CN105619628A - 一种双面玻璃晶体硅片加工切割装置 - Google Patents

一种双面玻璃晶体硅片加工切割装置 Download PDF

Info

Publication number
CN105619628A
CN105619628A CN201610090602.XA CN201610090602A CN105619628A CN 105619628 A CN105619628 A CN 105619628A CN 201610090602 A CN201610090602 A CN 201610090602A CN 105619628 A CN105619628 A CN 105619628A
Authority
CN
China
Prior art keywords
mortar
ring
workbench
driving roller
room
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
CN201610090602.XA
Other languages
English (en)
Other versions
CN105619628B (zh
Inventor
杨波
黄亚萍
颜培培
杨道祥
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Anhui Xuneng Photovoltaic And Electric Power Co Ltd
Original Assignee
Anhui Xuneng Photovoltaic And Electric Power Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Anhui Xuneng Photovoltaic And Electric Power Co Ltd filed Critical Anhui Xuneng Photovoltaic And Electric Power Co Ltd
Priority to CN201610090602.XA priority Critical patent/CN105619628B/zh
Publication of CN105619628A publication Critical patent/CN105619628A/zh
Application granted granted Critical
Publication of CN105619628B publication Critical patent/CN105619628B/zh
Active legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Classifications

    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B28WORKING CEMENT, CLAY, OR STONE
    • B28DWORKING STONE OR STONE-LIKE MATERIALS
    • B28D5/00Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor
    • B28D5/04Fine working of gems, jewels, crystals, e.g. of semiconductor material; apparatus or devices therefor by tools other than rotary type, e.g. reciprocating tools
    • BPERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B28WORKING CEMENT, CLAY, OR STONE
    • B28DWORKING STONE OR STONE-LIKE MATERIALS
    • B28D7/00Accessories specially adapted for use with machines or devices of the preceding groups

Abstract

本发明公开了一种双面玻璃晶体硅片加工切割装置,包括环状切割线、工作台、砂浆室和驱动辊,砂浆室的上端面左右两侧均设置有第一支架,第一支架的下端设置有导辊,工作台位于砂浆室的上方,且工作台和砂浆室之间设置有张紧装置,张紧装置包括限位底座和T型螺纹杆,T型螺纹杆的外壁从上之下依次设置有六角螺母、垫圈、弹簧和限位环,驱动辊位于砂浆室的内腔,驱动辊和工作台之间设置有第二支架,第二支架的内腔顶部设置有驱动电机,导辊的表面和驱动辊的表面均匀留有切割线槽,且环状切割线的表面与切割线槽的内壁贴合,该双面玻璃晶体硅片加工切割装置能同时切割多块硅片,工作效率高,并且更换切割线时方便快捷。

Description

一种双面玻璃晶体硅片加工切割装置
技术领域
本发明涉及切割设备技术领域,具体为一种双面玻璃晶体硅片加工切割装置。
背景技术
在太阳能行业和半导体行业中,硅片的生产加工,尤其是对硅块进行切割从而获取合格的硅片是整个产业链中的重要一环。而在硅片生产加工领域,目前最为普遍采用的是多线切割方法,即环状切割线在固定槽距的导轮内高速前进,通过其携带砂浆内的碳化硅颗粒将双面玻璃晶体硅片缓慢切割为一定厚度,但是传统的多线切割机采用一根环状切割线缠绕在导辊的表面,由电机带动进行切割双面玻璃晶体硅片,环状切割线由于长期使用容易断掉,在更换新的环状切割线时需要将整条环状切割线全部从导辊上拆下,很不方便。
发明内容
本发明的目的在于提供一种双面玻璃晶体硅片加工切割装置,以解决上述背景技术中提出的问题。
为实现上述目的,本发明提供如下技术方案:一种双面玻璃晶体硅片加工切割装置,包括环状切割线、工作台、砂浆室和驱动辊,所述砂浆室的上端面左右两侧均设置有第一支架,所述第一支架的下端设置有导辊,所述工作台位于砂浆室的上方,且工作台和砂浆室之间设置有张紧装置,所述张紧装置包括限位底座和T型螺纹杆,所述T型螺纹杆的上端与工作台的下端面固定连接,所述限位底座的下端面与工作台的上端面固定连接,所述T型螺纹杆的下部插接在限位底座的内腔,所述T型螺纹杆的外壁从上之下依次设置有六角螺母、垫圈、弹簧和限位环,所述六角螺母和垫圈位于限位底座的上方,所述弹簧和限位环位于限位底座的内腔,所述驱动辊位于砂浆室的内腔,所述驱动辊和工作台之间设置有第二支架,所述第二支架的内腔顶部设置有驱动电机,所述驱动辊上设置有驱动轮,且驱动轮通过皮带与驱动电机转动连接,所述砂浆室的侧壁设置有储液罐,所述砂浆室的底部设置有废液阀,所述导辊的表面和驱动辊的表面均匀留有切割线槽,且环状切割线的表面与切割线槽的内壁贴合。
优选的,所述驱动辊的下部位于砂浆室储存的砂浆中。
优选的,所述驱动辊位于两个导辊中垂线的下方。
与现有技术相比,本发明的有益效果是:本双面玻璃晶体硅片加工切割装置,采用在导辊上缠绕多根环状切割线,由驱动辊带动环状切割线对双面玻璃晶体硅块进行切割的结构,能一次切割多片硅片,工作台下方设置张紧装置,能将环状切割线绷紧,更好的对晶体硅块进行切割,同时在更换损坏的环状切割线时,只需将张紧装置松弛,套上新的环状切割线,再旋紧张紧装置即可,该双面玻璃晶体硅片加工切割装置能同时切割多块硅片,工作效率高,并且更换切割线时方便快捷。
附图说明
图1为本发明结构示意图;
图2为本发明的A部结构放大图;
图3为本发明的驱动辊结构示意图。
图中:1第一支架、2环状切割线、3工作台、4驱动电机、5第二支架、6导辊、7储液罐、8支柱、9砂浆室、10驱动辊、11废液阀、12六角螺母、13垫圈、14弹簧、15限位环、16限位底座、17T型螺纹杆、18驱动轮、19切割线槽。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图,对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例,都属于本发明保护的范围。
请参阅图1-3本发明提供一种技术方案:一种双面玻璃晶体硅片加工切割装置,包括环状切割线2、工作台3、砂浆室9和驱动辊10,砂浆室9的上端面左右两侧均设置有第一支架1,第一支架1的下端设置有导辊6,工作台3位于砂浆室9的上方,且工作台3和砂浆室9之间设置有张紧装置8,张紧装置8包括限位底座16和T型螺纹杆17,T型螺纹杆17的上端与工作台3的下端面固定连接,限位底座16的下端面与工作台3的上端面固定连接,T型螺纹杆17的下部插接在限位底座16的内腔,T型螺纹杆17的外壁从上之下依次设置有六角螺母12、垫圈13、弹簧14和限位环15,六角螺母12和垫圈13位于限位底座16的上方,弹簧14和限位环15位于限位底座16的内腔,驱动辊10位于砂浆室9的内腔,驱动辊10的下部位于砂浆室9储存的砂浆中,将环状切割线2浸入砂浆中,在驱动辊10的转动下,环状切割线2表面吸附的砂浆被输送至待加工硅块上,有利于环状切割线2更好的对硅块进行切片,驱动辊10和工作台3之间设置有第二支架5,第二支架5的内腔顶部设置有驱动电机4,驱动辊10上设置有驱动轮18,且驱动轮18通过皮带与驱动电机4转动连接,驱动辊10位于两个导辊6中垂线的下方,避免两个导辊6受力不均匀,在转动时导致整个装置发生剧烈的震动,影响切割效果,砂浆室9的侧壁设置有储液罐7,砂浆室9的底部设置有废液阀11,导辊6的表面和驱动辊10的表面均匀留有切割线槽19,且环状切割线2的表面与切割线槽19的内壁贴合。
尽管已经示出和描述了本发明的实施例,对于本领域的普通技术人员而言,可以理解在不脱离本发明的原理和精神的情况下可以对这些实施例进行多种变化、修改、替换和变型,本发明的范围由所附权利要求及其等同物限定。

Claims (3)

1.一种双面玻璃晶体硅片加工切割装置,包括环状切割线(2)、工作台(3)、砂浆室(9)和驱动辊(10),其特征在于:所述砂浆室(9)的上端面左右两侧均设置有第一支架(1),所述第一支架(1)的下端设置有导辊(6),所述工作台(3)位于砂浆室(9)的上方,且工作台(3)和砂浆室(9)之间设置有张紧装置(8),所述张紧装置(8)包括限位底座(16)和T型螺纹杆(17),所述T型螺纹杆(17)的上端与工作台(3)的下端面固定连接,所述限位底座(16)的下端面与工作台(3)的上端面固定连接,所述T型螺纹杆(17)的下部插接在限位底座(16)的内腔,所述T型螺纹杆(17)的外壁从上之下依次设置有六角螺母(12)、垫圈(13)、弹簧(14)和限位环(15),所述六角螺母(12)和垫圈(13)位于限位底座(16)的上方,所述弹簧(14)和限位环(15)位于限位底座(16)的内腔,所述驱动辊(10)位于砂浆室(9)的内腔,所述驱动辊(10)和工作台(3)之间设置有第二支架(5),所述第二支架(5)的内腔顶部设置有驱动电机(4),所述驱动辊(10)上设置有驱动轮(18),且驱动轮(18)通过皮带与驱动电机(4)转动连接,所述砂浆室(9)的侧壁设置有储液罐(7),所述砂浆室(9)的底部设置有废液阀(11),所述导辊(6)的表面和驱动辊(10)的表面均匀留有切割线槽(19),且环状切割线(2)的表面与切割线槽(19)的内壁贴合。
2.根据权利要求1所述的一种双面玻璃晶体硅片加工切割装置,其特征在于:所述驱动辊(10)的下部位于砂浆室(9)储存的砂浆中。
3.根据权利要求1所述的一种双面玻璃晶体硅片加工切割装置,其特征在于:所述驱动辊(10)位于两个导辊(6)中垂线的下方。
CN201610090602.XA 2016-02-18 2016-02-18 一种双面玻璃晶体硅片加工切割装置 Active CN105619628B (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201610090602.XA CN105619628B (zh) 2016-02-18 2016-02-18 一种双面玻璃晶体硅片加工切割装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201610090602.XA CN105619628B (zh) 2016-02-18 2016-02-18 一种双面玻璃晶体硅片加工切割装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
CN105619628A true CN105619628A (zh) 2016-06-01
CN105619628B CN105619628B (zh) 2017-11-17

Family

ID=56035152

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201610090602.XA Active CN105619628B (zh) 2016-02-18 2016-02-18 一种双面玻璃晶体硅片加工切割装置

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN105619628B (zh)

Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN107813434A (zh) * 2016-09-13 2018-03-20 友达晶材股份有限公司 超音波辅助线切割的切割方法及其装置,及芯片的制作方法
CN107913832A (zh) * 2017-12-15 2018-04-17 新昌县开心纺织有限公司 一种衬布加工吸粉机
CN111890585A (zh) * 2020-06-17 2020-11-06 安徽一路明光电科技有限公司 一种led用硅片切割清洗机构
CN111890566A (zh) * 2020-08-06 2020-11-06 北京北岩科技有限公司 一种台式岩芯专用精细加工装置
CN112122698A (zh) * 2020-08-21 2020-12-25 安徽华深铝业有限公司 一种自动感应式铝型材生产用多角度切割装置
CN112122699A (zh) * 2020-08-21 2020-12-25 安徽华深铝业有限公司 一种便于收集式铝型材生产用多角度切割装置
CN112191937A (zh) * 2020-08-21 2021-01-08 安徽华深铝业有限公司 一种稳定型铝型材生产用多角度切割机

Citations (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6420953A (en) * 1987-07-15 1989-01-24 Okuma Machinery Works Ltd Cutting liquid purifying device
US5827113A (en) * 1995-09-22 1998-10-27 Memc Electric Materials, Inc. Cutting machine
JP2006272499A (ja) * 2005-03-29 2006-10-12 Toshiba Ceramics Co Ltd インゴットの切断方法
CN202212045U (zh) * 2011-08-01 2012-05-09 苏州东泰太阳能科技有限公司 砂浆的过滤装置
CN102773930A (zh) * 2012-07-17 2012-11-14 铜陵市琨鹏光电科技有限公司 水晶切割机
CN103990878A (zh) * 2013-02-20 2014-08-20 中原工学院 用于高速线切割机床的高精度张紧力控制装置及方法
CN204076546U (zh) * 2014-09-23 2015-01-07 浙江昊能光电有限公司 一种多线切片机的断线报警装置
CN104493988A (zh) * 2014-12-30 2015-04-08 晶伟电子材料有限公司 一种用于硅片切割的高粘度砂浆切割工艺
CN104918749A (zh) * 2013-01-10 2015-09-16 信越半导体株式会社 线锯的再次开始运转方法

Patent Citations (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6420953A (en) * 1987-07-15 1989-01-24 Okuma Machinery Works Ltd Cutting liquid purifying device
US5827113A (en) * 1995-09-22 1998-10-27 Memc Electric Materials, Inc. Cutting machine
JP2006272499A (ja) * 2005-03-29 2006-10-12 Toshiba Ceramics Co Ltd インゴットの切断方法
CN202212045U (zh) * 2011-08-01 2012-05-09 苏州东泰太阳能科技有限公司 砂浆的过滤装置
CN102773930A (zh) * 2012-07-17 2012-11-14 铜陵市琨鹏光电科技有限公司 水晶切割机
CN104918749A (zh) * 2013-01-10 2015-09-16 信越半导体株式会社 线锯的再次开始运转方法
CN103990878A (zh) * 2013-02-20 2014-08-20 中原工学院 用于高速线切割机床的高精度张紧力控制装置及方法
CN204076546U (zh) * 2014-09-23 2015-01-07 浙江昊能光电有限公司 一种多线切片机的断线报警装置
CN104493988A (zh) * 2014-12-30 2015-04-08 晶伟电子材料有限公司 一种用于硅片切割的高粘度砂浆切割工艺

Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN107813434A (zh) * 2016-09-13 2018-03-20 友达晶材股份有限公司 超音波辅助线切割的切割方法及其装置,及芯片的制作方法
CN107913832A (zh) * 2017-12-15 2018-04-17 新昌县开心纺织有限公司 一种衬布加工吸粉机
CN111890585A (zh) * 2020-06-17 2020-11-06 安徽一路明光电科技有限公司 一种led用硅片切割清洗机构
CN111890566A (zh) * 2020-08-06 2020-11-06 北京北岩科技有限公司 一种台式岩芯专用精细加工装置
CN112122698A (zh) * 2020-08-21 2020-12-25 安徽华深铝业有限公司 一种自动感应式铝型材生产用多角度切割装置
CN112122699A (zh) * 2020-08-21 2020-12-25 安徽华深铝业有限公司 一种便于收集式铝型材生产用多角度切割装置
CN112191937A (zh) * 2020-08-21 2021-01-08 安徽华深铝业有限公司 一种稳定型铝型材生产用多角度切割机

Also Published As

Publication number Publication date
CN105619628B (zh) 2017-11-17

Similar Documents

Publication Publication Date Title
CN105619628A (zh) 一种双面玻璃晶体硅片加工切割装置
CN103786274B (zh) 多晶硅锭开方金刚石线锯装置
CN102133777B (zh) 多线切割机断线处理装置
CN109318386A (zh) 一种使用效率高的多线切割机
CN109015460A (zh) 一种便于翻转冷轧薄板的夹具
CN203305391U (zh) 金刚石线锯切割设备
CN202462662U (zh) 晶硅硅片的切片制绒一体化装置
CN102544240A (zh) 晶硅硅片的切片制绒一体化方法及装置
CN215549938U (zh) 一种多晶硅切割装置
CN106476073B (zh) 一种pvc管切割装置
CN106743846B (zh) 一种具有清洗功能的铜带收卷装置
CN112026033A (zh) 一种硅棒切片装置
CN206898470U (zh) 一种五金加工用铝材切割装置
CN105773695B (zh) 一种多工位晶体棒料单线切割机
CN210081413U (zh) 一种玻璃除膜装置
CN203888046U (zh) 一种数控金刚线蓝宝石切片机
CN211566525U (zh) 一种太阳能电池晶体硅切割设备
CN212352216U (zh) 一种管道线切割加工夹具
CN107310058B (zh) 一种环形金刚石线排锯
CN210678421U (zh) 一种电源模板夹具
CN107618686A (zh) 一种铝材缠绕包装装置
CN102152418A (zh) 多轴线切割机
CN210099152U (zh) 一种多台线切割机的控制系统
CN205651410U (zh) 一种多工位晶体棒料单线切割机
CN217449390U (zh) 一种服装车间压缩机供给系统

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
C10 Entry into substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
CB02 Change of applicant information

Address after: 239500, No. two, No. 16, Quanjiao Economic Development Zone, Chuzhou, Anhui

Applicant after: Anhui Xu Neng power Limited by Share Ltd

Address before: 239500 Quanjiao County, Anhui Province Economic Development Zone, a phase of the standard factory building, No. 10

Applicant before: ANHUI XUNENG PHOTOVOLTAIC AND ELECTRIC POWER CO., LTD.

CB02 Change of applicant information
GR01 Patent grant
GR01 Patent grant