CN105695935A - 有机层沉积组件、沉积装置及有机发光显示装置制造方法 - Google Patents

Abstract

本发明的实施方式公开了有机层沉积组件、有机层沉积装置及有机发光显示装置的制造方法。该有机层沉积组件用于将沉积物质沉积到衬底上，其特征在于，包括放射所述沉积物质的沉积源、布置于沉积源的一侧并且形成有多个沉积源喷嘴的沉积源喷嘴部、以及布置成与沉积源喷嘴部相对并且形成有多个图案化狭缝的图案化狭缝片，其中，衬底形成为与有机层沉积组件一定程度地相隔开以能够相对于有机层沉积组件相对移动，从沉积源放射的沉积物质通过图案化狭缝片并在衬底上形成图案的同时被沉积，多个图案化狭缝包括供沉积物质通过的多个开口部和形成于多个开口部之间的肋，多个肋的宽度为0.6mm至0.7mm。

Description

有机层沉积组件、沉积装置及有机发光显示装置制造方法

技术领域

本发明的实施方式涉及装置及方法，具体地，涉及有机层沉积组件、包括有机层沉积组件的有机层沉积装置及使用有机层沉积装置的有机发光显示装置制造方法。

背景技术

在显示装置中，有机发光显示装置不仅具有视角宽、对比度优异的优点，而且还具有响应速度快的优点，由此作为下一代显示元件而备受瞩目。

有机发光显示装置在彼此相对的第一电极与第二电极之间设置有发光层和包括其的中间层。此时，可通过各种方法形成上述电极和中间层，其中的一种方法为独立沉积方式。为了使用沉积方法制造有机发光显示装置，需要将具有与待形成的有机层等的图案相同的图案的精细金属掩模(finemetalmask：FMM)紧贴于待形成有有机层等的衬底面上，并沉积用于形成有机层等的材料以形成一定图案的有机层。

然而，对于使用大型母体玻璃(mother-glass)来使有机发光显示装置大面积化而言，这种使用精细金属掩模的方法存在着并不适用的局限。这是因为，当使用大面积掩模时，会发生因自身重量而导致掩模的弯曲现象，而因这种弯曲而可能导致发生图案的扭曲。这与要求图案高精度的当前趋势背驰。

不仅如此，在对齐并紧贴衬底和精细金属掩模并执行沉积后，在再次将衬底与精细金属掩模分离的过程中将消耗相当长的时间，由此存在着耗时长且生产效率低下的问题。

上述的背景技术是发明人为得出本发明而拥有或者在得出本发明的过程中习得的技术信息，并不一定是在本发明的申请前已公开于一般公众的公知技术。

发明内容

本发明的实施方式提供有机层沉积组件、包括其的有机层沉积装置以及使用其的有机发光显示装置的制造方法。

本发明的实施方式公开了有机层沉积组件，该有机层沉积组件用于将沉积物质沉积到衬底上，该有机层沉积组件包括放射沉积物质的沉积源、布置于沉积源的一侧并形成有多个沉积源喷嘴的沉积源喷嘴部、以及布置成与沉积源喷嘴部相对并形成有多个图案化狭缝的图案化狭缝片，其中，衬底形成为与有机层沉积组件一定程度地相隔开以能够相对于有机层沉积组件相对移动，从沉积源放射的沉积物质通过图案化狭缝片并在衬底上形成图案的同时被沉积，多个图案化狭缝包括沿着图案化狭缝的长度方向延伸而成并且沿图案化狭缝的长度方向和宽度方向连续地布置有多个以供沉积物质通过的多个开口部、和形成于各个开口部之间的、沿图案化狭缝的长度方向相隔开的空间中的多个肋，其中，各个肋在图案化狭缝的长度方向上的宽度为0.65mm。

在本实施方式中，其特征可在于，图案化狭缝片在作为图案化狭缝片的长度方向的第一方向和作为图案化狭缝片的宽度方向的第二方向中至少任一方向上形成为比衬底小。

在本实施方式中，其特征可在于，图案化狭缝片中沿着作为图案化狭缝片的长度方向的第一方向形成有多个图案化狭缝，沉积源喷嘴部中沿着作为图案化狭缝片的宽度方向的第二方向形成多个沉积源喷嘴。

在本实施方式中，其特征可在于，沉积源和沉积源喷嘴部与图案化狭缝片通过连接部件结合以形成为一体。

在本实施方式中，其特征可在于，连接部件引导沉积物质的移动路径。

在本实施方式中，其特征可在于，连接部件形成为从外部密封沉积源和沉积源喷嘴部与图案化狭缝片之间的空间。

本发明的另一个实施方式公开了有机层沉积装置，该有机层沉积装置包括移送部、装载部、沉积部和卸载部，其中，移送部包括固定衬底并形成为能够与固定的衬底一同移动的移动部、第一移送部，沿着第一方向移动固定有衬底的移动部、和沿着第一方向的相反方向移动已完成沉积并分离了衬底的移动部的第二移送部，装载部将衬底固定到移动部，沉积部包括保持真空的腔室、和将有机层沉积到固定于从装载部移送过来的移动部上的衬底的一个以上的有机层沉积组件，卸载部从移动部分离已通过沉积部并完成沉积的衬底，其中，移动部形成为能够在第一移送部与第二移送部之间循环，固定于移动部的衬底形成为在通过第一移送部移动期间与有机层沉积组件一定程度地相隔开，有机层沉积组件包括放射沉积物质的沉积源、布置于沉积源的一侧并形成有多个沉积源喷嘴的沉积源喷嘴部、以及布置成与沉积源喷嘴部相对并形成有多个图案化狭缝的图案化狭缝片，其中，衬底形成为与有机层沉积组件一定程度地相隔开以能够相对于有机层沉积组件相对移动，从沉积源放射的沉积物质通过图案化狭缝片并在衬底上形成图案的同时被沉积，多个图案化狭缝包括沿着图案化狭缝的长度方向延伸而成并且沿图案化狭缝的长度方向和宽度方向连续地布置有多个以供沉积物质通过的多个开口部、和形成于各个开口部之间的、沿图案化狭缝的长度方向相隔开的空间中的多个肋，其中，各个肋在图案化狭缝的长度方向上的宽度为0.65mm。

在本实施方式中，其特征可在于，第一移送部和第二移送部被设置成贯穿沉积部。

在本实施方式中，其特征可在于，第一移送部和第二移送部被上下并排地布置。

在本实施方式中，其特征可在于，第一移送部将移动部从装载部经由沉积部移动至卸载部。

在本实施方式中，其特征可在于，第二移送部将移动部从卸载部经由沉积部移动至装载部。

在本实施方式中，其特征可在于，图案化狭缝片在第一方向上形成为比衬底小。

在本实施方式中，其特征可在于，图案化狭缝片中沿着第二方向形成有多个图案化狭缝，沉积源喷嘴部中沿着第一方向形成有多个沉积源喷嘴。

在本实施方式中，其特征可在于，沉积源和沉积源喷嘴部与图案化狭缝片通过连接部件结合以形成为一体。

在本实施方式中，其特征可在于，连接部件引导沉积物质的移动路径。

在本实施方式中，其特征可在于，连接部件形成为从外部密封沉积源和沉积源喷嘴部与图案化狭缝片之间的空间。

本发明的又一实施方式公开了有机发光显示装置的制造方法，该有机发光显示装置的制造方法使用将有机层形成到衬底上的有机层沉积装置，该有机发光显示装置的制造方法包括：在装载部中将衬底固定到移动部的步骤；使用设置成贯穿腔室的第一移送部将固定有衬底的移动部移送到腔室内的步骤；在布置于腔室内的有机层沉积组件与衬底一定程度地相隔开的状态下，使衬底相对于有机层沉积组件相对移动并使从有机层沉积组件发散的沉积物质沉积到衬底上以形成有机层的步骤；在卸载部中从移动部分离已完成沉积的衬底的步骤；以及使用设置成贯穿腔室的第二移送部将与衬底分离的移动部移送到装载部的步骤，其中，有机层沉积组件包括放射沉积物质的沉积源、布置于沉积源的一侧并形成有多个沉积源喷嘴的沉积源喷嘴部、和布置成与沉积源喷嘴部相对并形成有多个图案化狭缝的图案化狭缝片，衬底形成为与有机层沉积组件一定程度地相隔开以能够相对于有机层沉积组件相对移动，从沉积源放射的沉积物质通过图案化狭缝片并在衬底上形成图案的同时被沉积，多个图案化狭缝包括沿着图案化狭缝的长度方向延伸而成并沿图案化狭缝的长度方向和宽度方向连续地布置有多个以供沉积物质通过的多个开口部、和形成于各个开口部之间的、沿图案化狭缝的长度方向相隔开的空间中的多个肋，其中，各个肋在图案化狭缝的长度方向上的宽度为0.65mm。

在本实施方式中，可在腔室内部设置多个有机层沉积组件以通过各个有机层沉积组件连续地在衬底上实施沉积。

在本实施方式中，其特征可在于，移动部在第一移送部与第二移送部之间循环。

在本实施方式中，其特征可在于，第一移送部和第二移送部被上下并排地布置。

通过下面的附图、权利要求书以及发明的详细说明，上述以外的其他方面、特征、优点将变得明确。

与本发明的实施方式相关的有机层沉积组件、包括其的有机层沉积装置以及使用其的有机发光显示装置的制造方法更加适合大型衬底的量产工艺，并且可改善衬底上的污点发生。

附图说明

图1是示出根据本发明的实施方式的有机层沉积组件的视图。

图2是放大示出图1的有机层沉积组件图案化狭缝片的视图。

图3是示意性示出图1的包括有机层沉积组件的沉积部的立体图。

图4是图1的沉积部的示意性剖视图。

图5是示意性示出包括图4的沉积部的有机层沉积装置的系统结构的平面图。

图6是示意性示出图3的有机层沉积装置的系统结构的正视图。

图7是示出使用图5的有机层沉积装置制造的有源矩阵型有机发光显示装置的剖视图。

图8是示出肋的宽度与有机发光显示装置的可见性之间的关系的图表。

具体实施方式

本发明可以实施多种变型并且可以具有多种实施方式，并且旨在附图中示出特定实施方式并对其进行详细说明。通过参照结合附图详细说明的实施方式，本发明的效果和特征以及实现其的方法将变得明确。然而，本发明并不限于下面所公开的实施方式，而是可以多种形态实现。在下面的实施方式中，“第一”、“第二”等的措辞并不具有限定的含义，而是以将一个构成要素与其他构成要素区分开的目的使用。此外，除非文中另有明确指示，否则单数的表述包括复数的表述。此外，“包括”或“具有”等的措辞是指说明书中所记载的特征或构成要素的存在，而不是提前排除附加一个以上的其他特征或构成要素的可能性。

此外，为了说明的便利，附图中构成要素的大小可以被夸大或被缩小。例如，为了说明的便利，附图中所示的各构件的大小和厚度被任意示出，因此本发明并不一定限于图中所示。此外，当能够以不同的方式实现某些实施方式时，特定的工艺可以按照与所说明的顺序不同的顺序执行。例如，连续说明的两个工艺可以基本上同时执行，也可以按照与所说明的顺序相反的顺序进行。

下面，将参照附图对本发明的实施方式进行详细说明，并且在参照附图进行说明时，将对相同或对应的构成要素赋予相同的附图标记，并且将省略对其的重复说明。

图1是示出根据本发明的实施方式的有机层沉积组件100-1的视图，图2是放大示出图1的有机层沉积组件100-1的图案化狭缝片130的视图。

参照图1，根据本发明的有机层沉积组件100-1包括沉积源110、沉积源喷嘴部120和图案化狭缝片130。

此处，沉积源110包括其内部填充有沉积物质115的熔炉111和对熔炉111进行加热以将填充在熔炉111内部的沉积物质115蒸发到沉积源喷嘴部120侧的加热器112。

另外，沉积源110的一侧布置有沉积源喷嘴部120，沉积源喷嘴部120中沿Y轴方向形成有多个沉积源喷嘴121。

此外，沉积源110与衬底600之间还设置有图案化狭缝片130和框架135，图案化狭缝片130中沿X轴方向形成有多个图案化狭缝131和间隔物132。

此外，沉积源110和沉积源喷嘴部120与图案化狭缝片130通过连接部件140结合。

另外，沉积源110的一侧，具体地，沉积源110中朝着衬底600的一侧布置有沉积源喷嘴部120。此外，沉积源喷嘴部120中沿着Y轴方向(即，衬底600的扫描方向)形成有多个沉积源喷嘴121。

此处，上述多个沉积源喷嘴121可被等间距地形成。在沉积源110内气化的沉积物质115通过如上所述的沉积源喷嘴部120并朝着作为被沉积体的衬底600侧移动。由此，一个有机层沉积组件100-1内沿着衬底600的扫描方向形成有多个沉积源喷嘴121。

在这种情况下，如果沿着X轴方向设置有多个沉积源喷嘴121，则各个沉积源喷嘴121与图案化狭缝131间的距离将彼此不同，此时，从远离图案化狭缝131的沉积源喷嘴121发散的沉积物质115将导致发生阴影(shadow)。

因此，如本发明那样将沉积源喷嘴121形成为沿X轴方向仅存在一个沉积源喷嘴121，从而能够大大地减少阴影(shadow)的发生。此外，因为沿扫描方向存在有多个沉积源喷嘴121，所以即使是个别沉积源喷嘴间产生流量(flux)差异，也可通过抵消其差异而获得恒定地维持沉积均匀度的效果。

随后，布置在沉积源110与衬底600之间的图案化狭缝片130包括沿X轴方向并排布置的图案化狭缝131和间隔物132。此外，参照放大示出图案化狭缝片130的一部分的图2，各个图案化狭缝131包括沿着图案化狭缝131的长度方向(即，Y轴方向)延伸而成的多个开口部133和形成于各个开口部133之间的、沿着图案化狭缝131的长度方向(即，Y轴方向)相隔开的空间中的多个肋134。

具体地，开口部133可沿着作为图案化狭缝131的宽度方向的X轴方向连续地布置为多个，还可沿着作为图案化狭缝131的长度方向的Y轴方向连续地布置为多个。由此，在沿着Y轴方向连续相隔地布置为多个的开口部133之间形成划分开口部133的空间，该空间即为肋134。

下面，将对肋134的宽度W与沉积精度(pixelperaccuracy，PPA)以及沉积到衬底600上的沉积物质115的膜均匀度的关系进行说明，并对沉积物质115的膜均匀度对有机显示装置的品质所产生的影响进行说明。此处，沉积精度(即，称为PPA)作为表示沉积物质115是否如所设计的那样准确地沉积到衬底600上的一种指标，其为判断沉积精度的一种标准。

图案化狭缝片130在沿着Y轴方向施加有拉伸力的情况下与框架135结合。这是为了尽可能平坦地布置图案化狭缝片130，以在沉积工艺时不在衬底上沉积出阴影(shadow)区域。

然而，在未充分确保图案化狭缝片130的刚性的情况下，可能因Y轴方向的拉伸而导致图案化狭缝片130的图案化狭缝131的形状上的变形。这样在图案化狭缝131上发生变形的情况下，沉积精度可能下降。

因此，为防止沉积精度下降，有必要将图案化狭缝131因Y轴方向的拉伸力而导致的变形最小化。

肋134沿着X轴方向延伸形成在图案化狭缝131中沿着Y轴方向延伸形成的多个开口部133之间，并且沿着Y轴划分多个相隔而成的各个开口部133。

各个开口部133之间存在的这种肋134越多并且肋134的宽度W越宽，则能够沿着Y轴方向实施稳健拉伸，由此还能够减小图案化狭缝131的变形。其结果是，当通过在被稳健拉伸的状态下结合到框架135的图案化狭缝片130将沉积物质115沉积到衬底600上时，能够提升沉积精度。

然而，当增加肋134的数量或者将肋134的宽度W加宽到适当水平以上时，将发生沉积物质115被不均匀地沉积到衬底600上的问题。当沉积物质115如上所述不均匀地沉积到衬底600上时，在完成沉积工艺后点亮有机发光显示装置时将发生有机发光显示装置的面板看似污点斑斑的现象。

为了改善这种污点现象，相反于改善沉积精度的方法，需要最大限度地减小肋134的宽度以增加通过开口部133的沉积物质115的量。因此，为了同时改善PPA和污点现象，需要将肋134的宽度设计成适当范围。

图8是示出肋的宽度与有机发光显示装置的可见性之间的关系的图表。参照图8，可确认肋134的宽度W为1.3mm时和0.65mm时的有机发光显示装置的可见性(visibility)。

图8的JND(justnoticeabledifference，最小可觉差)是数字化并显示可能发生在有机发光显示装置中的多种污点的值，用于确认显示器等中污点和斑点(mura)的水平，并且通过JND的数值化可用作最终补正污点或斑点的参考数据(backdata)。

此处，参考符号A是指肋134的宽度W为1.3mm的情况，参考符号B表示有机发光显示装置的点亮水平判定为合格的JND值，参考符号C是指肋134的宽度W为0.65mm的情况。

再参照图8，肋134的宽度W为1.3mm时(A)的JND值大约为2.05，此时，有机发光显示装置的点亮水平判定为不合格。另外，肋134的宽度W为0.65mm时(C)的JND值大约为0.75，因为该值小于有机发光显示装置的点亮水平为合格的JND值0.93(参考符号B)，因此判定为合格。这意味着在肋134的宽度W为0.65mm的情况下可见性(visibility)良好到人无法识别显示面板上发生的污点的程度。

图3是示意性示出图1的包括有机层沉积组件100-1的沉积部100的立体图，图4是图1的沉积部100的示意性剖视图。

首先，参照图3和图4，与本发明的实施方式相关的包括有机层沉积组件100-1的有机层沉积装置10(参见图5)的沉积部100包括一个以上的有机层沉积组件100-1、100-2、…、100-11和移送部400。

下文中将对沉积部100的整体结构进行说明。

腔室101形成为空心箱子的形状，并且其内部容纳有一个以上的有机层沉积组件100-1、100-2、…、100-11和移送部400。若以另一方面对其说明，则其形成有足部(foot)102以固定到地面上，足部(foot)102上形成有下部壳体103，并且下部壳体103的上部形成有上部壳体104。此外，腔室101形成为将下部壳体103和上部壳体104都容纳在其内部。此时，可对下部壳体103与腔室101的连接部进行密封处理以将腔室101内部与外部完全隔离。如上所述，因为下部壳体103和上部壳体104形成在固定于地面上的足部(foot)102上，所以即使腔室101反复地收缩/膨胀也可保持下部壳体103和上部壳体104的固定位置，因此，下部壳体103和上部壳体104可在沉积部100内起到一种基准框架(referenceframe)的作用。

另外，可记载为，上部壳体104的内部形成有有机层沉积组件100-1和移送部400的第一移送部410，下部壳体103内部形成有移送部400的第二移送部420。此外，在移动部430循环移动在第一移送部410与第二移送部420之间的同时连续地执行沉积。

下文中，对容纳于沉积部100内的有机层沉积组件100-1的详细结构进行说明。

各个有机层沉积组件100-1包括沉积源110、沉积源喷嘴部120、图案化狭缝片130、连接部件140(参见图1)、第一台150、第二台160、摄像机170(参见图6)、感测器(未示出)等。此处，图3和图4的所有结构均优选为布置在保持适当真空度的腔室101内。这是为了确保沉积物质的直进性。

详细地，若要使从沉积源110放射的沉积物质115通过沉积源喷嘴部120和图案化狭缝片130并以期望的图案沉积到衬底600上，则基本上腔室101内部需要保持与FMM沉积方法相同的高真空状态。此外，图案化狭缝片130的温度需要充分低于沉积源110的温度。这是因为只有在图案化狭缝片130的温度充分低的情况下才能够最小化因温度而导致的图案化狭缝片130的热膨胀问题。

作为被沉积体的衬底600被布置在这种腔室101内。上述衬底600可为平板显示装置用衬底，并且可适用如可形成大多数平板显示装置的母体玻璃(motherglass)的40英寸以上的大面积衬底。

此处，在本发明的实施方式中，作为一个特征，在衬底600相对于有机层沉积组件100-1、100-2、…、100-11相对移动的同时进行沉积。

具体地，在现有的FMM沉积方法中，FMM大小应形成为与衬底大小相同。因此，随着衬底尺寸增加，FMM也应被大型化，然而由此导致了不容易制造FMM且不容易对FMM进行拉伸并将其对齐(align)为精密的图案的问题。

为了解决如上所述的问题，在与本发明的实施方式相关的有机层沉积组件100-1、100-2、…、100-11中，作为一个特征，在使有机层沉积组件100-1与衬底600彼此相对移动的同时实施沉积。换言之，在使布置成与有机层沉积组件100-1相对的衬底600沿着Y轴方向移动的同时连续地执行沉积。即，在使衬底600沿着图3的箭头A方向移动的同时以扫描(scanning)方式执行沉积。此处，虽然在附图中示出了在使衬底600在腔室(未示出)内沿着Y轴方向移动的同时进行沉积，但是本发明的思想并不限于此，并且也能够在固定衬底600并使有机层沉积组件100-1自身沿着Y轴方向移动的同时执行沉积。

因此，在本发明的有机层沉积组件100-1中相比于现有的FMM，可制造出显著小的图案化狭缝片130。即，在本发明的有机层沉积组件100-1的情况下，因为是在使衬底600沿着Y轴方向移动的同时连续地(即，以扫描(scanning)方式)执行沉积，所以图案化狭缝片130的Y轴方向的长度可形成为显著小于衬底600的长度。

如上所述，因为相比于现有的FMM、可制造出显著小的图案化狭缝片130，所以容易制造出本发明的图案化狭缝片130。即，图案化狭缝片130的蚀刻作业、或者其之后的精密拉伸和焊接作业、移动及洗涤作业等的所有工艺中，大小较小的图案化狭缝片130比FMM沉积方法有利。此外，这将随着显示装置越被大型化而变得越有利。

如上所述，为了在使有机层沉积组件100-1与衬底600彼此相对移动的同时实施沉积，有机层沉积组件100-1与衬底600优选为一定程度地相隔开。将在稍后对此进行详细记述。

另外，腔室内与上述衬底600相对的一侧布置有容纳及加热沉积物质115的沉积源110。随着容纳于上述沉积源110内的沉积物质115被气化，沉积被实施在衬底600上。

具体地，沉积源110包括其内部填充有沉积物质115的熔炉111和对熔炉111进行加热以将填充在熔炉111内部的沉积物质115蒸发到熔炉111的一侧(具体地，沉积源喷嘴部120侧)的加热器112。

沉积源喷嘴部120布置在沉积源110的一侧，具体地，布置在沉积源110中朝着衬底600的一侧。此处，在根据本发明一实施方式的有机层沉积组件100-1中，在沉积公共层和图案层时沉积源喷嘴121可形成为彼此不同。

即，虽然未在附图中示出，但是用于形成图案层的沉积源喷嘴部120中可沿着Y轴方向(即，衬底600的扫描方向)形成有多个沉积源喷嘴121。由此，通过将沉积源喷嘴121形成为在X轴方向上仅存在一个沉积源喷嘴121，能够显著降低阴影(shadow)的发生。相反，用于形成公共层的沉积源喷嘴部120中可沿着X轴方向形成有多个沉积源喷嘴121。由此，可提高公共层的厚度均匀度。

另外，在沉积源110与衬底600之间还设置有图案化狭缝片130。图案化狭缝片130还包括形成为如大致窗框形态的框架135，图案化狭缝片130中沿着X轴方向形成有多个图案化狭缝131。气化在沉积源110内的沉积物质115通过沉积源喷嘴部120和图案化狭缝片130并朝着作为被沉积体的衬底600侧移动。此时，上述图案化狭缝片130可通过作为与现有的精细金属掩模(FMM)、尤其是条纹型(stripetype)掩模的制造方法相同的方法的蚀刻来制造。此时，沉积源喷嘴121的总数也可形成为比图案化狭缝131的总数多。因为已在上文中对图案化狭缝片130进行了具体说明，所以此处将省略对其的详细说明。

此处，上述沉积源110和与其接合的沉积源喷嘴部120、以及图案化狭缝片130可形成为彼此相隔开一定程度。

如上所述，与本发明的实施方式相关的有机层沉积组件100-1、100-2、…、100-11是在相对于衬底600相对移动的同时执行沉积，图案化狭缝片130形成为与衬底600相隔开一定程度以使有机层沉积组件100-1、100-2、…、100-11如上所述相对于衬底600相对移动。

具体地，在现有的FMM沉积方法中，为了防止衬底上生成阴影(shadow)而将掩模紧贴到衬底上并进行沉积工艺。然而，在如上所述将掩模紧贴到衬底上的情况下，存在着因衬底与掩模之间的接触而导致不良问题发生的问题。此外，因为不能够使掩模相对于衬底移动，所以掩模应形成为与衬底相同的大小。因此，掩模的大小也应随着显示装置被大型化而变化，但是存在着不易形成如上所述的大型掩模的问题。

为了解决如上所述的问题，在与本发明的实施方式相关的有机层沉积组件100-1、100-2、…、100-11中，图案化狭缝片130布置成与作为被沉积体的衬底600相隔开一定间隔。

因为在根据如上所述的本发明将掩模形成为比衬底小后可使掩模相对于衬底移动的同时执行沉积，所以可获得容易制造掩模的效果。此外，可获得防止因衬底与掩模之间的接触而导致的不良的效果。此外，因为在工艺中无需对衬底与掩模进行紧贴的时间，所以可获得提升制造速度的效果。

接着，上部壳体104内的各个构件的具体布置如下。

首先，上部壳体104的底部布置有上述的沉积源110和沉积源喷嘴部120。此外，沉积源110和沉积源喷嘴部120的两侧凸出形成有安置部104-1，安置部104-1上按顺序地形成有第一台150、第二台160和上述的图案化狭缝片130。

此处，第一台150形成为可沿着X轴方向和Y轴方向移动，从而执行沿着X轴方向和Y轴方向对齐图案化狭缝片130的功能。即，第一台150设置有多个致动器以使得第一台150形成为相对于上部壳体104沿着X轴方向和Y轴方向移动。

另外，第二台160形成为可沿着Z轴方向移动，从而执行沿着Z轴方向对齐图案化狭缝片130的功能。即，第二台160设置有多个执行器以使得第二台160形成为相对于第一台150沿着Z方向移动。

另外，第二台160上形成有图案化狭缝片130。如上所述，因为图案化狭缝片130形成在第一台150和第二台160上以使得图案化狭缝片130形成为可沿着X轴方向、Y轴方向和Z轴方向移动，所以可执行衬底600与图案化狭缝片130之间的对齐，尤其是实时对齐(real-timealign)。

进一步地，上部壳体104、第一台150和第二台160可同时执行引导沉积物质115的移动路径以使得通过沉积源喷嘴121排放的沉积物质115不被分散的作用。即，通过上部壳体104、第一台150和第二台160密封沉积物质115的路径，从而还可以同时引导沉积物质115在X轴方向上的移动和在Y轴方向上的移动。

另外，图案化狭缝片130与沉积源110之间还可设置有连接部件140。具体地，在衬底600的边缘部分形成阳极电极或阴极电极图案，由此存在着利用为用于日后产品检查的端子或者产品制造时的端子的区域。如果有机物被成膜在该区域，则阳极电极或阴极电极难以起到自身应起到的作用，因此，如上所述的衬底600的边缘部分应成为其上不成膜有有机物等的非成膜区域。然而，如上所述，因为本发明的薄膜沉积装置中是在使衬底600相对于薄膜沉积装置移动的同时以扫描(scanning)方式执行沉积，所以不易防止有机物被沉积到衬底600的非成膜区域。

如上所述，为了防止有机物被沉积到衬底600的非成膜区域，在与本发明的实施方式相关的薄膜沉积装置中，还可在衬底600的边缘部分设置附加的连接部件140。虽然未在附图中详细示出，但是连接部件140可构成为彼此相邻的两个板。

在衬底600不通过有机层沉积组件100-1时，连接部件140遮挡沉积源110，由此使得从沉积源110发散的沉积物质115不会沾染到图案化狭缝片130。在这种状态下，在衬底600开始进入有机层沉积组件100-1时，遮挡沉积源110的前方连接部件140随着衬底600的移动而一同移动，并开启沉积物质115的移动路径，从而使得从沉积源110发散的沉积物质115通过图案化狭缝片130并沉积到衬底600上。

另外，当衬底600整体通过有机层沉积组件100-1时，后方连接部件140随着衬底600的移动而一同移动，并再次关闭沉积物质115的移动路径以遮挡沉积源110，从而使得从沉积源110发散的沉积物质115不会沾染到图案化狭缝片130。

因为衬底600的非成膜区域被如上所述的连接部件140遮挡，因此在没有附加的结构物的情况下也可获得简单地防止有机物沉积到衬底600的非成膜区域的效果。

在下文中，将对移送作为被沉积体的衬底600的移送部400进行详细说明。参照图3和图4，移送部400包括第一移送部410、第二移送部420和移动部430。

为了可通过有机层沉积组件100-1、100-2、…、100-11将有机层沉积到衬底600上，第一移送部410执行直列地(in-line)移送包括载体431和与其接合的静电卡盘432的移动部430以及附接于移动部430的衬底600的作用。如上所述的第一移送部410包括线圈411、引导部412、上面磁悬浮轴承(未示出)、侧面磁悬浮轴承(未示出)、间隙感测器(未示出)。

第二移送部420执行将在通过沉积部100的同时完成了一次沉积后在卸载部300(参见图5)中分离了衬底600的移动部430返送回装载部200的作用。如上所述的第二移送部420包括线圈421、辊引导部422和充电轨道(chargingtrack)423。

移动部430包括随着第一移送部410和第二移送部420移送的载体431、和接合到载体431的一面上并且供衬底600附接的静电卡盘432。

下文中将对移送部400的各个构件进行更加详细的说明。

首先，对移动部430的载体431进行详细说明。

载体431包括本体部431a、磁轨431b、CPS模块(ContactlesspowersupplyModule，非接触式供电模块)431c、电源部431d和引导槽431e。

本体部431a构成载体431的基底部，并且可由例如铁的磁性体形成。通过如上所述的载体431的本体部431a与待后述的磁悬浮轴承(未示出)的排斥力，载体431可保持相对于引导部412相隔开一定程度的状态。

本体部431a的两侧面可形成有引导槽431e，如上所述的引导槽431e内可容纳有引导部412的引导凸起412e。

磁轨431b可沿着本体部431a的行进方向的中心线形成。线性电机可通过结合本体部431a的磁轨431b和待后述的线圈411而构成，并且根据这种线性电机可沿着A方向移送载体431。

本体部431a中磁轨431b的两侧分别可形成有CPS模块431c和电源部431d。电源部431d为用于提供电源以使得静电卡盘432可夹紧(chucking)衬底600并保持其的一种充电型电池，CPS模块431c为用于对电源部431d进行充电的无线充电模块。

具体地，形成于待后述的第二移送部420的充电轨道(chargingtrack)423与逆变器(inverter)(未示出)连接，从而载体431被移送在第二移送部420内时，在充电轨道(chargingtrack)423与CPS模块431c之间形成磁场从而向CPS模块431c供给电力。此外，供给到CPS模块431c的电力为充电到电源部431d的电力。

另外，静电卡盘(ElectroStaticChuck)432掩埋有供电源施加到由陶瓷构成的本体的内部的电极，并且随着高电压施加到该电极上而使得衬底600附接至本体的表面。

接着，对移动部430的驱动进行详细说明。

驱动部可通过结合本体部431a的磁轨431b与线圈411而构成。此处，驱动部可为线性电机(LinearMotor)。相比于现有的滑动引导系统，因为线性电机摩擦系数小且几乎不会发生位置误差，所以其为位置确定性非常高的装置。如上所述，线性电机可由线圈411和磁轨431b构成，并且磁轨431b一列地布置在载体431上，并且多个线圈411可与磁轨431b相对地、以一定间隔布置在腔室101内的一侧。如上所述，因为在作为移动物体的载体431上布置有磁轨431b、而不是线圈411，所以即使电源不被施加到载体431，载体431的驱动也是可能的。此处，线圈411形成在ATM箱(atmospherebox)内并设置为待机状态，磁轨431b附接于载体431以使得载体431可在真空的腔室101内行进。

接着，对第一移送部410和移动部430进行详细说明。

参照图3和图4，第一移送部410执行使固定衬底600的静电卡盘432和移送静电卡盘432的载体431进行移动的作用。此处，第一移送部410包括线圈411、引导部412、上面磁悬浮轴承(未示出)、侧面磁悬浮轴承(未示出)和间隙感测器(未示出)。

线圈411和引导部412分别形成在上部壳体104的内面，其中，线圈411形成在上部壳体104的上侧内面，引导部412形成在上部壳体104的两侧内面。

引导部412执行对载体431进行引导以使其沿着一方向移动的作用。此时，引导部412形成为贯穿沉积部100。

侧面磁悬浮轴承(未示出)以与载体431的两侧面对应的方式分别布置在引导部412内。侧面磁悬浮轴承(未示出)的作用在于，使载体431与引导部412之间产生间隔，从而使载体431在移动时不与引导部412接触、并以非接触的方式沿着引导部412移动。即，左侧的侧面磁悬浮轴承(未示出)与作为磁性体的载体431之间所产生的排斥力和右侧的侧磁悬浮轴承(未示出)与作为磁性体的载体431之间所产生的排斥力相互形成平衡，从而在产生载体431与引导部412之间的间隔的同时恒定地保持该间隔。

另外，上面磁悬浮轴承(未示出)分别以定位到载体431的上部的方式布置在引导部412内。上面磁悬浮轴承(未示出)的作用在于，使载体431不接触到引导部412、并在与它们保持一定间隔的同时沿着引导部412移动。即，上面磁悬浮轴承(未示出)与作为磁性体的载体431之间所产生的排斥力和重力形成相互平衡，从而在产生载体431与引导部412之间的间隔的同时恒定地维持该间隔。

引导部412还可设置有间隙感测器(未示出)。间隙感测器(未示出)可测量载体431与引导部412之间的间隔。此外，侧面磁悬浮轴承(未示出)的一侧也可布置有间隙感测器(未示出)。布置于侧面磁悬浮轴承(未示出)的间隙感测器(未示出)可测量载体431的侧面与侧面磁悬浮轴承(未示出)之间的间隔。

磁悬浮轴承(未示出)的磁力根据通过间隙感测器(未示出)测量到的值而改变，从而能够实时地调节载体431与引导部412之间的间隔。即，根据使用磁悬浮轴承(未示出)和间隙感测器(未示出)的反馈控制，载体431的精密移动是可能的。

接着，对第二移送部420和移动部430进行详细说明。

再次参照图4，第二移送部420执行再次将在卸载部300(参见图5)中分离了衬底后的静电卡盘432和移送静电卡盘432的载体431移动到装载部200的作用。此处，第二移送部420包括线圈421、辊引导部422和充电轨道(chargingtrack)423。

具体地，线圈421、辊引导部422和充电轨道423分别形成在下部壳体103的内面，其中，线圈421和充电轨道423形成在下部壳体103的上侧内面，辊引导部422形成在下部壳体103的两侧内面。此处，线圈421可与第一移送部410的线圈411相同地、形成在ATM箱(atmospherebox)内。

另外，与第一移送部410相同，第二移送部420也设置有线圈421，并且驱动部可通过结合载体431的本体部431a的磁轨431b与线圈421而构成，并且此处，驱动部可为线性电机(LinearMotor)。通过如上所述的线性电机(LinearMotor)，载体431可沿着与图3的A方向相反的方向移动。

另外，辊引导部422执行对载体431进行引导以使其沿着一方向移动的作用。此时，辊引导部422形成为贯穿沉积部100。

其结果，因为第二移送部420不是在将有机物沉积到衬底上的步骤中使用的、而是在返送空着的载体431的步骤中使用的，所以相比于第一移送部410，不需要太高的位置精度。因此，在需要高位置精度的第一移送部410中适用磁悬浮来确保位置精度，并且在需要相对低的位置精度的第二移送部420中适用现有的辊方式来降低制造成本并简化有机层沉积装置10(参见图5)的结构。当然，虽然未在附图中示出，但是第二移送部420中与第一移送部410相同地、适用磁悬浮也可以是可能的。

另外，根据本发明的有机层沉积装置10(参见图5)的机层沉积组件100-1、100-2、…、100-11还可设置有用于对齐(align)的摄像机170和感测器(未示出)。具体地，摄像机170可实时地对形成于图案化狭缝片130的框架135的第一标记(未示出)与形成于衬底600的第二标记(未示出)进行对齐。此处，设置摄像机170以能够在正进行沉积的真空腔室101内确保广阔的视野。为此，摄像机170可形成在摄像机容纳部171内，并设置成待机状态。

另外，在本发明中，衬底600与图案化狭缝片130相隔开一定程度，因此需要使用摄像机170同时测量与彼此处于不同位置的、衬底600的距离和图案化狭缝片130的距离。为此，根据本发明的实施方式的有机层沉积装置10(参见图5)的有机层沉积组件100-1、100-2、…、100-11可设置有感测器(未示出)。此处，感测器(未示出)可为共焦感测器(Confocalsensor)。共焦感测器可使用高速旋转的扫描镜(scanningmirror)以激光束对测量对象进行扫描，并且可使用因激光束而发光的荧光或反射光线来测量离测量对象的距离。共焦感测器可感测出彼此不同的介质之间的界面来测量距离。

如上所述，通过设置有摄像机170和感测器(未示出)，能够实时地测量衬底600与图案化狭缝片130间的间隔，由此能够实时地对衬底600与图案化狭缝片130进行对齐，从而可获得进一步提升图案的位置精度的效果。

图5是示意性示出包括图4的沉积部的有机层沉积装置10的系统结构的平面图，图6是示意性示出图3的有机层沉积装置10的沉积部100的系统结构的正视图。

参照图5和图6，有机层沉积装置10包括具有根据本发明的实施方式的有机层沉积组件100-n(n为1以上的自然数)的沉积部100、装载部200、卸载部300和移送部400。

装载部200可包括第一机架(Rack)212、导入室214、第一反转室218和缓冲室219。

第一机架212中装载有进行沉积前的多个衬底600，设置于导入室214的导入机器人(未示出)从第一机架212抓取衬底600并将衬底600放到从第二移送部420移送过来的移动部430上，随后将附接有衬底600的移动部430移入第一反转室218。

第一反转室218设置成与导入室214相邻，第一反转机器人(未示出)对移动部430进行反转并将移动部430安装到沉积部100的第一移送部410上。

如图5中所示，导入室214的导入机器人(未示出)将衬底600放到移动部430的上面，在这种状态下，移动部430移送到第一反转室218，并且随着第一反转室218的第一反转机器人(未示出)对移动部430进行反转，衬底600将朝下地定位在沉积部100中。

卸载部300的结构构成为与上面所说明的装载部200的结构相反。即，在第二反转室328中，第二反转机器人(未示出)对已通过沉积部100的衬底600和移动部430进行反转并移送到返出室324，返出机器人从返出室324取出衬底600和移动部430，随后将衬底600从移动部430分离并装载于第二机架(Rack)322。与衬底600分离的移动部430通过第二移送部420返送回装载部200。

然而，本发明的实施方式并不限于此，并且可在衬底600最初固定到移动部430时将衬底600固定到移动部430的下面并保持原状地移送到沉积部100。在这种情况下，例如，将无需第一反转室218的第一反转机器人(未示出)和第二反转室328的第二反转机器人(未示出)。

沉积部100设置有至少一个腔室101。参照图5和图6，上述沉积部100设置有腔室101，该腔室101内布置有多个有机层沉积组件100-1、100-2、...、100-n。具体地，参照图5，上述腔室101内设置有第一有机层沉积组件100-1、第二有机层沉积组件100-2至第十一有机层沉积组件100-11的十一列有机层沉积组件，但是该数字能够根据沉积物质和沉积条件而变化。上述腔室101在进行沉积期间保持真空。

另外，固定有上述衬底600的移动部430通过第一移送部410至少移动到沉积部100，优选为，依次移动到所述装载部200、沉积部100和卸载部300，在所述卸载部300中与衬底600分离的移动部430通过第二移送部420返送回装载部200。

上述第一移送部410设置为贯穿上述腔室101，上述第二移送部420设置为对分离了衬底600的移动部430进行移送。

此处，有机层沉积装置10上下地形成有第一移送部410和第二移送部420，以形成为在卸载部300中将在通过第一移送部410的同时完成了沉积的移动部430与衬底600进行分离，随后通过形成在第一移送部410下部的第二移送部420返送回装载部200，从而可获得提升空间利用效率的效果。

另外，图5的沉积部100还可在各个有机层沉积组件100-n(n为1以上的自然数)的一侧包括沉积源替换部190。虽然未在附图中详细示出，但是沉积源替换部190形成为箱盒形式，以形成为可从各个有机层沉积组件100-n(n为1以上的自然数)向外部导出。因此，可使得有机层沉积组件100-n(n为1以上的自然数)的沉积源(参见图4的附图标记110)的替换变得简单。

另外，图5中示出了并排地设置有两组用于构成由装载部200、沉积部100、卸载部300和移送部400构成的有机层沉积装置的一系列组(set)。即，可理解为图5的上侧和下侧设置有总共两个有机层沉积装置10。在这种情况下，两个有机层沉积装置10之间还可设置有图案化狭缝片替换部500。

即，图案化狭缝片替换部500设置于两个有机层沉积装置10之间，通过使两个有机层沉积装置10共同使用图案化狭缝片替换部500，相比于各个有机层沉积装置10设置有图案化狭缝片替换部500，可提升空间利用的效率

图7是示出使用图5的有机层沉积装置10制造的有源矩阵型有机发光显示装置的剖视图。

参照图7，上述有源矩阵型有机发光显示装置形成在衬底600上。上述衬底600可由透明的材料(例如，玻璃材料、塑料材料或金属材料)形成。上述衬底600上整体地形成有如缓冲层的绝缘膜51。

上述绝缘膜51上形成有如图7中所示的TFT和有机发光元件OLED。

上述绝缘膜51的上面形成有以一定图案排列的半导体有源层52。上述半导体有源层52由栅极绝缘膜53掩埋。上述有源层52可由p型半导体或者n型半导体来设置。

上述的栅极绝缘膜53的上面、与上述有源层52相对应的位置处形成有TFT的栅电极54。此外，层间绝缘膜55形成为覆盖上述栅电极54。在形成上述层间绝缘膜55后，通过干法蚀刻等的蚀刻工艺对上述栅极绝缘膜53和层间绝缘膜55进行蚀刻以形成接触孔，并且暴露所述有源层52的一部分。

在此之后，源/漏电极56、57形成在上述层间绝缘膜55上，并且形成为与通过接触孔暴露的有源层52接触。形成保护膜58以覆盖上述源/漏电极56、57，并且通过蚀刻工艺使上述漏电极57的一部分暴露。为了保护膜58的平坦化，上述保护膜58上还可形成有附加的绝缘膜59。

另外，上述有机发光元件OLED作为随着电流的流动而发出红、绿、蓝光以显示一定的图像信息的元件，上述保护膜58上形成有第一电极61。上述第一电极61与TFT的漏电极57电连接。

此外，形成像素限定膜60以覆盖上述第一电极61。在该像素限定膜60中形成一定的开口后，在由该开口限定的区域内形成包括发光层的有机层62。此外，在有机层62上形成第二电极63。

上述像素限定膜60作为间隔开各个像素的部件，其由有机物形成以使形成有第一电极61的衬底的表面平坦化，尤其是绝缘膜59的表面。

上述第一电极61和第二电极63彼此绝缘，并且向包括发光层的有机层62施加彼此不同极性的电压来实现发光。

上述包括发光层的有机层62可使用低分子或高分子有机物，然而，在使用低分子有机物的情况下，空穴注入层(HIL：HoleInjectionLayer)、空穴传输层(HTL：HoleTransportLayer)、发光层(EML：EmissionLayer)、电子传输层(ETL：ElectronTransportLayer)、电子注入层(EIL：ElectronInjectionLayer)等以单一或复合结构层叠而成。可使用的有机材料能够适用酞菁铜(CuPc：copperphthalocyanine)、N,N'-二(萘-1-基)-N,N'-二苯基-联苯胺(N,N'-Di(naphthalene-1-yl)-N,N'-diphenyl-benzidine：NPB)、三-8-羟基喹啉铝(tris-8-hydroxyquinolinealuminum)(Alq3)等多种材料。

此处，包括上述发光层的有机层62可通过图5中所示的有机层沉积装置(参见图5的附图标记10)沉积。即，在将包括沉积源、沉积源喷嘴部和图案化狭缝片的有机层沉积装置布置成与被沉积用衬底相隔开一定程度后，使有机层沉积装置(参见图5的10)和衬底(参见图5的600)中任一个相对于另一个相对移动并使从有机层沉积装置(参见图5的10)放射的沉积物质沉积到衬底(参见图5的600)，其中，沉积源发射沉积物质，沉积源喷嘴布置在沉积源的一侧并形成有多个沉积源喷嘴，图案化狭缝片布置成与沉积源喷嘴部相对并形成有多个图案化狭缝。

在形成这种有机层后，也可通过相同的沉积工艺形成第二电极63。

另外，上述第一电极61可起到阳极电极的功能，上述第二电极63可起到阴极电极的功能，当然，这种第一电极61和第二电极63的极性即使相反也无妨。此外，第一电极61可图案化成与各个像素的区域相对应，并且第二电极63可形成为覆盖所有像素。

上述第一电极61可设置为透明电极或反射型电极，当以透明电极使用时，可包括ITO、IZO、ZnO或In2O3，当以反射型电极使用时，可在由Ag、Mg、Al、Pt、Pd、Au、Ni、Nd、Ir、Cr及其化合物等形成反射层后在其上用ITO、IZO、ZnO或In2O3形成透明电极层。这种第一电极61在通过溅射法等成膜后，通过光刻法等来图案化。

另外，上述第二电极63也可设置为透明电极或反射型电极，当以透明电极使用时，因为该第二电极63被用作阴极电极，所以可朝向包括发光层的有机层62的方向沉积功函数小的金属(即，Li、Ca、LiF/Ca、LiF/Al、Al、Ag、Mg及其化合物)后在其上用ITO、IZO、ZnO或In2O3等形成辅助电极层或总线电极线。此外，当以反射型电极使用时，正面地沉积上述的Li、Ca、LiF/Ca、LiF/Al、Al、Ag、Mg及其化合物而形成。此时，沉积可通过与上述的包括发光层的有机层62的情况相同的方法进行。

此外，本发明还可用于有机TFT的有机层或无机膜等的沉积，并且能够适用于其他、多种材料的成膜工艺。

如上所述，虽然参照附图中所示的实施方式对本发明进行了说明，但这仅仅是示例性的，本领域的普通技术人员应理解，能够由此进行多种变型和实施方式的变型。因此，本发明真正的技术保护范围应由所附权利要求书中的技术思想来定义。

符号的说明

10：有机层沉积装置214：导入室

100：有机层沉积组件218：第一反转室

101：腔室300：卸载部

110：沉积源322：第二机架

111：熔炉324：返出室

112：加热器328：第二反转室

115：沉积物质400：移送部

120：沉积源喷嘴部410：第一移送部

121：沉积源喷嘴411、421：线圈

130：图案化狭缝片412：引导部

131：图案化狭缝420：第二移送部

132：间隔物422：辊引导部

133：开口部423：充电轨道(chargingtrack)

134：肋430：移动部

135：框架431：载体

140：连接部件431a：本体部

150：第一台431b：磁轨

160：第二台431c：CPS模块

170：摄像机431d：电源部

432：静电卡盘

190：沉积源替换部500：图案化狭缝片替换部

200：装载部600：衬底

212：第一机架

Claims (20)

1.一种有机层沉积组件，用于将沉积物质沉积到衬底上，其特征在于，所述有机层沉积组件包括：

沉积源，放射所述沉积物质；

沉积源喷嘴部，布置于所述沉积源的一侧，并且形成有多个沉积源喷嘴；以及

图案化狭缝片，布置成与所述沉积源喷嘴部相对，并且形成有多个图案化狭缝，

其中，所述衬底形成为与所述有机层沉积组件相隔开以能够相对于所述有机层沉积组件相对移动，

从所述沉积源放射的所述沉积物质通过所述图案化狭缝片并在所述衬底上形成图案的同时被沉积，

所述多个图案化狭缝包括：

多个开口部，沿着所述图案化狭缝的长度方向延伸而成，并且沿所述图案化狭缝的长度方向和宽度方向连续地布置有多个以供所述沉积物质通过；以及

多个肋，形成于所述各个开口部之间的、沿所述图案化狭缝的长度方向相隔开的空间中，

其中，所述各个肋在所述图案化狭缝的长度方向上的宽度为0.65mm。

2.如权利要求1所述的有机层沉积组件，其特征在于，所述图案化狭缝片在作为所述图案化狭缝片的长度方向的第一方向和作为所述图案化狭缝片的宽度方向的第二方向中至少任一方向上形成为比所述衬底小。

3.如权利要求1所述的有机层沉积组件，其特征在于，

所述图案化狭缝片中沿着作为所述图案化狭缝片的长度方向的第一方向形成所述多个图案化狭缝，

所述沉积源喷嘴部中沿着作为所述图案化狭缝片的宽度方向的第二方向形成所述多个沉积源喷嘴。

4.如权利要求3所述的有机层沉积组件，其特征在于，所述沉积源和所述沉积源喷嘴部与所述图案化狭缝片通过连接部件结合以形成为一体。

5.如权利要求4所述的有机层沉积组件，其特征在于，所述连接部件引导所述沉积物质的移动路径。

6.如权利要求5所述的有机层沉积组件，其特征在于，所述连接部件形成为从外部密封所述沉积源和所述沉积源喷嘴部与所述图案化狭缝片之间的空间。

7.一种有机层沉积装置，其特征在于，包括：

移送部，包括：

移动部，用于固定衬底并且形成为能够与固定的所述衬底一同移动；

第一移送部，沿着第一方向移动固定有所述衬底的所述移动部；以及

第二移送部，沿着所述第一方向的相反方向移动已完成沉积并分离了所述衬底的所述移动部；

装载部，将所述衬底固定到所述移动部；

沉积部，包括：

腔室，保持真空；以及

一个以上的有机层沉积组件，将有机层沉积到固定于从所述装载部移送过来的所述移动部上的所述衬底；以及

卸载部，从所述移动部分离已通过所述沉积部并完成沉积的所述衬底，

其中，所述移动部形成为能够在所述第一移送部与所述第二移送部之间循环，

固定于所述移动部的衬底形成为在通过所述第一移送部移动期间与所述有机层沉积组件相隔开，

所述有机层沉积组件包括：

沉积源，放射所述沉积物质；

沉积源喷嘴部，布置于所述沉积源的一侧，并且形成有多个沉积源喷嘴；以及

图案化狭缝片，布置成与所述沉积源喷嘴部相对，并且形成有多个图案化狭缝，

其中，所述衬底形成为与所述有机层沉积组件相隔开以能够相对于所述有机层沉积组件相对移动，

从所述沉积源放射的所述沉积物质通过所述图案化狭缝片并在所述衬底上形成图案的同时被沉积，

所述多个图案化狭缝包括：

多个开口部，沿着所述图案化狭缝的长度方向延伸而成，并且沿所述图案化狭缝的长度方向和宽度方向连续地布置有多个以供所述沉积物质通过；以及

多个肋，形成于所述各个开口部之间的、沿所述图案化狭缝的长度方向相隔开的空间中，

其中，所述各个肋在所述图案化狭缝的长度方向上的宽度为0.65mm。

8.如权利要求7所述的有机层沉积装置，其特征在于，所述第一移送部和所述第二移送部被设置成贯穿所述沉积部。

9.如权利要求7所述的有机层沉积装置，其特征在于，所述第一移送部和所述第二移送部被上下并排地布置。

10.如权利要求7所述的有机层沉积装置，其特征在于，所述第一移送部将所述移动部从所述装载部经由所述沉积部移动至所述卸载部。

11.如权利要求7所述的有机层沉积装置，其特征在于，所述第二移送部将所述移动部从所述卸载部经由所述沉积部移动至所述装载部。

12.如权利要求7所述的有机层沉积装置，其特征在于，所述有机层沉积组件的所述图案化狭缝片在所述第一方向上形成为比所述衬底小。

13.如权利要求7所述的有机层沉积装置，其特征在于，

所述沉积源喷嘴部中沿着第一方向形成有多个沉积源喷嘴，

所述图案化狭缝片中沿着垂直于所述第一方向的第二方向形成有多个图案化狭缝。

14.如权利要求13所述的有机层沉积装置，其特征在于，

所述沉积源和所述沉积源喷嘴部与所述图案化狭缝片通过连接部件结合以形成为一体。

15.如权利要求14所述的有机层沉积装置，其特征在于，所述连接部件引导所述沉积物质的移动路径。

16.如权利要求15所述的有机层沉积装置，其特征在于，所述连接部件形成为从外部密封所述沉积源和所述沉积源喷嘴部与所述图案化狭缝片之间的空间。

17.一种有机发光显示装置的制造方法，所述有机发光显示装置的制造方法使用将有机层形成到衬底上的有机层沉积装置，其特征在于，包括以下步骤：

在装载部中将所述衬底固定到移动部；

使用设置成贯穿腔室的第一移送部将固定有所述衬底的所述移动部移送到所述腔室内；

在布置于所述腔室内的有机层沉积组件与所述衬底相隔开的状态下，使所述衬底相对于所述有机层沉积组件相对移动并使从所述有机层沉积组件发散的沉积物质沉积到所述衬底上以形成有机层；

在卸载部中从所述移动部分离已完成沉积的所述衬底；以及

使用设置成贯穿腔室的第二移送部将与所述衬底分离的所述移动部移送到所述装载部，

其中，所述有机层沉积组件包括：

沉积源，放射所述沉积物质；

沉积源喷嘴部，布置于所述沉积源的一侧，并且形成有多个沉积源喷嘴；以及

图案化狭缝片，布置成与所述沉积源喷嘴部相对，并且形成有多个图案化狭缝，

其中，所述衬底形成为与所述有机层沉积组件相隔开以能够相对于所述有机层沉积组件相对移动，

从所述沉积源放射的所述沉积物质通过所述图案化狭缝片并在所述衬底上形成图案的同时被沉积，

所述多个图案化狭缝包括：

多个开口部，沿着所述图案化狭缝的长度方向延伸而成，并且沿所述图案化狭缝的长度方向和宽度方向连续地布置有多个以供所述沉积物质通过；以及

多个肋，形成于所述各个开口部之间的、沿所述图案化狭缝的长度方向相隔开的空间中，

其中，所述各个肋在所述图案化狭缝的长度方向上的宽度为0.65mm。

18.如权利要求17所述的有机发光显示装置的制造方法，其特征在于，在所述腔室内部设置多个有机层沉积组件，其中，通过各个有机层沉积组件连续地在所述衬底上实施沉积。

19.如权利要求17所述的有机发光显示装置的制造方法，其特征在于，所述移动部在所述第一移送部与所述第二移送部之间循环。

20.如权利要求17所述的有机发光显示装置的制造方法，其特征在于，所述第一移送部和所述第二移送部被上下并排地布置。