CN105649987A - 一种真空泵用复合密封 - Google Patents

Abstract

本发明涉及真空领域的真空泵结构，具体地说是一种真空泵用复合密封，包括活塞环密封、密封圈、氮气密封、迷宫密封及排气腔，真空泵的腔体与装有润滑油的油箱之间设有排气腔，真空泵的转子轴由腔体穿出，由排气腔穿过，并插入油箱中；转子轴位于排气腔内的部分分别套设有活塞环密封及迷宫密封，活塞环密封的两端与转子轴之间均设有密封圈，腔体内的介质通过活塞环密封与该侧的密封圈密封，油箱内的润滑油或油气通过该侧的密封圈及迷宫密封密封；排气腔内、位于所述活塞环密封两端之间的位置设有氮气密封。本发明提供了非常可靠的密封方式，使腔体与外界完全隔离，保证了介质的零泄漏；本发明结构紧凑，安装空间小，便于设备配套安装使用。

Description

一种真空泵用复合密封

技术领域

本发明涉及真空领域的真空泵结构，具体地说是一种真空泵用复合密封。

背景技术

真空泵由于具有优越的性能，在微电子、制药、精密加工、造纸、包装等行业有着广泛的应用，尤其是在半导体、化工、制药有很多独特的应用。

近年来，随着真空泵在半导体、化工、制药行业的应用，暴露出了一些问题。传统轴封不能保证真空泵输送介质的完全密封，必然存在着一定量的介质泄漏，这样不仅会缩短真空泵的使用寿命，若抽取有毒、有害介质，还会危害操作者的生命。基于以上情况，需要一种相对无泄漏的真空泵，这对于真空泵在半导体、制药、化工行业的应用意义重大。

发明内容

为了解决现有真空泵存在介质泄漏的问题，本发明的目的在于提供一种真空泵用复合密封。具有该复合密封真空泵通过活塞环密封、密封圈、氮气密封和迷宫密封组合的方式将腔体和油箱、腔体和外界完全隔离，一方面介质完全被封闭在腔体内，另一方面腔体和润滑油完全被隔离，特别适用于半导体、化工、制药等有粉尘有毒有害介质的工况。

本发明的目的是通过以下技术方案来实现的：

本发明包括活塞环密封、密封圈、氮气密封、迷宫密封及排气腔，所述真空泵的腔体与装有润滑油的油箱之间设有排气腔，所述真空泵的转子轴由所述腔体穿出，由所述排气腔穿过，并插入所述油箱中；所述转子轴位于排气腔内的部分分别套设有活塞环密封及迷宫密封，该活塞环密封的两端与所述转子轴之间均设有密封圈，所述腔体内的介质通过活塞环密封与该侧的所述密封圈密封，所述油箱内的润滑油或油气通过该侧的所述密封圈及迷宫密封密封；所述排气腔内、位于所述活塞环密封两端之间的位置设有所述氮气密封。

其中：所述排气腔内设有氮气腔，该氮气腔位于所述活塞环密封两端之间；所述排气腔上开有氮气吹扫孔，该氮气吹扫孔的外端与外界氮气源相连通，内端与所述氮气腔相连通，所述外界氮气源输出的氮气通过氮气吹扫孔进入氮气腔内，在所述氮气腔内形成氮气密封；所述氮气吹扫孔的轴向垂直于转子轴的轴向；所述活塞环密封一侧的端面与同侧的排气腔的端面共面，该侧的活塞环密封与所述转子轴之间设有第一密封圈；所述活塞环密封的另一侧与迷宫密封的一侧抵接，该侧的活塞环密封与所述转子轴之间设有第二密封圈，所述迷宫密封的另一侧与油箱密封连接。

本发明的优点与积极效果为：

1.本发明提供了非常可靠的密封方式，使腔体与外界完全隔离，保证了介质的零泄漏，特别适用于半导体、化工、制药有粉尘有毒有害介质的工况。

2.本发明实现了腔体与油箱的完全隔离，既阻止了输送介质进入油箱，又阻止了润滑油或油气进入腔体，这样一方面保证了输送介质的纯净无油，另一方面保证了在输送过程中阻止腐蚀介质进入油箱，可以保证真空泵的安全、稳定。

3.本发明采用的复合密封，性能稳定，适合输送高温(80～100℃)介质等苛刻工况。

4.本发明结构紧凑，安装空间小，便于设备配套安装使用。

附图说明

图1为本发明的结构示意图；

其中：1为转子轴，2为腔体，3为第一密封圈，4为活塞环密封，5为氮气吹扫孔，6为第二密封圈，7为迷宫密封，8为排气腔，9为油箱，10为氮气腔。

具体实施方式

下面结合附图对本发明作进一步详述。

如图1所示，本发明包括第一密封圈3、活塞环密封4、氮气密封、第二密封圈6、迷宫密封7及排气腔8，真空泵的腔体2与装有润滑油的油箱9之间设有排气腔8，真空泵的转子轴1由腔体2穿出，由排气腔8穿过，并插入油箱9中。

转子轴1位于排气腔8内的部分分别套设有活塞环密封4及迷宫密封7，活塞环密封4一侧的端面与同侧的排气腔8的端面共面，该侧的活塞环密封4与转子轴1之间设有第一密封圈3，腔体2内的介质通过活塞环密封4及第一密封圈3密封。活塞环密封4的另一侧与迷宫密封7的一侧抵接，该侧的活塞环密封4与转子轴1之间设有第二密封圈6，迷宫密封7的另一侧与油箱9密封连接，油箱9内的润滑油或油气通过第二密封圈6及迷宫密封7密封。

排气腔8内、位于活塞环密封4两端之间的位置设有氮气密封。排气腔8内设有氮气腔10，该氮气腔10位于活塞环密封4两端之间。排气腔8上开有氮气吹扫孔5，该氮气吹扫孔5的轴向垂直于转子轴1的轴向，氮气吹扫孔5的外端与外界氮气源相连通，内端与氮气腔10相连通，外界氮气源输出的、设置了要求的氮气参数的氮气，通过氮气吹扫孔5吹入氮气腔10内，在氮气腔10内形成氮气密封。

本发明的工作原理为：

油箱9通过排气腔8与真空泵的腔体2连接，油箱内有润滑油。本发明采用的密封形式是活塞环密封4、第一密封圈3、第二密封圈6、氮气密封和迷宫密封7组成的复合密封，一方面活塞环密封4和第一密封圈3可以阻止腔体2内的介质进入油箱9，一方面迷宫密封7和第二密封圈6可以阻止油箱9内的润滑油或油气进入腔体2；另一方面，在氮气密封处形成高压(1～2bar)，既能阻止腔体2的介质进入油箱9，又能阻止油箱9内的润滑油或油气进入腔体2，更加适合输送含有粉尘，有毒、有害等介质，广泛应用在半导体、化工、制药等行业。

Claims (4)

1.一种真空泵用复合密封，其特征在于：包括活塞环密封(4)、密封圈、氮气密封、迷宫密封(7)及排气腔(8)，所述真空泵的腔体(2)与装有润滑油的油箱(9)之间设有排气腔(8)，所述真空泵的转子轴(1)由所述腔体(2)穿出，由所述排气腔(8)穿过，并插入所述油箱(9)中；所述转子轴(1)位于排气腔(8)内的部分分别套设有活塞环密封(4)及迷宫密封(7)，该活塞环密封(4)的两端与所述转子轴(1)之间均设有密封圈，所述腔体(2)内的介质通过活塞环密封(4)与该侧的所述密封圈密封，所述油箱(9)内的润滑油或油气通过该侧的所述密封圈及迷宫密封(7)密封；所述排气腔(8)内、位于所述活塞环密封(4)两端之间的位置设有所述氮气密封。

2.按权利要求1所述的真空泵用复合密封，其特征在于：所述排气腔(8)内设有氮气腔(10)，该氮气腔(10)位于所述活塞环密封(4)两端之间；所述排气腔(8)上开有氮气吹扫孔(5)，该氮气吹扫孔(5)的外端与外界氮气源相连通，内端与所述氮气腔(10)相连通，所述外界氮气源输出的氮气通过氮气吹扫孔(5)进入氮气腔(10)内，在所述氮气腔(10)内形成氮气密封。

3.按权利要求2所述的真空泵用复合密封，其特征在于：所述氮气吹扫孔(5)的轴向垂直于转子轴(1)的轴向。

4.按权利要求1、2或3所述的真空泵用复合密封，其特征在于：所述活塞环密封(4)一侧的端面与同侧的排气腔(8)的端面共面，该侧的活塞环密封(4)与所述转子轴(1)之间设有第一密封圈(3)；所述活塞环密封(4)的另一侧与迷宫密封(7)的一侧抵接，该侧的活塞环密封(4)与所述转子轴(1)之间设有第二密封圈(6)，所述迷宫密封(7)的另一侧与油箱(9)密封连接。