CN202100824U - 一种压电驱动式微流量阀 - Google Patents

一种压电驱动式微流量阀 Download PDF

Info

Publication number
CN202100824U
CN202100824U CN2011201826769U CN201120182676U CN202100824U CN 202100824 U CN202100824 U CN 202100824U CN 2011201826769 U CN2011201826769 U CN 2011201826769U CN 201120182676 U CN201120182676 U CN 201120182676U CN 202100824 U CN202100824 U CN 202100824U
Authority
CN
China
Prior art keywords
valve
valve seat
drive type
piezoelectric
type micro
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
CN2011201826769U
Other languages
English (en)
Inventor
程光明
梁建波
曾平
黄合成
李熹平
阚君武
张忠华
孙明礼
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Zhejiang Normal University CJNU
Original Assignee
Zhejiang Normal University CJNU
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Zhejiang Normal University CJNU filed Critical Zhejiang Normal University CJNU
Priority to CN2011201826769U priority Critical patent/CN202100824U/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN202100824U publication Critical patent/CN202100824U/zh
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Images

Landscapes

  • Electrically Driven Valve-Operating Means (AREA)

Abstract

本实用新型涉及一种压电驱动式微流量阀,属于一种---流量阀。圆形压电振子固定在阀座与阀盖之间,阀盖与阀座的凹形口相对形成空腔,阀座内设有环形密封圈和液体出口,液体进口圆心与阀座圆心重合,液体进口、液体出口位于阀座凹形腔内。本实用新型的优点在于:结构新颖,由PZT压电晶体驱动器制成的微阀具有频率响应高;输出精度高;由输入电信号直接控制,不受电磁干扰;输出位移随与输入电压的变化而线性变化;功耗低精度高;价格低、体积小、结构紧凑的优点。

Description

一种压电驱动式微流量阀
技术领域
本实用新型属于一种---流量阀,尤其是指一种微流量阀。
背景技术
传统微流量阀的驱动方式多采用电磁驱动、气驱动,可将电能或其它能转化为机械能,缺点是:频响低、控制精度低和体积大。
发明内容
本实用新型提供一种压电驱动式微流量阀,以解决传统微流量阀频响低、控制精度低和体积大的问题。
本实用新型采取的技术方案是:圆形压电振子固定在阀座与阀盖之间,阀盖与阀座的凹形口相对形成空腔,阀座内设有环形密封圈和液体出口,液体进口圆心与阀座圆心重合,液体进口、液体出口位于阀座凹形腔内。
本实用新型的优点在于:结构新颖,由PZT压电晶体驱动器制成的微阀具有频率响应高;输出精度高;由输入电信号直接控制,不受电磁干扰;输出位移随与输入电压的变化而线性变化;功耗低精度高;价格低、体积小、结构紧凑的优点。
附图说明
图 1是本实用新型的结构示意图。
具体实施方式
圆形压电振子3固定在阀座4与阀盖1之间,阀盖1与阀座4的凹形口相对形成空腔,阀座4内设有环形密封圈2和液体出口6,液体进口5圆心与阀座4圆心重合,液体进口5、液体出口6位于阀座4凹形腔内。
本实用新型的工作方式是:当给压电振子施加使之向上弯曲的电信号时,压电振子向上弯曲变形,和阀座形成过流间隙,如果形成的过流间隙内外存在压差,则流体由入口进入流体阀,经过流间隙、阀的出口流回系统;当不给压电振子施加电信号或施加反向电信号,则压电晶片驱动器和阀座之间压紧、无过流间隙,阀处于截止状态。

Claims (1)

1.一种压电驱动式微流量阀,其特征在于:圆形压电振子固定在阀座与阀盖之间,阀盖与阀座的凹形口相对形成空腔,阀座内设有环形密封圈和液体出口,液体进口圆心与阀座圆心重合,液体进口、液体出口位于阀座凹形腔内。
CN2011201826769U 2011-06-01 2011-06-01 一种压电驱动式微流量阀 Expired - Fee Related CN202100824U (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN2011201826769U CN202100824U (zh) 2011-06-01 2011-06-01 一种压电驱动式微流量阀

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN2011201826769U CN202100824U (zh) 2011-06-01 2011-06-01 一种压电驱动式微流量阀

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN202100824U true CN202100824U (zh) 2012-01-04

Family

ID=45386838

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN2011201826769U Expired - Fee Related CN202100824U (zh) 2011-06-01 2011-06-01 一种压电驱动式微流量阀

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN202100824U (zh)

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103398203A (zh) * 2013-08-17 2013-11-20 刘勇 微型液力压电开关阀
CN105805411A (zh) * 2014-12-30 2016-07-27 浙江盾安人工环境股份有限公司 一种新型刀闸微型阀装置
CN105822829A (zh) * 2015-01-08 2016-08-03 浙江盾安人工环境股份有限公司 一种微阀
CN109185554A (zh) * 2018-09-30 2019-01-11 浙江大学 一种音圈驱动的微型柔性阀
CN111828645A (zh) * 2019-04-15 2020-10-27 意法半导体股份有限公司 具有压电致动的膜微流体阀及其制造方法
CN112228628A (zh) * 2020-10-23 2021-01-15 华中科技大学 一种压电微阀门的流量控制方法及压电微阀门装置

Cited By (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN103398203A (zh) * 2013-08-17 2013-11-20 刘勇 微型液力压电开关阀
CN105805411A (zh) * 2014-12-30 2016-07-27 浙江盾安人工环境股份有限公司 一种新型刀闸微型阀装置
CN105805411B (zh) * 2014-12-30 2019-02-01 浙江盾安人工环境股份有限公司 一种刀闸微型阀装置
CN105822829A (zh) * 2015-01-08 2016-08-03 浙江盾安人工环境股份有限公司 一种微阀
CN105822829B (zh) * 2015-01-08 2019-04-16 浙江盾安人工环境股份有限公司 一种微阀
CN109185554A (zh) * 2018-09-30 2019-01-11 浙江大学 一种音圈驱动的微型柔性阀
CN111828645A (zh) * 2019-04-15 2020-10-27 意法半导体股份有限公司 具有压电致动的膜微流体阀及其制造方法
US11555554B2 (en) 2019-04-15 2023-01-17 Stmicroelectronics S.R.L. Membrane microfluidic valve with piezoelectric actuation and manufacturing process thereof
CN111828645B (zh) * 2019-04-15 2023-09-19 意法半导体股份有限公司 具有压电致动的膜微流体阀及其制造方法
CN112228628A (zh) * 2020-10-23 2021-01-15 华中科技大学 一种压电微阀门的流量控制方法及压电微阀门装置
CN112228628B (zh) * 2020-10-23 2021-12-31 华中科技大学 一种压电微阀门的流量控制方法及压电微阀门装置

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN202100824U (zh) 一种压电驱动式微流量阀
CN202574604U (zh) 压电喷水推进装置
CN102536755B (zh) 一种闭环压电薄膜泵及流量控制方法
CN204402805U (zh) 一种谐振型压电隔膜泵
CN101666307B (zh) 一种漏斗形阀压电泵及其工作方法
CN104153978A (zh) 一种压电致振式微流体泵送装置
CN103557143A (zh) 闭环压电薄膜泵及其流量控制方法
CN101922442A (zh) 双腔双驱动压电叠堆泵
CN203770100U (zh) 一种压电致振式微流体泵送装置
CN101303085B (zh) 一种具有圆环面边界的微流体主动控制阀
CN202149012U (zh) 自感知压电隔膜泵
CN107524584A (zh) 新型多振子压电泵
CN101285459B (zh) 一种有阀压电泵
CN202579119U (zh) 一种新型自感知压电隔膜泵
CN103032297B (zh) 基于碟型传感器阀的压电泵
CN203742925U (zh) 一种基于磁致伸缩棒驱动的微泵
CN201057136Y (zh) 压电振子主动阀式压电泵
CN107781144B (zh) 一种双腔单振子压电泵
CN201377412Y (zh) 单膜片连续输送流体压电泵
CN111911393A (zh) 一种带预紧阀的压电陶瓷微流控泵及其使用方法
CN103032296B (zh) 基于碟型传感器阀的压电叠堆泵
CN204684305U (zh) 一种压电驱动血液泵的体外循环装置
CN203925952U (zh) 闭环压电薄膜泵
CN202493404U (zh) 一种压电泵
CN202165255U (zh) 一种连锁螺线流管无阀压电泵

Legal Events

Date Code Title Description
C14 Grant of patent or utility model
GR01 Patent grant
C17 Cessation of patent right
CF01 Termination of patent right due to non-payment of annual fee

Granted publication date: 20120104

Termination date: 20120601