12小时以上的深度固化。
将以丙酮为溶剂的醋酸纤维素溶液分别滴在组合晶体的两镀膜端面上，待丙酮挥发后形成一层保护膜。之后采用金刚石多线切割机将组合晶体分割成1mm´1mm的方块。
采用二次清洗技术对上述组合晶体方块进行清洗，干燥。
对组合晶体方块进行装配，用导热胶固定在铜制散热支架上，之后进行功率和光斑形状的测试，要求功率高于20mW，光斑形状为圆形。检测完成后可封装入库。
实施例4
如附图1所示，把实施例1～3所得的组合晶体切割成柱状，所述的柱状的两个端面为通光面，切割成器的过程中，采用醋酸纤维素作为保护膜对组合晶体基本的两端面进行保护。
实施例5
如附图2所示，把实施例1～3所得的组合晶体切割成板条状，所述的板条状的两个端面为通光面，切割成器的过程中，采用醋酸纤维素作为保护膜对组合晶体基本的两端面进行保护。
以上所述，仅为本发明的较佳实施例而已，并非对本发明作任何形式上的限制；凡本行业的普通技术人员均可按说明书所示和以上所述而顺畅地实施本发明；但是，凡熟悉本专业的技术人员在不脱离本发明技术方案范围内，可利用以上所揭示的技术内容而作出的些许更动、修饰与演变的等同变化，均为本发明的等效实施例；同时，凡依据本发明的实质技术对以上实施例所作的任何等同变化的更动、修饰与演变等，均仍属于本发明的技术方案的保护范围之内。

Claims (10)

1.一种用于产生绿光的组合功能晶体，用于绿光激光器，其特征在于：包括激光晶体和非线性晶体，所述激光晶体和所述非线性晶体通过紫外胶层固化粘合；
所述激光晶体为Nd:YVO4晶体，所述非线性晶体为YCa4O(BO3)3晶体、GdCa4O(BO3)3晶体或GdYCOB晶体；
所述激光晶体的第一端面镀有808nm增透膜、1064nm高反膜，第二端面镀有808nm高反膜，1064nm增透膜，所述高反膜的反射率>99.8%，所述增透膜的透过率>95%；
所述非线性晶体的第一端面镀有1064nm增透膜、532nm高反膜，第二端面镀有1064nm高反膜、532nm增透膜，所述高反膜的反射率>99.8%，所述增透膜的透过率>95%：
所述紫外胶层设置在所述激光晶体的第二端面和非线性晶体的第一端面之间。
2. 一种权利要求1所述的用于产生绿光的组合功能晶体的制作方法，其特征在于包括以下步骤：
第一步、研磨抛光，对激光晶体和非线性晶体分别进行研磨，然后进行抛光和超声清洗，所述激光晶体为Nd:YVO4晶体，所述非线性晶体为YCa4O(BO3)3晶体、GdCa4O(BO3)3晶体或GdYCOB晶体；
第二步、二次清洗，对完成第一步所得的激光晶体和非线性晶体进行二次清洗，然后晾干；
第三步、激光晶体镀膜，对Nd:YVO4晶体的第一端面镀808nm增透膜、1064nm高反膜，第二端面镀808nm高反膜、1064nm增透膜；
第四步、非线性晶体镀膜，对非线性晶体的第一端面镀1064nm增透膜、532nm高反膜，第二端面镀1064nm高反膜、532nm增透膜；
第五步、涂胶贴合，将紫外胶涂在激光晶体的第二端面上，并把激光晶体的第二端面与非线性晶体晶体的第一端面对齐、重合；
第六步、固化粘合，在光学比较仪上调整激光晶体和非线性晶体的相对位置，然后用紫外灯照射使紫外胶固化，实现两种晶体的牢固粘合即可得到用于产生绿光的组合功能晶体。
3.根据权利要求2所述的用于产生绿光的组合功能晶体的制作方法，其特征在于：所述用于产生绿光的组合功能晶体在实际使用前还经过切割成器步骤进行处理，将第六步所得的用于产生绿光的组合功能晶体按设计尺寸切割，然后对标准尺寸胶合功能晶体进行清洗、晾干。
4.根据权利要求2或3所述的用于产生绿光的组合功能晶体的制作方法，其特征在于：第一步所述研磨抛光的步骤包括：
a). 用内圆切割机或单线金刚石切割机将激光晶体和非线性晶体切割成毛坯片，切割方向垂直于通光方向，其中激光晶体为（90°，0°），厚度1mm；非线性晶体中YCa4O(BO3)3晶体为(113±1°, 36.5±1°)，厚度3mm；GdCa4O(BO3)3晶体为(113.2±1°, 47.4±1°)，厚度3mm；晶体切割方向用X射线定向仪确定；
b). 以10微米粒径的金刚石为磨料，在双面研磨机上，将切割后的毛坯片研磨平整；
c). 以0.5微米粒径的氧化铈为磨料，以软布垫为抛光垫，在双面抛光机上，将研磨后的晶体抛光。
5.根据权利要求4所述的用于产生绿光的组合功能晶体的制作方法，其特征在于：第一步所述超声清洗的清洗液为丙酮溶液，第二步所述二次清洗的清洗液为含酒精的水溶液。
6.根据权利要求5所述的用于产生绿光的组合功能晶体的制作方法，其特征在于：第三步所述激光晶体镀膜和第四步所述非线性晶体镀膜采用低温冷镀的离子溅射工艺进行真空镀膜，镀膜时真空度高于5´10-6Torr，温度为20～80°C。
7.根据权利要求6所述的用于产生绿光的组合功能晶体的制作方法，其特征在于：第五步所述涂胶贴合胶合过程中，紫外胶的用量3-4μl/c m2。
8.根据权利要求7所述的用于产生绿光的组合功能晶体的制作方法，其特征在于：第六步固化粘合过程中紫外灯照射的时间为30s。
9.根据权利要求8所述的用于产生绿光的组合功能晶体的制作方法，其特征在于：所述切割成器处理中对用于产生绿光的组合功能晶体按设计尺寸切割包含以下工艺步骤：
A). 将以丙酮为溶剂的醋酸纤维素溶液滴在用于产生绿光的组合功能晶体的两镀膜端面上，待丙酮挥发后形成一层保护膜；
B).采用金刚石多线切割机进行切割，其中切割线为镶有金刚石颗粒的钢线。
10.根据权利要求9所述的用于产生绿光的组合功能晶体的制作方法，其特征在于：切割成器的过程中，采用醋酸纤维素作为保护膜对组合晶体基本的两端面进行保护。
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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN109659806A (zh) * 2019-02-22 2019-04-19 山东大学 一种温度不敏感型倍频晶体器件及其应用
CN112072455A (zh) * 2020-09-16 2020-12-11 深圳市恒川激光技术有限公司 一种具有染料激光性质的固体激光工作物质的制备方法

Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20010010700A1 (en) * 1999-02-02 2001-08-02 University Of Central Florida Self-frequency doubled Nd-doped ycob laser
CN2687909Y (zh) * 2003-09-03 2005-03-23 福州晶阵半导体有限公司 短腔固体激光器
CN101986482A (zh) * 2009-07-29 2011-03-16 中国科学院福建物质结构研究所 一种紧凑型绿光晶体组件
CN102856786A (zh) * 2012-10-15 2013-01-02 青岛镭视光电科技有限公司 一种基于硼酸氧钙盐晶体的绿光激光器

Patent Citations (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US20010010700A1 (en) * 1999-02-02 2001-08-02 University Of Central Florida Self-frequency doubled Nd-doped ycob laser
CN2687909Y (zh) * 2003-09-03 2005-03-23 福州晶阵半导体有限公司 短腔固体激光器
CN101986482A (zh) * 2009-07-29 2011-03-16 中国科学院福建物质结构研究所 一种紧凑型绿光晶体组件
CN102856786A (zh) * 2012-10-15 2013-01-02 青岛镭视光电科技有限公司 一种基于硼酸氧钙盐晶体的绿光激光器

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN109659806A (zh) * 2019-02-22 2019-04-19 山东大学 一种温度不敏感型倍频晶体器件及其应用
CN109659806B (zh) * 2019-02-22 2020-11-06 山东大学 一种温度不敏感型倍频晶体器件及其应用
CN112072455A (zh) * 2020-09-16 2020-12-11 深圳市恒川激光技术有限公司 一种具有染料激光性质的固体激光工作物质的制备方法
CN112072455B (zh) * 2020-09-16 2021-08-06 深圳市恒川激光技术有限公司 一种具有染料激光性质的固体激光工作物质的制备方法

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