CN105634435A - 压电振动片及压电振动器 - Google Patents
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- 235000014676 Phragmites communis Nutrition 0.000 title abstract description 9
- 238000004806 packaging method and process Methods 0.000 claims description 23
- 239000010453 quartz Substances 0.000 claims description 13
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 13
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 claims description 8
- 230000005284 excitation Effects 0.000 description 15
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 14
- 238000006073 displacement reaction Methods 0.000 description 9
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 6
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 5
- 230000008595 infiltration Effects 0.000 description 4
- 238000001764 infiltration Methods 0.000 description 4
- 239000000203 mixture Substances 0.000 description 4
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 3
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 2
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 2
- 229910010293 ceramic material Inorganic materials 0.000 description 2
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 2
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 2
- 230000010355 oscillation Effects 0.000 description 2
- 238000010276 construction Methods 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 239000002674 ointment Substances 0.000 description 1
- 230000000644 propagated effect Effects 0.000 description 1
- 230000001902 propagating effect Effects 0.000 description 1
- 230000035939 shock Effects 0.000 description 1
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-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/15—Constructional features of resonators consisting of piezoelectric or electrostrictive material
- H03H9/17—Constructional features of resonators consisting of piezoelectric or electrostrictive material having a single resonator
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-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/02—Details
- H03H9/05—Holders; Supports
- H03H9/10—Mounting in enclosures
- H03H9/1007—Mounting in enclosures for bulk acoustic wave [BAW] devices
- H03H9/1014—Mounting in enclosures for bulk acoustic wave [BAW] devices the enclosure being defined by a frame built on a substrate and a cap, the frame having no mechanical contact with the BAW device
- H03H9/1021—Mounting in enclosures for bulk acoustic wave [BAW] devices the enclosure being defined by a frame built on a substrate and a cap, the frame having no mechanical contact with the BAW device the BAW device being of the cantilever type
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- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
- H10N30/80—Constructional details
- H10N30/88—Mounts; Supports; Enclosures; Casings
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Abstract
本发明提供耐久性优异的小型压电振动片及压电振动器。压电振动片(10)具备:矩形状的压电板(11);形成在压电板(11)的主面的振动部(12);以及安装压电板(11)的一对装配部(21、22)。一对装配部(21、22)形成在压电板(11)中的长边方向的两端部。压电振动器具备压电振动片(10)和安装压电振动片(10)的装配部(21、22)的封装件。
Description
技术领域
本发明涉及压电振动片及压电振动器。
背景技术
在便携电话、便携信息终端设备、电波钟表等中,作为时刻源或控制信号的定时源、参考信号源等,使用例如利用石英的压电振动器。一直以来,压电振动器中,压电振动片被以通过安装用的导电性粘接剂固定在封装件的状态收纳。
例如专利文献1中,记载了矩形状的压电振动片悬臂支撑在封装件的压电振动器。
专利文献1:日本特开2014-116388号公报。
发明内容
可是,专利文献1记载的压电振动器中,压电振动片在其长边方向端部的装配部中安装在封装件。因此,若对压电振动器有撞击等外力作用,则对压电振动片施加较大的力矩,装配部中压电振动片有可能从封装件剥落。特别是进行压电振动片的小型化时,由于装配部的面积缩小,装配部中的剥落会更加容易发生。因而,在现有的压电振动器及压电振动片中,存在耐久性伴随着小型化而下降这一课题。
因此本发明提供耐久性优异的小型压电振动片及压电振动器。
本发明的压电振动片,其特征在于,包括:矩形状的压电板;形成在所述压电板的主面的振动部;以及安装所述压电板的一对装配部,所述一对装配部形成在所述压电板中的长边方向的两端部。此外,进一步优选形成在所述压电板中的短边方向的一端部的角部附近。
依据本发明,当安装压电振动片时,由于利用形成在压电板的短边方向的一端部的一对装配部支撑矩形状的压电板,所以与现有构造那样在长边方向的一端部中支撑的情况相比,以装配部为中心的力矩变小。由此,施加到装配部的应力减少,因此在因压电振动片的小型化而装配部缩小,并且安装时的固定力减少的情况下,也能抑制装配部中的破损。因此,能得到耐久性优异的小型压电振动片。
上述压电振动片的特征在于:至少在所述装配部的周围,所述振动部比所述装配部更薄地形成。
依据本发明,压电振动片在安装到封装件的状态下即便产生以装配部为中心的力矩,也能在较薄地形成的振动部中缓冲作用于装配部的应力。因此,能得到耐久性更加优异的压电振动片。
上述压电振动片的特征在于:所述压电板利用AT切割石英基板形成,所述压电板的长边方向沿着所述AT切割石英基板的Z’轴方向。
AT切割石英基板的主振动模式即厚度滑移振动是在X轴方向较大地位移的振动。依据本发明,通过在沿着与X轴方向正交的Z’轴方向的2个点悬臂支撑压电振动片,装配部不会妨碍振动部的X轴方向的位移。在装配部妨碍振动部的位移的情况下,振动部或装配部中容易产生不需要振动,其结果是,难以得到期望的振动特性,但是依据上述构成,由于装配部的配置方向和振动部的位移方向为正交关系,因此与这些方向为同一个方向的情况相比,能够显著减少不需要振动的产生。因此,能得到振动特性优异的压电振动片。
上述压电振动片的特征在于:所述压电板的沿着长边方向的外形尺寸为所述压电板的沿着短边方向的外形尺寸的1.4倍以下。
依据本发明,压电振动片由于长边方向的外形尺寸为短边方向的外形尺寸的1.4倍以下,所以能够对应向例如俯视下接近正方形状的小型封装件的安装。
上述压电振动片的特征在于:所述装配部沿着所述压电板的面方向从所述压电板突出。
依据本发明,由于装配部从压电板突出,所以在安装压电振动片时,能够抑制例如导电膏等安装部件在浸润开时附着到振动部。由此能够抑制压电振动片的振动特性的偏差。因此,能得到振动特性优异的压电振动片。
本发明的压电振动器的特征在于:具备上述压电振动片和安装有所述压电振动片的所述装配部的封装件。
依据本发明,由于具备上述的压电振动片,所以能得到耐久性优异的小型压电振动器。
上述压电振动器的特征在于具有:安装部件,配置在所述压电振动片的所述装配部与所述封装件之间,用于将所述装配部安装在所述封装件,所述安装部件与所述装配部的主面和所述装配部的侧面接触。
依据本发明,通过安装部件至少从2个方向固定压电振动片,所以互相固接的压电振动片和安装部件变得难以剥落。因此,能得到耐久性更加优异的压电振动器。
依据本发明的压电振动片,当安装压电振动片时,通过形成在压电板的短边方向的一端部的一对装配部来支撑矩形状的压电板,因此与现有构造那样在长边方向的一端部支撑的情况相比,以装配部为中心的力矩变小。由此,加到装配部的应力减少,因此,即便因压电振动片的小型化而装配部缩小、安装时的固定力减少的情况下,也能抑制装配部中的破损。因此,能得到耐久性优异的小型压电振动片。
附图说明
图1是第1实施方式所涉及的压电振动片的平面图。
图2是第1实施方式所涉及的压电振动器的分解立体图。
图3是图2的III-III线上的截面图。
图4是第2实施方式所涉及的压电振动器的截面图。
图5是第2实施方式所涉及的压电振动片的仰视图。
图6是第2实施方式所涉及的其他压电振动片的截面图。
图7是第2实施方式所涉及的其他压电振动片的截面图。
图8是第2实施方式的变形例所涉及的压电振动器的截面图。
图9是第3实施方式所涉及的压电振动片的平面图。
图10是示出压电振动片的其他结构的平面图。
图11是示出压电振动片的其他结构的平面图。
具体实施方式
以下,基于附图,对本发明的实施方式进行说明。此外,在说明各图的结构时,采用XY’Z’坐标系。该XY’Z’坐标系中的各轴与后述的石英的晶轴有以下关系。即,X轴为电轴,Z’轴为相对于作为光学轴的Z轴在X轴周围仅倾斜35度15分的轴,Y’轴为与X轴及Z’轴正交的轴。另外,X轴方向、Y’轴方向及Z’轴方向,以图中箭头方向为+方向、与箭头相反的方向为-方向而进行说明。
[第1实施方式]
最先,对第1实施方式的压电振动片及压电振动器进行说明。
图1是第1实施方式所涉及的压电振动片的平面图。
如图1所示,压电振动片10具备压电板11、装配电极31、32和激振电极34。
压电板11利用AT切割石英基板以俯视矩形状形成。在此,AT切割是沿着人工石英的晶轴即电轴(X轴)、机械轴(Y轴)及光学轴(Z轴)这三个晶轴之中相对于Z轴在X轴周围仅倾斜35度15分的方向(Z’轴方向)切出的加工手法。具有通过AT切割而切出的压电板11的压电振动片10,具有以下优点,即,频率温度特性稳定,构造、形状单纯且容易加工,CI值低。压电板11以使长边方向沿着Z’轴方向的方式形成,长边方向(Z’轴方向)上的外形尺寸成为短边方向(X轴方向)上的外形尺寸的1.4倍以下。另外,关于压电板11,Y’轴方向为厚度方向,在Y’轴方向的两面具有主面11A、11B。
在压电板11形成有振动部12和安装压电板11的一对装配部21、22。
振动部12为俯视长方形状,以使长边方向沿着Z’轴方向的方式形成。在振动部12形成有形成在压电板11的一个主面11A上的一个激振电极34A和形成在另一主面11B上的另一个激振电极34B。一个激振电极34A在振动部12的俯视大致中央以矩形状形成。另一个激振电极34B形成为俯视与形成在一个主面11A上的一个激振电极34A重叠。依据该构成,通过对激振电极34A、34B施加电压,能够沿X方向使压电板11厚度滑移振动。
一对装配部21、22在压电板11的短边方向(X轴方向)的一端部形成在长边方向(Z’轴方向)的两端部。
第1装配部21从压电板11的俯视大致中央来看形成在位于(-X,+Z’)方向的角部。第1装配部21具有形成在压电板11的一个主面11A上的一个第1装配电极31A和形成在另一主面11B上的另一个第1装配电极31B。一个第1装配电极31A以俯视矩形状形成,经由迂回布线36A对一个激振电极34A连接。另一个第1装配电极31B俯视下以与一个第1装配电极31A重叠的方式形成。
一个第1装配电极31A和另一个第1装配电极31B经由形成在第1装配部21的面向-X方向的侧面以及面向+Z’方向的侧面的第1侧面电极37而相互连接。
第2装配部22从压电板11的俯视大致中央来看形成在位于(-X,-Z’)方向的角部。第2装配部22具有形成在压电板11的一个主面11A上的一个第2装配电极32A和形成在另一主面11B上的另一个第2装配电极32B。一个第2装配电极32A以俯视矩形状形成。另一个第2装配电极32B俯视下以与一个第2装配电极32A重叠的方式形成。另一个第2装配电极32B经由迂回布线36B对另一个激振电极34B连接。
一个第2装配电极32A和另一个第2装配电极32B经由形成在第2装配部22的面向-X方向的侧面以及面向-Z’方向的侧面的第2侧面电极38而相互连接。
接着,对具备压电振动片10的压电振动器1进行说明。
图2是第1实施方式所涉及的压电振动器的分解立体图。图3是图2的III-III线上的截面图。此外,在图3中,为了容易理解而夸大图示了第2装配电极32的膜厚(关于以下的截面图也同样)。
如图2所示,本实施方式的压电振动器1在封装件5的空腔C的内部容纳压电振动片10。封装件5叠合基底基板2和盖基板3而形成。
基底基板2具备以矩形板状形成的底壁部2a和从底壁部2a的周缘部立设的侧壁部2b。底壁部2a及侧壁部2b利用陶瓷材料等来形成。
在空腔C的内部的底壁部2a的表面形成有一对内部电极7。一对内部电极7沿既定方向分离而形成。另外,在空腔C的外部的底壁部2a的表面形成有一对外部电极(未图示)。而且,通过沿厚度方向贯通底壁部2a的贯通电极(未图示),内部电极7和外部电极连接。此外,内部电极7和外部电极的连接方式并不局限于此,也可为例如经由向陶瓷片的面方向延伸出的布线连接内部电极7和外部电极的方式。
另外,盖基板3利用陶瓷材料等以矩形板状形成。盖基板3的周缘部粘接在基底基板2的侧壁部2b的端面。而且,在由基底基板2的底壁部2a及侧壁部2b和盖基板3包围的区域,形成有空腔C。
如图3所示,在空腔C的内部容纳有压电振动片10。压电振动片10经由导电膏等安装部件9安装在基底基板2的底壁部2a。更具体而言,对于形成在基底基板2的底壁部2a的一对内部电极7,压电振动片10的一对装配部21、22所具有的第1装配电极31及第2装配电极32经由安装部件9安装。由此,压电振动片10机械保持在封装件5,并且第1装配电极31及第2装配电极32和内部电极7成为分别导通的状态。
这样,本实施方式的压电振动片10具备:俯视下以矩形状形成的压电板11;形成在压电板11的主面中央区域的振动部12;以及安装压电板11的一对装配部21、22,一对装配部21、22在压电板11中的短边方向的一端部,形成在压电板11中的长边方向的两端部。
依据该结构,当安装压电振动片10时,由于利用形成在压电板11的短边方向的一端部的一对装配部21、22支撑矩形状的压电板11,所以与现有构造那样在长边方向的一端部支撑的情况相比,以装配部21、22为中心的力矩变小。由此,减小加到装配部21、22的应力,因此,即便因压电振动片10的小型化而装配部21、22缩小,且安装时的固定力减少的情况下,也能抑制装配部21、22中的破损。因此,能得到耐久性优异的小型压电振动片10。
另外,与将装配部设置在振动板中的短边方向的中央附近的构造相比,装配部21、22与激振电极34的距离变长。因此,由于能够加长在装配部21、22传播由振动部12产生的振动时的传播距离,所以能够充分地衰减由振动部12产生的振动,并能减少振动能量从装配部21、22泄漏到外部的所谓振动泄漏的课题。
另外,压电板11利用AT切割石英基板形成,压电板11的长边方向沿着Z’轴方向。在此,作为AT切割石英基板的主振动模式的厚度滑移振动为在X轴方向较大地位移的振动。因此,通过在沿着与X轴方向正交的Z’轴方向的2个点悬臂支撑压电振动片10,装配部21、22不会妨碍振动部12的X轴方向的位移。在装配部妨碍振动部的位移的情况下,在振动部、装配部容易产生不需要振动,其结果是,难以得到期望的振动特性,但是依据本实施形成的结构,由于装配部21、22的配置方向和振动部12的位移方向处于正交关系,所以与这些方向为同一个方向的情况相比,能够显著减少不需要振动的发生。
另外,压电板11的长边方向上的外形尺寸为压电板11的短边方向上的外形尺寸的1.4倍以下,因此压电振动片10能够对应向例如俯视下接近正方形状的小型封装件的安装。
另外,本实施方式的压电振动器1具备压电振动片10和安装压电振动片10的装配部21、22的封装件5,因此能得到耐久性优异的小型压电振动器1。
[第2实施方式]
接着,对第2实施方式的压电振动器及压电振动片进行说明。
图4是第2实施方式所涉及的压电振动器的截面图,并且是相当于图2的III-III线的部分上的截面图。图5是第2实施方式所涉及的压电振动片的仰视图。
图4及图5所示的第2实施方式的压电振动片110,在振动部112比装配部121、122更薄地形成这一点上,与第1实施方式的压电振动片10不同。此外,关于与第1实施方式同样的结构,标注同一标号并省略详细的说明(关于以下的实施方式也同样)。
如图4所示,压电振动器101具有经由安装部件9安装在封装件5的压电振动片110。此外,作为安装部件9,能够适用导电性粘接剂、膏剂等。
如图4及图5所示,压电振动片110所具备的压电板111具有在+Y’方向上比振动部112中的另一主面111B更高一个级地形成的第1装配部121及第2装配部122。
第1装配部121通过压电板111的侧面及阶梯差部115规定为俯视矩形状。阶梯差部115在第1装配电极31B的周围、从第1装配电极31B来看连续于+X侧及-Z’侧而形成。第1装配部121的主面121a与压电板111的另一主面111B平行地形成。
第2装配部122通过压电板111的侧面及阶梯差部116规定为俯视矩形状。阶梯差部116在第2装配电极32B的周围、从第2装配电极32B来看连续于+X侧及+Z’侧而形成。第2装配部122的主面122a与压电板111的另一主面111B平行地形成。
在装配部121、122的周围,振动部112比装配部121、122更薄。
如图4所示,压电振动片110以使压电板111的另一主面111B与基底基板2的底壁部2a对置的状态安装。此时,第1装配部121的主面121a及第2装配部122的主面122a经由安装部件9对封装件5的内部电极7安装。
这样,本实施方式的压电振动片110中,振动部112在装配部121、122的周围比装配部121、122更薄地形成。因此,压电振动片110在安装到封装件5的状态下,即便产生以装配部121、122为中心的力矩,也能在较薄地形成的振动部112中缓冲作用于装配部121、122的应力。因此,能得到耐久性更加优异的压电振动片110。
另外,在将压电振动片110安装在封装件5时,通过使安装部件9接触到比另一主面111B高一阶梯的装配部121、122的主面121a、122a,能够防止安装部件9从主面121a、122a浸润开并附着到振动部112。由此,能够抑制压电振动片110的振动特性的偏差。
此外,在本实施方式中,压电振动片110使安装部件9接触到压电板111的另一主面111B侧的装配部121、122的主面121a、122a而安装在封装件5,但并不局限于此。压电振动片110也可以使安装部件9与压电板111的一个主面111A侧的装配部121、122的主面接触。在该情况下,能够得到在振动部112中缓冲作用于上述的装配部121、122的应力的效果。
另外,在本实施方式中,装配部121、122仅在压电板111的厚度方向(Y’轴方向)的一方突出,但不限于此。
图6及图7是第2实施方式所涉及的其他压电振动片的截面图,是相当于图5的VI-VI线的部分上的截面图。
如图6所示,装配部121、122也可以分别比振动部112中的一个主面111A及另一主面111B高一个阶梯。通过这样构成,当将压电振动片110安装在封装件5时,即便使压电板111的两主面111A、111B的哪一主面与基底基板2的底壁部2a对置,也能使安装部件9接触到装配部121、122的高一个阶梯地形成的主面121a、122a。因此,提高压电振动器101的制造效率,并能以低成本制造。
另外,如图7所示,压电振动片110也可以为具有振动部112从压电板111的两主面111A、111B突出的厚壁部112a的、所谓台面形状的压电振动片。在该情况下,厚壁部112a及装配部121、122分别独立并以从压电板111的两主面111A、111B突出的方式形成。由此压电振动片110除了上述作用效果以外,还能将振动能量封入厚壁部112a内,从而抑制振动向装配部121、122传播。此外,在图7中,作为厚壁部112a公开了1阶梯的台面形状,但本发明不限于此。作为厚壁部112a,也可以为具有多阶梯的台面部的形状。进而,在两主面111A、111B的至少一个主面形成厚壁部112a的构成也可。
此外,在图7所示的压电振动片110中,对于厚壁部112a及装配部121、122的高度无特别限定,但是优选厚壁部112a及装配部121、122为相同高度。依据该结构,能够在形成压电板111时同时形成厚壁部112a和装配部121、122,因此能够简化制造工序。
另外,图7所示的压电振动片110中,厚壁部112a的主面以从压电板111的两主面111A、111B高一个阶梯的方式形成,但是厚壁部的主面也可以从压电板111的两主面111A、111B多阶梯变高的方式形成。
[第2实施方式的变形例]
接着,对第2实施方式的变形例的压电振动器201进行说明。
图8是第2实施方式的变形例所涉及的压电振动器的截面图,并且是相当于图2的III-III线的部分上的截面图。
图4所示的第2实施方式的压电振动器101,使安装部件9仅与压电振动片110的装配部121、122的主面121a、122a接触。相对于此,图8所示的变形例的压电振动器201,使安装部件9与压电振动片110的装配部121、122的主面121a、122a和侧面121b、122b(参照图5)接触,在这一点上与第2实施方式不同。此外,关于与第2实施方式同样的结构,标注同一标号并省略详细的说明。
如图8所示,压电振动器201中,压电振动片110经由安装部件9安装在封装件5。压电振动器201中,安装部件9从压电振动片110的装配部121、122中的主面121a、122a遍及装配部121、122中的侧面121b、122b而接触。
这样,本变形例的压电振动器201具有与装配部121、122的主面121a、122a和装配部121、122的侧面121b、122b接触的安装部件9。依据该结构,压电振动片110通过安装部件9至少从2个方向固定,因此互相固接的压电振动片110和安装部件9变得难以剥落。因此,能得到耐久性更加优异的压电振动器201。
[第3实施方式]
接着,对第3实施方式的压电振动片进行说明。
图9是第3实施方式所涉及的压电振动片的平面图。
图9所示的压电振动片310中,装配部321、322从压电板311沿着压电板311的面方向(XZ’平面方向)突出,在这一点上与第1实施方式的压电振动片10不同。
如图9所示,压电板311具有俯视长方形状的振动部312和从压电板311突出的一对装配部321、322。
一对装配部321、322在压电板311的短边方向(X轴方向)的一端部,形成在长边方向(Z’轴方向)的两端部。即,以从长边方向分离的角部向压电板311的平面方向外侧突出的方式形成。
此外,在本实施方式中,装配部321、322的形状从上面俯视下成为矩形状,但装配部321、322的形状不限于此。也可为从上述的压电板311的角部向(-X,+Z’)方向及(-X,-Z’)方向延伸的平行四边形形状。而且,在平行四边形形状的前端,安装在基底基板2上也可。在该情况下,能够使压电振动片310的安装位置与振动部312的距离进一步远离,因此在安装位置能够减少振动泄漏到基底基板2的可能性。
第1装配部321在位于振动部312的(-X,+Z’)方向的角部,以与振动部312的面向-X方向的侧面相接的方式配置。另外,第1装配部321以从振动部312的面向+Z’方向的侧面向+Z’侧突出的方式配置。
第1装配部321具有形成在主面上的第1装配电极331和形成在侧面上的第1侧面电极337。第1装配电极331及第1侧面电极337以覆盖第1装配部321的整个面的方式形成。第1装配电极331在压电板311的一个主面311A上,经由迂回布线336A与形成在振动部312的一个激振电极34A连接。
第2装配部322在位于振动部312的(-X,-Z’)方向的角部,以与振动部312的面向-X方向的侧面相接的方式配置。另外,第2装配部322以从振动部312的面向-Z’方向的侧面向-Z’侧突出的方式配置。
第2装配部322具有形成在主面上的第2装配电极332和形成在侧面上的第2侧面电极338。第2装配电极332以覆盖第2装配部322的整个面的方式形成。第2装配电极332在压电板311的另一主面311B上,经由迂回布线336B与形成在振动部312的另一个激振电极34B连接。
这样,本实施方式的压电振动片310中,装配部321、322沿着压电板311的面方向(XZ’平面方向)从压电板311突出。依据该结构,由于装配部321、322从压电板311突出,因此当安装压电振动片310时,能够抑制浸润开的安装部件9附着到压电板311,特别是振动部312。由此能够抑制压电振动片310的振动特性的偏差。
此外,装配部321、322与图5所示的压电振动片110的装配部121、122同样,也可以从压电板311的另一主面311B向+Y’方向高一个阶梯地形成。依据该结构,当安装压电振动片310时,能够更加可靠地抑制安装部件向振动部312浸润开。另外,如参照图7说明的那样,压电振动片310也可以在振动部312的两主面311A、311B设置厚壁部,作为所谓台面形状。在此情况下,也可以使装配部321、322的厚度和厚壁部的厚度(表面和背面的厚壁部的顶面间的距离)为相同厚度。而且,在该情况下,也可以使安装部件9遍及装配部321、322的主面和内侧侧面、外侧侧面的至少一个而接触。由此,提高压电振动片310的安装强度,能得到耐久性优异的压电振动器301。
此外,本发明不局限于参照附图说明的上述实施方式,在该技术的范围内可考虑各种变形例。
例如,在上述实施方式中,振动部使用平板状的压电振动片或所谓的台面型的压电振动片,但并不局限于此,也可以使用例如所谓的斜面型或卷尺型的压电振动片。
另外,形成在压电板上的电极图案不限于上述的图案。例如,如图10所示,也可为装配电极431、432向Z’轴方向延伸的形状(Z’轴方向的尺寸长于X轴方向的尺寸的形状)。在这种结构的情况下,使装配电极431、432向与振动部12的位移方向正交的方向延伸,因此不会使振动特性下降,而能够增大装配部421、422的安装面积。另外,如图11所示,也可为在连接激振电极34与装配电极31、32时,首先,使电极从激振电极34向X轴方向延伸,然后,使电极沿着Z’轴方向连接到装配电极31、32的图案。在该情况下,与图1中图示的图案相比,则能够加长从激振电极34到装配电极31、32为止的电极上的距离,因此能够充分地衰减顺着电极传播的振动能量。因而,能够减少振动泄漏的课题。
而且,上述实施方式中,使石英的晶轴的Z’轴方向设为压电板的长边方向,但是也可为使石英的晶轴的X轴方向为长边方向的结构。在该情况下,在-X轴侧,在+Z’轴侧、-Z’轴侧的两端部形成向压电板的面方向突出的矩形状或平行四边形状的装配部即可。
另外,装配部421、422不但形成在压电板中的短边方向的一端部的角部附近,而且在短边方向的一个端部侧和另一个端部侧形成也可。即,以位于对角上的方式形成装配部421、422也可。
此外,在不脱离本发明的宗旨的范围内,可以将上述的实施方式中的构成要素适当地置换为众所周知的构成要素。
标号说明
1、101、201压电振动器;5封装件;9安装部件;10、110、310压电振动片;11、111、311压电板;12、112、312振动部;21、22、121、122、321、322、421、422装配部。
Claims (8)
1.一种压电振动片,其特征在于,包括:
矩形状的压电板;
形成在所述压电板的主面的振动部;以及
安装所述压电板的一对装配部,
所述一对装配部形成在所述压电板中的长边方向的两端部。
2.如权利要求1所述的压电振动片,其特征在于,所述一对装配部形成在所述压电板中的短边方向的一端部的角部附近。
3.如权利要求1或2所述的压电振动片,其特征在于,所述振动部至少在所述装配部的周围比所述装配部薄地形成。
4.如权利要求1或2所述的压电振动片,其特征在于,
所述压电板利用AT切割石英基板形成,
所述压电板的长边方向沿着所述AT切割石英基板的Z’轴方向。
5.如权利要求1或2所述的压电振动片,其特征在于,所述压电板的沿着长边方向的外形尺寸为所述压电板的沿着短边方向的外形尺寸的1.4倍以下。
6.如权利要求1或2所述的压电振动片,其特征在于,所述装配部沿着所述压电板的面方向从所述压电板突出。
7.一种压电振动器,其特征在于,包括:
权利要求1~6的任一项所述的压电振动片;以及
安装所述压电振动片的所述装配部的封装件。
8.如权利要求7所述的压电振动器,其特征在于,具有:
安装部件,配置在所述压电振动片的所述装配部与所述封装件之间,用于将所述装配部安装在所述封装件,
所述安装部件与所述装配部的主面和所述装配部的侧面接触。
Applications Claiming Priority (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014237009 | 2014-11-21 | ||
JP2014-237009 | 2014-11-21 | ||
JP2015-185769 | 2015-09-18 | ||
JP2015185769A JP2016105581A (ja) | 2014-11-21 | 2015-09-18 | 圧電振動片および圧電振動子 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
CN105634435A true CN105634435A (zh) | 2016-06-01 |
Family
ID=56011231
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
CN201510804819.8A Pending CN105634435A (zh) | 2014-11-21 | 2015-11-20 | 压电振动片及压电振动器 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US9503048B2 (zh) |
CN (1) | CN105634435A (zh) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP7247641B2 (ja) * | 2019-02-21 | 2023-03-29 | セイコーエプソン株式会社 | 振動素子、振動デバイス、電子機器および移動体 |
Family Cites Families (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE2939844A1 (de) * | 1978-12-21 | 1980-07-10 | Seiko Instr & Electronics | Quarzschwinger |
JP5562757B2 (ja) * | 2010-08-07 | 2014-07-30 | 日本電波工業株式会社 | メサ型のatカット水晶振動片及び水晶デバイス |
CN102386871A (zh) * | 2010-09-02 | 2012-03-21 | 日本电波工业株式会社 | 台面型at切割水晶振动片及水晶装置 |
JP2014116388A (ja) | 2012-12-07 | 2014-06-26 | Seiko Epson Corp | 電子デバイス、および電子機器、電子デバイスの製造方法 |
JP2014176071A (ja) * | 2013-03-13 | 2014-09-22 | Nippon Dempa Kogyo Co Ltd | 圧電振動片及び圧電デバイス |
JP6135296B2 (ja) * | 2013-05-20 | 2017-05-31 | 富士通株式会社 | パッケージ構造及びパッケージ構造を基板に接合する方法 |
JP6133697B2 (ja) * | 2013-06-12 | 2017-05-24 | 日本電波工業株式会社 | 圧電振動片、圧電デバイス、及び圧電デバイスの製造方法 |
JP6268999B2 (ja) * | 2013-12-06 | 2018-01-31 | セイコーエプソン株式会社 | 圧電モーター、ロボットハンド、ロボット、指アシスト装置、電子部品搬送装置、電子部品検査装置、送液ポンプ、印刷装置、電子時計、投影装置 |
JP6390836B2 (ja) * | 2014-07-31 | 2018-09-19 | セイコーエプソン株式会社 | 振動片、振動子、振動デバイス、発振器、電子機器、および移動体 |
-
2015
- 2015-11-19 US US14/945,958 patent/US9503048B2/en not_active Expired - Fee Related
- 2015-11-20 CN CN201510804819.8A patent/CN105634435A/zh active Pending
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US9503048B2 (en) | 2016-11-22 |
US20160149555A1 (en) | 2016-05-26 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
C06 | Publication | ||
PB01 | Publication | ||
WD01 | Invention patent application deemed withdrawn after publication |
Application publication date: 20160601 |
|
WD01 | Invention patent application deemed withdrawn after publication |