CN105783695A - 石墨烯复合纳米金薄膜柔性应变传感器的制备方法及其应变传感器 - Google Patents

石墨烯复合纳米金薄膜柔性应变传感器的制备方法及其应变传感器 Download PDF

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潘春旭
罗成志
吴俊�
胡艳
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Abstract

本发明公开了一种石墨烯复合纳米金薄膜柔性应变传感器的制备方法及其应变传感器，包括以下步骤：在铜箔上获得单层石墨烯，生成铜基石墨烯；生成复合有石墨烯的PDMS薄膜；将复合有石墨烯的PDMS薄膜在溅射仪中放入金靶溅射，生成石墨烯复合纳米金薄膜；在石墨烯复合纳米金薄膜的两端涂上银浆，连上铜导线，即得到石墨烯复合纳米金薄膜柔性应变传感器。本发明工艺简单、操作容易、成本低、可控性好，可进行大规模生产，为石墨烯柔性电子学器件和应变传感器的实际应用提供了一种切实可行的制作方法。

Description

石墨烯复合纳米金薄膜柔性应变传感器的制备方法及其应变传感器
技术领域
本发明属于电子设备技术领域，具体涉及到一种石墨烯复合纳米金薄膜柔性应变传感器的制备方法及其应变传感器。
背景技术
碳元素有多种同素异形体，最为人们所熟知的就是石墨和金刚石。2004年，英国曼切斯特大学物理和天文学系的AndreGeim教授和KostyaNovoselov研究员通过使用透明胶带对高定向热解石墨(HOPG)进行反复的粘贴与撕开，首次制备出了单层石墨烯。石墨烯是单层碳原子紧密堆积形成的二维蜂窝状晶格结构的晶体，石墨晶体薄膜的厚度只有0.335nm，其独特的二维结构使其具有优异的电学、力学、热学及化学性质，因其优异的电子转移性能和大的比表面积而用于电学、力学及生物传感器。其中基于石墨烯的柔性应变传感器是最近发展起来的新型传感器。应变传感器是一种利用“应变-电阻效应”制成的传感器，可将被测试物体上的局部变形应变转换成直观可测的电阻变化，适用于损伤检测、结构表征以及疲劳测试等多个领域。传统的应变传感器大多采用金属或半金属纳米线作导电材料。与传统的金属或半金属纳米线相比，石墨烯作为传感器元件拥有着更为良好的特性：更好的导电性、更高的模量、高透过性、容易制备等。正是这些特性使石墨烯作为新生一代的柔韧可穿戴的“电子皮肤”将碳材料引入应变式传感器的前端。
但将石墨烯用于应变传感器还有许多难题需要解决。例如，应变传感器通常需要柔性有机物作为衬底，而石墨烯在聚二甲基硅氧烷(PDMS)等柔性衬底上的附着力弱，靠范德华力相互结合。因此，当衬底发生较大的形变时，石墨烯很容易在衬底上发生滑移甚至断裂，从而降低传感器的循环性能。为了解决这个问题，有人提出了一种新的石墨烯柔性器件的加工方法，即：首先把石墨烯转移到预先施加拉应变的PDMS柔性衬底上，然后通过释放PDMS上的应变，使石墨烯在PDMS柔性衬底恢复自然状态的过程中形成具有纳米周期的波纹形状。结果表明，这种周期性的波纹折叠状石墨烯结构的柔韧性非常好，使其可以承受衬底材料较大的形变而不发生滑移或结构破坏。这种褶皱石墨烯虽然能够对石墨烯本身的完整性起到保护作用，但在形变的过程中褶皱石墨烯的电阻变化不明显，又使应变传感器的灵敏度下降。
发明内容
本发明的目的在于提供一种石墨烯复合纳米金薄膜柔性应变传感器的制备方法及其应变传感器，该方法具有工艺简单、操作容易、成本低、可控性好，以及可进行大规模生产等优点，是一种制备高灵敏性和高循环性能柔性应变传感器的理想方法。
一种石墨烯复合纳米金薄膜柔性应变传感器的制备方法，包括以下步骤：
S1、将铜箔用清洗液清洗后放置在管式炉的石英管中间，开启真空泵，将管式炉在5-20sccm氢气气氛下升温到800-1100℃，升温速率为5-20℃/min；当铜箔达到800-1100℃后在石英管中通入5-50sccm甲烷，保持5-30min后关闭甲烷，在氢气气氛下随炉降温，在铜箔上获得单层石墨烯，生成铜基石墨烯。
S2、选定铜基石墨烯生长时不贴附石英管的一侧旋涂上聚甲基丙烯酸甲酯，将旋涂过聚甲基丙烯酸甲酯的铜基石墨烯放在烘箱中60-80℃供聚甲基丙烯酸甲酯固化，将固化后的的铜基石墨稀浸在0.5-2mol/L的三氯化铁溶液中，铜基石墨稀被溶解掉后带有石墨稀的聚甲基丙烯酸甲酯薄膜将漂浮在溶液面上，将带有石墨稀的聚甲基丙烯酸甲酯薄膜用预拉伸的PDMS薄膜捞起，并在去离子水中清洗，彻底去除残余的三氯化铁和其他杂质。在带有石墨稀和聚甲基丙烯酸甲酯的PDMS薄膜上滴入丙酮，反复2-3次彻底去掉聚甲基丙烯酸甲酯，留下复合有石墨烯的PDMS薄膜，将复合有石墨烯的PDMS薄膜用乙醇清洗后再用氮气吹干。
S3、将复合有石墨烯的PDMS薄膜放入小型磁控溅射仪中，在溅射仪中放入金靶，开启真空泵，当真空度达到一定程度后通入保护气氛，通过调节保护气氛的通入量来控制放电电流，当放电电流达到一定值时启动溅射仪，溅射一段时间后关闭溅射仪，取出石墨烯复合纳米金薄膜。
S4、在石墨烯复合纳米金薄膜的两端涂上银浆，连上铜导线，即得到石墨烯复合纳米金薄膜柔性应变传感器。
进一步，步骤S1中所述铜箔的大小为30×30mm2，所选清洗液为酒精和丙酮的混合液。
进一步，步骤S2中PDMS薄膜的厚度为5-500μm。
进一步，步骤S2中PDMS薄膜预拉伸的应变为1％-150％。
进一步，步骤S3中所述的保护气氛为氩气或氮气。
进一步，步骤S3中所述真空度为2-10Pa。
进一步，步骤S3中所述的放电电流为1-30mA。
进一步，步骤S3中的溅射时间为5-1000s。
一种石墨烯复合纳米金薄膜柔性应变传感器，由上述任一所述的制备方法制备。
本发明具有以下优点和有益效果：
(1)本发明用利用磁控溅射技术在石墨烯表面溅射纳米金颗粒薄膜，并组装成柔性应变传感器，该应变传感器能同时提高灵敏性和循环性能。
(2)本发明工艺简单、操作容易、成本低、可控性好，可进行大规模生产等。
附图说明
图1为本发明石墨烯复合纳米金薄膜柔性应变传感器的制备方法优选实施例1所制备的石墨烯复合纳米金薄膜柔性薄膜的扫描电镜(SEM)图；
图2为本发明石墨烯复合纳米金薄膜柔性应变传感器的制备方法优选实施例3所制备的石墨烯复合纳米金薄膜柔性应变传感器在不同应变条件下的电阻变化曲线；
图3为本发明石墨烯复合纳米金薄膜柔性应变传感器的制备方法优选实施例3所制备的石墨烯复合纳米金薄膜柔性应变传感器在快速拉伸条件下的电阻变化图。
具体实施方式
下面结合附图和实施例对本发明做进一步阐述，但并不因此将本发明限制于所述的实施例范围之内。
实施例1
图1为本发明石墨烯复合纳米金薄膜柔性应变传感器的制备方法优选实施例1所制备的石墨烯复合纳米金薄膜柔性薄膜的扫描电镜(SEM)图，本实施例中：将30×30mm2大小的铜箔用酒精和丙酮清洗后放置在管式炉的石英管中间。开启真空泵，将管式炉在10sccm氢气气氛下升温到1100℃，升温速率为10℃/min。当铜箔达到目标温度后，通入10sccm甲烷，保持20min后关闭甲烷。在氢气气氛下随炉降温，在铜箔上获得单层石墨烯。选定铜箔生长时不贴附石英管的一侧旋涂上聚甲基丙烯酸甲酯，即PMMA。将旋涂过PMMA的铜箔放在烘箱中，加热80℃供PMMA固化。将涂有PMMA的铜箔及石墨稀浸在1mol/L的氯化铁(FeCl3)溶液中，铜箔被溶解掉后带有石墨稀的PMMA薄膜将漂浮在水面上。将带有石墨稀的PMMA薄膜用预拉伸30％厚度为100μm的PDMS薄膜捞起，并在去离子水中清洗3遍，彻底去除残余的FeCl3和其他杂质。在带有石墨稀和PMMA的PDMS薄膜上滴入丙酮，反复2-3次彻底去掉PMMA，留下石墨烯复合PDMS薄膜。乙醇清洗后，用氮气吹干。将石墨烯复合PDMS薄膜放入一个小型磁控溅射仪中。在溅射仪中放入金靶，开启真空泵，当真空度达到一定程度后通入Ar气。通过调节Ar气的通入量来控制放电电流，当放电电流达到5mA时启动溅射仪。溅射2min时间后关闭溅射仪，取出石墨烯复合纳米金薄膜的PDMS薄膜放入扫描电镜(SEM)观察，所得结果如图1所示。
实施例2
本实施例中制备石墨烯复合纳米金薄膜的PDMS薄膜的实验条件与实施例1相同。在石墨烯复合纳米金薄膜的PDMS薄膜两端涂上银浆，连上铜导线，即得到一种新型的石墨烯复合纳米金薄膜柔性应变传感器。
实施例3
本实施例中制备石墨烯复合纳米金薄膜的PDMS薄膜的实验条件与实施例1相同。在石墨烯复合纳米金薄膜的PDMS薄膜两端涂上银浆，连上铜导线，即得到石墨烯复合纳米金薄膜柔性应变传感器。将铜导线两端分别连接在电化学工作站的工作电极和参比电极上，通过拉伸应变传感器使其产生从0％至25％的应变，同时在电化学工作站上记录的电流变化即为所得的“应变-电阻变化曲线”，如图2所示。该曲线表明石墨烯复合纳米金薄膜柔性应变传感器的灵敏度非常高。
实施例4
本实施例中制备石墨烯复合纳米金薄膜的PDMS薄膜的实验条件与实施例1相同。在石墨烯复合纳米金薄膜的PDMS薄膜两端涂上银浆，连上铜导线，即得到石墨烯复合纳米金薄膜柔性应变传感器。将铜导线两端分别连接在电化学工作站的工作电极和参比电极上。快速拉伸应变传感器使其产生5％的应变，然后释放应变。不断重复拉伸与释放，电化学工作站上记录的电流变化即为所得的“循环应变-电阻变化曲线”，如图3所示。该曲线表明石墨烯复合纳米金薄膜柔性应变传感器的循环性能非常好。
纳米金颗粒具有大的比表面积，优异的光学性能，良好的生物兼容性，同时具有良好的导电性，能有效提高电子传输速率。更重要的是纳米金颗粒形成薄膜后与柔性基底结合时在拉伸过程中金颗粒之间的距离会发生变化，从而造成薄膜电阻变化。纳米金颗粒的这些优良性能使其也非常适合应用于应变传感器，提高灵敏性。
为了同时提高应变传感器的高灵敏性和高循环性能，本发明利用磁控溅射法将纳米金颗粒薄膜与褶皱石墨烯复合组装成一种具有高灵敏性和高循环性能的柔性传感器。褶皱石墨烯在拉伸过程中能保持结构完整性，从而提高循环性能。金纳米颗粒薄膜在拉伸过程中其距离会发生变化，引起电阻变化，从而提高灵敏性。该方法简单、工艺可控，为石墨烯柔性电子学器件和高性能应变传感器的实际应用提供了一种切实可行的制作方法。
从以上结果可以看出，利用磁控溅射技术，通过在石墨烯表面溅射一层纳米金颗粒薄膜所组装的柔性应变传感器能同时提高灵敏性和循环性能。本发明工艺简单、操作容易、成本低、可控性好，可进行大规模生产。为石墨烯柔性电子学器件和应变传感器的实际应用提供了一种切实可行的制作方法。
上述实施例为本发明较佳的实施方式，但本发明的实施方式并不受上述实施例的限制，其他的任何未背离本发明的精神实质与原理下所作的改变、修饰、替代、组合、简化，均应为等效的置换方式，都包含在本发明的保护范围之内。

Claims (9)

1.一种石墨烯复合纳米金薄膜柔性应变传感器的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：
S1、将铜箔用清洗液清洗后放置在管式炉的石英管中间，开启真空泵，将管式炉在5-20sccm氢气气氛下升温到800-1100℃，升温速率为5-20℃/min；当铜箔达到800-1100℃后在石英管中通入5-50sccm甲烷，保持5-30min后关闭甲烷，在氢气气氛下随炉降温，在铜箔上获得单层石墨烯，生成铜基石墨烯。
S2、选定铜基石墨烯生长时不贴附石英管的一侧旋涂上聚甲基丙烯酸甲酯，将旋涂过聚甲基丙烯酸甲酯的铜基石墨烯放在烘箱中60-80℃供聚甲基丙烯酸甲酯固化，将固化后的的铜基石墨稀浸在0.5-2mol/L的三氯化铁溶液中，铜基石墨稀被溶解掉后带有石墨稀的聚甲基丙烯酸甲酯薄膜将漂浮在溶液面上，将带有石墨稀的聚甲基丙烯酸甲酯薄膜用预拉伸的PDMS薄膜捞起，并在去离子水中清洗，彻底去除残余的三氯化铁和其他杂质。在带有石墨稀和聚甲基丙烯酸甲酯的PDMS薄膜上滴入丙酮，反复2-3次彻底去掉聚甲基丙烯酸甲酯，留下复合有石墨烯的PDMS薄膜，将复合有石墨烯的PDMS薄膜用乙醇清洗后再用氮气吹干。
S3、将复合有石墨烯的PDMS薄膜放入小型磁控溅射仪中，在溅射仪中放入金靶，开启真空泵，当真空度达到一定程度后通入保护气氛，通过调节保护气氛的通入量来控制放电电流，当放电电流达到一定值时启动溅射仪，溅射一段时间后关闭溅射仪，取出石墨烯复合纳米金薄膜。
S4、在石墨烯复合纳米金薄膜的两端涂上银浆，连上铜导线，即得到石墨烯复合纳米金薄膜柔性应变传感器。
2.根据权利要求1所述石墨烯复合纳米金薄膜柔性应变传感器的制备方法，其特征在于，所述铜箔的大小为30×30mm2，所选清洗液为酒精和丙酮的混合液。
3.根据权利要求1所述石墨烯复合纳米金薄膜柔性应变传感器的制备方法，其特征在于：步骤S2中PDMS薄膜的厚度为5-500μm。
4.根据权利要求1所述石墨烯复合纳米金薄膜柔性应变传感器的制备方法，其特征在于：步骤S2中PDMS薄膜预拉伸的应变为1％-150％。
5.根据权利要求1所述石墨烯复合纳米金薄膜柔性应变传感器的制备方法，其特征在于：步骤S3中所述的保护气氛为氩气或氮气。
6.根据权利要求1所述石墨烯复合纳米金薄膜柔性应变传感器的制备方法，其特征在于：步骤S3中所述真空度为2-10Pa。
7.根据权利要求1所述石墨烯复合纳米金薄膜柔性应变传感器的制备方法，其特征在于：步骤S3中所述的放电电流为1-30mA。
8.根据权利要求1所述石墨烯复合纳米金薄膜柔性应变传感器的制备方法，其特征在于：
步骤S3中的溅射时间为5-1000s。
9.一种石墨烯复合纳米金薄膜柔性应变传感器，其特征在于，由上述权利要求1至8任一所述的制备方法制备。
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Cited By (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN106430160A (zh) * 2016-09-09 2017-02-22 浙江理工大学 双层还原氧化石墨烯薄膜柔性应变传感器的制备方法
CN106643460A (zh) * 2016-11-29 2017-05-10 同济大学 一种石墨烯基应变传感薄膜及其制备方法和应用
CN107720685A (zh) * 2017-06-15 2018-02-23 苏州大学 一种碳/石墨烯柔性应变传感器及其制备方法
CN107973621A (zh) * 2017-11-03 2018-05-01 东南大学 一种基于石墨烯/纳米金涂层的反应岛及其制备方法和应用
CN108053946A (zh) * 2017-11-30 2018-05-18 南京工业大学 一种可拉伸、低电阻变化的导电纤维的制备方法
CN108333234A (zh) * 2018-04-20 2018-07-27 河南科技大学 一种电化学测试用薄膜样品及其制备方法
CN109627476A (zh) * 2018-11-30 2019-04-16 国家纳米科学中心 一种具有有序褶皱应变结构的二维材料及其制备方法和用途
CN110044251A (zh) * 2019-02-27 2019-07-23 浙江大学 一种基于石墨烯薄膜的应变检测传感器及其制备方法
CN110856656A (zh) * 2018-08-24 2020-03-03 深圳先进技术研究院 肌肉形变的测量系统及柔性传感器的制作方法
CN112086553A (zh) * 2020-09-17 2020-12-15 济南大学 一种柔性压阻传感器及其应用
CN114069096A (zh) * 2021-11-12 2022-02-18 天津市捷威动力工业有限公司 一种可调控热传导的复合薄膜及锂离子电池

Citations (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102506693A (zh) * 2011-11-04 2012-06-20 南京航空航天大学 一种石墨烯应变测量和运动传感装置及其制法
CN103232034A (zh) * 2013-05-23 2013-08-07 中国石油大学(北京) 一种连续制备大面积石墨烯薄膜的方法及装置
WO2014134524A1 (en) * 2013-03-01 2014-09-04 Massachusetts Institute Of Technology Synthesis of transition metal disulfide layers
CN104153128A (zh) * 2014-08-26 2014-11-19 青岛大学 一种基于有序排列扭曲结构柔性可拉伸器件的制备方法
CN104692367A (zh) * 2015-01-30 2015-06-10 东南大学 一种金属性石墨烯的制备方法
CN104807861A (zh) * 2015-04-09 2015-07-29 山东师范大学 一种海绵状石墨烯基可拉伸气敏传感器的制备方法
CN104827021A (zh) * 2015-04-09 2015-08-12 山东师范大学 一种高导电可拉伸海绵状石墨烯基电极材料的制备方法
CN104882297A (zh) * 2015-04-09 2015-09-02 山东师范大学 一种基于高导电石墨烯/镍颗粒混合结构的可拉伸超级电容器的制备方法
CN105132883A (zh) * 2015-08-24 2015-12-09 常州二维碳素科技股份有限公司 调控石墨烯薄膜电子结构的方法
US9291513B2 (en) * 2013-03-28 2016-03-22 Intellectual Discovery Co., Ltd. Strain sensing device using reduced graphene oxide and method of manufacturing the same

Patent Citations (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102506693A (zh) * 2011-11-04 2012-06-20 南京航空航天大学 一种石墨烯应变测量和运动传感装置及其制法
WO2014134524A1 (en) * 2013-03-01 2014-09-04 Massachusetts Institute Of Technology Synthesis of transition metal disulfide layers
US9291513B2 (en) * 2013-03-28 2016-03-22 Intellectual Discovery Co., Ltd. Strain sensing device using reduced graphene oxide and method of manufacturing the same
CN103232034A (zh) * 2013-05-23 2013-08-07 中国石油大学(北京) 一种连续制备大面积石墨烯薄膜的方法及装置
CN104153128A (zh) * 2014-08-26 2014-11-19 青岛大学 一种基于有序排列扭曲结构柔性可拉伸器件的制备方法
CN104692367A (zh) * 2015-01-30 2015-06-10 东南大学 一种金属性石墨烯的制备方法
CN104807861A (zh) * 2015-04-09 2015-07-29 山东师范大学 一种海绵状石墨烯基可拉伸气敏传感器的制备方法
CN104827021A (zh) * 2015-04-09 2015-08-12 山东师范大学 一种高导电可拉伸海绵状石墨烯基电极材料的制备方法
CN104882297A (zh) * 2015-04-09 2015-09-02 山东师范大学 一种基于高导电石墨烯/镍颗粒混合结构的可拉伸超级电容器的制备方法
CN105132883A (zh) * 2015-08-24 2015-12-09 常州二维碳素科技股份有限公司 调控石墨烯薄膜电子结构的方法

Cited By (16)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN106430160A (zh) * 2016-09-09 2017-02-22 浙江理工大学 双层还原氧化石墨烯薄膜柔性应变传感器的制备方法
CN106643460A (zh) * 2016-11-29 2017-05-10 同济大学 一种石墨烯基应变传感薄膜及其制备方法和应用
CN106643460B (zh) * 2016-11-29 2019-10-01 同济大学 一种石墨烯基应变传感薄膜及其制备方法和应用
CN107720685A (zh) * 2017-06-15 2018-02-23 苏州大学 一种碳/石墨烯柔性应变传感器及其制备方法
CN107720685B (zh) * 2017-06-15 2020-03-10 苏州大学 一种碳/石墨烯柔性应变传感器及其制备方法
CN107973621A (zh) * 2017-11-03 2018-05-01 东南大学 一种基于石墨烯/纳米金涂层的反应岛及其制备方法和应用
CN108053946A (zh) * 2017-11-30 2018-05-18 南京工业大学 一种可拉伸、低电阻变化的导电纤维的制备方法
CN108053946B (zh) * 2017-11-30 2019-04-12 南京工业大学 一种可拉伸、低电阻变化的导电纤维的制备方法
CN108333234A (zh) * 2018-04-20 2018-07-27 河南科技大学 一种电化学测试用薄膜样品及其制备方法
CN110856656A (zh) * 2018-08-24 2020-03-03 深圳先进技术研究院 肌肉形变的测量系统及柔性传感器的制作方法
CN109627476B (zh) * 2018-11-30 2021-08-31 国家纳米科学中心 一种具有有序褶皱应变结构的二维材料及其制备方法和用途
CN109627476A (zh) * 2018-11-30 2019-04-16 国家纳米科学中心 一种具有有序褶皱应变结构的二维材料及其制备方法和用途
CN110044251A (zh) * 2019-02-27 2019-07-23 浙江大学 一种基于石墨烯薄膜的应变检测传感器及其制备方法
CN112086553A (zh) * 2020-09-17 2020-12-15 济南大学 一种柔性压阻传感器及其应用
CN112086553B (zh) * 2020-09-17 2023-08-08 济南大学 一种柔性压阻传感器及其应用
CN114069096A (zh) * 2021-11-12 2022-02-18 天津市捷威动力工业有限公司 一种可调控热传导的复合薄膜及锂离子电池

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