CN105689209B - 一种加热匀胶的旋涂装置 - Google Patents
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- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 title claims abstract description 48
- 238000004528 spin coating Methods 0.000 title claims abstract description 45
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 claims description 4
- 239000003292 glue Substances 0.000 abstract description 14
- 239000007788 liquid Substances 0.000 abstract description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract description 2
- 238000009413 insulation Methods 0.000 abstract 3
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 7
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 5
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 230000006698 induction Effects 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- 230000009286 beneficial effect Effects 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 238000010981 drying operation Methods 0.000 description 1
- 230000002500 effect on skin Effects 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 1
- 238000004321 preservation Methods 0.000 description 1
- 238000012913 prioritisation Methods 0.000 description 1
- 238000005086 pumping Methods 0.000 description 1
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 1
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05C—APPARATUS FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05C13/00—Means for manipulating or holding work, e.g. for separate articles
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B05—SPRAYING OR ATOMISING IN GENERAL; APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05C—APPARATUS FOR APPLYING FLUENT MATERIALS TO SURFACES, IN GENERAL
- B05C9/00—Apparatus or plant for applying liquid or other fluent material to surfaces by means not covered by any preceding group, or in which the means of applying the liquid or other fluent material is not important
- B05C9/08—Apparatus or plant for applying liquid or other fluent material to surfaces by means not covered by any preceding group, or in which the means of applying the liquid or other fluent material is not important for applying liquid or other fluent material and performing an auxiliary operation
- B05C9/14—Apparatus or plant for applying liquid or other fluent material to surfaces by means not covered by any preceding group, or in which the means of applying the liquid or other fluent material is not important for applying liquid or other fluent material and performing an auxiliary operation the auxiliary operation involving heating or cooling
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Abstract
本发明涉及一种加热匀胶的旋涂装置，所述装置包含有竖向设置的转轴（5），所述转轴（5）顶部套装有一水平设置的载物盘（1），所述转轴（5）上套装有隔热盘（4）和导电滑环（6），所述隔热盘（4）上安装有加热盘（3），所述加热盘（3）通过导电滑环（6）与电源相连接，上述隔热盘（4）位于加热盘（3）和导电滑环（6）之间，且加热盘（3）位于载物盘（1）的下方。本发明涉及一种加热匀胶的旋涂装置，能够在旋转过程中对胶液进行加热并对温度进行精确控制。
Description
技术领域
本发明涉及一种匀胶旋涂设备，尤其是涉及一种在匀胶过程中对载物盘上的胶进行加热的匀胶旋涂设备（也即匀胶机），其用于在以硅片等材料为底材的基片上进行旋涂镀膜，属于半导体集成电路加工设备技术领域。
背景技术
匀胶机是半导体芯片制造工艺中非常重要的设备，匀胶机有许多常用名称，如：涂胶机、甩胶机、旋转涂胶机、旋转涂膜机、旋转涂布机等，其可应用于溶胶凝胶试验中的薄膜制作，工作原理为高速旋转基片，利用离心力使滴在基片上的胶液均匀的涂在基片上。
目前，普通的匀胶机可以满足大多数胶液的旋涂作业，但有些特殊的胶液需要在一定的温度范围内才能实现良好的成膜效果，并且有使用者需要在匀胶的过程中实现烤胶作业；所以需要一种能在加热的状态下进行匀胶的设备；如今市面上有内嵌式加热（如中国专利ZL201420683426.7公开的“一种匀胶机”——其包括主体机、载片台及用于容置载片台的限位框，所述载片台设于主体机的中间位置处，并与主体机内的驱动电机连接，用于驱动载片台进行旋转；该匀胶机进一步包括加热机构，其主要由感应线圈组成，其中所述感应线圈固定在载片台上，并与主体机电性连接，用于对置于载片台上的载片进行加热）、以及盖子加热（如中国专利ZL201420651955.9公开的“硅片匀胶烘干操作台”——其包括操作台本体、匀胶机和烘干装置，在所述操作台本体桌面上设置有通孔，所述匀胶机的托盘固定在所述通孔中；所述烘干装置包括加热丝、开关和烘干板，所述开关设置在操作台本体的桌面一侧，所述加热丝位于烘干板下方，所述烘干板上表面等间距设置有若干凸筋）两种样式的设备；但是在实际使用中发现这两种设备的温度不能做到精确地控制，并且两种加热的方式容易产生“皮肤效应”，影响作业效果。
发明内容
本发明的目的在于克服上述不足，提供一种能够在旋转过程中对胶液进行加热并对温度进行精确控制的加热匀胶的旋涂装置
本发明的目的是这样实现的：
一种加热匀胶的旋涂装置，所述装置包含有竖向设置的转轴，所述转轴顶部套装有一水平设置的载物盘，所述转轴上套装有隔热盘和导电滑环，所述隔热盘上安装有加热盘，所述加热盘通过导电滑环与电源相连接，上述隔热盘位于加热盘和导电滑环之间，且加热盘位于载物盘的下方。
本发明一种加热匀胶的旋涂装置，所述隔热盘上设置有一沉孔，上述加热盘套装于转轴上并位于该沉孔内。
本发明一种加热匀胶的旋涂装置，所述载物盘和加热盘之间设置有一盖板。
本发明一种加热匀胶的旋涂装置，所述载物盘内部为中空腔体，且载物盘的顶面上设置有多个与中空腔体相连通的吸附孔，所述转轴中心沿其轴向设置有一抽气通道，该抽气通道的顶端与中空腔体相连通。
本发明一种加热匀胶的旋涂装置，所述载物盘的底面上设置有多个温度传感器。
本发明一种加热匀胶的旋涂装置，所述温度传感器通过导电滑环与外接温控装置相连接。
本发明一种加热匀胶的旋涂装置，所述转轴底部通过同步轮与电机轴传动相连。
与现有技术相比，本发明的有益效果是：
本发明在旋转匀胶的同时能够通过加热盘对载物盘进行加热，不仅能实现常规胶液的匀胶成膜作业，而且可以满足有特殊温度要求的胶液的使用需求，以此得到理想的成膜效果；同时通过精确的温度控制，本发明专利边旋转边加热的功能可在匀胶的过程中同时实现烤胶作业。
附图说明
图1为本发明一种加热匀胶的旋涂装置的结构示意图。
其中：
载物盘1、盖板2、加热盘3、隔热盘4、转轴5、导电滑环6。
具体实施方式
参见图1，本发明涉及的一种加热匀胶的旋涂装置，所述装置包含有竖向设置的转轴5，所述转轴5顶部套装有一水平设置的载物盘1，所述转轴5上套装有隔热盘4和导电滑环6，所述隔热盘4上安装有加热盘3，所述加热盘3通过导电滑环6与电源相连接，上述隔热盘4位于加热盘3和导电滑环6之间，用于防止加热盘3工作时产生的热量对导电滑环6产生不利影响，并起到保温的作用（隔热盘4采用低导热系数材料），具体的讲，所述隔热盘4上设置有一沉孔，上述加热盘3套装于转轴5上并位于该沉孔内；进一步的，所述加热盘3位于载物盘1的下方，加热盘3产生的热量对载物盘1上放置的基片上的胶进行加热，且所述载物盘1和加热盘3之间设置有一盖板2，盖板2的引入使得加热时热量的传导更为均匀，避免加热不均匀而影响其加热效果；
优选的，为了提高载物盘1对位于其上的基片的吸附力；所述载物盘1内部为中空腔体，且载物盘1的顶面上设置有多个与中空腔体相连通的吸附孔，所述转轴5中心沿其轴向设置有一抽气通道，该抽气通道的顶端与中空腔体相连通；使用时，该抽气通道的底部与真空泵相连通，使得中空腔体内抽气产生负压，从而使得基片在大气压的作用下，牢牢的吸附在载物盘1上；
优选的，所述载物盘1的底面上设置有多个温度传感器，所述温度传感器通过导电滑环6与外接温控装置相连接，从而可精确的对温度进行监控；
优选的，所述转轴5底部通过同步轮与电机轴传动相连；
另外：需要注意的是，上述具体实施方式仅为本专利的一个优化方案，本领域的技术人员根据上述构思所做的任何改动或改进，均在本专利的保护范围之内。
Claims (2)
1.一种加热匀胶的旋涂装置，其特征在于：所述装置包含有竖向设置的转轴（5），所述转轴（5）顶部套装有一水平设置的载物盘（1），所述转轴（5）上套装有隔热盘（4）和导电滑环（6），所述隔热盘（4）上设置有一沉孔，加热盘（3）套装于转轴（5）上并位于该沉孔内，该加热盘（3）位于载物盘（1）的下方，且载物盘（1）和加热盘（3）之间设置有一盖板（2），上述隔热盘（4）位于加热盘（3）和导电滑环（6）之间，所述加热盘（3）通过导电滑环（6）与电源相连接，所述载物盘（1）的底面上设置有多个温度传感器；所述温度传感器通过导电滑环（6）与外接温控装置相连接；所述载物盘（1）内部为中空腔体，且载物盘（1）的顶面上设置有多个与中空腔体相连通的吸附孔，所述转轴（5）中心沿其轴向设置有一抽气通道，该抽气通道的顶端与中空腔体相连通。
2.如权利要求1所述一种加热匀胶的旋涂装置，其特征在于：所述转轴（5）底部通过同步轮与电机轴传动相连。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201610120011.2A CN105689209B (zh) | 2016-03-03 | 2016-03-03 | 一种加热匀胶的旋涂装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| CN201610120011.2A CN105689209B (zh) | 2016-03-03 | 2016-03-03 | 一种加热匀胶的旋涂装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| CN105689209A CN105689209A (zh) | 2016-06-22 |
| CN105689209B true CN105689209B (zh) | 2018-09-25 |
Family
ID=56223818
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| CN201610120011.2A Active CN105689209B (zh) | 2016-03-03 | 2016-03-03 | 一种加热匀胶的旋涂装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| CN (1) | CN105689209B (zh) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| CN110560282B (zh) * | 2019-08-22 | 2020-12-29 | 中国科学院微电子研究所 | 一种旋涂装置 |
Family Cites Families (12)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DK134218B (da) * | 1973-09-13 | 1976-10-04 | Oehlenschlaeger Adam A | Fremgangsmåde til dannelse af en af termoplastisk eller termohærdende plastmateriale bestående belægning på den indre overflade af en hul genstand samt apparat til udøvelse af fremgangsmåden. |
| JP4075527B2 (ja) * | 2002-08-28 | 2008-04-16 | 日本電気株式会社 | レジスト塗布方法およびレジスト塗布装置 |
| CN101245454A (zh) * | 2007-12-27 | 2008-08-20 | 北京石油化工学院 | 甩胶喷雾热分解薄膜制备设备 |
| JP2010087197A (ja) * | 2008-09-30 | 2010-04-15 | M Setek Co Ltd | レジスト塗布装置 |
| CN201337972Y (zh) * | 2008-12-02 | 2009-11-04 | 山东建筑大学 | 一种旋转甩膜机 |
| CN201473309U (zh) * | 2009-09-18 | 2010-05-19 | 沈阳芯源微电子设备有限公司 | 用于半导体制成中的喷胶处理装置 |
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| JP6384414B2 (ja) * | 2014-08-08 | 2018-09-05 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板加熱装置、基板加熱方法、記憶媒体 |
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| CN204583618U (zh) * | 2015-02-15 | 2015-08-26 | 南通航运职业技术学院 | 一种自动化涂胶设备 |
| CN204564476U (zh) * | 2015-04-14 | 2015-08-19 | 北京法润高科科技有限责任公司 | 一种可独立温控多层浸渍涂膜仪 |
| CN104889010A (zh) * | 2015-06-04 | 2015-09-09 | 大连顺诚自动化设备有限公司 | 薄膜接着机的专用涂胶装置 |
-
2016
- 2016-03-03 CN CN201610120011.2A patent/CN105689209B/zh active Active
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| CN105689209A (zh) | 2016-06-22 |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| C06 | Publication | ||
| PB01 | Publication | ||
| C10 | Entry into substantive examination | ||
| SE01 | Entry into force of request for substantive examination | ||
| GR01 | Patent grant | ||
| GR01 | Patent grant |