CN105819178A - 晶片传送盒搬运方法、桥接储存器、以及控制装置 - Google Patents

Abstract

一种晶片传送盒搬运方法，可用于控制包括至少两个进出端口的桥接储存器。上述晶片传送盒搬运方法包括以下步骤：先拦截一存入命令予以保留不执行、主动触发后续执行条件以接收其下一道搬出命令、将两道命令整合用以发送一直接搬运命令。存入命令用以控制桥接储存器将晶片传送盒通过第一进出端口搬进桥接储存器并储存晶片传送盒至储存单元。搬出命令用以控制桥接储存器将晶片传送盒通过第二进出端口搬出桥接储存器的储存单元。直接搬运命令控制桥接储存器将晶片传送盒从第一进出端口直接搬运至第二进出端口，可省略搬入储存单元及搬出储存单元的程序。

Description

晶片传送盒搬运方法、桥接储存器、以及控制装置

技术领域

本发明是有关于一种晶片传送盒(foup)的搬运技术，且特别是有关于一种晶片传送盒搬运方法、桥接储存器(relaystocker)、以及控制装置。

背景技术

在晶片厂中，桥接储存器是在两个厂房之间搬运晶片的过渡地点。当一个晶片传送盒与其中的晶片需要从一个厂房搬运到另一个厂房，自动化的输送系统会先将晶片传送盒移动到两个厂房之间的桥接储存器。第一个厂房的控制系统会发送命令，让机械手臂搬运晶片传送盒，将晶片传送盒存入桥接储存器内的储存单元。然后第二个厂房的控制系统会发送命令，让机械手臂将晶片传送盒由桥接储存器的储存单元搬出，移交给第二个厂房的自动输送系统。

这种先存入再取出的程序会造成运送效率低落。当不同厂房之间有很高的晶片传送量时，会使桥接储存器因过多的储入再搬出的动作过于忙碌而成为瓶颈，并会造成有大量晶片积存在桥接储存器的储存单元中而难以跨厂传送。

发明内容

本发明提供一种晶片传送盒搬运方法、桥接储存器、以及控制装置，以解决晶片在不同厂房之间运送效率低落的问题。

本发明的晶片传送盒搬运方法可用于控制桥接储存器。桥接储存器包括第一进出端口(loadport)和第二进出端口。上述晶片传送盒搬运方法包括以下步骤：先拦截一存入命令予以保留不执行、发送回应及通知、触发后续执行条件以接收其下一道搬出命令、将两道命令整合以发送一直接搬运命令。存入命令用以控制桥接储存器将晶片传送盒通过第一进出端口搬进桥接储存器并储存晶片传送盒至储存单元。搬出命令用以控制桥接储存器将晶片传送盒通过第二进出端口搬出桥接储存器的储存单元。直接搬运命令控制桥接储存器将晶片传送盒从第一进出端口直接搬运至第二进出端口。

本发明的桥接储存器包括第一进出端口、第二进出端口、储存单元、搬运单元、以及控制单元。控制单元可拦截一存入命令并予以保留不执行、主动触发后续执行条件以接收一搬出命令、并整合存入命令和搬出命令以发送一直接搬运命令。存入命令用以控制搬运单元将晶片传送盒通过第一进出端口搬进储存单元以储存晶片传送盒至储存单元。搬出命令用以控制搬运单元将晶片传送盒通过第二进出端口搬出桥接储存器的储存单元。直接搬运命令用以控制搬运单元将晶片传送盒从第一进出端口直接搬运至第二进出端口。

本发明的控制装置用于控制上述桥接储存器。此控制装置包括接口单元和控制单元。接口单元用以耦接桥接储存器，以及在控制装置和桥接储存器之间传送命令与信息。控制单元耦接接口单元，拦截一存入命令并予以保留不执行，主动触发后续执行条件以接收一搬出命令，并整合以上两命令以通过接口单元发送一直接搬运命令。存入命令用以控制桥接储存器将晶片传送盒通过第一进出端口搬进桥接储存器的储存单元并储存晶片传送盒至储存单元。搬出命令用以控制桥接储存器将晶片传送盒通过第二进出端口搬出桥接储存器的储存单元。直接搬运命令用以控制桥接储存器将晶片传送盒从第一进出端口直接搬运至第二进出端口。

上述的晶片传送盒搬运方法、桥接储存器、以及控制装置可直接在对应两个厂房的两个进出端口之间直接搬运晶片传送盒，可省略将晶片先存入桥接储存器然后再取出的程序，因此能提高晶片在厂房之间运送的效率。

为让本发明的上述特征和优点能更明显易懂，下文特举实施例，并配合附图作详细说明如下

附图说明

图1是依照本发明的一实施例的一种桥接储存器的示意图。

图2是依照本发明的一实施例的一种晶片传送盒搬运方法的流程图。

图3至图5是依照本发明的多个实施例的桥接储存器和控制装置的示意图。

符号说明

110：加工设备

120、140：轨道

122、142：输送车

130、150：桥接储存器

131、132：进出端口

160：晶片传送盒

205～265：方法步骤

310、320：控制装置

340：控制单元

351、352：接口单元

360：搬运单元

380：储存单元

440、540：控制单元

442、542：控制系统

444、544：驱动程序

451、452、551、552：接口单元

具体实施方式

图1是依照本发明的一实施例的桥接储存器的示意图。桥接储存器130在晶片厂的两个厂房之间转运晶片。这两个厂房可采用相同或不同的控制系统。加工设备110隶属第一个厂房，而桥接储存器150隶属第二个厂房。桥接储存器130包括进出端口(loadport)131和132。进出端口131面向第一个厂房，进出端口132面向第二个厂房。架设在轨道120上的输送车122可将晶片传送盒160自加工设备110运送到进出端口131。桥接储存器130可将晶片传送盒160自进出端口131直接搬运到进出端口132。架设在轨道140上的输送车142可将晶片传送盒160自进出端口132运送到桥接储存器150。

本实施例的输送车122和142配置在所属的轨道上方。在本发明的另一实施例中，输送车122和142可用吊挂方式配置在所属的轨道下方。在另一实施例中，加工设备110可置换为另一个桥接储存器。在另一个实施例中，桥接储存器150可置换为另一个加工设备。在另一个实施例中，桥接储存器130可包括更多进出端口，每一个进出端口可通过轨道连接加工设备或桥接储存器。

图2是依照本发明的一实施例的一种晶片传送盒搬运方法的流程图。此搬运方法可由图3的桥接储存器130的控制单元340执行。图3是依照本发明的一实施例的桥接储存器130和控制装置310、320的示意图。控制装置310用以控制晶片传送盒160在加工设备110和桥接储存器130之间的运送。控制装置320用以控制晶片传送盒160在桥接储存器130和150之间的运送。

桥接储存器130包括进出端口131、132、接口单元351、352、储存单元380、搬运单元360、以及控制单元340。接口单元351用以耦接控制装置310，以及在控制装置310和桥接储存器130之间传送命令与信息。接口单元352用以耦接控制装置320，以及在控制装置320和桥接储存器130之间传送命令与信息。控制单元340耦接接口单元351、352以及搬运单元360。搬运单元360可包括机械手臂以在进出端口131、132和储存单元380之间搬运晶片传送盒160。在本发明的另一实施例中，搬运单元360可用其它方式搬运晶片传送盒160。

以下说明图2流程。当晶片传送盒160被输送车122送达进出端口131时，控制装置310会发送一个存入命令。此存入命令用以控制搬运单元360将晶片传送盒160通过进出端口131搬进储存单元380以储存晶片传送盒160至储存单元380。在步骤205，控制单元340通过接口单元351接收此存入命令，并拦截此存入命令，也就是保留存入命令但不予执行。在步骤210，控制单元340通过接口单元351向控制装置310发送上述存入命令的响应信息。此响应信息表示存入命令已经正常执行。在步骤215，控制单元340通过接口单元352向控制装置320发送一个通知信息。此通知信息表示晶片传送盒160已被存入桥接储存器130。

在步骤205至215，控制单元340只是向控制装置310和320仿真存入命令的执行结果，而不会真的执行存入命令。也就是说，晶片传送盒160仍然停留在原位，不会被存入桥接储存器130。

步骤215的通知信息可主动触发控制装置320的后续执行条件，使控制装置320向桥接储存器130发送一个搬出命令。此搬出命令用以控制搬运单元360将晶片传送盒160通过进出端口132搬出桥接储存器130的储存单元380。不过通知信息和搬出命令之间可能有一段时间差。在步骤220，控制单元340开始计时。在步骤225，控制单元340检查是否已经收到来自控制装置320的搬出命令。如果已经收到搬出命令，则控制单元340在步骤230接收此搬出命令。控制单元340会将上述的存入命令和搬出命令整合成一个直接搬运命令，然后在步骤235向搬运单元360发送此直接搬运命令。此直接搬运命令可控制搬运单元360将晶片传送盒160从进出端口131直接搬运至进出端口132。这个直接搬运不会将晶片传送盒160存入储存单元380。流程至此结束。

若步骤225的检查结果是尚未收到搬出命令，则控制单元340在步骤240检查从步骤220的开始计时之后是否已经过一段预设时间。如果预设时间尚未经过，则流程返回步骤225。如果已经过预设时间，表示搬出命令已经逾时(timeout)，则控制单元340在步骤245将在步骤205收到的存入命令传送至搬运单元360，以控制搬运单元360将晶片传送盒160通过进出端口131搬进储存单元380以储存晶片传送盒160至储存单元380。

在步骤250，控制单元340检查在搬进和储存晶片传送盒160的过程中是否有收到已经逾时的搬出命令。如果没收到搬出命令，则流程至此结束。如果在此过程中收到了搬出命令，则控制单元340在步骤255暂存搬出命令，在步骤260等待晶片传送盒160的储存动作完成，然后在步骤265将搬出命令传送至搬运单元360，以控制搬运单元360将晶片传送盒160通过进出端口132搬出桥接储存器130的储存单元380。流程至此结束。

图4是依照本发明的另一实施例的桥接储存器130和控制装置310、320的示意图。在本实施例中，图2的搬运方法可由控制装置310的控制单元440执行。本实施例的控制装置310包括控制单元440以及接口单元451、452。控制系统442和驱动程序444是控制单元440所执行的软件。控制系统442可控制加工设备110所属的厂房，例如控制系统442可控制加工设备110与输送车122。驱动程序444可执行图2的搬运方法。接口单元451用以耦接控制单元440和桥接储存器130，以及在控制装置310和桥接储存器130之间传送命令与信息。接口单元452用以耦接控制单元440和控制装置320，以及在控制装置310和320之间传送命令与信息。

当晶片传送盒160被输送车122送达进出端口131时，控制系统442会产生一个存入命令并且向驱动程序444发送此存入命令。此存入命令用以控制桥接储存器130将晶片传送盒160通过进出端口131搬进桥接储存器130的储存单元并储存晶片传送盒160至储存单元。在步骤205，驱动程序444接收此存入命令，并拦截此存入命令。在步骤210，驱动程序444向控制系统442发送上述存入命令的响应信息。此响应信息表示存入命令已经正常执行。在步骤215，驱动程序444通过接口单元452向控制装置320发送一个通知信息。此通知信息表示晶片传送盒160已被存入桥接储存器130。

在步骤205至215，驱动程序444只是模拟存入命令的执行结果，而不会真的执行存入命令。也就是说，晶片传送盒160仍然停留在原位，不会被存入桥接储存器130。

步骤215的通知信息会主动触发控制装置320的后续执行条件，使控制装置320向控制装置310发送一个搬出命令。此搬出命令用以控制桥接储存器130将晶片传送盒160通过进出端口132搬出桥接储存器130的储存单元。不过通知信息和搬出命令之间可能有一段时间差。在步骤220，驱动程序444开始计时。在步骤225，驱动程序444检查是否已通过接口单元452收到来自控制装置320的搬出命令。如果已经收到搬出命令，则驱动程序444在步骤230接收此搬出命令。驱动程序444会将上述的存入命令和搬出命令整合成一个直接搬运命令，然后在步骤235通过接口单元451向桥接储存器130发送此直接搬运命令。此直接搬运命令用以控制桥接储存器130将晶片传送盒160从进出端口131直接搬运至进出端口132。这个直接搬运不会将晶片传送盒160存入桥接储存器130。流程至此结束。

若步骤225的检查结果是尚未收到搬出命令，则驱动程序444在步骤240检查从步骤220的开始计时之后是否已经过一段预设时间。如果预设时间尚未经过，则流程返回步骤225。如果已经过预设时间，表示搬出命令已经逾时，则驱动程序444在步骤245将在步骤205收到的存入命令通过接口单元451传送至桥接储存器130，以控制桥接储存器130将晶片传送盒160通过进出端口131搬进桥接储存器130的储存单元并储存晶片传送盒160至储存单元。

在步骤250，驱动程序444检查在搬进和储存晶片传送盒160的过程中是否有收到已经逾时的搬出命令。如果没收到搬出命令，则流程至此结束。如果在此过程中收到了搬出命令，则驱动程序444在步骤255暂存搬出命令，在步骤260等待晶片传送盒160的储存动作完成，然后在步骤265通过接口单元451将搬出命令传送至桥接储存器130，以控制桥接储存器130将晶片传送盒160通过进出端口132搬出桥接储存器130的储存单元。流程至此结束。

图5是依照本发明的另一实施例的桥接储存器130和控制装置310、320的示意图。在本实施例中，图2的搬运方法可由控制装置320的控制单元540执行。本实施例的控制装置320包括控制单元540以及接口单元551、552。控制系统542和驱动程序544是控制单元540所执行的软件。控制系统542可控制桥接储存器150所属的厂房，例如控制系统542可控制桥接储存器150与输送车142。驱动程序544可执行图2的搬运方法。接口单元551用以耦接控制单元540和桥接储存器130，以及在控制装置320和桥接储存器130之间传送命令与信息。接口单元552用以耦接控制单元540和控制装置310，以及在控制装置310和320之间传送命令与信息。

当晶片传送盒160被输送车122送达进出端口131时，控制装置310向控制装置320发送一个存入命令。此存入命令用以控制桥接储存器130将晶片传送盒160通过进出端口131搬进桥接储存器130的储存单元并储存晶片传送盒160至储存单元。在步骤205，驱动程序544通过接口单元552自控制装置310接收此存入命令，并拦截此存入命令。在步骤210，驱动程序544通过接口单元552向控制装置310发送上述存入命令的响应信息。此响应信息表示存入命令已经正常执行。在步骤215，驱动程序544向控制系统542发送一个通知信息。此通知信息表示晶片传送盒160已被存入桥接储存器130。

在步骤205至215，驱动程序544只是模拟存入命令的执行结果，而不会真的执行存入命令。也就是说，晶片传送盒160仍然停留在原位，不会被存入桥接储存器130。

步骤215的通知信息可主动触发控制系统542的后续执行条件，使控制系统542产生一个搬出命令，并向驱动程序544发送此搬出命令。此搬出命令用以控制桥接储存器130将晶片传送盒160通过进出端口132搬出桥接储存器130的储存单元。不过通知信息和搬出命令之间可能有一段时间差。在步骤220，驱动程序544开始计时。在步骤225，驱动程序544检查是否已经收到搬出命令。如果已经收到搬出命令，则驱动程序544在步骤230接收此搬出命令。驱动程序544会将上述的存入命令和搬出命令整合成一个直接搬运命令，然后在步骤235通过接口单元551向桥接储存器130发送此直接搬运命令。此直接搬运命令用以控制桥接储存器130将晶片传送盒160从进出端口131直接搬运至进出端口132。这个直接搬运不会将晶片传送盒160存入桥接储存器130。流程至此结束。

若步骤225的检查结果是尚未收到搬出命令，则驱动程序544在步骤240检查从步骤220的开始计时之后是否已经过一段预设时间。如果预设时间尚未经过，则流程返回步骤225。如果已经过预设时间，表示搬出命令已经逾时，则驱动程序544在步骤245将在步骤205收到的存入命令通过接口单元551传送至桥接储存器130，以控制桥接储存器130将晶片传送盒160通过进出端口131搬进桥接储存器130的储存单元并储存晶片传送盒160至储存单元。

在步骤250，驱动程序544检查在搬进和储存晶片传送盒160的过程中是否有收到已经逾时的搬出命令。如果没收到搬出命令，则流程至此结束。如果在此过程中收到了搬出命令，则驱动程序544在步骤255暂存搬出命令，在步骤260等待晶片传送盒160的储存动作完成，然后在步骤265通过接口单元551将搬出命令传送至桥接储存器130，以控制桥接储存器130将晶片传送盒160通过进出端口132搬出桥接储存器130的储存单元。流程至此结束。

上述的晶片传送盒搬运方法、桥接储存器和控制装置可以省略先存入再搬出的步骤，在对应不同厂房的两个进出端口之间直接搬运晶片传送盒，所以能避免厂房之间的桥接储存器成为瓶颈，也能提高在厂房之间运送晶片的效率。

虽然本发明已以实施例公开如上，然其并非用以限定本发明，任何所属技术领域中具有通常知识者，在不脱离本发明的精神和范围内，当可作些许的更动与润饰，故本发明的保护范围当视所附的申请专利范围所界定者为准。

Claims (15)

1.一种晶片传送盒搬运方法，用于控制一桥接储存器，该桥接储存器包括一第一进出端口、一第二进出端口、以及一储存单元，该晶片传送盒搬运方法包括：

拦截一存入命令并予以保留不执行，其中该存入命令用以控制该桥接储存器将一晶片传送盒通过该第一进出端口搬进该桥接储存器的该储存单元并储存该晶片传送盒至该储存单元；

主动触发一后续执行条件以接收一搬出命令，其中该搬出命令用以控制该桥接储存器将该晶片传送盒通过该第二进出端口搬出该桥接储存器的该储存单元；以及

整合该存入命令和该搬出命令以发送一直接搬运命令以控制该桥接储存器将该晶片传送盒从该第一进出端口直接搬运至该第二进出端口。

2.如权利要求1所述的晶片传送盒搬运方法，更包括：

发送该存入命令的一响应信息，其中该响应信息表示该存入命令已正常执行；以及

发送一通知信息以触发该后续执行条件以接收该搬出命令，其中该通知信息表示该晶片传送盒已被存入该桥接储存器的该储存单元。

3.如权利要求1所述的晶片传送盒搬运方法，更包括：

若在一段预设时间之内未收到该搬出命令，则传送该存入命令以控制该桥接储存器将该晶片传送盒通过该第一进出端口搬进该桥接储存器的该储存单元并储存该晶片传送盒至该储存单元。

4.如权利要求3所述的晶片传送盒搬运方法，更包括：

若在搬进和储存该晶片传送盒的过程中收到该搬出命令，则暂存该搬出命令，等到该晶片传送盒的储存动作完成之后再传送该搬出命令以控制该桥接储存器将该晶片传送盒通过该第二进出端口搬出该桥接储存器的该储存单元。

5.一种桥接储存器，包括一第一进出端口、一第二进出端口、一储存单元、一搬运单元、以及一控制单元，其中该控制单元拦截一存入命令并予以保留不执行、主动触发一后续执行条件以接收一搬出命令、并整合该存入命令和该搬出命令以发送一直接搬运命令，该存入命令用以控制该搬运单元将一晶片传送盒通过该第一进出端口搬进该储存单元以储存该晶片传送盒至该储存单元，该搬出命令用以控制该搬运单元将该晶片传送盒通过该第二进出端口搬出该桥接储存器的该储存单元，该直接搬运命令用以控制该搬运单元将该晶片传送盒从该第一进出端口直接搬运至该第二进出端口。

6.如权利要求5所述的桥接储存器，其中该控制单元发送该存入命令的一响应信息，并发送一通知信息以触发该后续执行条件以接收该搬出命令，该响应信息表示该存入命令已正常执行，该通知信息表示该晶片传送盒已被存入该桥接储存器的该储存单元。

7.如权利要求5所述的桥接储存器，其中若该控制单元在一段预设时间之内未收到该搬出命令，则该控制单元传送该存入命令以控制该搬运单元将该晶片传送盒通过该第一进出端口搬进该储存单元以储存该晶片传送盒至该储存单元。

8.如权利要求7所述的桥接储存器，其中若该控制单元在搬进和储存该晶片传送盒的过程中收到该搬出命令，则该控制单元暂存该搬出命令，并等到该晶片传送盒的储存动作完成之后再传送该搬出命令，以控制该搬运单元将该晶片传送盒通过该第二进出端口搬出该桥接储存器的该储存单元。

9.一种控制装置，用于控制一桥接储存器，该桥接储存器包括一第一进出端口、一第二进出端口、以及一储存单元，该控制装置包括：

一第一接口单元，用以耦接该桥接储存器，以及在该控制装置和该桥接储存器之间传送命令与信息；以及

一控制单元，耦接该第一接口单元，拦截一存入命令并予以保留不执行，主动触发一后续执行条件以接收一搬出命令，并整合该存入命令和该搬出命令以通过该第一接口单元发送一直接搬运命令，其中该存入命令用以控制该桥接储存器将一晶片传送盒通过该第一进出端口搬进该桥接储存器的该储存单元并储存该晶片传送盒至该储存单元，其中该搬出命令用以控制该桥接储存器将该晶片传送盒通过该第二进出端口搬出该桥接储存器的该储存单元，该直接搬运命令用以控制该桥接储存器将该晶片传送盒从该第一进出端口直接搬运至该第二进出端口。

10.如权利要求9所述的控制装置，更包括：

一第二接口单元，耦接该控制单元，用以耦接另一控制装置，以及在该控制装置和该另一控制装置之间传送命令与信息，其中该存入命令是在该控制装置内部产生，该控制单元通过该第二接口单元自该另一控制装置接收该搬出命令。

11.如权利要求10所述的控制装置，其中该控制单元发送该存入命令的一响应信息，该响应信息表示该存入命令已正常执行，而且该控制单元通过该第二接口单元发送一通知信息以触发该后续执行条件以接收该搬出命令，该通知信息表示该晶片传送盒已被存入该桥接储存器的该储存单元。

12.如权利要求9所述的控制装置，更包括：

一第二接口单元，耦接该控制单元，用以耦接另一控制装置，以及在该控制装置和该另一控制装置之间传送命令与信息，其中该控制单元通过该第二接口单元自该另一控制装置接收该存入命令，该搬出命令是在该控制装置内部产生。

13.如权利要求12所述的控制装置，其中该控制单元通过该第二接口单元发送该存入命令的一响应信息，该响应信息表示该存入命令已正常执行，而且该控制单元发送一通知信息以触发该后续执行条件以接收该搬出命令，该通知信息表示该晶片传送盒已被存入该桥接储存器的该储存单元。

14.如权利要求9所述的控制装置，其中若该控制单元在一段预设时间之内未收到该搬出命令，则该控制单元通过该第一接口单元传送该存入命令以控制该桥接储存器将该晶片传送盒通过该第一进出端口搬进该桥接储存器的该储存单元并储存该晶片传送盒至该储存单元。

15.如权利要求14所述的控制装置，其中若该控制单元在搬进和储存该晶片传送盒的过程中收到该搬出命令，则该控制单元暂存该搬出命令，并等到该晶片传送盒的储存动作完成之后再通过该第一接口单元传送该搬出命令，以控制该桥接储存器将该晶片传送盒通过该第二进出端口搬出该桥接储存器的该储存单元。