CN105738304B - 一种光热放大光谱检测装置和检测方法 - Google Patents
一种光热放大光谱检测装置和检测方法 Download PDFInfo
- Publication number
- CN105738304B CN105738304B CN201610118466.0A CN201610118466A CN105738304B CN 105738304 B CN105738304 B CN 105738304B CN 201610118466 A CN201610118466 A CN 201610118466A CN 105738304 B CN105738304 B CN 105738304B
- Authority
- CN
- China
- Prior art keywords
- light
- detection
- measured
- film
- test chamber
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 238000001514 detection method Methods 0.000 title claims abstract description 110
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 title claims abstract description 19
- 230000003321 amplification Effects 0.000 title claims abstract description 18
- 238000003199 nucleic acid amplification method Methods 0.000 title claims abstract description 18
- 238000012360 testing method Methods 0.000 claims abstract description 43
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims abstract description 22
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 claims abstract description 16
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims abstract description 3
- 239000010408 film Substances 0.000 claims description 51
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 claims description 7
- 239000010409 thin film Substances 0.000 claims description 7
- 230000011514 reflex Effects 0.000 claims description 5
- 238000002310 reflectometry Methods 0.000 claims description 3
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 abstract description 6
- 230000003595 spectral effect Effects 0.000 abstract description 4
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 abstract description 2
- 230000009102 absorption Effects 0.000 description 13
- 238000000034 method Methods 0.000 description 9
- 238000005086 pumping Methods 0.000 description 5
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 3
- 238000007689 inspection Methods 0.000 description 3
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 3
- 238000009738 saturating Methods 0.000 description 3
- 239000012788 optical film Substances 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 2
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 230000007812 deficiency Effects 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 238000001914 filtration Methods 0.000 description 1
- 238000001727 in vivo Methods 0.000 description 1
- 230000031700 light absorption Effects 0.000 description 1
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 description 1
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 description 1
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
- G01N21/25—Colour; Spectral properties, i.e. comparison of effect of material on the light at two or more different wavelengths or wavelength bands
- G01N21/31—Investigating relative effect of material at wavelengths characteristic of specific elements or molecules, e.g. atomic absorption spectrometry
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
- G01N21/55—Specular reflectivity
Abstract
一种光热放大光谱检测装置及检测方法，检测装置主要包括泵浦激光器、检测激光器、检测腔体、针孔光强探测器以及信号调制、放大、采集分析等装置。检测时将泵浦光照射到待测薄膜上，待测薄膜吸收泵浦光产生热量，其表面吸热形成凸起；检测光在待测薄膜的凸起处反射时被扩束，使用针孔光强探测器探测反射光的光强；本发明检测装置在检测腔体内加入两个反射镜，两个反射镜与反射型的待测薄膜组成三角形的光学环路，检测光经过反射在光学环路中循环，反复在待测薄膜的凸起位置反射扩束放大，增大检测腔体出射光的光密度变化，提高了光热放大光谱检测的灵敏度。
Description
技术领域
本发明属于光谱检测技术领域，具体涉及一种光热放大光谱检测装置，特别适用于反射型光学薄膜检测。本发明还涉及光热放大光谱检测方法。
背景技术
光学薄膜是光学系统中不可或缺的基本元件，它的性能影响着整个光学系统的性能，它的很大一部分损伤来自于薄膜吸收，因此研究光学薄膜吸收损耗，对薄膜损伤机理的研究非常重要。目前，激光量热技术和表面热透镜技术(光热放大技术)等光热技术已成功应用于光学薄膜微弱吸收测量领域。现有的光热放大光谱检测技术通常将一束可由待测薄膜吸收的泵浦光照射到待测薄膜上，待测薄膜吸收泵浦光产生热量，其表面由于吸热而隆起一个高度，形成凸起；再将一束检测光通过入射至该待测薄膜上的凸起处，检测光反射后被扩束，使反射光的光密度下降，探测反射光的光强变化来获得待测薄膜损伤程度的检测结果。
通常的光热放大光谱检测装置由泵浦光源、检测光源、检测腔体、光强探测器等构成，待测薄膜放置在检测腔体中，泵浦光源发出泵浦光照射待测薄膜，检测光源发出的检测光自待测薄膜反射后由光强探测器检测光强；检测装置一般还包括采集分析检测信号的A/D转换模块和电脑主机以及为提高检测灵敏度的信号调制、放大等辅助装置。
现有的通过光热放大检测薄膜的技术还存在检测灵敏度不够高的问题。
发明内容
本发明的目的在于克服上述现有技术的不足，提供一种具有更高灵敏度的光热放大光谱检测装置及检测方法。
本发明检测装置的技术方案为：
一种光热放大光谱检测装置，包括泵浦激光器、检测激光器、检测腔体、针孔光强探测器、放大器模块、A/D转换模块和电脑主机；其中：
所述检测腔体中设置有样品台，待测薄膜放置于所述样品台上；所述泵浦激光器发射待测薄膜可吸收的泵浦光，所述检测激光器发射待测薄膜不可吸收的检测光；所述泵浦光耦合入检测腔体内并照射在所述待测薄膜上；所述针孔光强探测器设置在检测腔体的出射光路中，与所述放大器模块连接；放大器模块通过所述A/D转换模块与电脑主机连接；所述检测腔体中包含第一反射镜和第二反射镜，二反射镜对所述检测光部分透射部分反射，二反射镜布置于样品台上方两侧，设置二反射镜与待测薄膜表面组成反射环路；所述检测光由第一反射镜入射检测腔体后在所述环路中循环反射，检测腔体内的光束透射第二反射镜出射。
优选地，作为对所述检测光部分透射部分反射的反射镜，所述第一反射镜和第二反射镜对检测光的反射率限制在大于10％且小于100％的范围。
优选地，所述检测光的光功率大于1mW，为避免通过透射第一反射镜耦合入检测腔体内的检测光太弱而无法检测到信号。
优选地，所述检测腔体内还设置有聚焦透镜，泵浦光通过聚焦透镜耦合入检测腔体内。
优选地，所述第二反射镜和针孔光强探测器之间设置滤光片，所述滤光片对泵浦光吸收，对检测光高透。通过滤光片滤除泵浦光，使针孔光强探测器仅探测到检测腔体出射光中的检测光部分。
优选地，所述检测装置还包括用于归一化信号的分束器和光强探测器，以消除由于泵浦光功率波动而引起的测量误差；所述分束器设置于泵浦光光路中，分束器的分束光路中设置所述光强探测器，光强探测器通过所述A/D转换模块与电脑主机连接。
优选地，所述检测装置还包括设置于泵浦光光路中的斩波器，所述斩波器位于检测腔体前端；所述放大器模块由前置放大器和锁相放大器组成，所述针孔光强探测器通过所述前置放大器连接所述锁相放大器被测信号端，锁相放大器参考信号端连接斩波器，锁相放大器输出端通过A/D转换模块连接电脑主机。
本发明检测方法的技术方案为：
一种光热放大光谱检测方法，包括步骤为：将一束可由待测薄膜吸收的泵浦光照射到待测薄膜上，待测薄膜吸收泵浦光后表面形成凸起；将一束不可由待测薄膜吸收的检测光入射至待测薄膜表面凸起位置，控制检测光使其在包括待测薄膜表面凸起的反射环路中循环反射；探测出射的检测光的光强变化并采集检测数据。
本发明技术方案适用于反射型光学薄膜的缺陷检测。本发明检测装置在检测腔体内的检测光路中加入两个反射镜，两个反射镜与反射型的待测薄膜组成三角形的光学反射环路，检测光入射待测薄膜后，发生反射的检测光在三个反射位置之间循环，检测过反复入射待测薄膜凸起位置发生反射扩束放大，增大检测腔体出射光的光密度变化，光热放大光谱检测灵敏度也随之提高。
附图说明
图1为光热放大光谱检测装置结构示意图；
图2为本发明检测装置的检测腔体结构及工作原理示意图；
图3为针孔光强探测器工作示意图，图3a中检测光束未放大；图3b中检测光束经待测薄膜反射放大一次；图3c中检测光束多次经待测薄膜反射放大。
其中：
1：泵浦激光器；2：分束器；3：光强探测器；4：电脑主机；5：A/D转换模块；6：斩波器；7：检测腔体；7-1：聚焦透镜；7-2：样品台；7-3：第一反射镜；7-4：第二反射镜；8：检测激光器；9：针孔光强探测器；9-1：针孔；9-2：光强探测组件；10：放大器模块；10-1：前置放大器；10-2：锁相放大器；11：待测薄膜；B1：泵浦光；B2：分束光；D1：检测光；L1、L2、L3、L4、L5、L2′、L5′：光束。
具体实施方式
以下结合附图通过实施例对本发明做进一步说明，以便更好地理解本发明。
本发明光热放大光谱检测装置的结构如图1和图2所示。本发明检测装置包括泵浦激光器1、检测激光器8、检测腔体7、针孔光强探测器9、分束器2、光强探测器3、斩波器6、放大器模块10、A/D转换模块5和电脑主机4，放大器模块10由前置放大器10-1和锁相放大器10-2组成；图2所示为图1中检测腔体7的具体结构，检测腔体7内设置有聚焦透镜7-1、样品台7-2、第一反射镜7-3和第二反射镜7-4；针孔光强探测器9和第二反射镜7-4之间的光路中还设置有滤光片(图中未示出)；所述检测装置的具体结构与工作方式如下：
泵浦激光器1发射激光束作为泵浦光B1，当检测腔体7内的待测薄膜11对泵浦光B1的吸收越强或者泵浦光B1的光强越强，所产生的光热放大信号就越强，检测灵敏度也就越高。本发明实施方式对使用的泵浦激光器类型没有特定限制，可以选择固体激光器、气体激光器或者半导体激光器，可以选择连续激光器或者脉冲激光器，可以选择可调谐激光器或者单一波长的激光器，只要检测腔体7内的待测薄膜11能对泵浦激光产生吸收即可；
检测激光器8发射激光束作为检测光D1，选择检测光D1波长使其不被检测腔体7内的待测薄膜11吸收；对检测激光器8的类型没有特定限制，可以选择固体激光器、气体激光器或者半导体激光器，可以选择连续激光器或者脉冲激光器，可以选择可调谐激光器或者单一波长的激光器；
泵浦激光器1发射的泵浦光B1首先通过分束器2，分束器2作用是从泵浦光B1中分束出一小部分功率的光形成分束光B2；分束光B2入射到光强探测器3中作为归一化信号，以消除由于泵浦光B1功率波动而引起的测量误差；光强探测器3将接收到的归一化信号通过A/D转换模块5输入到电脑主机4中；
泵浦光B1透过分束器2后入射至斩波器6，斩波器6通过斩波给泵浦光B1一个周期性调制信号，斩波器6的信号连接输入锁相放大器10-2的参考信号端；
检测腔体7中的样品台7-2上放置待测薄膜11，泵浦光B1和检测光D1均耦合入检测腔体7；自检测腔体7出射的包含检测光D1和泵浦光B1的光束先经过滤光片，滤光片对泵浦光B1吸收并对检测光D1高透，透过滤光片的包含检测光D1的光束入射针孔光强探测器9探测光强信号；
针孔光强探测器9探测到的信号输入到前置放大器10-1中，然后再输入到锁相放大器10-2的被测信号端，锁相放大器10-2根据参考信号端接收的斩波器6的信号可抑制光学噪声；锁相放大器10-2输出端通过A/D转换模块5连接电脑主机4，将检测信号输入电脑主机4中完成数据采集分析。
本发明的检测方法适用于反射型的光学薄膜检测，图2所示是图1中检测腔体7的具体结构，其中：发射型的待测薄膜11放置于样品台7-2上，待测薄膜11上方两侧设置第一反射镜7-3和第二反射镜7-4，调节两个反射镜与待测薄膜反射表面之间的夹角，使得两个反射镜和待测薄膜组成一个反射环路，该环路为三角形，具有三个反射面；选择所述反射镜使其对检测光D1部分反射部分透射，具体实施过程中，两个反射镜的反射率可在大于10％和小于100％的范围内选择；检测光D1由第一反射镜7-3入射检测腔体7，为避免耦合入检测腔体内的检测光太弱而无法检测到信号，选择检测光的光功率应大于1mW；针孔光强探测器9设置在第二反射镜7-4光路中以探测透过第二反射镜7-4的出射光；泵浦光B1通过聚焦透镜7-1聚焦到待测薄膜11上，待测薄膜11吸收泵浦光B1产生热量，待测薄膜吸收泵浦光产生热量，其表面由于吸热而隆起一个高度，形成凸起检测光D1透射第一反射镜7-3后的光束L1入射到待测薄膜11的凸起表面，因凸起具有一定的弧度，光束L1反射时被扩束，发射后的光束L2角度放大；光束L2到达第二反射镜7-4时，部分反射成为光束L3，部分透射出射为光束L2′；光束L2′入射针孔光强探测器9，光束L3经过第一反射镜7-3反射为光束L4，光束L4再次入射到待测薄膜11的凸起表面，反射扩束后形成角度进一步放大的光束L5，光束L5在第二反射镜7-4部分透射出射为光束L5′，出射的光束L5′入射针孔光强探测器9，光束L5其余部分反射，依此循环。检测腔体7内检测光的光束在两个反射镜与待测薄膜形成的环路中循环振荡，每次循环光束均在待测薄膜的凸起表面反射时都会被扩束放大，总体上增加了检测光放大角度。
检测方式如图3a、图3b和图3c所示，针孔光强探测器9由前端的针孔9-1和后端的光强探测组件9-2构成。图3a为没有放大的检测光束入射针孔光强探测器9；图3b中检测光束经一次扩束后出射的光束L2′入射针孔光强探测器9，由于光束角度被放大，光密度下降，所以探测的光强降低；图3c中光束L2′和光束L5′通过针孔入9-1射到光强探测组件9-2，光束L2′和光束L5′分别是检测光分别经一次放大和二次放大后的出射光，每次扩束后光线光密度均下降，针孔光强探测器9探测到的光强整体变化增大，相比于传统技术的光热放大技术具有更高的灵敏度。
应理解，上述实施例只为说明本发明的技术构思及特点，其目的在于供本领域技术人员了解本发明的内容并据以实施，并非具体实施方式的穷举，并不能以此限制本发明的保护范围。凡根据本发明的技术方案进行修改或者等同替换，而不脱离本发明技术方案的宗旨和范围，其均应涵盖在本发明的权利要求范围当中。
Claims (8)
1.一种光热放大光谱检测装置，包括泵浦激光器(1)、检测激光器(8)、检测腔体(7)、针孔光强探测器(9)、放大器模块(10)、A/D转换模块(5)和电脑主机(4)；其中：
所述检测腔体(7)中设置有样品台(7-2)，待测薄膜(11)放置于所述样品台(7-2)上；所述泵浦激光器(1)发射待测薄膜(11)可吸收的泵浦光(B1)，所述检测激光器(8)发射待测薄膜(11)不可吸收的检测光(D1)；所述泵浦光(B1)耦合入检测腔体(7)内并照射在所述待测薄膜(11)上；所述针孔光强探测器(9)设置在检测腔体(7)的出射光路中，与所述放大器模块(10)连接；放大器模块(10)通过所述A/D转换模块(5)与电脑主机(4)连接，其特征在于：
所述检测腔体(7)中包含第一反射镜(7-3)和第二反射镜(7-4)，二反射镜对所述检测光(D1)部分透射部分反射，二反射镜布置于样品台(7-2)上方两侧，设置二反射镜与待测薄膜(11)表面组成反射环路；所述检测光(D1)由第一反射镜(7-3)入射检测腔体(7)后在所述环路中循环反射，检测腔体(7)内的光束透射第二反射镜(7-4)出射。
2.根据权利要求1所述的光热放大光谱检测装置，其特征在于：所述第一反射镜(7-3)和第二反射镜(7-4)对所述检测光(D1)的反射率大于10％且小于100％。
3.根据权利要求1所述的光热放大光谱检测装置，其特征在于：所述检测光(D1)的光功率大于1mW。
4.根据权利要求1所述的光热放大光谱检测装置，其特征在于：所述检测腔体(7)内还设置有聚焦透镜(7-1)，泵浦光(B1)通过聚焦透镜(7-1)耦合入检测腔体(7)内。
5.根据权利要求1所述的光热放大光谱检测装置，其特征在于：所述第二反射镜(7-4)和针孔光强探测器(9)之间设置滤光片，所述滤光片对泵浦光(B1)吸收，对检测光(D1)高透。
6.根据权利要求1所述的光热放大光谱检测装置，其特征在于：所述检测装置还包括用于归一化信号的分束器(2)和光强探测器(3)，所述分束器(2)设置于泵浦光(B1)光路中，分束器(2)的分束光路中设置所述光强探测器(3)，光强探测器(3)通过所述A/D转换模块(5)与电脑主机(4)连接。
7.根据权利要求1至6任一项所述的光热放大光谱检测装置，其特征在于：所述检测装置还包括设置于泵浦光(B1)光路中的斩波器(6)，所述斩波器(6)位于检测腔体(7)前端；所述放大器模块(10)由前置放大器(10-1)和锁相放大器(10-2)组成，所述针孔光强探测器(9)通过所述前置放大器(10-1)连接所述锁相放大器(10-2)被测信号端，锁相放大器(10-2)参考信号端连接斩波器(6)，锁相放大器(10-2)输出端通过A/D转换模块(5)连接电脑主机(4)。
8.一种根据权利要求1-7中任一项所述的光热放大光谱检测装置进行的检测方法，其特征在于，包括步骤为：将一束可由待测薄膜吸收的泵浦光照射到待测薄膜上，待测薄膜吸收泵浦光后表面形成凸起；将一束不可由待测薄膜吸收的检测光入射至待测薄膜表面凸起位置，控制检测光使其在包括待测薄膜表面凸起的反射环路中循环反射；探测出射的检测光的光强变化并采集检测数据。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201610118466.0A CN105738304B (zh) | 2016-03-02 | 2016-03-02 | 一种光热放大光谱检测装置和检测方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201610118466.0A CN105738304B (zh) | 2016-03-02 | 2016-03-02 | 一种光热放大光谱检测装置和检测方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN105738304A CN105738304A (zh) | 2016-07-06 |
| CN105738304B true CN105738304B (zh) | 2018-06-15 |
Family
ID=56249779
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201610118466.0A Active CN105738304B (zh) | 2016-03-02 | 2016-03-02 | 一种光热放大光谱检测装置和检测方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN105738304B (zh) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN110954296B (zh) * | 2019-12-11 | 2021-03-23 | 浙江科技学院 | 一种液芯光纤的光信号放大性能检测方法及其检测装置 |
Family Cites Families (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4968144A (en) * | 1989-03-09 | 1990-11-06 | Wayne State University | Single beam AC interferometer |
| CN1632527A (zh) * | 2004-12-28 | 2005-06-29 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | 热透镜透反式薄膜吸收测量方法及装置 |
| US20090274191A1 (en) * | 2008-04-22 | 2009-11-05 | Alain Hache | Single beam optical apparatus and method |
| CN102637992B (zh) * | 2012-04-25 | 2013-08-21 | 北京国科世纪激光技术有限公司 | 应用于端泵激光放大器的多程放大装置 |
| CN102680213B (zh) * | 2012-06-18 | 2015-03-25 | 合肥知常光电科技有限公司 | 大口径光学元件光学特性的快速检测方法及装置 |
| CN104332807A (zh) * | 2014-11-05 | 2015-02-04 | 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 | 一种板条激光放大器及其激光输出方法 |
| CN104502068A (zh) * | 2014-12-30 | 2015-04-08 | 工业和信息化部电子第五研究所 | 一种用于检测光学元件弱吸收的装置及方法 |
-
2016
- 2016-03-02 CN CN201610118466.0A patent/CN105738304B/zh active Active
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| CN105738304A (zh) | 2016-07-06 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN105737982B (zh) | 一种光热偏转光谱检测装置及检测方法 | |
| JP3999437B2 (ja) | 光断層画像化装置 | |
| CN105021627B (zh) | 光学薄膜及元件表面激光损伤的高灵敏快速在线探测方法 | |
| CN105092029A (zh) | 双色、微区反射式瞬态光谱测量系统 | |
| CN106872415A (zh) | 结合显微成像的多波长样品光限幅性能的测量装置和测量方法 | |
| KR20190031834A (ko) | 광음향 이미징 프로브, 광음향 이미징 프로브를 이용한 영상 시스템, 및 광음향 이미징 프로브를 이용한 영상 획득 방법 | |
| CN105738304B (zh) | 一种光热放大光谱检测装置和检测方法 | |
| ES2558562T3 (es) | Procedimiento y aparato para mejorar el rango dinámico de ultrasonido detectado por láser en materiales atenuantes | |
| US11079218B2 (en) | Measuring distance using a laser processing system with optical amplifier for amplifying measuring beam or reflected part of measurement beam | |
| US8080773B2 (en) | Method and apparatus of measuring backward light, and laser processing method | |
| JP7012098B2 (ja) | 遠赤外光源、遠赤外分光装置 | |
| JP4662831B2 (ja) | 試料分析装置 | |
| US20200408701A1 (en) | Carrier lifespan measurement method and carrier lifespan measurement device | |
| CN212693587U (zh) | 一种飞秒时间分辨吸收光谱探测系统 | |
| CN113029969A (zh) | 一种各向异性非线性光学特性测量装置及其测量方法 | |
| DE60130301D1 (de) | Aberrationsfreies Auslieferungssystem | |
| JP2001059829A (ja) | 光熱レンズ型試料分析装置 | |
| CN109900737A (zh) | 基于等效温度的光学元件弱吸收测试装置及方法 | |
| TWM491158U (zh) | 多光源之光致螢光擷取裝置 | |
| CN105115698B (zh) | 用于半导体激光器腔面失效分析的综合测试系统 | |
| CN110274885B (zh) | 宽谱带时间分辨吸收光谱单次测量装置 | |
| CN109444212B (zh) | 一种近场热反射测量装置 | |
| KR20150014303A (ko) | 광음향 프로브 모듈, 이를 포함하는 광음향 영상 장치 및 그 제어방법 | |
| WO2020228093A1 (zh) | 探头、激光装置及激光扫描成像系统 | |
| US20150366459A1 (en) | Object information acquiring apparatus and laser apparatus used therein |
Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| C06 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| C10 | Entry into substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| TR01 | Transfer of patent right |
Effective date of registration: 20231127 Address after: 241000 Chungu 3D Printing Industrial Park, Fanchang Economic Development Zone, Wuhu City, Anhui Province Patentee after: Anhui Zhongke Spring Valley Laser Industry Technology Research Institute Co.,Ltd. Address before: 210038 A building, Longgang science and Technology Park, Heng Yuan Road, Nanjing economic and Technological Development Zone, Nanjing, Jiangsu Patentee before: NANJING INSTITUTE OF ADVANCED LASER TECHNOLOGY |
|
| TR01 | Transfer of patent right |