CN105822829B - 一种微阀 - Google Patents

Abstract

本发明实施例公开了一种微阀，包括设有封闭腔区的阀体，设置于腔区内的主致动器、副致动器、第一悬臂、第二悬臂以及止动件。阀体上配置与腔区连通的第一阀口和第二阀口。主致动器连接第一悬臂的连接端，第一悬臂的随动端安装有打开和关闭第一阀口或第二阀口的开关件；副致动器与第二悬臂的连接端连接；在主致动器通电后通过推动第一悬臂将开关件移动至设定位置后，止动件连接第二悬臂的随动端与开关件，以锁定开关件。本发明在断电情况下，依然能够保持打开或者关闭状态，故能大幅降低微阀的功耗。

Description

一种微阀

技术领域

本发明涉及MEMS(Micro-Electro-Mechanical System，微机电系统)技术领域，具体涉及一种用于控制微流体的微阀。

背景技术

微流控是一种精确控制和操控微尺度流体，尤其特指亚微米结构的技术。微阀通常包括流体出入口、致动器以及响应致动器而移动到使流体出入口打开或关闭的阀部件。

美国专利NO.5058856公开了具有第一和第二基板的微阀。第一基板形成流体孔和阀座。第二基板形成对准该流体孔的阀门面，还包括活动的致动器。致动器包括热膨胀系数不同的第一层和第二层，以及一端被固定的加热部件。选择性地加热致动器便可使致动器因热膨胀系数的差别而弯曲。致动器的弯曲使阀门面远离或紧贴阀座，从而打开或关闭阀门，控制流体流过流体孔。

公开号为CN1322282A的专利申请公开了一种具有第一、第二和第三层的正比微阀。第一层形成具有入口和出口的腔，第二层上形成有具有流通区域的腔、移动部件以及一个或多个热膨胀致动器，第三层形成该腔的一个壁，并提供热膨胀致动器用的电接触部件。第二层内的致动器用于使移动部件移到一个位置，该位置位于打开和关闭位置之间并包含打开和关闭的位置，以使流体流入或流出。

上述两种结构的微阀，其致动器均通过材料的热胀冷缩原理产生形变：通电时，通过电流热效应对致动器进行加热膨胀，产生形变位移；断电时，致动器自动收缩复位。但采用热驱动原理的微阀存在如下问题：1、微阀工作期间需要产生足够的热量以保证致动器产生足够大的位移将流体入口充分打开或关闭，这就需要足够的电能输入，在微阀长时间处于工作状态时产生的功耗较大。2、微阀内流动的流体会带走微阀内的热量，导致微阀在工作时存在持续的电能消耗，为使微阀正常工作，需要在微阀工作期间提供持续的热量补给。3、对致动器持续加热，使微阀的阀体存在过热的风险。上述问题均导致采用热驱动的微阀在一些要求低功耗、低发热而又有微流体控制需求的应用设备中难以推广应用。

发明内容

本发明的发明目的在于提供一种低功耗、低发热的微阀。

根据本发明的实施例，提供了一种微阀，包括设有封闭腔区的阀体，配置于所述阀体上并与所述腔区连通的第一阀口和第二阀口，以及

设置于所述腔区内的主致动器、副致动器、包括连接端和随动端的第一悬臂、包括连接端和随动端的第二悬臂、以及止动件，其中，

所述主致动器连接第一悬臂的连接端，第一悬臂的随动端安装有打开和关闭第一阀口或第二阀口的开关件；

所述副致动器与第二悬臂的连接端连接；

在所述主致动器通电后通过推动第一悬臂将所述开关件移动至设定位置后，所述止动件连接第二悬臂的随动端与所述开关件，以锁定所述开关件。

优选地，所述止动件包括朝向相反的第一凸起部和第二凸起部；

第一凸起部设置于第二悬臂随动端的端部；第二凸起部设置于所述开关件的端部；在所述主致动器与所述副致动器按预定顺序设定通断电后，第一凸起部和第二凸起部卡合。

作为另一优选方案，所述止动件包括第三凸起部和凹嵌部；

第三凸起部设置于第二悬臂随动端的端部；所述凹嵌部设置于所述开关件的端部；在所述主致动器与所述副致动器按预定顺序通断电后，第三凸起部和所述凹嵌部卡合。

作为再一优选方案，所述止动件包括第三凸起部和凹嵌部；第三凸起部设置于所述开关件的端部，所述凹嵌部设置于第二悬臂随动端的端部；在所述主致动器与所述副致动器按预定顺序通断电后，第三凸起部和所述凹嵌部卡合。

优选地，所述开关件包括固定于第一悬臂随动端端部的滑块和开于第一悬臂随动端的缺口；

所述滑块与所述缺口并列设置，所述缺口与所述腔区连通；所述主致动器在未通电状态时，所述滑块封堵第一阀口或第二阀口；在所述主致动器处于通电状态时，所述滑块在所述主致动器的推动下移动且所述缺口打开第一阀口或第二阀口。

进一步地，所述滑块的中间开有通孔，所述通孔的最大孔径小于所述滑块封堵的第一阀口或第二阀口的孔径；所述主致动器在未通电状态时，所述滑块中所述通孔外围的那一部分用于封堵第一阀口或第二阀口。

作为另一优选方案，所述开关件为挡块。

其中，所述主致动器包括主支杆、包括移动端和固定端的主肋杆以及主脊杆；

所述主肋杆的固定端和所述主支杆分别固定于所述腔区的内壁上；

所述主脊杆的一端与所述主肋杆的移动端连接，另一端与第一悬臂中靠近并距离其连接端端部设定距离的部位固定连接；

所述主脊杆、主支杆和第一悬臂组成以所述主支杆其中一个端部为支点、所述主脊杆为动力、第一悬臂为动力臂的杠杆结构；第一悬臂随动端的运动方向与所述主脊杆的施力方向一致。

所述副致动器包括副支杆、包括移动端和固定端的副肋杆以及副脊杆；

所述副肋杆的固定端和所述副支杆分别固定于所述腔区的内壁上；

所述副脊杆的一端与所述副肋杆的移动端连接，另一端与第二悬臂中靠近并距离其连接端端部设定距离的部位固定连接；

所述副脊杆、副支杆和第二悬臂组成以所述副支杆其中一个端部为支点、所述副脊杆为动力、第二悬臂为动力臂的杠杆结构；第二悬臂随动端的运动方向与所述副脊杆的施力方向一致。

优选地，所述阀体包括第一基板、第二基板和第三基板，第二基板设置于第一和第三基板之间；

第二基板上设置空腔，所述空腔由第一和第三基板封闭形成所述腔区；

第一阀口和第二阀口均设置于第一基板上；

第三基板上设有第一通孔和第二通孔，第一通孔用于穿过连接所述主致动器与电接触部件的金属线；第二通孔用于穿过连接所述副致动器与电接触部件的金属线。

由以上技术方案可知，本发明中所述的微阀通过设置主、副致动器及止动件结构，使微阀在断电情况下，能够保持打开或者关闭状态，不再需要持续供电，因而能够大幅降低微阀的功耗。

附图说明

为了更清楚地说明本发明实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本发明的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。

图1为根据一优选实施例示出的微阀的组装示意图；

图2示出了图1中第二基板的纵向截面图；

图3示出了副致动器在通电状态时第二悬臂的状态图；

图4示出了主致动器与副致动器处于通电状态时第一悬臂的状态图；

图5示出了副致动器断电后第一悬臂与第二悬臂的状态图；

图6示出了第一悬臂与第二悬臂连接处的局部放大图。

图示说明：

1-第一阀口，2-第二阀口，3-主致动器，4-副致动器，5-第一悬臂，6-第二悬臂，7-开关件，8-第一凸起部，9-第二凸起部，10-第一基板，11-第二基板，12-第三基板，13-第一通孔，14-第二通孔，30-主支杆、31-主肋杆，32-主脊杆，40-副支杆，41-副肋杆，42-副脊杆，70-滑块，71-缺口。

具体实施方式

本发明的发明人发现，传统微阀中的致动器均采用热驱动结构，在使用过程中需要电能的持续供给。正是由于持续的电能供给，导致微阀存在功耗大、阀体存在过热危险等缺陷。本发明从减少电能供给角度出发，改变微阀内部结构。改变结构后的微阀在正常工作状态下不再消耗电能，只在启动和关闭时消耗电能，因此能够最大程度地降低电能消耗。

下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整的描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。

图1为根据一优选实施例示出的微阀的组装示意图。如图1所示，微阀包括设有封闭腔区的阀体、第一阀口1、第二阀口2、主致动器3、副致动器4、第一悬臂5、第二悬臂6、开关件7以及止动件。

作为各实施例中的优选实施例，本申请中的阀体包括第一基板10、第二基板11和第三基板12，第二基板11设置于第一基板10和第三基板12之间。第二基板11上设置空腔，该空腔由第一基板10和第三基板12封闭形成所述腔区。第三基板12上设有第一通孔13和第二通孔14。第一通孔13用于穿过连接主致动器3与电接触部件的金属线，第二通孔14用于穿过连接副致动器4与电接触部件的金属线。通过第一通孔13内的金属线的连接，电接触部件与主致动器3位于同一闭合电路。通过第二通孔14内的金属线的连接，电接触部件与副致动器4位于同一闭合电路。

第一阀口1和第二阀口2配置于第一基板上，第一阀口1和第二阀口2与封闭的腔区连通。第一阀口1和第二阀口2均可作为微阀的进口，也可作为微阀的出口，只是在一者作为进口时，另一者则为出口。本发明中将以第一阀口1为进口，第二阀口为出口为例展开描述。

需要说明的是，本实施例中阀体由三层基板组成的结构只是示例性的，凡是能够形成设定体积的封闭腔区，并能够配置第一阀口、第二阀口、第一通孔和第二通孔的阀体结构均落入本发明的范围。

主致动器3、副致动器4、第一悬臂5、第二悬臂6、开关件7和止动件均设置于阀体的封闭腔区内。

图2示出了图1中第二基板的纵向截面图。如图2所示，第一悬臂5与主致动器3配合使用。第二悬臂6与副致动器4配合使用。

第一悬臂5包括连接端和随动端。第一悬臂5的连接端与主致动器3连接；第一悬臂5的随动端安装开关件7。固定于第一悬臂随动端的开关件7位于第一阀口1的一个侧端，在第一悬臂随动端的推动下开关件7打开和关闭第一阀口1。需要说明的是，开关件7设置于第一阀口1的那一侧端与第一悬臂随动端的移动轨迹有关，若第一悬臂随动端在腔区内沿左右移动，则开关件7可设置于第一阀口1的左侧或右侧。若第一悬臂随动端在腔区内沿上下移动，则开关件7可设置于第一阀口1的上侧或下侧。

作为各实施例中的优选实施例，本申请中的主致动器3包括主支杆30、主肋杆31以及主脊杆32。主支杆30固定于腔区的内壁上。主肋杆31包括移动端和固定端，主肋杆31的固定端固定于腔区的内壁上。主脊杆32的一端与主肋杆31的移动端连接，另一端与第一悬臂中靠近并距离第一悬臂连接端端部设定距离的部位固定连接。主脊杆32、主支杆30和第一悬臂组成以主支杆30其中一个端部为支点、主脊杆32为动力、第一悬臂为动力臂的杠杆结构。主脊杆32的着力点与第一悬臂的随动端位于杠杆支点的同侧，则第一悬臂随动端的运动方向与主脊杆32的施力方向一致。

本发明中的主致动器3为电热驱动致动器，在给主致动器3的主肋杆31的两端供电时，在电流的热效应作用下，主肋杆31受热膨胀，产生形变，推动主脊杆32移动，主脊杆32的微小移动经杠杆放大后，第一悬臂的随动端推动开关件7移动。在主肋杆31的两端断电后，主脊杆32在主肋杆31的弹性力作用下反向移动，第一悬臂的随动端随主脊杆32的移动方向复位。

第二悬臂6包括连接端和随动端。作为各实施例中的优选实施例，本申请中的副致动器4包括副支杆40、包括移动端和固定端的副肋杆41以及副脊杆42。副支杆40固定于腔区的内壁上。副肋杆41的固定端固定于腔区的内壁上。副脊杆42的一端与副肋杆41的移动端连接，另一端与第二悬臂中靠近并距离第二悬臂连接端端部设定距离的部位固定连接。副脊杆42、副支杆40和第二悬臂组成以副支杆40其中一个端部为支点、副脊杆42为动力、第二悬臂为动力臂的杠杆结构；第二悬臂随动端的施力方向与副脊杆42的施力方向一致。

优选地，本发明中的副致动器选用电热驱动致动器，在给副致动器的副肋杆41的两端供电时，在电流的热效应作用下，副肋杆41受热膨胀，产生形变，推动副脊杆42移动，副脊杆42的微小移动经杠杆放大后，第二悬臂的随动端进行相应位移的移动。在副肋杆41的两端断电后，副脊杆42在副肋杆41的弹性力作用下反向移动，第二悬臂的随动端随副脊杆42的移动方向逐渐复位。

作为其中一种优选方案，本申请中的致动件包括朝向相反的第一凸起部8和第二凸起部9。其中，第一凸起部8设置于第二悬臂随动端的端部；第二凸起部9设置于开关件7的端部。在主致动器与副致动器按预定顺序设定通断电后，第一凸起部8和第二凸起部9卡合，以锁定开关件。

为实现第一凸起部8和第二凸起部9卡合，开关件的端部与第二悬臂随动端需存在一个高度差。在本实施例中，第二悬臂随动端高于开关件的端部，第一凸起部8设置于第二悬臂随动端端部的底端且设置方向朝下，第二凸起部9设置于开关件的端部的顶端且设置方向朝上。第一凸起部8与第二凸起部9在左右方向上相隔设定距离。第一凸起部8底端端面所处的高度小于第二凸起部9顶端端面所处的高度，并在第一凸起部8向上运动至设定位置时，第一凸起部8底端端面所处的高度大于第二凸起部9顶端端面所处的高度。

当开启微阀时，首先为副致动器的副肋杆41的两端供电，图3示出了副致动器在通电状态时第二悬臂的状态图。如图3所示，第二悬臂的随动端在副脊杆42的推动下向上移动。在第二悬臂随动端的移动完毕后，为主致动器3的主肋杆31的两端供电。图4示出了主致动器与副致动器处于通电状态时第一悬臂的状态图，如图4所示，第一悬臂的随动端在主脊杆32的推动下向左或左下方移动，此时副致动器仍处于通电状态，第一凸起部8底端端面高于第二凸起部9顶端端面，不会干扰到开关件的移动。

随后依次将副、主致动器3断电。首先将副致动器断电，图5示出了副致动器断电后第一悬臂与第二悬臂的状态图。如图5所示，副肋杆41冷却收缩，副脊杆42在弹性力的作用下向下复位运动，进而将第二悬臂随动端向下拉回到初始位置。此时第一凸起部8的底端运动到第二凸起部9的右侧，即处于主致动器3的复位路径上。随后主致动器断电，主致动器上的主肋杆31冷却收缩，主脊杆32在主肋杆弹性力的作用下向右运动，第一悬臂的随动端带动开关件向右移动。然而由于第一凸起部8和第二凸起部9的存在，形成卡扣结构，开关件无法复位到初始位置，而是被锁定在如图5所示的位置。此时微阀处于打开状态，流体在微阀内部流动情况如图5中带箭头的实线所示，第一阀口1与第二阀口2之间完全连通。

由以上可知，关闭微阀，主致动器与副致动器的通断电顺序为：

副致动器通电→主致动器通电→副致动器断电→主致动器断电。

当关闭微阀时，首先为主致动器的主肋杆31的两端供电，第一悬臂的随动端在主脊杆32的推动下向左或左下方移动，第二凸起部9随之向左或左下方移动。第二凸起部9逐渐远离第一凸起部8，两者不再卡合。在第一悬臂随动端的移动完毕后，为副致动器的副肋杆41的两端供电，第二悬臂的随动端在副脊杆42的推动下向上移动。在第一凸起部8底端端面高于第二凸起部9顶端端面后，为主致动器的主肋杆的两端断电，第二凸起部9随开关件向左移动至初始位置，即开关件将第一阀口1关闭。第一阀口1与第二阀口2之间不连通，则微阀关闭。随后将副致动器断电，副肋杆41冷却收缩，副脊杆42在弹性力的作用下向下复位运动，第二悬臂随动端及第一凸起部8均逐渐复位。

由以上可知，关闭微阀，主致动器与副致动器的通断电顺序为：

主致动器通电→副致动器通电→主致动器断电→副致动器断电。

由上述技术方案可知，本申请中的微阀通过设置主、副致动器及止动件结构，使微阀在断电情况下，能够保持打开或者关闭状态，而不需要持续供电，因而能够大幅降低微阀的功耗。

作为另一优选方案，止动件包括第三凸起部和凹嵌部(图中未示出)的结构。其中，第三凸起部(结构与第一凸起部相似，故省略)设置于第二悬臂随动端的端部；凹嵌部设置于开关件端部的顶面。

第二悬臂随动端高于开关件端部的顶面，第三凸起部设置于第二悬臂随动端端部的底端且设置方向朝下，第三凸起部与开关件左端面相隔设定距离。第三凸起部底端端面所处的高度小于凹嵌部顶面所处的高度，并在第三凸起部向上运动至设定位置时，第三凸起部底端端面所处的高度大于凹嵌部顶面所处的高度。

采用上述止动件的微阀，开启与关闭时，主致动器与副致动器的通断顺序及工作原理与止动件包括第一凸起部8和第二凸起部9的微阀中主致动器与副致动器的通断顺序及工作原理相同，此处不再赘述。

作为再一优选方案，止动件中的第三凸起部设置于开关件的端部，凹嵌部设置于第二悬臂随动端端部的底面。

第二悬臂随动端高于开关件端部的顶面，第三凸起部设置于开关件端部的顶端且设置方向朝上，第三凸起部与第二悬臂右端面相隔设定距离。第三凸起部顶端端面所处的高度大于第二悬臂随动端底部凹嵌部底面所处的高度，并在凹嵌部底面随第二悬臂随动端向上运动至设定位置时，第三凸起部顶端端面所处的高度小于凹嵌部底面所处的高度。

采用上述止动件的微阀，开启与关闭时，主致动器与副致动器的通断顺序及工作原理与止动件包括第一凸起部8和第二凸起部9的微阀中主致动器与副致动器的通断顺序及工作原理相同，此处不再赘述。

需要说明的是，上述列举出的止动件的结构用于说明但不限于上述结构。凡是在微阀开启后能够将开关件进行锁定的止动件的结构均落入本发明的保护范围。

本申请中，能够将第一阀口1阻挡且其端部能够设置凸起部或凹嵌部的结构，均可作为本申请中开关件的结构。作为各实施例中的优选实施例，本申请中的开关件可为挡块。

开关件采用挡块时，由第一阀口流入的流体作用于挡块上，挡块上受到的作用力沿图2中垂直纸面向上的方向，挡块中与第一阀口接触的侧面所受的压力大于位于腔区内那一侧面所受的压力。第一悬臂随动端推动开关件向左侧移动，与挡块两侧面的压力差的方向垂直。当挡块两侧面的压力差越大时，第一悬臂随动端推动开关件向左侧移动的难度就越大，消耗的电能越多。

为进一步减少能耗，减小开关件中与第一阀口1相贴的侧面与与其相反的位于腔区内的侧面之间的压力差，优选地，本申请中的开关件7包括固定于第一悬臂随动端端部的滑块70和开于第一悬臂随动端的缺口71。

滑块70与缺口71并列设置，滑块70的中间开有通孔，通孔的最大孔径小于滑块封堵的第一阀口1的孔径。主致动器在未通电状态时，滑块70中通孔外围的那一部分用于封堵第一阀口1。缺口71与腔区连通，在主致动器处于通电状态时，滑块70在主致动器的推动下移动，缺口71打开第一阀口。

滑块70的中心配置通孔，第一悬臂推动滑块70一部分后，滑块70中的通孔连通第一阀口与阀体内的腔区，腔区与阀体外部压力相同，第一悬臂随动端可轻松将滑块70推动，并使缺口71成比例地与第一阀口重合。与采用挡块方案相比，该方案由于实施阀体内外压力平衡措施，能够进一步节约电能。

或者，开关件也可设置于第二阀口2的位置，封堵微阀中的第一阀口或第二阀口2，均可将微阀关闭。

优选地，本申请中的微阀，在第一悬臂、开关件及第二悬臂的周边均设置有一定间隙，此作为腔区中的压力平衡通道。图6示出了第一悬臂与第二悬臂连接处的局部放大图。图6中虚线箭头所示的空间即为微阀的压力平衡通道。压力平衡通道用于快速平衡主致动器瞬时移动产生的瞬间压差，防止因瞬时压差造成的主致动器和副致动器的运动不畅。

综上，本申请中的技术方案能够使微阀在断电情况下，依然能够保持打开或者关闭状态，因而能够大幅降低微阀的功耗。

本领域技术人员在考虑说明书及实践这里公开的发明后，将容易想到本发明的其它实施方案。本申请旨在涵盖本发明的任何变型、用途或者适应性变化，这些变型、用途或者适应性变化遵循本发明的一般性原理并包括本公开未公开的本技术领域中的公知常识或惯用技术手段。说明书和实施例仅被视为示例性的，本发明的真正范围和精神由下面的权利要求指出。

应当理解的是，本发明并不局限于上面已经描述并在附图中示出的精确结构，并且可以在不脱离其范围进行各种修改和改变。本发明的范围仅由所附的权利要求来限制。

Claims (10)

1.一种微阀，包括设有封闭腔区的阀体，配置于所述阀体上并与所述腔区连通的第一阀口(1)和第二阀口(2)，其特征在于，还包括：

设置于所述腔区内的主致动器(3)、副致动器(4)、包括连接端和随动端的第一悬臂(5)、包括连接端和随动端的第二悬臂(6)以及止动件，其中，

所述主致动器(3)连接第一悬臂(5)的连接端，第一悬臂(5)的随动端安装有打开和关闭第一阀口(1)或第二阀口(2)的开关件(7)；

所述副致动器(4)与第二悬臂(6)的连接端连接；

在所述主致动器(3)通电后通过推动第一悬臂(5)将所述开关件(7)移动至设定位置后，所述止动件连接第二悬臂(6)的随动端与所述开关件(7)，以锁定所述开关件(7)。

2.根据权利要求1所述的微阀，其特征在于，所述止动件包括朝向相反的第一凸起部(8)和第二凸起部(9)；

第一凸起部(8)设置于第二悬臂(6)随动端的端部；第二凸起部(9)设置于所述开关件(7)的端部；在所述主致动器(3)与所述副致动器(4)按预定顺序设定通断电后，第一凸起部(8)和第二凸起部(9)卡合。

3.根据权利要求1所述的微阀，其特征在于，所述止动件包括第三凸起部和凹嵌部；

第三凸起部设置于第二悬臂(6)随动端的端部；所述凹嵌部设置于所述开关件(7)的端部；在所述主致动器(3)与所述副致动器(4)按预定顺序通断电后，第三凸起部和所述凹嵌部卡合。

4.根据权利要求1所述的微阀，其特征在于，所述止动件包括第三凸起部和凹嵌部；第三凸起部设置于所述开关件(7)的端部，所述凹嵌部设置于第二悬臂(6)随动端的端部；在所述主致动器(3)与所述副致动器(4)按预定顺序通断电后，第三凸起部和所述凹嵌部卡合。

5.根据权利要求1至4中任一所述的微阀，其特征在于，所述开关件(7)包括固定于第一悬臂(5)随动端端部的滑块(70)和开于第一悬臂(5)随动端的缺口(71)；

所述滑块(70)与所述缺口(71)并列设置，所述缺口(71)与所述腔区连通；所述主致动器(3)在未通电状态时，所述滑块(70)封堵第一阀口(1)或第二阀口(2)；在所述主致动器(3)处于通电状态时，所述滑块(70)在所述主致动器(3)的推动下移动且所述缺口(71)打开第一阀口(1)或第二阀口(2)。

6.根据权利要求5所述的微阀，其特征在于，所述滑块(70)的中间开有通孔，所述通孔的最大孔径小于所述滑块(70)封堵的第一阀口(1)或第二阀口(2)的孔径；所述主致动器(3)在未通电状态时，所述滑块(70)中所述通孔外围的那一部分用于封堵第一阀口(1)或第二阀口(2)。

7.根据权利要求1至4中任一所述的微阀，其特征在于，所述开关件(7)为挡块。

8.根据权利要求6所述的微阀，其特征在于，所述主致动器(3)包括主支杆(30)、包括移动端和固定端的主肋杆(31)以及主脊杆(32)；

所述主肋杆(31)的固定端和所述主支杆(30)分别固定于所述腔区的内壁上；

所述主脊杆(32)的一端与所述主肋杆(31)的移动端连接，另一端与第一悬臂(5)中靠近并距离其连接端端部设定距离的部位固定连接；

所述主脊杆(32)、主支杆(30)和第一悬臂(5)组成以所述主支杆(30)其中一个端部为支点、所述主脊杆(32)为动力、第一悬臂(5)为动力臂的杠杆结构；第一悬臂(5)随动端的运动方向与所述主脊杆(32)的施力方向一致。

9.根据权利要求8所述的微阀，其特征在于，所述副致动器(4)包括副支杆(40)、包括移动端和固定端的副肋杆(41)以及副脊杆(42)；

所述副肋杆(41)的固定端和所述副支杆(40)分别固定于所述腔区的内壁上；

所述副脊杆(42)的一端与所述副肋杆(41)的移动端连接，另一端与第二悬臂(6)中靠近并距离其连接端端部设定距离的部位固定连接；

所述副脊杆(42)、副支杆(40)和第二悬臂(6)组成以所述副支杆(40)其中一个端部为支点、所述副脊杆(42)为动力、第二悬臂(6)为动力臂的杠杆结构；第二悬臂(6)随动端的运动方向与所述副脊杆(42)的施力方向一致。

10.根据权利要求1所述的微阀，其特征在于，所述阀体包括第一基板(10)、第二基板(11)和第三基板(12)，第二基板(11)设置于第一和第三基板之间；

第二基板(11)上设置空腔，所述空腔由第一和第三基板封闭形成所述腔区；

第一阀口(1)和第二阀口(2)均设置于第一基板(10)上；

第三基板(12)上设有第一通孔(13)和第二通孔(14)，第一通孔(13)用于穿过连接所述主致动器(3)与电接触部件的金属线；第二通孔(14)用于穿过连接所述副致动器(4)与电接触部件的金属线。