CN101677075A - 自动化物料搬运系统和自动化物料搬运方法 - Google Patents
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Abstract
本发明提供一种结合自动化输送带搬运装置与物料控制系统的自动化物料搬运系统。利用物料控制系统分别将第一与第二虚拟仓储代码赋予自动化输送带搬运装置的第一与第二虚拟缓冲仓储。利用传输系统控制器将晶片盒搬运至并载入该第一虚拟缓冲仓储。将该晶片盒载入至该自动化输送带搬运装置的轨道上，并且将虚拟搬运车代码赋予该晶片盒。经由该自动化输送带搬运装置的轨道移动该晶片盒，并且将该晶片盒搬运至并载入该第二虚拟缓冲仓储。将该晶片盒的该虚拟搬运车代码移除，并且利用该传输系统控制器自该第二虚拟缓冲仓储取走该晶片盒。
Description
技术领域
本发明涉及一种自动化物料搬运系统和搬运方法，更特别地，涉及一种结合自动化输送带搬运装置和物料控制系统的自动化物料搬运系统。
背景技术
就目前半导体制造厂内的自动化物料搬运系统(Automated MaterialHandling System，AMHS)来说，在传输系统控制器(Transport SystemController，TSC，其为符合半导体设备和材料协会(Semiconductor Equipmentand Materials International，SEMI)E82通讯协定的半导体控制装置)间传送，皆需通过仓储装置(Stocker，STK)才能将晶片盒(Front Opening UnifiedPod，FOUP)由传输系统控制器转传至另一传输系统控制器。如图1所示，传输系统控制器110必须先将晶片盒(FOUP)200搬运到仓储装置400后，传输系统控制器130才可自仓储装置400取走晶片盒200。
由于仓储装置400的机器手臂(未显示)在同时间仅可传送单一或一定数量的晶片盒，所以当传输系统控制器110连续将晶片盒传送至仓储装置400时，因为仓储装置400同时可传送的数量有限，导致仓储装置400超出负荷，因而可能产生传送瓶颈，而影响到传送效能。
此外，在目前的自动化传送系统中，自动化输送带搬运装置(Over-HeadConveyer，简称为OHC，即输送带式高架轨道传送系统)无法有效控制流量且皆以单一传输系统控制器(TSC)的方式与物料控制系统(Material ControlSystem，MCS)连接，而并没有以输送带仓储装置(Conveyer StockerController，CSC)与悬吊式搬运车的相关运用。
发明内容
本发明的目的之一在于提供一种结合自动化输送带搬运装置和物料控制系统的自动化物料搬运系统以及自动化物料搬运方法。
基于上述目的，本发明一实施例公开一种结合自动化输送带搬运装置(OHC)和物料控制系统(MCS)的自动化物料搬运系统(AMHS)，包括物料控制系统、传输系统控制器、晶片盒和自动化输送带搬运装置。该自动化输送带搬运装置还包括至少一第一输出/入埠与一第二输出/入埠。该物料控制系统及输送带搬运装置分别将第一虚拟仓储代码与第二虚拟仓储代码赋予该第一输出/入埠与该第二输出/入埠，根据该第一虚拟仓储代码，利用该传输系统控制器将该晶片盒搬运并载入至该第一输出/入埠。该自动化输送带搬运装置将该晶片盒由第一输出/入埠载入至该自动化输送带搬运装置的轨道上，将虚拟搬运车代码赋予该晶片盒，并根据该虚拟搬运车代码，经由该轨道移动该晶片盒，并且将该晶片盒自该轨道搬运至并载入该第二输出/入埠，并且将该晶片盒的该虚拟搬运车代码移除。该物料控制系统根据该第二虚拟仓储代码，利用该传输系统控制器自该第二输出/入埠取走该晶片盒。
本发明一实施例还公开一种自动化物料搬运方法。利用物料控制系统分别将第一虚拟仓储代码与第二虚拟仓储代码赋予自动化输送带搬运装置的第一虚拟缓冲仓储与第二虚拟缓冲仓储。根据该第一虚拟仓储代码，利用传输系统控制器将晶片盒搬运至并载入该第一虚拟缓冲仓储。将该晶片盒自第一虚拟缓冲仓储载入至该自动化输送带搬运装置的轨道上，并且利用该自动化输送带搬运装置将虚拟搬运车代码赋予该晶片盒。根据该虚拟搬运车代码，经由该自动化输送带搬运装置的轨道移动该晶片盒，并且将该晶片盒自该自动化输送带搬运装置的轨道搬运至并载入该第二虚拟缓冲仓储。将该晶片盒的该虚拟搬运车代码移除，并且根据该第二虚拟仓储代码，利用该传输系统控制器自该第二虚拟缓冲仓储取走该晶片盒。
本发明一实施例还公开一种自动化物料搬运方法。分别将第一虚拟缓冲仓储代码与第二虚拟缓冲仓储代码赋予第一输送带仓储装置与第二输送带仓储装置，其中该第一输送带仓储装置包括输出/入埠与第一轨道，且该第一轨道提供多个储位。利用传输系统控制器将晶片盒搬运并载入至该第一输送带仓储装置，并且利用物料控制系统命令该第一输送带仓储装置将该晶片盒自该第一输送带仓储装置的输入埠传送到该第一输送带仓储装置的输出埠。将该晶片盒自该第一输送带仓储装置的该输出埠载入至自动化输送带搬运装置的第二轨道上。当将该晶片盒载入至该第二轨道上时，给予该晶片盒一虚拟搬运车号码。经由该自动化输送带搬运装置的该第二轨道，将该晶片盒搬运并载入至该第二送输送带仓储装置。将该晶片盒的该虚拟搬运车号码移除，并且利用该传输系统控制器自该第二输送带仓储装置取走该晶片盒。
本发明一实施例还公开一种自动化物料搬运方法。将第一虚拟缓冲仓储代码赋予第一输送带仓储装置，其中该第一输送带仓储装置包括至少一第一输出/入埠与一第二输出/入埠以及连接该第一与第二输出/入埠的第一轨道，且该第一轨道提供多个储位。利用传输系统控制器将晶片盒搬运并载入至该第一输送带仓储装置的该第一输出/入埠，其中该第一输出/入埠表示为该第一输送带仓储装置的一输入埠。利用物料控制系统命令该第一输送带仓储装置将该晶片盒自该第一输出/入埠传送到该第二输出/入埠，其中该第二输出/入埠表示为该第一输送带仓储装置的一输出埠。利用该传输系统控制器自该第一输送带仓储装置的该第二输出/入埠取走该晶片盒。
本发明一实施例还公开一种自动化物料搬运方法。将第一虚拟缓冲仓储代码赋予第一输送带仓储装置，其中该第一输送带仓储装置包括至少一第一输出/入埠与一第二输出/入埠以及连接该第一与第二输出/入埠的第一轨道，且该第一轨道提供多个储位。利用传输系统控制器将晶片盒搬运并载入至该第一输送带仓储装置的该第一或第二输出/入埠。利用该传输系统控制器自该第一输送带仓储装置的该第一或第二输出/入埠取走该晶片盒，并且将该晶片盒搬运并载入至第二输送带仓储装置，其中该输送带仓储装置具有第二虚拟缓冲仓储代码，且包括至少一第三输出/入埠以及连接该第三输出/入埠的第二轨道，且该第二轨道提供多个储位。
附图说明
图1是显示传统自动化物料搬运系统的架构示意图。
图2是显示本发明一实施例的结合自动化输送带搬运装置与物料控制系统的自动化物料搬运系统的架构示意图。
图3A～3C是显示包含双轨应用的自动化物料搬运系统的详细架构示意图。
图4是显示本发明一实施例的自动化输送带搬运方法的步骤流程图。
图5是显示本发明另一实施例的自动化输送带搬运方法的步骤流程图。
图6是显示本发明另一实施例的自动化输送带搬运方法的步骤流程图。
主要附图标记说明
100 物料控制系统
110、130、150、170、190 传输系统控制器
200 晶片盒
300 自动化输送带搬运装置
310、315、330、335、350、370、390、510、512、514、516 自动化输送带搬运装置的输出/入埠
400、410、430、450 实体仓储装置
355、395、520、522、524、526 轨道
600 设备
具体实施方式
为了使本发明的目的、特征、及优点能更明显易懂，下文特举较佳实施例，并配合附图2至6，做详细的说明。本发明的说明书提供不同的实施例来说明本发明不同实施方式的技术特征。其中，实施例中的各元件的配置仅用于说明，并非用以限制本发明。且实施例中的附图标记部分重复，是为了简化说明，并非意指不同实施例之间的关联性。
本发明一实施例公开一种结合自动化输送带搬运装置与物料控制系统的自动化物料搬运系统以及自动化物料搬运方法。
图2是显示本发明一实施例的自动化物料搬运系统的架构示意图。
本发明一实施例的自动化物料搬运系统至少包括物料控制系统100、受控于物料控制系统100的传输系统控制器(TSC)110与130、晶片盒(FOUP)200、自动化输送带搬运装置300以及缓冲仓储(STK)410与430。自动化输送带搬运装置300包括输出/入埠310与输出/入埠330或多个输出/入埠。
在本发明一实施例中，自动化输送带搬运装置300上的任一输出/入埠(例如输出/入埠310与输出/入埠330)定义为虚拟缓冲仓储(Virtual Stocker)(即自动化物料搬运系统所称的输送带仓储装置(CSC))，其用以存放晶片盒200。另外，在自动化输送带搬运装置300上运送的任一晶片盒(晶片盒200)定义为虚拟搬运车(Virtual Vehicle)，使得晶片盒200可直接以虚拟搬运车的角色，在晶片厂区内(即输出/入埠310与输出/入埠330间或仓储装置410与430间)传送，或在两传输系统控制器间(即传输系统控制器110及130间)传送，而不需经由实体仓储装置(即仓储装置410与430间)来转送。
需注意到，输出/入埠310或330是指自动化输送带搬运装置300上的起始埠、终端埠、运送路径中的任意埠(包括分歧埠)或由多个输出/入埠所组成的输出/入埠组。
输送带仓储装置以SEMI E88软件通讯协定与物料控制系统100进行连接，并且以SEMI E84软件通讯协定与其它自动化物料搬运系统(例如传输系统控制器110、130)进行连接。
利用自动化输送带搬运装置300搬运的物料(例如晶片盒200)皆由自动化输送带搬运装置300赋予虚拟搬运车代码(Virtual Vehicle Code)(例如VVCabc，其中a、b为0～X，c为1～X，X为正整数，即VVC001、VVC002、VVC003...)。此外，自动化输送带搬运装置300上的任一输出/入埠(例如输出/入埠310与输出/入埠330)由物料控制系统100赋予一虚拟仓储代码(Virtual Stocker Code)(例如VSCabc，其中a、b为0～X，而c为1～X，X为正整数，即VSC001、VSC002、VSC003...)。
传输系统控制器110或130可由同一物料控制系统(例如物料控制系统100)来控制，或分别由不同物料控制系统(例如物料控制系统100和另一物料控制系统)来控制。在本发明中仅说明由同一物料控制系统来控制传输系统控制器110和130的实施例，而由不同物料控制系统来控制传输系统控制器110和130的搬运亦使用相同控制流程，故在本文中不再赘述。此外，在上述自动化物料搬运系统中亦可仅使用单一传输系统控制器(例如传输系统控制器110或130)来执行物料搬运流程。
上文说明自动化物料搬运系统中各元件的定义与操作方式，以下说明完整的自动化物料搬运流程。此外，需注意到，自动化输送带搬运装置的输出/入埠为硬件架构，但对于控制系统来说其为虚拟缓冲仓储，而对于自动化物料搬运系统来说其为输送带仓储装置。因此，在本发明实施例，输出/入埠、虚拟缓冲仓储与输送带仓储装置是指相同的元件，但根据不同的应用而使用不同的名称。
首先，经由物料控制系统100及自动化输送带搬运装置300的定义，对自动化输送带搬运装置300的输出/入埠310与输出/入埠330分别赋予一虚拟仓储代码(例如VSC001与VSC002)，当欲经由自动化输送带搬运装置300将晶片盒200搬运至传输系统控制器130时，输出/入埠310与输出/入埠330即可作为缓冲仓储来使用。
利用传输系统控制器110将晶片盒200搬运至输出/入埠310。当晶片盒200载入至作为缓冲仓储的输出/入埠310时，此时晶片盒200放置于输出/入埠310中。当晶片盒200由输出/入埠310载入至自动化输送带搬运装置300的轨道时，即将一虚拟搬运车代码(例如VVC001)赋予晶片盒200，此时晶片盒200可作为搬运车来使用。作为搬运车的晶片盒200在自动化输送带搬运装置300的轨道上移动至并载入作为缓冲仓储的输出/入埠330，此时自动化输送带搬运装置300将晶片盒200的虚拟搬运车代码(例如VVC001)移除，故晶片盒200不再被当作是搬运车。此时，晶片盒200放置于作为输送带仓储装置的输出/入埠330中，然后传输系统控制器130自作为缓冲仓储的输出/入埠330取走晶片盒200。
需注意到，本发明一实施例是以二个传输系统控制器110与130来进行说明，但实作上不限于此，还可仅使用单一传输系统控制器来执行上述自动化搬运流程。此外，亦可以用轨道式搬运车(Rail Guided Vehicle，RGV)、悬吊式搬运车(Overhead Hoist.Transporter，OHT/Overhead Hoist Shuttle，OHS)或任何可自动搬运晶片盒200的机台或设备来替代传输系统控制器。
需注意到，晶片盒200亦可经由自动化输送带搬运装置300传送到实体仓储装置410或430，所以在管理上相当有弹性。此外，传输系统控制器110可将晶片盒200搬运并载入输出/入埠310，接着可直接自输出/入埠310取走晶片盒200。
需注意到，亦可利用传输系统控制器130将晶片盒200搬运至作为缓冲仓储的输出/入埠330，然后经由自动化输送带搬运装置300将晶片盒200传送至作为缓冲仓储的输出/入埠310，再利用传输系统控制器110取走晶片盒200，如此将可达到双向传送的目的。
需注意到，虚拟搬运车代码与虚拟仓储代码可由使用者或系统控制员控制或定义，或者可预先设定，以动态决定虚拟缓冲仓储的可分配数量、由自动化输送带搬运装置300上的各输出/入埠(即虚拟缓冲仓储)出发的可使用的搬运车数量以及虚拟搬运车在自动化输送带搬运装置300上的总可承载数量。若自动化输送带搬运装置300具有二个输出/入埠(例如输出/入埠310与330)且其轨道总共可承载10台搬运车(例如VVC001～VVC010)。因此，当自动化输送带搬运装置300上承载的搬运车数量已达到10台时，其它未载入的搬运车(例如VVC011～VVC012)必须分别在输出/入埠310与330等待。又，自输出/入埠310与330分别可同时使用的搬运车为6(例如VVC001～VVC006与VVC007～VVC012)，则当输出/入埠310与输出/入埠330已使用的搬运车数量已分别达到6个时，或310与330的总使用台车数已超过总量10时，其余晶片盒必须在现有晶片盒已离开自动化输送带搬运装置300的轨道时，方可自输出/入埠310或330载入至自动化输送带搬运装置300，并取得搬运车号。
图2是显示单轨应用的自动化物料搬运系统的架构示意图，但在实践上则不以此为限，本发明亦实践为包含双轨、三轨或以上应用的自动化物料搬运系统。图3A～3C是显示包含双轨应用的自动化物料搬运系统的详细架构示意图。参考图3A，将输出/入埠350和连接输出/入埠350与自动化输送带搬运装置的轨道355定义为虚拟缓冲仓储(即Virtual Stocker Code for Port(VSCP)与Virtual Stocker Code for Track(VSCT))，并且对输出/入埠350与轨道355分别赋予一虚拟仓储代码(例如VSCPabc与VSCTabc，其中VSCPabc表示输出/入埠的虚拟仓储代码，VSCTabc表示轨道的虚拟仓储代码，a、b为0～X，而c为1～X，X为正整数，即VSCP001、VSCP002、...、以及VSCT001、VSCT002、...)。因此，输出/入埠350与轨道355皆可拿来存放晶片盒，而可存放的晶片盒数量为预先设定的。需注意到，虚拟仓储代码的定义仅为一示例，并非用以限定本发明。
举例来说，若输出/入埠350与轨道355组成的虚拟缓冲仓储预设可储存5个晶片盒(即轨道355提供4个储位)，则当输出/入埠350原本已存放一晶片盒(例如第一晶片盒)，且传输系统控制器150再搬运晶片盒(例如第二晶片盒)至输出/入埠350时，自动化输送带搬运装置300将该第一晶片盒自输出/入埠350载入至轨道355的其中一储位(例如第一储位)，然后将该第二晶片盒存放在输出/入埠350。当传输系统控制器150再搬运一晶片盒(例如第三晶片盒)至输出/入埠350时，则自动化输送带搬运装置300将该第一晶片盒往前挪到下一储存(例如第二储位)，并且将该第二晶片盒载入至轨道355的该第一储位，而该第三晶片盒存放在输出/入埠350，以此类推。输出/入埠350在接收到指令自动化输送带搬运装置300才依序将晶片盒载入至自动化输送带搬运装置300的轨道中，并且将晶片盒当作搬运车来运送。
需注意到，当输出/入埠350与轨道355定义为虚拟缓冲仓储时，晶片盒可任意存放在输出/入埠350以及轨道355提供的储位上，而已存放在其中的晶片盒可任意在输出/入埠350以及轨道355上移动。
此外，如前文所述，自动化输送带搬运装置300上的一个或多个输出/入埠的组合可定义为虚拟缓冲仓储(即输送带仓储装置)，以作为自动化输送带搬运装置与其它传输系统控制器间以及传输系统控制器与传输系统控制器间沟通的平台。图3A～3C是显示包含双轨应用的自动化物料搬运系统的详细架构示意图。参考图3A，物料控制系统100将自动化输送带搬运装置300上的输出/入埠510、512、514与516以及将输出/入埠510、512、514与516彼此相互连接的轨道520、522、524与526定义为一虚拟缓冲仓储，并且对输出/入埠510、512、514以及轨道520、522、524与526分别赋予虚拟仓储组代码(Virtual Stocker Group Code)(例如VSGCPabc与VSGCTabc，其中VSGCPabc表示输出/入埠的虚拟仓储代码，VSGCTabc表示轨道的虚拟仓储代码，a、b为0～X，而c为1～X，X为正整数，即VSGC001、VSGC002、VSGC003、VSGC004、...)。因此，输出/入埠510、512、514、516与轨道520、522、524、526皆可拿来存放晶片盒，而可存放的晶片盒数量为预先设定的。
举例来说，若轨道520、522、524与526分别可储存4个晶片盒(即4个储位)，则当输出/入埠510原本已存放一晶片盒(例如第一晶片盒)，且传输系统控制器170再搬运一晶片盒(例如第二晶片盒)至输出/入埠510时，则自动化输送带搬运装置300将该第一晶片盒自输出/入埠520载入至轨道520中的其中一储位(例如第一储位)，然后将该第二晶片盒存放在输出/入埠510。当传输系统控制器170再搬运一晶片盒(例如第三晶片盒)至输出/入埠510时，则自动化输送带搬运装置300将该第一晶片盒往前挪到下一储位(例如第二储位)，将该第二晶片盒载入至轨道520中的该第一储位，而该第三晶片盒存放在输出/入埠510，以此类推。输出/入埠510在接收到指令自动化输送带搬运装置300才依序将晶片盒载入至自动化输送带搬运装置300的轨道中，并且将晶片盒当作搬运车来运送。其余输出/入埠522、524与526以及轨道522、524与526的储存方式与上述流程相同。
如上文所述，输出/入埠510、512、514与516以及轨道520、522、524与526作为一大型虚拟缓冲仓储来使用，晶片盒可任意存放在输出/入埠510、512、514与516或轨道520、522、524与526提供的储位上，而存放于中的晶片盒可任意在输出/入埠510、512、514与516以及轨道520、522、524与526间移动。当虚拟缓冲仓储中的一晶片盒载入自动化输送带搬运装置300时，该晶片盒就如前所述作为虚拟搬运车，以经由自动化输送带搬运装置300的轨道搬运到其它输出/入埠或缓冲仓储。
如图3A-3C所示，晶片盒可藉由传输系统控制器110、130、150、170与190直接在输出/入埠310、330、350、370以及输出/入埠510、512、514或516间搬运。此外，本发明实施例将四个输出/入埠310、330、350、370定义为一虚拟缓冲仓储，但在实践上并不以此为限，最少仅需二个输出/入埠即可定义为一虚拟缓冲仓储。此外，输出/入埠间的轨道的配置也不限于图3A中的矩形配置，亦可应用其它形状或不规则形状的配置。
图3B的系统架构与图2雷同，差别主要在于图3B为双轨应用，但在实践上的处理流程与图2相同。另外，参考图3C，晶片盒200可藉由传输系统控制器在设备600与输出/入埠390之间搬运，设备600可为半导体制造厂内的任何机台、设备或其它半导体元件。
需注意到，在本发明实施例中使用多个传输系统控制器110、130、150、170与190是为了方便说明之用，但在实践上至少仅需一个传输系统控制器即可。此外，如图3C所示，利用传输系统控制器、轨道式搬运车、悬吊式搬运车或任何可自动搬运晶片盒的机台或设备，以在作为虚拟缓冲仓储的输出/入埠与轨道间移动晶片盒。
需注意到，晶片盒可利用传输系统控制器150或170直接在包含输出/入埠350与轨道355的第一输送带仓储装置以及包含输出/入埠510、512、514、516与轨道520、522、524、526的第二输送带仓储装置之间搬运。例如，传输系统控制器150或170自第一输送带仓储装置的输出埠(例如轨道355的其中一储位)取走晶片盒，然后将该晶片盒放置在第二输送带仓储装置的输入埠(例如输出/入埠510、512、514或516)。又，传输系统控制器150或170自第二输送带仓储装置的输出埠(例如输出/入埠510、512、514或516或者轨道520、522、524或526的其中一储位)取走晶片盒，然后将该晶片盒放置在第一输送带仓储装置的输入埠(例如输出/入埠350)。
需注意到，实践上输出/入埠510、512、514或516可作为第二输送带仓储装置的输入埠或输出埠来使用。举例来说，当晶片盒自输出/入埠510载入，则输出/入埠510即表示为第二输送带仓储装置的输入埠，而当晶片盒自输出/入埠516被取走，则输出/入埠516即表示为第二输送带仓储装置的输出埠。此外，轨道355、520、522、524或526主要作为存放晶片盒来使用，其储位的多寡视轨道的长短来决定。
图4是显示本发明一实施例的自动化物料搬运方法的步骤流程图。
利用物料控制系统及自动化输送带搬运装置对自动化输送带搬运装置的第一虚拟缓冲仓储(例如图2所示的输出/入埠310)与第二虚拟缓冲仓储(例如图2所示的输出/入埠330)分别赋予第一虚拟仓储代码与第二虚拟仓储代码(例如VSC001与VSC012)(步骤S41)。根据第一虚拟仓储代码，利用传送系统控制器将晶片盒搬运并载入至第一虚拟缓冲仓储(步骤S42)。
将晶片盒自第一虚拟缓冲仓储载入至自动化输送带搬运装置(步骤S43)，利用自动化输送带搬运装置赋予该晶片盒一虚拟搬运车代码(例如VVC001)(步骤S44)，此时晶片盒可作为搬运车来使用。根据虚拟搬运车代码，经由自动化输送带搬运装置的轨道移动晶片盒，并且将晶片盒从自动化输送带搬运装置的轨道搬运并载入第二虚拟缓冲仓储(步骤S45)。将晶片盒的虚拟搬运车代码移除(步骤S46)，故此时晶片盒不再被认为是搬运车，然后根据第二虚拟仓储代码，利用第二传送系统控制器，自第二虚拟缓冲仓储取走晶片盒(步骤S47)。
图5是显示本发明另一实施例的自动化物料搬运方法的步骤流程图。
首先，分别给予第一和第二输送带仓储装置第一和第二虚拟缓冲仓储代码，其中第一输送带仓储装置包含输出/入埠与第一轨道(例如图3A所示的输出/入埠350与轨道355)，且该第一轨道提供多个储位(步骤S51)。需注意到，该第一输送带仓储装置表示为一虚拟缓冲仓储，晶片盒可任意在该虚拟缓冲仓储中搬运而不需物料控制系统的介入。利用一传输系统控制器(例如图3A所示的传输系统控制器150)将晶片盒搬运并载入至第一输送带仓储装置(步骤S52)。
利用物料控制系统命令第一输送带仓储装置将该晶片盒自第一输送带仓储装置的输入埠传送到第一输送带仓储装置的输出埠(或第一轨道上的储位)(步骤S53)，即该晶片盒自第一输送带仓储装置的输入埠经由第一轨道移动至第一轨道的输出埠(或第一轨道上的储位)(步骤S53)，并且将该晶片盒自第一输送带仓储装置的输出埠(或自第一轨道上的储位将该晶片盒移动至输出埠后)载入至自动化输送带搬运装置的第二轨道上(步骤S54)。
当将该晶片盒载入至该第二轨道上时，给予该晶片盒一虚拟搬运车号码(步骤S55)。经由该自动化输送带搬运装置的该第二轨道，将该晶片盒搬运并载入至第二输送带仓储装置(步骤S56)。将该晶片盒的虚拟搬运车号码移除(步骤S57)，并且利用该传输系统控制器自第二输送带仓储装置取走该晶片盒(步骤S58)。
图6是显示本发明另一实施例的自动化物料搬运方法的步骤流程图。
首先，给予一输送带仓储装置一虚拟缓冲仓储代码，其中该输送带仓储装置包含第一、二、三、四输出/入埠(例如图3A所示的输出/入埠510、512、514、516)以及相互连接第一、二、三、四输出/入埠的第一、二、三、四轨道(例如图3A所示的轨道520、522、524、526)，且每一轨道提供多个储位(步骤S61)。需注意到，该输送带仓储装置表示为一虚拟缓冲仓储，晶片盒可任意在该虚拟缓冲仓储中搬运而不需物料控制系统的介入。
利用传输系统控制器(例如图3A所示的传输系统控制器170)将晶片盒搬运并载入至该输送带仓储装置的一输入埠(例如图3A所示的输出/入埠510)(步骤S62)。利用一物料控制系统命令该输送带仓储装置将该晶片盒自该输送带仓储装置的该输入埠传送到该输送带仓储装置的一输出埠(例如图3A所示的输出/入埠512)(或传送至第一、二、三或四轨道上的储位)，即该晶片盒自该输送带仓储装置的该输入埠经第一轨道移动至该输出埠(或第一轨道上的储位)(步骤S63)。
需注意到，该输送带仓储装置的输入埠与输出埠的数量由使用者自订或系统预设。例如，在本实施例中，该输送带仓储装置可包括一个输入埠与三个输出埠，或二个输入埠与二个输出埠。
利用该传送系统控制器自该输送带仓储装置的该输出埠取走该晶片盒，或者将该晶片盒自第一轨道上的储位经由第一轨道传送至该输出埠后，再利用该第二传送系统控制器自该输出埠取走该晶片盒(步骤S64)。
需注意到，图6的自动化物料搬运方法亦可如图5一样，藉由自动化输送带搬运装置将该晶片盒经由该虚拟缓冲仓储载入至该自动化输送带搬运装置的轨道上，并且将该晶片盒载入至另一输送带仓储装置，于此不再赘述。
综上所述，本发明实施例的结合自动化输送带搬运装置与物料控制系统的自动化物料搬运系统可使自动化输送带搬运装置同时符合SEMI E84与SEMI E88软件通讯协定，使自动化输送带搬运装置及虚拟缓冲仓储(输送带仓储装置)能与已有的物料控制系统(MCS)进行连接并受到物料控制系统(MCS)的控制与执行物料控制系统所要求的传送命令，并且透过搬运车的数量控制，可维持自动化输送带搬运装置的传送品质。
使用本发明方法的软件设计可轻易将自动化输送带搬运装置与半导体厂现有的物料控制系统进行整合，可方便管理及控制。此外，在自动化输送带搬运装置的架构上，利用虚拟缓冲仓储(即输送带仓储装置)与虚拟搬运车的概念，能让传输系统控制器间的传送达到最快的控制权转移，以节省许多搬运时间。
虚拟缓冲仓储的概念令虚拟缓冲仓储与实体缓冲仓储同样具有进出货流量的管制功能，且不具实体空间，故不需占用制造厂的实际占用面积(FootPrint)。虚拟搬运车的概念将晶片盒视同搬运车来运作，因此可以动态规划行走路径，使自动化输送带搬运装置具有流量管理功能，并且可实现动态传送负载平衡能力。
虽然本发明已以较佳实施例公开如上，然其并非用以限定本发明，任何本领域普通技术人员在不脱离本发明的精神和范围内，可进行各种更动与润饰，因此本发明的保护范围当以所附的权利要求书定义的为准。
Claims (21)
1.一种结合自动化输送带搬运装置与物料控制系统的自动化物料搬运系统，包括：
物料控制系统；
传输系统控制器；
晶片盒；以及
自动化输送带搬运装置，其还包括至少一第一输出/入埠与一第二输出/入埠，
其中该物料控制系统及该自动化输送带搬运装置分别将第一虚拟仓储代码与第二虚拟仓储代码赋予该第一输出/入埠与该第二输/入埠，根据该第一虚拟仓储代码，该传输系统控制器将该晶片盒搬运并载入至该第一输出/入埠，该自动化输送带搬运装置将该晶片盒由该第一输出/入埠载入至该自动化输送带搬运装置的轨道上，将虚拟搬运车代码赋予该晶片盒，根据该虚拟搬运车代码，经由该轨道移动该晶片盒，并且将该晶片盒自该轨道搬运至并载入该第二输出/入埠，同时将该晶片盒的该虚拟搬运车代码移除，以及该物料控制系统根据该第二虚拟仓储代码，利用该传输系统控制器自该第二输出/入埠取走该晶片盒。
2.如权利要求1所述的结合自动化输送带搬运装置与物料控制系统的自动化物料搬运系统，其中当该第一与第二输出/入埠分别取得该第一与第二虚拟缓冲仓储代码时，该第一与第二输出/入埠分别作为缓冲仓储来使用。
3.如权利要求1所述的结合自动化输送带搬运装置与物料控制系统的自动化物料搬运系统，其中当该晶片盒取得该虚拟搬运车代码时，该晶片盒作为搬运车来使用。
4.如权利要求3所述的结合自动化输送带搬运装置与物料控制系统的自动化物料搬运系统，其中当将该晶片盒的虚拟搬运车代码移除时，该晶片盒不再作为搬运车来使用。
5.如权利要求1所述的结合自动化输送带搬运装置与物料控制系统的自动化物料搬运系统，其中该自动化输送带搬运装置上的一个或多个输出/入埠定义为一输送带仓储装置。
6.如权利要求5所述的结合自动化输送带搬运装置与物料控制系统的自动化物料搬运系统，其中该传输系统控制器将该晶片盒搬运并载入至该输出/入埠，接着直接自该输出/入埠取走该晶片盒。
7.如权利要求1所述的结合自动化输送带搬运装置与物料控制系统的自动化物料搬运系统，其中该第一与第二悬吊式搬运车可由该物料控制系统来控制，或分别由不同的物料控制系统来控制。
8.如权利要求1所述的结合自动化输送带搬运装置与物料控制系统的自动化物料搬运系统，其中该自动化输送带搬运装置经由该轨道移动该晶片盒，并且将该晶片盒载入一实体缓冲仓储。
9.一种自动化物料搬运方法，包括下列步骤：
利用物料控制系统分别将第一虚拟仓储代码与第二虚拟仓储代码赋予自动化输送带搬运装置的第一输送带仓储装置与第二输送带仓储装置；
根据该第一虚拟仓储代码，利用传输系统控制器将晶片盒搬运至并载入该第一输送带仓储装置；
将该晶片盒自第一输送带仓储装置载入至该自动化输送带搬运装置的轨道上，并且利用该自动化输送带搬运装置将虚拟搬运车代码赋予该晶片盒；
根据该虚拟搬运车代码，经由该自动化输送带搬运装置的轨道移动该晶片盒，并且将该晶片盒自该自动化输送带搬运装置的轨道搬运至并载入该第二输送带仓储装置；
将该晶片盒的该虚拟搬运车代码移除；以及
根据该第二虚拟仓储代码，利用该传输系统控制器自该第二输送带仓储装置取走该晶片盒。
10.如权利要求9所述的自动化物料搬运方法，其中当该第一与第二输送带仓储装置分别取得该第一与第二虚拟缓冲仓储代码时，该第一与第二输送带仓储装置分别作为缓冲仓储来使用。
11.如权利要求9所述的自动化物料搬运方法，其中当该晶片盒取得该虚拟搬运车代码时，该晶片盒作为搬运车来使用。
12.如权利要求11所述的自动化物料搬运方法，其中当将晶片盒的该虚拟搬运车代码移除时，该晶片盒不再作为搬运车来使用。
13.如权利要求9所述的自动化物料搬运方法，还包括该传输系统控制器将该晶片盒搬运并载入至该第一或第二输送带仓储装置，接着直接自该第一或第二输送带仓储装置取走该晶片盒。
14.一种自动化物料搬运方法，包括下列步骤：
分别将第一虚拟缓冲仓储代码与第二虚拟缓冲仓储代码赋予第一输送带仓储装置与第二输送带仓储装置，其中该第一输送带仓储装置包括输出/入埠与第一轨道，且该第一轨道提供多个储位；
利用传输系统控制器将晶片盒搬运并载入至该第一输送带仓储装置；
利用物料控制系统命令该第一输送带仓储装置将该晶片盒自该第一输送带仓储装置的输入埠传送到该第一输送带仓储装置的输出埠；
将该晶片盒自该第一输送带仓储装置的该输出埠载入至自动化输送带搬运装置的第二轨道上；
当将该晶片盒载入至该第二轨道上时，给予该晶片盒虚拟搬运车号码；
经由该自动化输送带搬运装置的该第二轨道，将该晶片盒搬运并载入至该第二送输送带仓储装置；
将该晶片盒的该虚拟搬运车号码移除；以及
利用该传输系统控制器自该第二输送带仓储装置取走该晶片盒。
15.如权利要求14所述的自动化物料搬运方法，其中利用该物料控制系统命令该第一输送带仓储装置将该晶片盒自该第一输送带仓储装置的该输入埠传送到该第一轨道的其中一储位。
16.如权利要求15所述的自动化物料搬运方法，其中，将该晶片盒自该第一轨道上的该储位移动至该输出埠，并且载入至该自动化输送带搬运装置的该第二轨道上。
17.如权利要求14所述的自动化物料搬运方法，其中利用该传输系统控制器自该第一输送带仓储装置的该输出埠取走该晶片盒，并且将该晶片盒搬运并载入至第三输送带仓储装置，其中该第三输送带仓储装置具有第三虚拟缓冲仓储代码，且包括至少一第一输出/入埠与一第二输出/入埠以及连接该第一与第二输出/入埠的一第三轨道，且该第三轨道提供多个储位。
18.一种自动化物料搬运方法，包括下列步骤：
将第一虚拟缓冲仓储代码赋予第一输送带仓储装置，其中该第一输送带仓储装置包括至少一第一输出/入埠与一第二输出/入埠以及连接该第一与第二输出/入埠的一第一轨道，且该第一轨道提供多个储位；
利用传输系统控制器将晶片盒搬运并载入至该第一输送带仓储装置的该第一输出/入埠，其中该第一输出/入埠表示为该第一输送带仓储装置的一输入埠；
利用物料控制系统命令该第一输送带仓储装置将该晶片盒自该第一输出/入埠传送到该第二输出/入埠，其中该第二输出/入埠表示为该第一输送带仓储装置的一输出埠；以及
利用该传输系统控制器自该第一输送带仓储装置的该第二输出/入埠取走该晶片盒。
19.如权利要求18所述的自动化物料搬运方法，其中利用该物料控制系统命令该第一输送带仓储装置将该晶片盒自该第一输入埠传送到该第一轨道上的其中一储位。
20.如权利要求19所述的自动化物料搬运方法，其中将该晶片盒自第一轨道上的该储位传送至第二输出/入埠，并且利用该传送系统控制器自该第二输出/入埠取走该晶片盒。
21.一种自动化物料搬运方法，包括下列步骤：
将第一虚拟缓冲仓储代码赋予第一输送带仓储装置，其中该第一输送带仓储装置包括至少一第一输出/入埠与一第二输出/入埠以及连接该第一与第二输出/入埠的一第一轨道，且该第一轨道提供多个储位；
利用传输系统控制器将晶片盒搬运并载入至该第一输送带仓储装置的该第一或第二输出/入埠；
利用该传输系统控制器自该第一输送带仓储装置的该第一或第二输出/入埠取走该晶片盒，并且将该晶片盒搬运并载入至第二输送带仓储装置，其中该第二输送带仓储装置具有第二虚拟缓冲仓储代码，且包括至少一第三输出/入埠以及连接该第三输出/入埠的一第二轨道，且该第二轨道提供多个储位。
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