CN105605377B - 一种防振基座 - Google Patents

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Abstract

本发明公开了一种防振基座，包括基座本体、以及设于基座本体内部的阻尼器；所述基座本体内部X、Y、Z三个方向上均设有可调式阻尼器；所述可调式阻尼器的自然频率可调。本发明通过在基座本体内部各个方向上设置可调式阻尼器，并且使阻尼器的自然频率和振动源的频率相同或相接近，从而起到极好的减震效果，从而保证了精密生产设备正常运作，避免了因为震动而带来的问题。

Description

一种防振基座
技术领域
本发明涉及一种防振基座。
背景技术
目前，半导体技术得到了空前发展，例如，半导体制造已经逐步迈入12英寸(300mm)晶圆时代。相应的，高科技产业晶圆厂、半导体厂及光电厂也在大规模建立或迅速发展。这些高科技厂房中都会存在精密生产设备。对于上述这些精密生产设备，尤其是大型设备，为了防止振动影响，一般会配置有防振基座。
然而，实际应用中发现：(1) 当生产线因需求发生变动时，一些原本是没有太大振源的区域会变成振源区域，从而对放置于该区域的精密生产设备产生影响；(2) 当产品搬运路线发生改变时，精密生产设备也会受到搬运车振动的影响。上述变化因素会对精密生产设备的正常运作产生影响最终影响产品质量。
因此，开发一种具有良好的防振性能的防振基座，以避免振动对精密生产设备的影响，显然具有积极的现实意义。
发明内容
本发明的目的是提供一种防振基座。
为达到上述发明目的，本发明采用的技术方案是：一种防振基座，包括基座本体、以及设于基座本体内部的阻尼器；所述基座本体内部X、Y、Z三个方向上均设有可调式阻尼器；
所述可调式阻尼器的自然频率可调。
上文中，所述基座本体内部X、Y、Z三个方向上均设有可调式阻尼器，各个方向上的可调式阻尼器起到不同方向上的防振作用。当这个阻尼器组合使用时，可以得到全方位的防振效果。
所述阻尼器的自然频率，英文是natural frequency，直译过来就是自然频率，又称阻尼振动频率。
各个方向上的阻尼器的数量可以是多个。所述可调式阻尼器可以采用现有技术。
上述技术方案中，所述可调式阻尼器包括壳体和设于壳体内的防振薄片，所述防振薄片伸入壳体内的深度可调。通过调节防振薄片伸入壳体内的深度，即可实现阻尼器的自然频率的调节。
优选的，所述可调式阻尼器为粘滞阻尼器。即阻尼器内含有高粘滞液。
与之相应的另一种技术方案，一种防振基座，包括基座本体、以及设于基座本体内部的阻尼器；所述基座本体内部X、Y、Z三个方向中有2个方向上设有可调式阻尼器；
所述可调式阻尼器的自然频率可调；
所述可调式阻尼器包括壳体和设于壳体内的防振薄片，所述防振薄片转动连接于所述壳体内，且防振薄片伸入壳体内的深度可调。
上文中，所述防振薄片转动连接于所述壳体内，且防振薄片伸入壳体内的深度可调。所述防振薄片转动连接于所述壳体内，从而可以在2个方向上实现防振效果，例如：在Z方向插入的阻尼器，当其内的防振薄片水平设置时，可以起到Y方向的防振效果，当其内的防振薄片竖直设置时，可以起到X方向的防振效果。
此外，通过调节防振薄片伸入壳体内的深度，即可实现阻尼器的自然频率的调节。
优选的，所述可调式阻尼器为粘滞阻尼器。
优选的，所述可调式阻尼器呈圆柱形。
各个方向上的阻尼器的数量可以是多个。
本发明的机理是：本申请在基座本体内部各个方向上设置了可调式阻尼器，相当于在各个面的部分路径上设置了路障，从而削减震动能量的传递，起到减震效果；此外，通过调整可调式阻尼器的自然频率，使阻尼器的自然频率和振动源的频率相同或相接近，从而起到极好的减震效果，避免精密生产设备因为震动而带来的问题。
由于上述技术方案运用，本发明与现有技术相比具有下列优点：
1、本发明设计得到了一种新的防振基座，通过在基座本体内部各个方向上设置可调式阻尼器，并且使阻尼器的自然频率和振动源的频率相同或相接近，从而起到极好的减震效果，从而保证了精密生产设备正常运作，避免了因为震动而带来的问题；具有积极的现实意义；
2、本发明中可调式阻尼器位于多个方向上，且阻尼方向可调，从而可以组合得到全方位的防振效果，因而可以适应厂房中因生产线变动或产品搬运路线变动等产生的额外振源，保证了精密生产设备的正常运作；
3、本发明的结构简单，易于制备和使用，适于推广应用。
附图说明
图1是本发明实施例一的结构示意图。
图2是本发明实施例一中可调式阻尼器的示意图。
图3是本发明实施例一中可调式阻尼器的又一示意图。
其中：1、基座本体；2、可调式阻尼器；3、壳体；4、防振薄片。
具体实施方式
下面结合附图及实施例对本发明作进一步描述：
实施例一
参见图1~3所示，一种防振基座，包括基座本体1、以及设于基座本体内部的阻尼器；所述基座本体内部X、Y、Z三个方向中，X、Z方向上设有可调式阻尼器2；
所述可调式阻尼器的自然频率可调；
所述可调式阻尼器包括壳体3和设于壳体内的防振薄片4，所述防振薄片转动连接于所述壳体内，且防振薄片伸入壳体内的深度可调。
参见图2~3所示，所述防振薄片转动连接于所述壳体内，从而可以在2个方向上实现防振效果：参见图2所示，当其内的防振薄片水平设置时，可以起到Y方向的防振效果；当其内的防振薄片竖直设置时，可以起到Z方向的防振效果，参见图3所示。
所述可调式阻尼器为粘滞阻尼器。
所述可调式阻尼器呈圆柱形。
本发明的机理是：本申请在基座本体内部各个方向上设置了可调式阻尼器，相当于在各个面的部分路径上设置了路障，从而削减震动能量的传递，起到减震效果；此外，通过调整可调式阻尼器的自然频率，使阻尼器的自然频率和振动源的频率相同或相接近，从而起到极好的减震效果，避免精密生产设备因为震动而带来的问题。
实施例二
一种防振基座，包括基座本体、以及设于基座本体内部的阻尼器；所述基座本体内部X、Y、Z三个方向上均设有可调式阻尼器；
所述可调式阻尼器的自然频率可调。
所述可调式阻尼器包括壳体和设于壳体内的防振薄片，所述防振薄片伸入壳体内的深度可调。所述可调式阻尼器为粘滞阻尼器。

Claims (5)

1.一种用于大型精密生产设备的防振基座，包括基座本体、以及设于基座本体内部的阻尼器；其特征在于：所述基座本体内部X、Y、Z三个方向上均设有可调式阻尼器；所述可调式阻尼器的自然频率可调；
所述可调式阻尼器包括壳体和设于壳体内的防振薄片，所述防振薄片伸入壳体内的深度可调。
2.根据权利要求1所述的防振基座，其特征在于：所述可调式阻尼器为粘滞阻尼器。
3.一种用于大型精密生产设备的防振基座，包括基座本体、以及设于基座本体内部的阻尼器；其特征在于：所述基座本体内部X、Y、Z三个方向中有2个方向上设有可调式阻尼器；所述可调式阻尼器的自然频率可调；所述可调式阻尼器包括壳体和设于壳体内的防振薄片，所述防振薄片转动连接于所述壳体内，且防振薄片伸入壳体内的深度可调。
4.根据权利要求3所述的防振基座，其特征在于：所述可调式阻尼器为粘滞阻尼器。
5.根据权利要求3所述的防振基座，其特征在于：所述可调式阻尼器呈圆柱形。
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