CN105563304A - 一种改进的精密研磨抛光机的样品固定与调节装置 - Google Patents

一种改进的精密研磨抛光机的样品固定与调节装置 Download PDF

Info

Publication number
CN105563304A
CN105563304A CN201510412830.XA CN201510412830A CN105563304A CN 105563304 A CN105563304 A CN 105563304A CN 201510412830 A CN201510412830 A CN 201510412830A CN 105563304 A CN105563304 A CN 105563304A
Authority
CN
China
Prior art keywords
sample
column
grinding
polishing
fixed
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
CN201510412830.XA
Other languages
English (en)
Inventor
刘俊成
翟慎秋
徐栋
王友林
滕东晓
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Shandong University of Technology
Original Assignee
Shandong University of Technology
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Shandong University of Technology filed Critical Shandong University of Technology
Priority to CN201510412830.XA priority Critical patent/CN105563304A/zh
Publication of CN105563304A publication Critical patent/CN105563304A/zh
Pending legal-status Critical Current

Links

Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B24—GRINDING; POLISHING
    • B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
    • B24B37/00—Lapping machines or devices; Accessories
    • B24B37/27—Work carriers
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B24—GRINDING; POLISHING
    • B24B—MACHINES, DEVICES, OR PROCESSES FOR GRINDING OR POLISHING; DRESSING OR CONDITIONING OF ABRADING SURFACES; FEEDING OF GRINDING, POLISHING, OR LAPPING AGENTS
    • B24B49/00—Measuring or gauging equipment for controlling the feed movement of the grinding tool or work; Arrangements of indicating or measuring equipment, e.g. for indicating the start of the grinding operation
    • G—PHYSICS
    • G01—MEASURING; TESTING
    • G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N1/00—Sampling; Preparing specimens for investigation
    • G01N1/28—Preparing specimens for investigation including physical details of (bio-)chemical methods covered elsewhere, e.g. G01N33/50, C12Q
    • G01N1/32—Polishing; Etching

Abstract

一种改进的精密研磨抛光机的样品固定与调节装置，包括立柱、沿着立柱上下滑动的滑动托板、导向柱、固定板、螺旋千分尺，短轴，球轴承以及载料杯组成。立柱则固定在抛光机的基座上。在载料杯的底部粘贴要研磨抛光的试样。其特点为：安装在立柱上的滑动托板，可以保证载料杯的底面与抛光盘的平行，保证试样在研磨抛光时不致磨偏；研磨抛光的进给量由螺旋千分尺来控制，可是实现精确的研磨抛光；抛光机上可以安装多套这种调节装置，每套均可独立安装，易于进行调平；每个样品均可独立调节磨削量和研磨时间，且允许同时研磨抛光不同厚度的样品。

Description

一种改进的精密研磨抛光机的样品固定与调节装置
技术领域
本发明属于精密研磨抛光领域，具体是一种用于半导体材料、陶瓷材料及金属材料在精密研磨抛光时的样品固定与调节装置。
背景技术
通常使用的金相试样抛光机，由电机带动磨盘旋转，工作时需手持样品或载料块，在砂纸或者抛光布上进行研磨抛光。其特点是结构简单，操作方便。但由于人工手持样品，样品容易磨偏，磨削量也难于精确控制。国内现有的精密研磨抛光机，大多采用二到三个方位的夹具夹持修整环，环内放置载料块，样品粘接于载料块下面，主要依靠载料块自重研磨材料，有的则需手持载料块。当样品上下表面平行度较低或者厚度不均匀时，样品极易磨偏，磨削量也不易控制。国外报道的精密研磨抛光机，磨盘采用可升降机构或者采用弹簧加压装置调节磨盘与工件之间的压力，研磨量也不能精确控制；当样品平整度较低或者厚度不均匀时，样品也容易磨偏。对于功能半导体材料或者其它功能材料，试样厚度和上下表面平行度显著影响材料的光电及其它性能数据的测试。专利ZL200810015427.3提出了一个解决上述问题的方案，其特征在于：样品的固定调节装置包括底座、互相平行的导向柱及精密丝杠、平行于抛光盘的顶盘和中盘，其中精密丝杠经轴承垂直安装于顶盘和底座之间，导向柱的上、下两端通过螺栓分别与顶盘、底座垂直固定连接，中盘安装在顶盘和底座之间且位于抛光盘的上方，中盘可以在丝杠带动下沿着导向柱运动，滑动架安装在中盘的导轨上，镶嵌有载料块的轴承安放在滑动架中央，轴承与载料块二者为间隙配合形成塞杆-套筒结构，载料块可以沿着轴承上下自由滑动而不发生倾斜。样品固定在载料块的底面，当样品的下表面，亦即磨削面偏离抛光盘的平行面时，此结构能够给予有效修正，保证了样品上下表面的平行度。载料块不仅可以直线轴承内上下滑动，还可以自由转动，保证均匀的研磨抛光。中盘可以设置多个导轨，每个导轨可以放置多个滑动架，因此可以实现多个样品同时抛光，提高了抛光效率。精密丝杠上端配装手柄和表盘，转动手柄可以使中盘沿着导向柱上下垂直运动，以控制样品的磨削量。
上述专利技术还存在以下几个缺点：
1、采用四立柱来控制中盘滑动架的上下滑动，底座上安装4个导向柱的孔的中心距，中盘和顶盘上与导向柱、丝杠联接或配合的孔的中心距，其加工精度要求很高，这些孔的尺寸公差和形位公差也必须严格控制。即使如此，装配时也需要反复调试。
2、采用手柄来控制进给量进行研磨抛光，控制精度低。
3、中盘滑动架上放置多个样品时，很难保证其这些样品的底面同时与磨盘平行。
4、当样品的厚度不同时，不能同时研磨抛光。
发明内容
本发明的目的是提供一种能克服上述缺点，加工与装配简便，易于保证试样上下表面平行度、精确控制磨削量的研磨抛光机的样品固定与调节装置。
其技术方案为：
包括立柱、沿着立柱上下滑动的滑动托板、导向柱、固定板、螺旋千分尺、短轴、球轴承以及载料杯组成。立柱通过一个法兰固定在抛光机的基座上。立柱的上端由一个带半圆弧的压板把固定板固定在立柱上；滑动托板通过一个直线轴承安装在立柱上，位于固定板的下面。固定板上安装一螺旋千分尺实现样品的精确定量进给；千分尺的下端连接一个短轴，短轴上安装一球轴承，该轴承安装在滑动托板上。滑动托板的另一端安装双列滚针轴承，载料杯与其实现间隙配合，载料杯的底部粘贴需要研磨抛光的试样。
本发明与现有技术相比，其优点为：
1、由于滑动托板是通过直线轴承安装在立柱上，这样可以保证滑动托板面与立柱的垂直，从而保证与磨盘的平行，进而保证载料杯的底面与磨盘的平行。
2、研磨抛光的进给量由螺旋千分尺来控制，可是实现精确的研磨抛光。
3、样品的固定调节装置选择了单立柱结构，与专利ZL200810015427.3提供的技术方案相比，极大地降低了设备对加工精度，特别是形位公差的要求，零配件的加工与装配更为方便。
4、抛光机上可以安装4套、6套甚至更多套样品的固定调节装置，每套均独立安装，易于进行调平。
5、每个样品均可独立调节磨削量和研磨时间，且允许同时研磨抛光不同厚度的样品。调整它的半径位置，还可以调整磨削速度。
附图说明
图1为精密研磨抛光机的样品固定与调节装置的结构示意图
图2为精密研磨抛光机的样品固定与调节装置的三维示意图
图3为抛光机上安装4套样品固定与调节装置的三维示意图
图中1、法兰2、滑动托板3、直线轴承4、立柱5、半圆弧压板6、球轴承7、短轴8、螺旋千分尺9、固定板10、导向杆11、直线轴承12、载料杯13、滚针轴承。
具体实施方式
在图1所示的实施例中：立柱（4）通过一个法兰（1）固定在抛光机的基座上。在立柱（4）的上端通过使用一个带半圆弧的压板（5）把固定板（9）固定在立柱（4）上；滑动托板（2）通过一个直线轴承（3）安装在立柱（4）上，从而保证滑动托板（2）表面与立柱（4）的垂直，且位于固定板（9）的下面。固定板（9）上安装一螺旋千分尺（8）实现样品的精确定量进给；千分尺（8）的下端连接一个短轴（7），短轴（7）上安装一球轴承（6），该轴承（6）安装在滑动托板（2）上。滑动托板（2）的另一端安装双列滚针轴承（13)，载料杯(12)与其实现间隙配合，载料杯的底部粘贴需要研磨抛光的试样，抛光机上可以安装4套、6套甚至更多套样品的固定调节装置。
工作时，取下载料杯(12)，将样品粘贴固定在载料杯(12)的下方，调节螺旋千分尺(8)则可带动滑动托板(2)向下进行精确进给，实现定量研磨，抛光机磨盘的旋转运动以及在磨盘带动下的载料杯的自转，形成复杂的曲线运动轨迹，从而实现均匀的研磨抛光，而在载料杯(12)的里面可以安放压块，以实现不同的研磨抛光压力。

Claims (3)

1.一种改进的精密研磨抛光机的样品固定与调节装置，包括立柱、沿着立柱上下滑动的滑动托板、导向柱、固定板、螺旋千分尺、短轴、球轴承以及载料杯组成，其特征在于：立柱（4）通过一个法兰（1）固定在抛光机的基座上，在立柱（4）的上端通过使用一个带半圆弧的压板（5）把固定板（9）固定在立柱（4）上；滑动托板（2）通过一个直线轴承（3）安装在立柱（4）上，从而保证滑动托板（2）表面与立柱（4）的垂直，且位于固定板（9）的下面；固定板（9）上安装一螺旋千分尺（8）实现样品的精确定量进给；千分尺（8）的下端连接一个短轴（7），短轴（7）上安装一球轴承（6），该轴承（6）安装在滑动托板（2）上，滑动托板（2）的另一端安装双列滚针轴承（13），载料杯（12）与其实现间隙配合，载料杯的底部粘贴需要研磨抛光的试样。
2.如权利要求1所述的样品固定与调节装置，其特征在于：试样磨削量的精确控制，依靠固定板（9）上安装的螺旋千分尺（8）实现，磨削量的控制精度取决于螺旋千分尺的精度。
3.如权利要求1所述的样品固定与调节装置，同一台抛光机基座或者箱体上可以安装1套、2套、3套、4套、5套、6套甚至更多套样品的固定调节装置，每套均可以独立安装。
CN201510412830.XA 2015-07-14 2015-07-14 一种改进的精密研磨抛光机的样品固定与调节装置 Pending CN105563304A (zh)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201510412830.XA CN105563304A (zh) 2015-07-14 2015-07-14 一种改进的精密研磨抛光机的样品固定与调节装置

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
CN201510412830.XA CN105563304A (zh) 2015-07-14 2015-07-14 一种改进的精密研磨抛光机的样品固定与调节装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
CN105563304A true CN105563304A (zh) 2016-05-11

Family

ID=55874216

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
CN201510412830.XA Pending CN105563304A (zh) 2015-07-14 2015-07-14 一种改进的精密研磨抛光机的样品固定与调节装置

Country Status (1)

Country Link
CN (1) CN105563304A (zh)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN106198276A (zh) * 2016-08-30 2016-12-07 无锡东恒新能源科技有限公司 用于碳纳米管浆料制备的研磨介质内部硬度测试仪
CN108188907A (zh) * 2018-03-12 2018-06-22 广西电网有限责任公司北海供电局 改进型高处作业打磨抛光装置
CN108747805A (zh) * 2018-07-31 2018-11-06 全讯射频科技(无锡)有限公司 一种研磨治具

Citations (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN2683315Y (zh) * 2003-06-04 2005-03-09 李清 定厚度控制球心型高速精磨、抛光机
JP2005169556A (ja) * 2003-12-10 2005-06-30 Tdk Corp 研磨装置及び研磨方法
CN1708378A (zh) * 2002-11-05 2005-12-14 株式会社荏原制作所 抛光装置
CN201179622Y (zh) * 2008-03-20 2009-01-14 山东理工大学 新型精密研磨抛光机
US20090247052A1 (en) * 2008-03-27 2009-10-01 Shigeharu Arisa Wafer grinding method and wafer grinding machine
CN201863105U (zh) * 2010-07-06 2011-06-15 河南四方达超硬材料股份有限公司 聚晶金刚石镜面抛光机的装夹加压机构
CN102398207A (zh) * 2011-12-16 2012-04-04 特新电路板器材（东莞）有限公司 研磨机
CN202861978U (zh) * 2012-07-21 2013-04-10 深圳市华测检测技术股份有限公司 双向自动研磨抛光设备
CN204658098U (zh) * 2015-04-13 2015-09-23 安徽格楠机械有限公司 适用于采矿钻头的研磨抛光机
CN105479296A (zh) * 2016-01-07 2016-04-13 韩金桥 一种光学镜片磨削厚度控制装置

Patent Citations (10)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN1708378A (zh) * 2002-11-05 2005-12-14 株式会社荏原制作所 抛光装置
CN2683315Y (zh) * 2003-06-04 2005-03-09 李清 定厚度控制球心型高速精磨、抛光机
JP2005169556A (ja) * 2003-12-10 2005-06-30 Tdk Corp 研磨装置及び研磨方法
CN201179622Y (zh) * 2008-03-20 2009-01-14 山东理工大学 新型精密研磨抛光机
US20090247052A1 (en) * 2008-03-27 2009-10-01 Shigeharu Arisa Wafer grinding method and wafer grinding machine
CN201863105U (zh) * 2010-07-06 2011-06-15 河南四方达超硬材料股份有限公司 聚晶金刚石镜面抛光机的装夹加压机构
CN102398207A (zh) * 2011-12-16 2012-04-04 特新电路板器材（东莞）有限公司 研磨机
CN202861978U (zh) * 2012-07-21 2013-04-10 深圳市华测检测技术股份有限公司 双向自动研磨抛光设备
CN204658098U (zh) * 2015-04-13 2015-09-23 安徽格楠机械有限公司 适用于采矿钻头的研磨抛光机
CN105479296A (zh) * 2016-01-07 2016-04-13 韩金桥 一种光学镜片磨削厚度控制装置

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN106198276A (zh) * 2016-08-30 2016-12-07 无锡东恒新能源科技有限公司 用于碳纳米管浆料制备的研磨介质内部硬度测试仪
CN108188907A (zh) * 2018-03-12 2018-06-22 广西电网有限责任公司北海供电局 改进型高处作业打磨抛光装置
CN108188907B (zh) * 2018-03-12 2023-12-22 广西电网有限责任公司北海供电局 高处作业打磨抛光装置
CN108747805A (zh) * 2018-07-31 2018-11-06 全讯射频科技(无锡)有限公司 一种研磨治具

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US9138855B2 (en) Multifunctional substrate polishing and burnishing device and polishing and burnishing method thereof
CN203317153U (zh) 金刚石磨刀机
CN201833239U (zh) 磨床
CN100493846C (zh) 修整可控型超精密抛光机
CN101249633A (zh) 新型精密研磨抛光机
CN105563304A (zh) 一种改进的精密研磨抛光机的样品固定与调节装置
KR20170028833A (ko) 연삭 휠 및 피가공물의 연삭 방법
CN201405248Y (zh) 一种石英喷嘴开槽机
CN204621708U (zh) 全自动pcb钻针研磨机的研磨结构
CN207267205U (zh) 基于螺旋运动方式的精密球体加工装置
CN104191323A (zh) 一种下压型无心磨床
CN103991019A (zh) 磨床
CN203236314U (zh) 一种无心磨削装置
CN108344684A (zh) 砂轮磨粒结合强度测试装备
CN202029035U (zh) 刮刀研磨机的砥石上下位置精确调整装置
CN106166695A (zh) 一种内外圆复合磨床
CN105415119A (zh) 便于精密加工的弹簧端面磨削装置
CN203863513U (zh) 平面磨床
CN205483947U (zh) 单颗磨粒高速连续划擦试验机的进给轴调平系统
CN202388385U (zh) 端面内圆磨床工件自动翻转测量装置
CN202114355U (zh) 一种在普通车床上珩磨斜齿轮的装置
JP2018027597A (ja) 測定治具
CN203765413U (zh) 一种钻石圆弧面精密加工设备
CN108890411A (zh) 一种圆锯片研磨机
CN108205290A (zh) 基于激光位移传感器的工件调平装置

Legal Events

Date Code Title Description
C06 Publication
PB01 Publication
SE01 Entry into force of request for substantive examination
SE01 Entry into force of request for substantive examination
WD01 Invention patent application deemed withdrawn after publication

Application publication date: 20160511

WD01 Invention patent application deemed withdrawn after publication