CN105517738A

CN105517738A - 被覆工具

Info

Publication number: CN105517738A
Application number: CN201480045502.4A
Authority: CN
Inventors: 谷渊荣仁; 儿玉芳和
Original assignee: Kyocera Corp
Current assignee: Kyocera Corp
Priority date: 2013-08-27
Filing date: 2014-08-27
Publication date: 2016-04-20
Anticipated expiration: 2034-08-27
Also published as: JPWO2015030073A1; EP3040143A1; US9970104B2; EP3040143B1; EP3040143A4; US20160201192A1; CN105517738B; KR20160037979A; KR101801660B1; JP5902865B2; WO2015030073A1

Abstract

本发明提供一种改善氧化铝层的耐磨损性与密接性而使得耐磨损性以及耐缺损性优异的被覆工具。一种切削工具(1)，其通过在基体(5)的表面依次层叠有至少碳氮化钛层(8)与α型结晶构造的氧化铝层(10)而成，其中，在对氧化铝层(10)进行的X射线衍射分析中，当对在氧化铝层(10)的基体(5)侧部分的测定中检测出的基体侧峰值与在氧化铝层(10)的表面侧部分的测定中检测出的表面侧峰值进行比较时，对于氧化铝层(10)的取向系数Tc(116)而言，表面侧峰值的表面侧Tc(116)比基体侧峰值的基体侧Tc(116)大。

Description

被覆工具

技术领域

本发明涉及在基体的表面具有被覆层的被覆工具。

背景技术

一直以来，已知在超硬合金或金属陶瓷、陶瓷等的基体表面形成有单层或者多层碳化钛层、氮化钛层、碳氮化钛层、氧化铝层以及氮化钛铝层等而成的切削工具等被覆工具。

与最近的切削加工的高效率化相伴，将这样的切削工具用于在切削刃施加有较大的冲击的重型断续切削等的机会增加，为了抑制在所涉及的苛刻的切削条件下对被覆层施加的较大的冲击所导致的卷刃、被覆层的剥离，要求提高耐缺损性·耐磨损性。

作为使所述切削工具的耐缺损性提高的技术，专利文献1中公开了如下的技术，即，通过使氧化铝层的粒径与层厚合理化，并且使(012)面的组织化系数(TextureCoefficient：取向系数)达到1.3以上，能够形成致密且耐缺损性高的氧化铝层。另外，专利文献2中公开了如下的技术，即，通过使氧化铝层的(012)面的组织化系数达到2.5以上，从而使氧化铝层的残留应力容易释放，由此能够提高氧化铝层的耐缺损性。

作为使所述切削工具的耐磨损性提高的技术，专利文献3中公开了如下的技术，即，通过将位于中间层的正上方的氧化铝层以将表示不同的X射线衍射图案的两层以上的单位层层叠而成，从而能够提高被膜的强度以及韧性。

并且，专利文献4中公开了如下的切削工具，其中，将氧化铝层的(006)面取向系数提高至1.8以上，并且将(104)面与(110)面的峰值强度比I(104)/I(110)控制在规定的范围。另外，专利文献5中公开了如下的切削工具，其中，针对氧化铝层的(104)面与(012)面的峰值强度比I(104)/I(012)而言，与氧化铝层的下侧的第一面相比，第二面的较大。

在先技术文献

专利文献

专利文献1：日本专利平6-316758号公报

专利文献2：日本特开2003-025114号公报

专利文献3：日本特开平10-204639号公报

专利文献4：日本特开2013-132717号公报

专利文献5：日本特开2009-202264号公报

发明内容

发明所要解决的课题

在上述专利文献1～5所记载的被覆工具中，被覆层的耐磨损性以及耐缺损性不足。特别是，在氧化铝层产生微小的卷刃，其成为诱因而导致磨损发展、氧化铝层的密接力弱从而剥离的情况较多，进而要求进一步改善氧化铝层。

对此，本发明的目的在于提供一种改善氧化铝层的耐磨损性与密接性而使得耐磨损性以及耐缺损性优异的被覆工具。

用于解决课题的方案

本发明的被覆工具是在基体表面依次层叠有至少碳氮化钛层与α型结晶构造的氧化铝层而成的被覆工具，其中，在所述氧化铝层的X射线衍射分析中，当对在所述氧化铝层的基体侧部分的测定中检测出的基体侧峰值与在所述氧化铝层的表面侧部分的测定中检测出的表面侧峰值进行比较时，对于由所述氧化铝层的下述通式Tc(hkl)表示的取向系数Tc(116)而言，所述表面侧峰值的表面侧Tc(116)比所述基体侧峰值的基体侧Tc(116)大。

取向系数Tc(hkl)＝{I(hkl)/I₀(hkl)}/〔(1/7)×∑{I(HKL)/I₀(HKL)}〕，

这里，(HKL)是(012)、(104)、(110)、(113)、(024)、(116)、(124)的7个面，

(hkl)是(012)、(104)、(110)、(113)、(024)、(116)、(124)中的任一个，

I(HKL)以及I(hkl)是所述氧化铝层的X射线衍射分析中检测出的归属于各结晶面的峰值的峰值强度，

I₀(HKL)以及I₀(hkl)是JCPDS卡片No.46-1212中记载的各结晶面的标准衍射强度。

发明效果

根据本发明，在氧化铝层的表面侧，改善了对于氧化铝结晶的破坏的耐性，能够抑制因微小的卷刃导致的磨损的发展，并且，在氧化铝层的基体侧，使与比氧化铝层靠基体侧设置的层的密接性提高，能够抑制氧化铝层的剥离。其结果是，提高了氧化铝层的耐磨损性以及密接性。

附图说明

图1是本发明的切削工具的一实施例的概要立体图。

图2是图1的切削工具的简要剖视图。

具体实施方式

在表示本发明的被覆工具的一实施方式的切削工具(以下，简称为工具)1中，如图1所示，工具1的一个主面形成前刀面2，侧面形成后刀面3，前刀面2与后刀面3所成的交叉棱线部形成切削刃4。

另外，如图2所示，工具1具备：基体5、设置在该基体5的表面的被覆层6。被覆层6从基体5侧依次层叠由TiN构成的下层7、碳氮化钛层8、中间层9、氧化铝层10、由TiN构成的表层11而成。需要说明的是，氧化铝层10由α型结晶结构构成。

在本实施方式中，在氧化铝层10的X射线衍射分析中，当对在氧化铝层10的基体5侧部分的测定中检测出的基体侧峰值与在氧化铝层10的表面侧部分的测定中检测出的表面侧峰值进行比较时，对于由氧化铝层10的下述通式Tc(hkl)表示的取向系数Tc(116)而言，表面侧峰值的表面侧Tc(116)比基体侧峰值的基体侧Tc(116)大。

取向系数Tc(hkl)＝{I(hkl)/I₀(hkl)}/〔(1/7)×∑{I(HKL)/I₀(HKL)}〕，

(hkl)是(012)、(104)、(110)、(113)、(024)、(116)、(124)中的任一个，

I(HKL)以及I(hkl)是氧化铝层的X射线衍射分析中检测出的归属于各结晶面的峰值的峰值强度，

由此，在氧化铝层10的表面侧，改善了对于氧化铝结晶的破坏的耐性，能够抑制因微小的卷刃导致的磨损的发展，并且，在氧化铝层10的基体5侧，使与碳氮化钛层8、中间层9的密接性提高，能够抑制氧化铝层10的剥离。其结果是，提高了氧化铝层10的耐磨损性以及密接性。

这里，取向系数Tc(116)变高，即(116)面的峰值强度I(116)的比率变高时，对于从氧化铝层10的表面侧沿成膜方向(与表面垂直的方向)施加的冲击，构成氧化铝层10的氧化铝结晶变得容易弯曲，对于破坏的耐性提高。对此，在氧化铝层10的表面侧提高取向系数Tc(116)，由此抑制了在氧化铝层10的表面产生的微小的卷刃，能够抑制因微小的卷刃导致的磨损的发展。表面侧Tc(116)的优选的范围是0.7～2.0。

另一方面，当取向系数Tc(116)变高时，氧化铝层10的表面沿平行的方向的热膨胀率变大，相对于比氧化铝层10靠基体5侧的中间层9、碳氮化钛层8的热膨胀率产生较大的差。在此，通过减小氧化铝层10的基体侧的取向系数Tc(116)，能够抑制氧化铝层10的剥离。基体侧Tc(116)的优选的范围是0.3～0.7。需要说明的是，碳氮化钛层8设置成6.0～13.0μm的厚度，另外，中间层9设置成0.05～0.5μm的厚度。

另外，对氧化铝层10的基体侧Tc(116)与表面侧Tc(116)的测定方法进行说明。氧化铝层10的X射线衍射分析利用使用了一般的CuKα射线的X射线衍射分析的装置来测定。在根据X射线衍射图表求取氧化铝层10的各结晶面的峰值强度时，确认JCPDS卡片的No.46-1212中记载的各结晶面的衍射角，将检测出的峰值的结晶面视为同一结晶面，而测定其峰值强度。

为了测定表面侧Tc(116)，对氧化铝层10的表面侧部分的峰值强度进行测定。具体而言，在对表层11进行了磨削去除的状态或者不对磨削表层11进行磨削的状态下，对被覆层6进行X射线衍射分析。对所得到的各峰值的峰值强度进行测定，而算出取向系数Tc(hkl)。需要说明的是，在对表层11进行磨削去除时，可以将氧化铝层10的厚度的20％以下的厚度去除。另外，在不对表层11进行磨削的状态下进行了X射线衍射分析的情况下，只要能够测定氧化铝的7个峰值即可。

为了测定基体侧Tc(116)，对氧化铝层10的基体侧部分的峰值强度进行测定。具体而言，首先，将被覆层6的氧化铝层10磨削至规定的厚度。磨削通过利用金刚石磨粒的抛光加工、利用弹性砂轮的加工、或者喷砂加工等进行。另外，实施磨削，直到氧化铝层10的厚度达到氧化铝层10的磨削前的厚度的10～40％的厚度。之后，对氧化铝层10的磨削后的部分，在与氧化铝层10的表面侧部分的测定同条件下进行X射线衍射分析，测定氧化铝层10的峰值，而算出取向系数Tc(hkl)。

可以比较通过以上的方法测定出的氧化铝层10的表面侧峰值的表面侧Tc(116)、基体侧Tc(116)。需要说明的是，取向系数Tc基于相对于由JCPDS卡片规定的无取向的标准数据的比率而求出，因此示出了各结晶面的取向程度。

另外，根据本实施方式，在氧化铝层10的表面侧峰值中，I(104)与I(116)是第一与第二强的峰值强度。即，可以为，I(104)是第一强的峰值强度，I(116)是第二强的峰值强度，也可以为，I(116)是第一强的峰值强度，I(104)是第二强的峰值强度。由此，抑制了前刀面2侧的月牙洼磨损。并且，后刀面3侧因微小的卷刃而导致的侧面磨损有被抑制的趋势。

在本实施方式中，表面侧峰值的I(104)与表面侧峰值的I(116)之比((116)/(104))是0.5～1.7。由此，能够提高氧化铝层10的表面的耐卷刃性。

并且，根据本实施方式，表面侧峰值的表面侧Tc(104)比基体侧峰值的基体侧Tc(104)大。由此，具有能够抑制后刀面3的侧面磨损，并且提高前刀面2的耐缺损性，提高切削工具1的耐缺损性的效果。此时，当表面侧Tc(116)大于基体侧Tc(116)时，氧化铝层10的耐月牙洼磨损的能力大幅度提高。

碳氮化钛层8构成为从基体侧依次形成有所谓的MT-碳氮化钛层8a、以及所谓的HT-碳氮化钛层8b，该MT-碳氮化钛层8a包含作为原料的乙腈(CH₃CN)气体，在成膜温度是780～900℃的较低温度下形成，且由柱状结晶构成，该HT-碳氮化钛层8b在成膜温度是950～1100℃的较高温度下形成，且由粒状结晶构成。根据本实施方式，在HT-碳氮化钛层8b的表面形成朝向氧化铝层10而尖端变细的剖面视呈三角形形状的突起，由此，与氧化铝层10的密接力提高，能够抑制被覆层6的剥离、卷刃。

另外，根据本实施方式，中间层9设置在HT-碳氮化钛层8b的表面。中间层9含有钛与氧，例如由TiAlCNO、TiCNO等构成。由此，构成氧化铝层10的氧化铝粒子成为α型结晶结构。由α型结晶结构构成的氧化铝层10的硬度高，能够提高被覆层6的耐磨损性。另外，在图2中，中间层9通过层叠下部中间层9a与上部中间层9b而成。通过由TiAlCNO构成的下部中间层9a与由TiCNO构成的上部中间层9b的层叠结构来构成中间层9，从而具有提高切削工具1的耐缺损性的效果。

并且，下层7以及表层11由氮化钛构成。需要说明的是，在本发明的其它实施方式中，下层7以及表层11也可以是氮化钛以外的碳氮化钛、碳酸氮化钛、氮化铬等其它材质。也可以不具备下层7以及表层11的至少一方。另外，下层7设置成0.0～1.0μm的厚度，表层11设置成0.0～3.0μm的厚度。

需要说明的是，各层的厚度以及构成各层的结晶的性状能够通过观察工具1的剖面的电子显微镜照片(扫描式电子显微镜(SEM)照片或者透射电子显微镜(TEM)照片)来测定。另外，在本发明中，构成被覆层6的各层的结晶的结晶形态呈柱状是指，各结晶的所述平均结晶宽度相对于被覆层6的厚度方向上的长度之比平均在0.3以下的状态。另一方面，将该各结晶的所述平均结晶宽度相对于被覆层的厚度方向上的长度之比平均超过0.3的情况定义成结晶形态是粒状。

另一方面，工具1的基体5可以列举，使由碳化钨(WC)、与根据需求从周期表第4、5、6族金属的碳化物、氮化物、碳氮化物的组中选出的至少1种构成的硬质相通过由钴(Co)、镍(Ni)等铁属金属构成的结合相结合而成的超硬合金或Ti基金属陶瓷、或者Si₃N₄、Al₂O₃、金刚石、立方氮化硼(cBN)等陶瓷。其中，在将工具1作为切削工具使用的情况下，从耐缺损性以及耐磨损性的角度出发，基体5最好由超硬合金或者金属陶瓷构成。另外，根据用途，基体5也可以由碳钢、高速钢、合金钢等金属构成。

并且，所述切削工具1通过使形成在前刀面与后刀面的交叉部的切削刃与被切削物接触而进行切削加工，能够发挥所述的优异的效果。另外，本发明的被覆工具除切削工具1以外，也能够用于滑动部件、模具等耐摩部件、挖掘工具、刀具等工具，耐冲击部件等各种用途，在这种情况下也具有优异的机械可靠性。

接下来，参考工具1的制造方法的一例对本发明的被覆工具的制造方法进行说明。

(基体的制作)

首先，向通过烧成能够形成成为基体5的硬质合金的金属碳化物、氮化物、碳氮化物、氧化物等的无机物粉末中，适当地添加、混合金属粉末、碳粉末等，通过冲压成形、浇铸成形、挤出成形、冷等静压成形等公知的成形方法成形为规定的工具形状后，在真空中或者非氧化性气氛中通过烧成而制作由所述的硬质合金构成的基体5。然后，根据要求对所述基体5的表面实施磨削加工、切削刃部的珩磨加工。

接下来，通过化学气相蒸镀(CVD)法在其表面形成被覆层。首先，将作为反应气体组成而包括0.5～10体积％的四氯化钛(TICl₄)气体、10～60体积％的氮(N₂)气、其余为氢(H2)气的混合气体进行调整，并将其导入腔室内，将成膜温度设为800～940℃，压力设为8～50kPa，而形成作为下层7的TiN层。

接下来，将作为反应气体组成而包括以体积％计的0.5～10体积％的四氯化钛(TICl₄)气体、10～60体积％的氮(N₂)气、0.1～3.0体积％的乙腈(CH₃CN)气体、其余为氢(H2)气的混合气体进行调整，并将其导入腔室内，将成膜温度设为780～880℃，压力设为5～25kPa，而形成MT-碳氮化钛层。

接下来，形成构成碳氮化钛层8的上侧部分的HT-碳氮化钛层。通过形成所述MT-碳氮化钛层与该HT-碳氮化钛层，从而在碳氮化钛层8的表面形成突起。根据本实施方式，HT-碳氮化钛层的具体的成膜条件是，将包括1.0～4体积％的四氯化钛(TICl₄)气体、0.1～10体积％的甲烷(CH₄)气体、5～20体积％的氮(N₂)气、其余为氢(H₂)气的混合气体进行调整，并将其导入腔室内，将成膜温度设为900～1050℃，压力设为5～40kPa，而进行成膜。

然后，制作中间层9。针对本实施方式的具体的成膜条件是，作为第一阶段，将包括3～10体积％的四氯化钛(TICl₄)气体、3～10体积％的甲烷(CH₄)气体、5～20体积％的氮(N₂)气、0.5～2体积％的一氧化碳(CO)气体、0.5～3体积％的三氯化铝(AlCl₃)气体、其余为氢(H₂)气的混合气体进行调整。并将这些混合气体调整而导入腔室内，将成膜温度设为900～1050℃，压力设为5～40kPa而进行成膜。

接下来，作为中间层9的第二阶段，将包括1～3体积％的四氯化钛(TICl₄)气体、1～3体积％的甲烷(CH₄)气体、5～20体积％的氮(N₂)气、2～5体积％的一氧化碳(CO)气体、其余为氢(H₂)气的混合气体进行调整。并将这些混合气体调整而导入腔室内，将成膜温度设为900～1050℃，压力设为5～40kPa而进行成膜。需要说明的是，本工序也可以将所述氮(N₂)气变更为氩(Ar)气。

然后，形成α氧化铝层10。作为α氧化铝层10的成膜方法，首先，利用由0.5～5.0体积％的三氯化铝(AlCl₃)气体、0.5～3.5体积％的氯化氢(HCl)气体、其余为氢(H₂)气而构成的混合气体，将成膜温度设为950～1100℃，压力设为5～10kPa而进行成膜。通过该第一阶段的成膜，生成作为α氧化铝层10而形成的氧化铝的芯，控制芯的生成状态，从而控制基体侧Tc(116)。

接下来，利用0.5～10.0体积％的三氯化铝(AlCl₃)气体、0.5～5.0体积％的氯化氢(HCl)气体、0.5～5.0体积％的二氧化碳(CO₂)气体、0.0～0.5体积％的硫化氢(H2S)气体、其余为氢(H2)气而构成的混合气体，将成膜温度设为950～1100℃，压力设为5～10kPa而形成氧化铝层10。此时，随着氧化铝层10的成膜时间经过，使CO₂气体的流量恒定，连续或者阶段性地提高AlCl₃气体与H₂S气体的流量。由此，改变了反应的路径的比率，改变了氧化铝结晶的生长状态，提高了表面侧Tc(116)。

然后，根据要求形成表层(TiN层)11。具体的成膜条件是，将作为反应气体组成包括0.1～10体积％的四氯化钛(TICl₄)气体、10～60体积％的氮(N₂)气、其余为氢(H₂)气的混合气体进行调整而导入腔室内，将成膜温度设为960～1100℃，压力设为10～85kPa而进行成膜。

之后，根据要求，对形成的被覆层6表面的至少切削刃部进行磨削加工。通过该磨削加工，将切削刃部加工得平滑，抑制了被切削件的熔敷，而成为耐缺损性更加优异的工具。

【实施例】

首先，对平均粒径1.5μm的碳化钨粉末，以6质量％的平均粒径1.2μm的金属钴粉末、0.5质量％的平均粒径2.0μm的碳化钛粉末、5质量％的碳化铌粉末的比例添加、混合所述粉末，通过冲压成形而成形成工具形状(CNMG120408)。之后，实施脱粘合剂处理，在1500℃、0.01Pa的真空中，烧成1小时而制作由超硬合金构成的基体。之后，对制作的基体进行抛光加工，对成为切削刃的部分施加R珩磨。

接下来，对所述超硬合金的基体，通过化学气相蒸镀(CVD)法，在表1的成膜条件下形成被覆层而制作工具。在表1、2中，各化合物由化学符号表示。

另外，关于试料No.1～5，在形成氧化铝层时，首先，利用包括3.0体积％的三氯化铝(AlCl₃)气体、1.5体积％的氯化氢(HCl)气体、其余为氢(H₂)气的混合气体，在1000℃、7kPa的条件下进行第一阶段的成膜，而形成氧化铝层的芯。另外，关于试料No.8，在形成氧化铝层时，首先，利用22.0体积％的三氯化铝(AlCl₃)气体、37体积％的二氧化碳(CO₂)气体、其余为氢(H₂)气的混合气体，在1150℃、0.2kPa的条件下进行第一阶段的成膜，而形成氧化铝层的芯。

关于所述试料No.1～8，首先，在后刀面的平坦面，在仅磨削了表层的TiN层的状态下对被覆层进行基于CuKα线的X射线衍射分析，在任意3个部位，对氧化铝层的表面侧部分(表中，标注成表面侧)的表面侧峰值的一致性(同定)、各峰值的峰值强度进行了测定。此时，可以确认确保了氧化铝层厚度的80％以上。接下来，磨削至达到氧化铝层的厚度的10～40％的厚度，同样地通过X射线衍射分析，对氧化铝层的基体侧部分(表中，标注成基体侧)的基体侧峰值的一致性、各峰值的峰值强度进行测定。利用获得的各峰值的峰值强度，计算出(116)面、(104)面、(110)面、(012)面的各结晶面的取向系数Tc。另外，通过扫描式电子显微镜(SEM)来观察所述工具的断裂面，对各层的厚度进行了测定。结果如表2、3所示。

接下来，在下述的条件下，进行各试料的连续切削试验以及断续切削试验，对耐磨损性以及耐缺损性进行了评价。结果如表4所示。

(连续切削条件)

被切削件：铬钼钢材(SCM435)

工具形状：CNMG120408

切削速度：300m/分钟

进给速度：0.3mm/rev

切深：1.5mm

切削时间：25分钟

其它：使用水溶性切削液

评价项目：通过扫描式电子显微镜来观察刀尖珩磨部分，测定了实际磨损的部分处与前刀面垂直的方向上的侧面磨损量和前刀面上的月牙洼磨损。

(断续切削条件)

被切削件：铬钼钢四根设有槽的钢材(SCM440)

工具形状：CNMG120408

切削速度：300m/分钟

进给速度：0.3mm/rev

切深：1.5mm

其它：使用水溶性切削液

评价项目：造成缺损的冲击次数

【表1】

*Al₂O₃-3，Al₂O₃-8：

使混合气体中的各气体(AlCl₃、CO₂、H₂S)的添加量由x→y连续地变化。

【表2】

注1)()表记表示层的厚度(单位μm)。

【表3】

【表4】

根据表1～4的结果，氧化铝层的表面侧Tc(116)与基体侧Tc(116)相同的试料No.8～10都容易产生微小的卷刃从而磨损较快，并且氧化铝层容易因冲击剥离。

另一方面，在本发明的试料No.1～7中，抑制了氧化铝层的微小的卷刃，并且剥离也几乎未产生。特别是，关于在氧化铝层的表面侧峰值处(104)面与(116)面由第一与第二高的峰值构成的试料No.2～7，可以明确，与试料No.1、8～10相比，月牙洼磨损更少，耐磨损性特别优异。

附图标记说明

1切削工具

2前刀面

3后刀面

4切削刃

5基体

6被覆层

7下层

8碳氮化钛层

8aMT-碳氮化钛层

8bHT-碳氮化钛层

9中间层

9a下部中间层

9b上部中间层

10氧化铝层

11表层

Claims

1.一种被覆工具，其是在基体表面依次层叠有至少碳氮化钛层与α型结晶构造的氧化铝层而成的被覆工具，其中，

在所述氧化铝层的X射线衍射分析中，当对在所述氧化铝层的基体侧部分的测定中检测出的基体侧峰值与在所述氧化铝层的表面侧部分的测定中检测出的表面侧峰值进行比较时，对于由所述氧化铝层的下述通式Tc(hkl)表示的取向系数Tc(116)而言，所述表面侧峰值的表面侧Tc(116)比所述基体侧峰值的基体侧Tc(116)大，

取向系数Tc(hkl)＝{I(hkl)/I₀(hkl)}/〔(1/7)×∑{I(HKL)/I₀(HKL)}〕，

(hkl)是(012)、(104)、(110)、(113)、(024)、(116)、(124)中的任一个，

2.根据权利要求1所述的被覆工具，其中，

在所述表面侧峰值中，I(104)与I(116)是第一与第二强的峰值强度。

3.根据权利要求2所述的被覆工具，其中，

所述表面侧峰值中的I(104)与所述表面侧峰值中的I(116)之比((116)/(104))为0.5～1.7。

4.根据权利要求1至3中任一项所述的被覆工具，其中，

所述表面侧峰值的表面侧Tc(104)比所述基体侧峰值的基体侧Tc(104)大。