CN105731068A - 非接触输送装置和非接触吸附盘 - Google Patents

Abstract

本发明提供精细地控制工件的非接触吸附状态的非接触输送装置和非接触吸附装置。非接触输送装置具备沿输送方向排列的第1和第2非接触吸附盘，第1和第2非接触吸附盘分别包括：矩形形状的多孔质垫，呈格子状地配置有多个抽吸孔；连结于多孔质垫的背面的矩形形状的保持件，其表面形成有格子状的加压气体流路以及被该加压气体流路划分成的多个岛状部分，其具备与抽吸孔相对应地设置的连通孔，其连结于多孔质垫时，在连通孔与抽吸孔连通的状态下，岛状部分的顶面紧贴于多孔质垫的背面，在第1和第2非接触吸附盘连接的区域内，第1非接触吸附盘的保持件的加压气体流路的至少一部分终止于以沿与输送方向正交的方向延伸的方式配置的端部宽度方向流路。

Description

非接触输送装置和非接触吸附盘

技术领域

本发明涉及一种非接触输送装置和一种非接触吸附盘，更详细地说，涉及一种以非接触状态输送薄板状的工件的非接触输送装置以及一种以非接触状态吸附薄板状的工件的非接触吸附盘。

背景技术

作为使半导体晶圆、FPD用玻璃基材等厚度较薄的工件悬浮地进行处理的非接触吸附装置，已知有专利文献1的悬浮载物台。该悬浮载物台在多孔质板的表面同时进行工件在加压空气的作用下的悬浮和工件在抽吸的作用下的非接触吸附，从而使工件在多孔质板上悬浮地进行输送等。

另外，作为其他非接触吸附装置，已知有专利文献2的非接触吸附盘。该非接触吸附盘在多孔质板的表面同时进行加压空气的喷出和抽吸，实现使薄板状工件在多孔质板上悬浮并且保持该薄板状工件的非接触吸附。

这些非接触吸附装置和非接触吸附盘能够不损伤薄板状的工件地使该薄板状的工件悬浮并进行输送或者保持等，因此在加工FPD用玻璃基材等薄板状的工件时是有效的装置。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2007-27495号公报

专利文献2：日本特许第5512052号

发明内容

发明要解决的问题

上述专利文献1所记载的悬浮载物台(非接触输送装置)用于输送LCD用玻璃基板等薄板状工件，但输送距离较短，由一张多孔质板形成。因此，使用上述这样的悬浮载物台，在跨越较长的距离输送薄板状工件或者输送尺寸较大的薄板状工件时，需要将多张多孔质板沿输送方向连续地排列地配置。

然而，在这样的结构中，工件自上游侧的多孔质板向下游侧的多孔质板转移时，存在如下情况：在沿输送方向排列地配置的两张多孔质板的连接部位，工件的顶端向下位移。

由于这样的向下位移，有时产生工件本身变形、工件无法顺利地向下游侧的多孔质板上转移等的问题。特别是，在厚度小于0.5mm这样的极薄的工件的情况下，这样的问题较为显著。

另外，如上所述，专利文献2所记载的非接触吸附盘用于一边使LCD用玻璃基板等薄板状工件在多孔质板上悬浮一边保持该LCD用玻璃基板等薄板状工件。

然而，上述的非接触吸附盘无法改变自多孔质板的表面喷出的加压空气的喷出模式。即，无法局部地改变自多孔质的表面喷出的加压空气的喷出状态。因此，只能够使薄板状工件以相同状态悬浮。具体地说，例如，无法使相同的薄板状工件以平板状、凸形状或者凹形状这样的不同形状悬浮并保持该薄板状工件。

即，在现有技术的非接触输送装置、非接触吸附盘等非接触吸附装置中，无法精细地控制工件的非接触吸附状态。

本发明是鉴于这样的问题而完成的，其目的在于提供一种能够精细地控制工件的非接触吸附状态的非接触输送装置、非接触吸附盘等非接触吸附装置。

详细地说，本发明是为了解决上述的问题而完成的，其目的在于提供一种非接触输送装置，该非接触输送装置具备多张多孔质板沿输送方向连续地排列而成的结构，并且在工件向下游侧的多孔质板转移时，能够抑制工件的顶端部的向下位移。

详细地说，本发明的目的还在于提供一种能够局部地改变自多孔质垫的表面喷出的加压空气的喷出状态的非接触吸附盘。

用于解决问题的方案

根据本发明，

提供一种非接触输送装置，其以非接触状态吸附并输送薄板状的工件，其特征在于，

该非接触输送装置具备沿所述输送方向排列的第1非接触吸附盘和第2非接触吸附盘，

所述第1非接触吸附盘和所述第2非接触吸附盘分别包括：

多孔质垫，其呈矩形形状，在该多孔质垫呈格子状地配置有沿厚度方向贯通该多孔质垫地延伸的多个抽吸孔；以及

保持件，其是连结于所述多孔质垫的背面的矩形形状的保持件，在该保持件的表面形成有格子状的加压气体流路以及被该加压气体流路划分成的呈格子状排列的多个岛状部分，该保持件具备与所述抽吸孔相对应地设置并沿厚度方向贯通所述岛状部分地延伸的连通孔，在该保持件连结于所述多孔质垫时，在所述连通孔与所述多孔质垫的抽吸孔相连通的状态下，所述岛状部分的顶面紧贴于所述多孔质垫的背面，

在配置于输送方向上游侧的所述第1非接触吸附盘的与配置于输送方向下游侧的所述第2非接触吸附盘相连接的连接区域内，配置于输送方向上游侧的所述第1非接触吸附盘的保持件的格子状的加压气体流路的至少一部分终止于以沿与所述输送方向正交的方向延伸的方式配置的端部宽度方向流路。

利用这样的结构，能够精细地控制工件的非接触吸附状态。详细地说，在上游侧的非接触吸附盘的与下游侧的非接触吸附盘相连的连接区域内，上游侧的非接触吸附盘的加压气体流路终止于以沿与输送方向正交的方向延伸的方式配置的端部宽度方向流路。因此，薄板状的工件在自第1非接触吸附盘向第2非接触吸附盘转移时，该薄板状的工件被自第1非接触吸附盘的端部宽度方向流路向连接区域的多孔质垫的细孔供给、且在连接区域内自多孔质垫喷出的高压气体朝向上方上推，从而能够适当地控制工件的高度。

根据本发明的另一优选的技术方案，

在所述第2非接触吸附盘的与所述第1非接触吸附盘相连接的连接区域内，所述第2非接触吸附盘的保持件的格子状的加压气体流路的至少一部分终止于以沿所述输送方向延伸的方式配置的端部输送方向流路。

利用这样的结构，在第2非接触吸附盘的输送方向最上游侧的部分，来自多孔质垫的表面的加压气体的喷出量比第1非接触吸附盘的输送方向最下游的部分的加压气体的喷出量少，因此可抑制转移至第2非接触吸附盘的工件被过度向上方抬升。

根据本发明的另一优选的技术方案，

在所述第1非接触吸附盘的与所述第2非接触吸附盘相连接的连接区域内，所述第1非接触吸附盘的保持件的格子状的加压气体流路的至少一部分终止于以沿所述输送方向延伸的方式配置的端部输送方向流路。

利用这样的结构，在第1非接触吸附盘的输送方向最下游侧的部分，来自多孔质垫的表面的加压气体的喷出量比第2非接触吸附盘的输送方向最上游的部分的加压气体的喷出量少，因此可抑制转移至第2非接触吸附盘的工件的顶端被过度向上方抬升。

根据本发明的另一优选的技术方案，

在所述第2非接触吸附盘的与所述第1非接触吸附盘相连接的连接区域内，所述第2非接触吸附盘的保持件的格子状的加压气体流路的至少一部分终止于以与所述输送方向正交地延伸的方式配置的端部宽度方向流路。

根据本发明的另一优选的技术方案，

在所述第1非接触吸附盘的与所述第2非接触吸附盘相连接的连接区域内，所述第1非接触吸附盘的保持件的格子状的加压气体流路的至少一部分终止于以与所述输送方向正交地延伸的方式配置的端部宽度方向流路。

根据本发明的另一优选的技术方案，

所述第1非接触吸附盘和所述第2非接触吸附盘这两者的保持件的格子状的加压气体流路具备交替配置的、终止于封闭的矩形部分的部分和终止于开放的矩形部分的部分，

所述第1非接触吸附盘和所述第2非接触吸附盘配置为：一非接触吸附盘的所述加压气体流路的开放的矩形部分与另一非接触吸附盘的所述加压气体流路的封闭的矩形部分沿输送方向对齐。

根据本发明的另一优选的技术方案，

所述第1非接触吸附盘的保持件具备与所述加压气体流路分开的独立加压气体流路。

根据本发明的另一优选的技术方案，

在所述第1非接触吸附盘的与所述第2非接触吸附盘相连接的连接区域内，所述第1非接触吸附盘的独立加压气体流路设于所述加压气体流路的终止部的侧缘侧。

利用这样的结构，能够将向独立加压气体流路供给的加压空气的流量、压力等设为与向加压气体流路供给的加压气体的流量、压力不同的值，因此在第1非接触吸附盘的与第2非接触吸附盘相连接的连接区域内，能够独自地控制自多孔质垫喷出的加压气体的流量等。

根据本发明的另一优选的技术方案，

所述第2非接触吸附盘的保持件具备与所述加压气体流路分开的独立加压气体流路。

根据本发明的另一优选的技术方案，

在所述第2非接触吸附盘的与所述第1非接触吸附盘相连接的连接区域内，所述第2非接触吸附盘的独立加压气体流路设于所述加压气体流路的终止部的侧缘侧。

利用这样的结构，能够将向独立加压气体流路供给的加压空气的流量、压力等设为与向加压气体流路供给的加压气体的流量、压力不同的值，因此在第1非接触吸附盘与第1非接触吸附盘相连接的连接区域内，能够独自地控制自多孔质垫喷出的加压气体的流量等。

根据本发明的另一优选的技术方案，

所述多孔质垫具备成为与所述抽吸孔的抽吸状态不同的抽吸状态的独立抽吸孔。

根据本发明的另一优选的技术方案，

所述独立抽吸孔配置于一非接触吸附盘的与另一非接触吸附盘相连接的连接区域内。

根据本发明的另一优选的技术方案，

所述第1非接触吸附盘和所述第2非接触吸附盘相互接触地配置。

根据本发明的另一优选的技术方案，

所述第1非接触吸附盘和所述第2非接触吸附盘分开地配置。

利用这样的结构，在工件自第1非接触吸附盘向第2非接触吸附盘转移时，该工件的顶端被朝向上方抬升，之后，该工件在形成于第1非接触吸附盘和第2非接触吸附盘之间的间隙处由于自重被朝下方施力，因此该工件能够在维持着高度位置的状态下向第2非接触吸附盘转移。

根据本发明的另一技术方案，

提供一种非接触吸附盘，其以非接触状态吸附薄板状的工件，其特征在于，

该非接触吸附盘包括：多孔质垫，其呈矩形形状，在该多孔质垫配置有沿厚度方向贯通该多孔质垫地延伸的多个抽吸孔；以及

保持件，其是连结于所述多孔质垫的背面的保持件，在该保持件的表面形成有加压气体流路以及被该加压气体流路划分成的多个岛状部分，该保持件具备与所述抽吸孔对齐地设置并沿厚度方向贯通所述岛状部分地延伸的连通孔，在该保持件连结于所述多孔质垫时，在所述连通孔与所述多孔质垫的抽吸孔相连通的状态下，所述岛状部分的顶面紧贴于所述多孔质垫的背面，

在所述保持件的所述表面还形成有与所述加压气体流路分开的独立加压气体流路。

利用这样的结构，能够精细地控制工件的非接触吸附状态。详细地说，能够使向加压气体流路内供给的加压空气的压力和/或流量、向独立加压气体流路供给的加压空气的压力和/或流量相独立。因此，能够改变自多孔质垫的表面喷出的加压空气的流量分布。根据该流量分布的改变，能够以平板状保持相同形状的薄板工件，或者以凸形状或凹形状保持该相同形状的薄板工件。

根据本发明的另一优选的技术方案，

所述独立加压气体流路以与所述非接触吸附盘的边缘部相邻的方式配置。

根据本发明的另一优选的技术方案，

所述多孔质垫具备成为与所述抽吸孔的抽吸状态不同的抽吸状态的独立抽吸孔。

根据本发明的另一优选的技术方案，

所述独立加压气体流路形成有多个，

各独立加压气体流路相互分开。

根据本发明的另一优选的技术方案，提供一种非接触输送装置，其特征在于，该非接触输送装置具备所述非接触吸附盘。

根据本发明的另一优选的技术方案，

相邻地配置的所述非接触吸附盘以所述边缘部彼此相邻的方式配置。

利用这样的结构，

在非接触吸附盘彼此相连接的区域的附近，能够与其他区域独立地控制自多孔质垫的表面喷出的加压空气的量，因此能够抑制输送中的工件自一非接触吸附盘向与该非接触吸附盘相邻的另一非接触吸附盘转移时所产生的高度变动等。

发明的效果

采用本发明，可提供一种能够精细地控制工件的非接触吸附状态的非接触输送装置、非接触吸附盘等非接触吸附装置。

另外，采用本发明，可提供如下一种非接触输送装置，该非接触输送装置具备多张多孔质板沿输送方向连续地排列而成的结构，并且在工件向下游侧的多孔质板转移时，能够抑制工件的顶端部的向下位移。

另外，采用本发明，其目的还在于可提供一种能够局部地改变自多孔质垫的表面喷出的加压空气的喷出状态的非接触吸附盘。

附图说明

图1是在本发明的优选的实施方式的非接触输送装置中使用的非接触吸附盘的分解立体图。

图2是用于说明利用图1的非接触吸附盘吸附固定(非接触吸附)工件W的状态的示意性的剖视图。

图3是表示本发明的第1实施方式的非接触输送装置的非接触吸附盘的配置的附图。

图4是表示第1实施方式的变形例的非接触输送装置的非接触吸附盘的配置的附图。

图5是表示本发明的第2实施方式的非接触输送装置的非接触吸附盘的配置的附图。

图6是表示第2实施方式的变形例的非接触输送装置的非接触吸附盘的配置的附图。

图7是表示本发明的第3实施方式的非接触输送装置的非接触吸附盘的配置的附图。

图8是表示第3实施方式的变形例的非接触输送装置的非接触吸附盘的配置的附图。

图9是表示本发明的第4实施方式的非接触输送装置的非接触吸附盘的配置的附图。

图10是表示第4实施方式的变形例的非接触输送装置的非接触吸附盘的配置的附图。

图11是表示非接触输送装置的非接触吸附盘的配置例的附图。

图12是表示非接触输送装置的非接触吸附盘的另一配置例的附图。

图13是表示非接触输送装置的另一结构例的附图。

图14是表示本发明的第5实施方式的非接触输送装置的非接触吸附盘及其配置的附图。

图15是说明第5实施方式的非接触吸附盘的构造的示意性的剖视图。

图16是表示本发明的第5实施方式的非接触输送装置的非接触吸附盘的变形例的附图。

图17是表示本发明的第5实施方式的非接触输送装置的非接触吸附盘的另一变形例的附图。

图18是表示本发明的第5实施方式的非接触输送装置的非接触吸附盘的另一变形例的附图。

图19是表示本发明的第5实施方式的非接触输送装置的非接触吸附盘的另一变形例的附图。

图20是表示本发明的另一非接触吸附盘的俯视图。

图21是表示本发明的另一非接触吸附盘的俯视图。

附图标记说明

1：非接触吸附盘

8：抽吸孔

14：加压气体流路

30：非接触输送装置

32：第1非接触吸附盘

34：第2非接触吸附盘

36：端部宽度方向流路

58：端部输送方向流路

具体实施方式

以下，说明在本发明的优选的实施方式的非接触输送装置中使用的非接触吸附盘的结构。图1是在本发明的优选的实施方式的非接触输送装置中使用的非接触吸附盘的分解立体图，图2是用于说明利用图1的非接触吸附盘吸附固定(非接触吸附)工件W的状态的示意性的剖视图。

在本发明的优选的实施方式中所使用的非接触吸附盘具有与在国际公开WO2013/129599号公报所记载的非接触吸附盘类似的基本结构，适合于非接触吸附半导体晶圆、FPD用玻璃基材等薄板状的工件，特别适合于非接触吸附厚度0.3mm～0.4mm左右的液晶显示器用玻璃板等薄板状的工件。另外，也适合于非接触吸附厚度0.1mm左右的玻璃板、厚度0.05mm的膜等极薄的工件。

如图1所示，非接触吸附盘1包括：多孔质垫2，其呈矩形形状，在表面设有用于非接触吸附工件的非接触吸附区域；垫保持件4，其呈矩形形状，其自下侧(背面侧)保持多孔质垫2；以及基座6，其呈矩形形状，连结于保持件4的背面侧。

多孔质垫2由通气性的多孔质碳形成。多孔质垫2的材料不限定于通气性的多孔质碳，也能够使用其他通气性的多孔质材料，例如多孔SiC·多孔氧化铝等。

多孔质垫2的透过量优选为0.4Nml/min/mm²～2Nml/min/mm²左右(在多孔质垫2的厚度为5mm、压力为0.1Mpa的情况下)。

在多孔质垫2形成有多个抽吸孔8。如图1所示，抽吸孔8在多孔质垫2的大致整个表面的范围内呈格子状排列，即以配置于棋盘格的中央的状态排列。在本实施方式中，抽吸孔8的间隔设定为25mm左右。

抽吸孔8以沿厚度方向贯通各多孔质垫2地延伸的方式形成。在本实施方式中，抽吸孔8的靠多孔质垫2的表面侧的部分设为直径0.6mm左右的小径部8a，抽吸孔8的靠多孔质垫2的背面侧的部分设为直径4mm左右的大径部。小径部8a和大径部8b被朝向多孔质垫2的表面去越来越细的锥形部连结起来。

利用这样的结构，在抽吸孔8的大径部8b进行减压抽吸时，来自抽吸孔8的朝多孔质垫的表面侧开口的小径部8a的空气被抽吸，形成有抽吸孔8的多孔质垫2的表面区域成为用于进行工件的非接触吸附固定的非接触吸附固定区域。

如上所述，垫保持件4是自下侧(背面侧)保持多孔质垫2的矩形形状的构件，例如由铝合金等金属材料形成。也可以利用CFRP·PEEK等树脂形成垫保持件4。

在垫保持件4的上表面的外周缘形成有壁状的立起部12。立起部12构成为：立起部12的内部尺寸比多孔质垫2的外部尺寸稍大，立起部12的高度比多孔质垫2的厚度稍低。

因而，当多孔质垫2配置于垫保持件4的立起部12的内侧的空间(凹部)时，多孔质垫2的上表面2a成为配置于比垫保持件4的立起部12的顶面稍微靠上方的位置的状态。

另外，本发明也可以是不具备立起部12的结构。

另外，在垫保持件4的上表面(凹部的底面)的内侧区域呈格子状(棋盘格状)地形成有截面矩形的槽(加压气体流路)14，被槽14划分成的部分被设为呈正方格子状排列的横截面为大致正方形的岛状的突起部16。岛状的突起部16与配置成格子状(棋盘格状)的槽14一起构成棋盘格状构造。各突起部16的顶面是平坦的，在中央开设有沿厚度方向贯通垫保持件4的连通孔18。

另外，由槽14形成的加压气体流路一体地连通，整体作为一条流路来发挥功能。

另外，本发明的格子的形态不限定于上述例子的正方格子。而且，岛状的突起部的横截面形状不限定于突起部16这样的大致正方形，也可以是其他长方形、三角形、多边形、圆形等。

在多孔质垫2配置于垫保持件4的立起部12的内侧的空间内的状态下利用粘接剂等将多孔质垫2和垫保持件4接合并固定起来。在不具备立起部12的结构中，在多孔质垫2与垫保持件4层叠的状态下利用粘接剂等将多孔质垫2与垫保持件4接合并固定起来。

在多孔质垫2配置于垫保持件4的立起部12的内侧的空间内时，突起部16构成为其顶面在气密状态下抵接于抽吸孔8的靠多孔质垫2的背面的大径部8b的开口端的周围的区域。

其结果，在多孔质垫2利用粘接剂固定于垫保持件4的立起部12的内侧的空间时，在多孔质垫2的背面与垫保持件4的上表面之间形成有被配置成格子状的槽14和覆盖该槽14的多孔质垫2划分成的封闭空间(加压气体流路)。

连通孔18具有与多孔质垫2的抽吸孔8的大径部8b的直径大致相同的直径，在多孔质垫2被容纳于垫保持件4的立起部12的内侧的空间内的预定位置时，连通孔18以沿厚度方向与形成于多孔质垫2的各抽吸孔8对齐的方式构成。

其结果，若多孔质垫2被容纳于垫保持件4的立起部12的内侧的空间，则多孔质垫2的抽吸孔8与垫保持件4的连通孔18可进行流体连通。

在垫保持件4形成有加压空气入口20，该加压空气入口20用于使由槽14形成的整个加压气体流路与外部空间连通起来，并向该加压气体流路导入加压空气。

利用这样的结构，在将多孔质垫2容纳并粘接固定于垫保持件4的立起部12的内侧的空间的状态下，若自加压空气入口20导入加压空气，则被导入了的加压空气向整个加压气体流路供给，加压空气进入到构成加压气体流路的上表面的多孔质垫2的细孔，并且透过多孔质垫2，进而自多孔质垫2的整个表面喷出。

此时，在多孔质垫2的表面的下方配置有格子状的槽14(加压气体流路)的部分处喷出的加压空气的量比在多孔质垫2的表面的下方未配置槽14(加压气体流路)的部分处喷出的加压空气的量多，或者在多孔质垫2的表面的下方配置有格子状的槽14(加压气体流路)的部分处喷出的加压空气的压力比在多孔质垫2的表面的下方未配置槽14(加压气体流路)的部分处喷出的加压空气的压力高。

基座6是连结于保持件4的背面侧的矩形形状的构件，例如，由铝合金等金属材料形成。基座6也能够由CFRP·PEEK等树脂形成。

如图1所示，基座6具有与垫保持件4的尺寸大致相同的尺寸，在平坦的上表面呈格子状地形成有截面矩形的基座槽22。因而，若垫保持件4的平坦的背面与基座6的上表面相接合，则利用格子状的基座槽22和覆盖该格子状的基座槽22的垫保持件4的背面形成格子状的封闭空间。

在垫保持件4与基座6相接合时，基座槽22配置为格子状的基座槽22的交点与形成于垫保持件4的连通孔18沿厚度方向对齐。

利用这样的结构，若多孔质垫2、垫保持件4以及基座6相连结，则多孔质垫2的抽吸孔8经由垫保持件4的连通孔18与形成于基座6与垫保持件4之间的格子状的封闭空间的交点相连通。

另外，在基座6的外周形成有真空孔24，该真空孔24是用于使基座槽22与基座6的外部的真空源相连通的通孔。

利用这样的结构，在将多孔质垫2、垫保持件4以及基座6连结起来的状态下，若自真空孔24进行真空抽吸，则经由垫保持件4的连通孔18自多孔质垫2的各抽吸孔8进行抽吸，能够将多孔质垫2上的工件吸向多孔质垫2。

此外，各抽吸孔8与格子状的封闭空间相连通，因此各抽吸孔的抽吸状态相同。

垫保持件4和基座6利用螺钉、螺栓等连结件连结起来。沿着基座6的上表面的外周形成槽，在该槽内配置O型密封圈，从而能够使基座6的格子状的基座槽22成为封闭状态，能够将垫保持件4和基座6连结起来。另外，也可以是利用粘接剂将垫保持件4和基座6连结起来的结构。

具有这样的结构的非接触吸附盘在使用时能够以如下的方式进行工件的非接触吸附：在将多孔质垫2、垫保持件4以及基座6连结起来的状态下，将加压空气自加压空气入口20导入由槽14和多孔质垫2形成的加压气体流路，并且自基座6的真空孔进行真空抽吸，从而在使工件在多孔质垫2上悬浮的状态下吸附该工件。

接下来，按照图2详细地说明非接触吸附。

如上所述，在使用时，若从由垫保持件4的槽14和多孔质垫2形成的加压气体流路的外部的压缩空气源导入加压空气，则加压空气经由多孔质垫2的细孔进入到多孔质垫2内，如图2的箭头P所示，加压空气自多孔质垫2的表面2a喷出。在如图2的箭头P所示那样喷出的加压空气的作用下，工件W自垫2的表面(吸附面)2a悬浮。

另一方面，通过在导入加压空气的同时自基座6的真空孔24进行真空抽吸，从而如箭头V所示那样自多孔质垫2的各抽吸孔8抽吸在垫的表面(吸附面)上悬浮着的工件W。其结果，在加压空气所产生的浮力和真空抽吸所产生的抽吸力平衡的、自吸附面2a向上方离开了预定距离G的位置，工件W被非接触吸附固定。

抽吸孔8的间隔能够在例如25mm～8mm的范围内适当地改变。间隔越小，吸附精度越高。例如，若将间隔自20mm变为12mm，则精度成为1.5倍。

另外，抽吸孔8的小径部8a的直径能够在例如0.8mm～0.1mm的范围内适当地改变。直径越小，吸附精度越高。例如，若将直径自0.6mm变为0.3mm，则精度成为1.5倍。

而且，截面矩形的槽(加压气体流路)14的宽度能够在例如8.0mm～1.0mm的范围内适当地改变。宽度越小，吸附精度越高。例如，若将宽度自4.0mm变为2.0mm，则精度成为1.5倍。

通过将抽吸孔8的间隔、抽吸孔8的小径部8a的直径以及加压气体流路14的宽度变为上述的较小的值，吸附保持了厚度0.1mm的玻璃(工件)时的预定距离G的偏差为1/3～1/4左右，吸附精度变高。另外，在厚度为0.05mm的膜中，吸附保持了该膜时的预定距离G的偏差为1/4～1/5左右。

在使用这样的结构的非接触吸附盘构成本发明的非接触输送装置的情况下，可附加使悬浮着的工件W沿着吸附面2a移动的机械手等。

接下来，说明本发明的优选的技术方案的非接触输送装置。

在本发明的非接触输送装置中，通过沿工件输送方向排列具有非接触吸附盘1这样的基本结构的非接触吸附盘来形成输送路径，在该输送路径上使薄板状的工件悬浮吸附，并且利用机械手等移送部件沿输送路径输送工件。

图3是表示本发明的第1实施方式的非接触输送装置30的非接触吸附盘的配置的附图。此外，图3的箭头A表示的方向是工件输送方向。

在图3所示的第1实施方式的非接触输送装置30中，输送方向上游侧的第1非接触吸附盘32和输送方向下游侧的第2非接触吸附盘34沿着输送方向以接触状态排列。

第1非接触吸附盘32和第2非接触吸附盘34具备与上述的非接触吸附盘1同样的结构，在最上部的多孔质垫2呈正方格子状地形成有抽吸孔8。而且，如多孔质垫2上的虚线所示(以下，在其他实施方式的附图中也是同样)，在多孔质垫2的下方的垫保持件形成有格子状的加压气体流路14。

在本实施方式中，在第1非接触吸附盘32和第2非接触吸附盘34相互接触的接触部(连接区域)，第1非接触吸附盘32和第2非接触吸附盘34这两者的加压气体流路14终止于端部宽度方向流路36，该端部宽度方向流路36配置为沿着第1非接触吸附盘32和第2非接触吸附盘34彼此相对的边(即，沿作为与输送方向正交的方向的宽度方向)延伸。

而且，在第1非接触吸附盘32的设于最靠近接触部的那一侧的抽吸孔8和第2非接触吸附盘34的设于最靠近接触部的那一侧的抽吸孔8之间的距离d1设定为比第1非接触吸附盘32中的抽吸孔之间的距离d2和第2非接触吸附盘34中的抽吸孔之间的距离d2长。

利用这样的结构，第1非接触吸附盘32的连接部处的抽吸孔8和第2非接触吸附盘34的连接部处的抽吸孔8之间的间隔比其他部分处的抽吸孔8之间的间隔大，而且，格子状的加压气体流路14终止于以沿宽度方向延伸的方式配置的端部流路36，因此自第1非接触输送装置32向第2非接触输送装置34转移时，工件、特别是工件顶端较大程度地上浮。

图4是表示第1实施方式的变形例的非接触输送装置30’的非接触吸附盘32’、34’的配置的附图。此外，在图4中，箭头A表示的方向也是工件输送方向。

除了输送方向上游侧的第1非接触吸附盘32’和输送方向下游侧的第2非接触吸附盘34’沿输送方向分开了预定距离地排列这一方面，图4所示的非接触输送装置30’具备与非接触输送装置30相同的结构。

另外，在本说明书中，沿输送方向分开了预定距离地排列的状态也包含于“连接”中。

在这样的结构中，在自第1非接触输送装置32’向第2非接触输送装置34’转移时，工件、特别是工件顶端也较大程度地上浮。因此，对于在第1非接触输送装置32’与第2非接触输送装置34’之间的分界的间隙或者间隙的下方配置传感器等设备的结构等较有效。

图5是表示本发明的第2实施方式的非接触输送装置的非接触吸附盘40的配置的附图。此外，图5的箭头A表示的方向是工件输送方向。

在图5所示的第2实施方式的非接触输送装置40中，输送方向上游侧的第1非接触吸附盘42和输送方向下游侧的第2非接触吸附盘44沿着输送方向以接触状态排列。

第1非接触吸附盘42和第2非接触吸附盘44具备与上述的非接触吸附盘1同样的结构，在最上部的多孔质垫2呈正方格子状地形成有抽吸孔8。而且，如多孔质垫2上的虚线所示，在多孔质垫2的下方的垫保持件形成有格子状的加压气体流路14。

在本实施方式中，在第1非接触吸附盘42和第2非接触吸附盘44相互接触的接触部(连接区域)内，第1非接触吸附盘42和第2非接触吸附盘44这两者的加压气体流路14终止于以沿宽度方向延伸的方式配置的端部宽度方向流路46。

而且，在本实施方式中，端部流路46的宽度被设定为4mm左右，比加压气体流路14的其他部分窄。

图6是表示第2实施方式的变形例的非接触输送装置40’的非接触吸附盘42’、44’的配置的附图。此外，在图6中，箭头A表示的方向也是工件输送方向。

除了输送方向上游侧的第1非接触吸附盘42’和输送方向下游侧的第2非接触吸附盘44’沿输送方向分开了预定距离地排列这一方面，图6所示的非接触输送装置40’具备与非接触输送装置40相同的结构。

利用这样的结构，在工件自第1非接触吸附盘42’向第2非接触吸附盘44’转移时，该工件的顶端被朝向上方抬升，之后，该工件在形成于第1非接触吸附盘42’和第2非接触吸附盘44’之间的间隙处由于自重被朝下方施力，因此该工件能够在维持着高度位置的状态下向第2非接触吸附盘44’转移。

图7是表示本发明的第3实施方式的非接触输送装置的非接触吸附盘50的配置的附图。此外，图7的箭头A表示的方向是工件输送方向。

在图7所示的第3实施方式的非接触输送装置50中，输送方向上游侧的第1非接触吸附盘52和输送方向下游侧的第2非接触吸附盘54沿着输送方向以接触状态排列。

第1非接触吸附盘52和第2非接触吸附盘54具备与上述的非接触吸附盘1同样的结构，在最上部的多孔质垫2呈正方格子状地形成有抽吸孔8。而且，如多孔质垫2上的虚线所示，在多孔质垫2的下方的垫保持件形成有格子状的加压气体流路14。

在本实施方式中，在第1非接触吸附盘52和第2非接触吸附盘54相互接触的接触部(连接区域)内，输送方向上游侧的第1非接触吸附盘52的保持件的格子状的加压气体流路终止于以沿宽度方向延伸的方式配置的端部宽度方向流路56。

而且，在第1非接触吸附盘52和第2非接触吸附盘54相互接触的接触部(连接区域)内，输送方向下游侧的第2非接触吸附盘54的保持件的格子状的加压气体流路终止于沿输送方向延伸的端部输送方向流路58。

而且，在第1非接触吸附盘52和第2非接触吸附盘54中，在以图7的状态进行了接触配置时，第1非接触吸附盘52的设于最靠近接触部的那一侧的抽吸孔8和第2非接触吸附盘54的设于最靠近接触部的那一侧的抽吸孔8之间的距离d3被设定为与在第1非接触吸附盘52内相邻的抽吸孔之间的距离和在第2非接触吸附盘54内相邻的抽吸孔之间的距离相等。

利用这样的结构，在自第1非接触吸附盘52到第2非接触吸附盘54的范围内，抽吸孔8以大致等间距进行设置，并且，抽吸孔8和宽度方向上的加压气体流路交替进行配置，因此工件能够在维持着高度位置的状态下自第1非接触吸附盘52向第2非接触吸附盘54转移。

图8是表示第3实施方式的变形例的非接触输送装置50’的非接触吸附盘52’、54’的配置的附图。此外，在图7中，箭头A表示的方向也是工件输送方向。

除了第1非接触吸附盘52’和第2非接触吸附盘54’沿输送方向分开了预定距离地排列这一方面，图8所示的非接触输送装置50’具备与图7的非接触输送装置50相同的结构。

图9是表示本发明的第4实施方式的非接触输送装置60的非接触吸附盘62、640的配置的附图。此外，图9的箭头A表示的方向是工件输送方向。

在图9所示的第4实施方式的非接触输送装置60中，第1非接触吸附盘62和第2非接触吸附盘64沿着输送方向以接触状态排列。

第1非接触吸附盘62和第2非接触吸附盘64具备与上述的非接触吸附盘1同样的结构，在最上部的多孔质垫2呈正方格子状地形成有抽吸孔8。而且，如多孔质垫2上的虚线所示，在多孔质垫2的下方的垫保持件形成有格子状的加压气体流路14。

在本实施方式中，对于第1非接触吸附盘62和第2非接触吸附盘64，抽吸孔和宽度方向上的加压气体通路在宽度方向(即，与输送方向正交的方向)上的一侧(图9下侧)和另一侧(图9上侧)沿输送方向错开半个间距地配置。

而且，在本实施方式中，第1非接触吸附盘62的保持件的格子状的加压气体流路在宽度方向上的一侧(图9下侧)终止于沿宽度方向延伸的端部宽度方向流路66，在宽度方向上的另一侧(图9上侧)终止于沿输送方向延伸的端部输送方向流路68。

即，在本实施方式中，第1非接触吸附盘62的保持件的格子状的加压气体流路在宽度方向上的一侧(图9下侧)终止于封闭的矩形部分，在宽度方向上的另一侧(图9上侧)终止于朝输送方向下游侧开放的矩形部分。

其结果，在第1非接触吸附盘62，加压气体流路配置成交错状。

而且，在本实施方式中，第2非接触吸附盘64的保持件的格子状的加压气体流路在宽度方向上的一侧(图9下侧)终止于沿输送方向延伸的端部输送方向流路68，在宽度方向上的另一侧(图9上侧)终止于沿宽度方向延伸的端部宽度方向流路66。

即，在本实施方式中，第2非接触吸附盘64的保持件的格子状的加压气体流路在宽度方向上的一侧(图9上侧)终止于封闭的矩形部分，在宽度方向上的另一侧(图9下侧)终止于朝输送方向上游侧开放的矩形部分。

其结果，在第2非接触吸附盘64，加压气体流路也配置成交错状。

而且，在本实施方式中，如图9所示，第1非接触吸附盘62和第2非接触吸附盘64排列为配置成交错状的加压气体流路相对地成为相辅相成的配置。

即，上游侧的第1非接触吸附盘62的加压气体流路的封闭的矩形部分配置为沿着输送方向与下游侧的第2非接触吸附盘64的加压气体流路的朝输送方向上游侧开放的矩形部分对齐。而且，上游侧的第1非接触吸附盘62的加压气体流路的朝输送方向下游侧开放的矩形部分配置为沿着输送方向与下游侧的第2非接触吸附盘64的加压气体流路的封闭的矩形部分对齐。

利用这样的结构，在第1非接触吸附盘62和第2非接触吸附盘64的连接部内，抽吸孔与宽度方向上的加压气体流路也以等间距进行配置，因此工件能够在维持着高度位置的状态下自第1非接触吸附盘62向第2非接触吸附盘64转移。

图10是表示第4实施方式的变形例的非接触输送装置60’的非接触吸附盘62’、64’的配置的附图。此外，在图10中，箭头A表示的方向也是工件输送方向。

除了输送方向上游侧的第1非接触吸附盘62’和输送方向下游侧的第2非接触吸附盘64’沿输送方向分开了预定距离地排列这一方面，图10所示的非接触输送装置60’具备与非接触输送装置60相同的结构。

在这样的结构中，对于第1非接触吸附盘62’和第2非接触吸附盘64’的连接部，也能够以等间距配置抽吸孔和宽度方向上的加压气体流路，由此，工件能够在维持着高度位置的状态下自第1非接触吸附盘62’向第2非接触吸附盘64’转移。

图11和图12是表示非接触输送装置的非接触吸附盘的其他配置例的附图。

在图11的非接触输送装置70中，使非接触吸附盘以长边沿着工件的输送方向的方式取向，排列成8行2列。在该结构中，非接触吸附盘的列之间分开，加压气体流路在输送方向上的关系成为与图4的形态同样的配置。

在图12的非接触输送装置80中，使非接触吸附盘以短边沿着工件的输送方向的方式取向，排列成2行4列。在该结构中，非接触吸附盘的列之间分开，加压气体流路的配置成为与图4的形态同样的配置。

图11所示的非接触输送装置70和图12所示的非接触输送装置80具备配置于非接触吸附盘的上下游的多个悬浮装置90。该悬浮装置90例如是利用自多孔质板喷出的加压空气使工件悬浮的形式的悬浮装置。

在非接触输送装置70、80中，各非接触吸附盘以呈筏状地连结固定于多根杆上或者固定于大型的基板上等的方式排列成预定状态。

在该非接触输送装置70、80中，在位于某一非接触吸附盘侧的侧缘部(侧方侧的接触区域)，以接触状态配置于某一非接触吸附盘的宽度方向侧方的另一非接触吸附盘的加压气体流路终止于沿与非接触吸附盘的长度方向正交的方向(W方向)延伸的槽(宽度方向槽)。以图13为例说明该结构。

图13所示的结构具备如下结构：第1追加非接触吸附盘62”和第2追加非接触吸附盘64”分别以接触状态配置于构成图10的非接触输送装置60’的各非接触吸附盘62’、64’的侧方。

在与非接触吸附盘62’、64’接触配置的第1追加非接触吸附盘62”、64”中，在一侧的接触区域即第1追加非接触吸附盘62”、64”的与非接触吸附盘62’、64’接触的接触区域中，加压流体槽(加压气体流路)14终止于沿与输送方向正交的方向(W方向)延伸的槽(宽度方向槽)66”。

另外，在第1追加非接触吸附盘62”、64”的另一侧的接触区域即第1追加非接触吸附盘62”、64”的与第2追加非接触吸附盘62”、64”接触的接触区域中，加压流体槽(加压气体流路)14终止于沿输送方向延伸的槽68”。

而且，在与第1追加非接触吸附盘62”、64”的另一侧接触配置的第2追加非接触吸附盘62”、64”中，在一侧的接触区域即第2追加非接触吸附盘62”、64”的与第1追加非接触吸附盘62”、64”接触的接触区域中，加压流体槽(加压气体流路)14终止于沿与输送方向正交的方向(W方向)延伸的槽(宽度方向槽)66”。

另外，在第2追加非接触吸附盘62”、64”的另一侧，加压流体槽14终止于沿输送方向延伸的槽68”。

在该结构中，相邻的非接触吸附盘之间的抽吸孔8的宽度方向(W方向)上的间隔d4设定为与同一非接触吸附盘内的抽吸孔8的宽度方向(W方向)上的间隔d5大致相等。

即，在非接触吸附盘62’的靠第1追加非接触吸附盘62”侧的抽吸孔8和与非接触吸附盘62’接触配置的第1追加非接触吸附盘62”的靠非接触吸附盘62’侧的抽吸孔8之间的、宽度方向(W方向)上的间隔d4构成为与各非接触吸附盘62’、62”内的抽吸孔8之间的宽度方向(W方向)上的间隔d5大致相等。

另外，进一步地，彼此相等的所述d4、d5构成为也与非接触吸附盘内的相邻的抽吸孔8的长度方向上的间隔d6相等。

接下来，说明本发明的第5实施方式的非接触输送装置90。

图14是表示本发明的第5实施方式的非接触输送装置90的非接触吸附盘92、94的配置的附图。此外，图14的箭头A表示的方向是工件输送方向。

在图14所示的第5实施方式的非接触输送装置90中，第1非接触吸附盘92和第2非接触吸附盘94沿着输送方向以分开了预定距离的状态排列。

第1非接触吸附盘92和第2非接触吸附盘94具备与上述的非接触吸附盘1同样的基本结构。如多孔质垫2上的虚线所示，在多孔质垫2的下方的垫保持件4形成有格子状的加压气体流路14。另外，与上述的非接触吸附盘1同样地，第1非接触吸附盘92和第2非接触吸附盘94具备形成于多孔质垫的多个抽吸孔8。

与上述的非接触吸附盘1之间的不同点在于：第1非接触吸附盘92和第2非接触吸附盘94除了加压气体流路14之外还具备与该加压气体流路14分开的独立加压气体流路96这一方面，以及具备成为与抽吸孔8的抽吸状态不同的抽吸状态的独立抽吸孔98这一方面。

以下，详细地说明该不同点。

如上所述，在第5实施方式的非接触输送装置所使用的第1非接触吸附盘92和第2非接触吸附盘94中，独立加压气体流路96在与另一非接触吸附盘94、92相连接的那一侧的边缘部以与输送方向A正交地延伸的方式形成。详细地说，对于第1非接触吸附盘92和第2非接触吸附盘94，各独立加压气体流路96在与另一非接触吸附盘94、92相连接的连接区域设于加压气体流路14的终止部的端(顶端)侧。

如图15所示，各独立加压气体流路96由独立供气槽96形成，该独立供气槽96形成为在垫保持件4与槽14相分开即不与加压气体流路14相连通的状态(在图15中，对于非接触吸附盘92，为了明确地表示独立供气槽96而省略了其他结构。)。其结果，能够向独立加压气体流路96供给流量、压力与加压气体流路14的流量、压力不同的加压流体。

而且，在第5实施方式的非接触输送装置所使用的第1非接触吸附盘92和第2非接触吸附盘94中，排列在与另一非接触吸附盘94、92相连接的那一侧的抽吸孔构成为成为与其他抽吸孔8的抽吸状态不同的抽吸状态的独立抽吸孔98。详细地说，第1非接触吸附盘92的位于最靠另一非接触吸附盘94侧(前端侧)的位置的抽吸孔构成为独立抽吸孔98，第2非接触吸附盘94的位于最靠另一非接触吸附盘92侧(顶端侧)的位置的抽吸孔构成为独立抽吸孔98。

如图15所示，各独立抽吸孔98与抽吸槽100相连通，该抽吸槽100与基座6的供各抽吸孔8连通的基座槽22不同。(在图15中，对于非接触吸附盘94，为了明确地表示独立抽吸孔98、抽吸槽100而省略了其他结构。)。其结果，独立抽吸孔98能够成为与其他抽吸孔8的抽吸状态不同的抽吸状态。

利用这样的结构，能够在沿输送方向串联配置的两张非接触吸附盘92、94的连接区域实现与其他区域的抽吸状态不同的抽吸状态。因此，通过适当地调整向加压气体流路14和独立加压气体流路96的加压气体供给状态，进而适当地调整自抽吸孔8和独立抽吸孔98的抽吸状态，能够在两张非接触吸附盘92、94之间顺利地进行薄板状工件的转移等。

此外，在第5实施方式的非接触输送装置所使用的非接触吸附盘92、94中，独立加压气体流路96在与另一非接触吸附盘94、92相连接的那一侧的边缘部以与输送方向A正交地延伸的方式形成。然而，在本发明的非接触输送装置中使用的非接触吸附盘的独立加压气体流路96的结构并不限定于此。

例如，可以是如图16所示那样以沿非接触吸附盘的整个周缘延伸的方式设有独立加压气体流路102的结构，也可以是如图17所示那样以沿非接触吸附盘的两侧缘延伸的方式设有独立加压气体流路104的结构。

在图17的结构中，能够独立地控制工件的两侧缘的浮力。因此，通过使工件的两侧缘的浮力相对地变小或者变大，能够使工件在与输送方向正交的方向上成为凸状或者凹状，并以非接触状态吸附保持该工件。

而且，可以是如图18所示那样在非接触吸附盘的宽度方向中央以沿长度方向延伸的方式设有独立加压气体流路106的结构，也可以是如图19所示那样在非接触吸附盘的顶端侧区域的宽度方向中央设有矩形形状的独立加压气体流路108的结构。

在图18的结构中，能够独立地控制工件的在宽度方向中央部处的浮力。因此，通过使工件的在宽度方向中央部处的浮力相对地变大或者变小，能够使工件在与输送方向正交的方向上成为凸状或者凹状，并以非接触状态吸附保持该工件。

而且，也可以是如下非接触吸附盘，该非接触吸附盘将图17所示的结构与图18所示的结构结合起来，具备沿着非接触吸附盘的两侧缘延伸的独立加压气体流路和在宽度方向中央沿长度方向延伸的独立加压气体流路。

这些独立加压气体流路102、104、106、108也与独立加压气体流路100同样地由独立供气槽构成，该独立供气槽形成为在垫保持件4与槽14分开即不与加压气体流路14连通的状态。

另外，在图16～图19所示的实施方式中，优选的是，将配置于独立加压气体流路的周围的抽吸孔设为独立抽吸孔。

利用这样的结构，能够在形成有独立加压气体流路、独立抽吸孔的区域实现与其他区域的抽吸状态不同的抽吸状态。

也能够将在上述本发明的各实施方式及其变形例的非接触输送装置中使用的非接触吸附盘作为用于以非接触状态保持工件的非接触吸附盘而单独使用。

接下来，说明本发明的其他形态的非接触吸附盘。

图20是表示本发明的另一形态的非接触吸附盘120的概略的俯视图。图20所示的非接触吸附盘120的外形是圆形的，但该非接触吸附盘120具备与所述非接触吸附盘1同样的基本结构，包括多孔质垫122、垫保持件以及基座6。非接触吸附盘120也与所述的非接触吸附盘1同样地非接触吸附薄板状的工件，但作为薄板状的工件吸附保持装置而单独使用。

对于非接触吸附盘120，在多孔质垫122也形成有与非接触吸附盘1的抽吸孔8同样的抽吸孔124。而且，设有与非接触吸附盘1的加压气体流路14同样的加压气体流路126。此外，对于非接触吸附盘120，如多孔质垫上的虚线所示，加压气体流路126由环状和放射状部分一体地构成。

在非接触吸附盘120中，在垫保持件的周缘部设有与加压气体流路126分开的环状的独立加压气体流路128。独立加压气体流路128与第5实施方式的独立加压气体流路96同样地构成为：不与加压气体流路126连通，能够供给流量、压力等与向加压气体流路126供给的加压气体的流量、压力等不同的加压气体。

其结果，在利用非接触吸附盘120吸附保持圆形的工件的情况下，能够仅使工件的外缘部的抽吸相对地增强或者渐弱，从而将工件非接触地吸附保持为凸状或者凹状等。

在非接触吸附盘120中，抽吸孔124成为全部相同的抽吸状态，但也可以如上述第5实施方式那样成为将一部分抽吸孔设为独立抽吸孔的结构。

图21是表示所述本发明的另一形态的非接触吸附盘120的变形例的非接触吸附盘130的附图。

图21所示的非接触吸附盘130在以下方面与非接触吸附盘120不同：将在非接触吸附盘120中一体地构成的加压气体流路126分为中心部的第1加压气体流路132和径向中间部的第2加压气体流路134，能够分别向第1加压气体流路132和第2加压气体流路134供给不同流量、不同压力的加压气体。

即，在非接触吸附盘130中，中央部的第1加压气体流路132、径向中间部的第2加压气体流路134以及径向外侧部的独立加压气体流路128这三个系统的加压气体流路分别独立地设置。

而且，抽吸孔也构成为，使中心部的第1抽吸孔136、径向中间部的第2抽吸孔138以及径向外侧部的第3抽吸孔140成为各自独立的抽吸状态。

利用这样的结构，通过适当地调整向各加压气体流路供给的加压气体供给状态和自各抽吸孔抽吸的抽吸状态，能够使工件的吸附保持状态最佳化。

不限定于本发明的所述实施方式，能够在权利要求书所记载的技术思想的范围内进行各种改变、变形。

另外，在上述实施方式中，使用了加压空气作为加压流体，但也可以代替加压空气而使用加压了的其他流体，例如水、油、氮气、氩气等。

Claims (20)

1.一种非接触输送装置，其以非接触状态吸附并输送薄板状的工件，其特征在于，

该非接触输送装置具备沿输送方向排列的第1非接触吸附盘和第2非接触吸附盘，

所述第1非接触吸附盘和所述第2非接触吸附盘分别包括：

多孔质垫，其呈矩形形状，在该多孔质垫呈格子状地配置有沿厚度方向贯通该多孔质垫地延伸的多个抽吸孔；以及

保持件，其是连结于所述多孔质垫的背面的矩形形状的保持件，在该保持件的表面形成有格子状的加压气体流路以及被该加压气体流路划分成的呈格子状排列的多个岛状部分，该保持件具备与所述抽吸孔相对应地设置并沿厚度方向贯通所述岛状部分地延伸的连通孔，在该保持件连结于所述多孔质垫时，在所述连通孔与所述多孔质垫的抽吸孔相连通的状态下，所述岛状部分的顶面紧贴于所述多孔质垫的背面，

在配置于输送方向上游侧的所述第1非接触吸附盘的与配置于输送方向下游侧的所述第2非接触吸附盘相连接的连接区域内，配置于输送方向上游侧的所述第1非接触吸附盘的保持件的格子状的加压气体流路的至少一部分终止于以沿与所述输送方向正交的方向延伸的方式配置的端部宽度方向流路。

2.根据权利要求1所述的非接触输送装置，其中，

在所述第2非接触吸附盘的与所述第1非接触吸附盘相连接的连接区域内，所述第2非接触吸附盘的保持件的格子状的加压气体流路的至少一部分终止于以沿所述输送方向延伸的方式配置的端部输送方向流路。

3.根据权利要求1所述的非接触输送装置，其中，

在所述第1非接触吸附盘的与所述第2非接触吸附盘相连接的连接区域内，所述第1非接触吸附盘的保持件的格子状的加压气体流路的至少一部分终止于以沿所述输送方向延伸的方式配置的端部输送方向流路。

4.根据权利要求1所述的非接触输送装置，其中，

在所述第2非接触吸附盘的与所述第1非接触吸附盘相连接的连接区域内，所述第2非接触吸附盘的保持件的格子状的加压气体流路的至少一部分终止于以与所述输送方向正交地延伸的方式配置的端部宽度方向流路。

5.根据权利要求1所述的非接触输送装置，其中，

在所述第1非接触吸附盘的与所述第2非接触吸附盘相连接的连接区域内，所述第1非接触吸附盘的保持件的格子状的加压气体流路的至少一部分终止于以与所述输送方向正交地延伸的方式配置的端部宽度方向流路。

6.根据权利要求1所述的非接触输送装置，其中，

所述第1非接触吸附盘和所述第2非接触吸附盘这两者的保持件的格子状的加压气体流路具备交替配置的、终止于封闭的矩形部分的部分和终止于开放的矩形部分的部分，

所述第1非接触吸附盘和所述第2非接触吸附盘配置为：一非接触吸附盘的所述加压气体流路的开放的矩形部分与另一非接触吸附盘的所述加压气体流路的封闭的矩形部分沿输送方向对齐。

7.根据权利要求1～6中任一项所述的非接触输送装置，其中，

所述第1非接触吸附盘的保持件具备与所述第1非接触吸附盘的加压气体流路分开的独立加压气体流路。

8.根据权利要求7所述的非接触输送装置，其中，

在所述第1非接触吸附盘的与所述第2非接触吸附盘相连接的连接区域内，所述第1非接触吸附盘的独立加压气体流路设于所述第1非接触吸附盘的加压气体流路的终止部的侧缘侧。

9.根据权利要求1～6中任一项所述的非接触输送装置，其中，

所述第2非接触吸附盘的保持件具备与所述第2非接触吸附盘的加压气体流路分开的独立加压气体流路。

10.根据权利要求9所述的非接触输送装置，其中，

在所述第2非接触吸附盘的与所述第1非接触吸附盘相连接的连接区域内，所述第2非接触吸附盘的独立加压气体流路设于所述第2非接触吸附盘的加压气体流路的终止部的侧缘侧。

11.根据权利要求1～6中任一项所述的非接触输送装置，其中，

所述多孔质垫具备成为与所述抽吸孔的抽吸状态不同的抽吸状态的独立抽吸孔。

12.根据权利要求11所述的非接触输送装置，其中，

所述独立抽吸孔配置于一非接触吸附盘的与另一非接触吸附盘相连接的连接区域内。

13.根据权利要求1～6中任一项所述的非接触输送装置，其中，

所述第1非接触吸附盘和所述第2非接触吸附盘相互接触地配置。

14.根据权利要求1～6中任一项所述的非接触输送装置，其中，

所述第1非接触吸附盘和所述第2非接触吸附盘分开地配置。

15.一种非接触吸附盘，其以非接触状态吸附薄板状的工件，其特征在于，

该非接触吸附盘包括：多孔质垫，其呈矩形形状，在该多孔质垫配置有沿厚度方向贯通该多孔质垫地延伸的多个抽吸孔；以及

保持件，其是连结于所述多孔质垫的背面的保持件，在该保持件的表面形成有加压气体流路以及被该加压气体流路划分成的多个岛状部分，该保持件具备与所述抽吸孔对齐地设置并沿厚度方向贯通所述岛状部分地延伸的连通孔，在该保持件连结于所述多孔质垫时，在所述连通孔与所述多孔质垫的抽吸孔相连通的状态下，所述岛状部分的顶面紧贴于所述多孔质垫的背面，

在所述保持件的所述表面还形成有与所述加压气体流路分开的独立加压气体流路。

16.根据权利要求15所述的非接触吸附盘，其中，

所述独立加压气体流路以与所述非接触吸附盘的边缘部相邻的方式配置。

17.根据权利要求15或16所述的非接触吸附盘，其中，

所述多孔质垫具备成为与所述抽吸孔的抽吸状态不同的抽吸状态的独立抽吸孔。

18.根据权利要求15或16中任一项所述的非接触吸附盘，其中，

所述独立加压气体流路形成有多个，

各独立加压气体流路相互分开。

19.一种非接触输送装置，其特征在于，

该非接触输送装置具备权利要求15或16所述的非接触吸附盘。

20.根据权利要求19所述的非接触输送装置，其中，

相邻地配置的所述非接触吸附盘以所述边缘部彼此相邻的方式配置。